【課題】磁力を利用したねじ部材の緩み止め剤塗布装置を提供することにある。
【解決手段】ねじ部材を回動可能に保持する回動保持装置と、該回動保持装置にねじ部材を順次供給するねじ部材供給装置と、回動保持装置で回動保持された各ねじ部材に緩み止め剤を供給する緩み止め剤供給装置とを有し、回動保持装置が、各々回動自在に支持され、ねじ部材受け部でねじ部材供給装置からの磁性体製のねじ部材の頭部を順次磁性的に吸着して片持ち梁式に保持する複数の永久磁石と、それぞれの永久磁石の移動軌道に沿って設けられ、各永久磁石の移動と共に回動させる案内部材とを備え、ねじ部材を回動しながら移動するように構成され、緩み止め剤供給装置が緩み止め剤塗布部に位置した緩み止め剤供給ノズルと、緩み止め剤塗布部から移動方向前方に、ねじ部材のねじ部に供給された緩み止め剤をねじ部材のねじ部の指定部位に伸ばす伸ばし装置とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】厚紙や専用紙等の剛性の高い被記録材を通してもリタードローラが押し下げられる虞が少なく、もって分離不良、更には給送不良に至る虞の少ない被記録材給送分離装置を提供すること。
【解決手段】ホッパー２に載置された被記録材１に押し付け力が作用するニップ状態で回転して被記録材をピックアップする給送ローラ３と、給送ローラ３によってピックアップされた被記録材が送られてピックアップ位置４より下流位置にて前記給送ローラとの協働によって分離作用をして最上位の被記録材を分離するリタードローラ５とを備え、ピックアップ位置４とリタードローラ５との間に、ピックアップされた被記録材の先端が突き当たって進行方向を前記リタードローラの分離作用位置６に向かう方向に変える方向変更作用部７を備える。 （もっと読む）

【課題】浮上搬送方式において被処理基板上に形成される処理液の塗布膜に縞状の塗布むらが生じるのを効果的に低減ないし抑制すること。
【解決手段】塗布領域においては、Ｘ方向に延びる複数本の噴出ラインＣ₁，Ｃ₃，Ｃ₅，・・とＸ方向に延びる複数本の吸引ラインＣ₂，Ｃ₄，Ｃ₆，・・とがＹ方向に一定のピッチＷで交互に並べられ、各噴出ラインＣ_2n-1上に噴出口８８が一定間隔３Ｄを置いて配置されるとともに、各吸引ラインＣ_2n上に吸引口９０が一定間隔３Ｄを置いて配置され、相隣接する噴出ラインＣ_2n-1と吸引ラインＣ_2nとの間では噴出口８８と吸引口９０とがＸ方向に一定距離Ｄだけオフセットしている。そして、各噴出口８８，吸引口９０の上端部から長溝８８ａ，９０ａが搬送方向（Ｘ方向）に倣う向きと逆らう向きに二手にまっすぐ延びている。 （もっと読む）

【課題】基板の処理装置に用いられる複数の気圧式駆動部に気体を供給する気体供給設備の品質を安定させる。
【解決手段】気体供給ユニット１７０は、略直方体形状の連結ブロック１８２を有し、連結ブロック１８２の一の側面１８２ａには、複数の電磁バルブ１９０からなる電磁バルブブロック１８０と、複数のスピードコントローラ２００からなるスピードコントローラブロック１８１が連結されている。連結ブロック１８２内には、対応する電磁バルブ１９０とスピードコントローラ２００を連通させる第１の流路と、スピードコントローラ２００から他の側面１８２ｂに連通する第２の流路が形成されている。他の側面１８２ｂの第２の流路２１１の出力側には、接続ポート２２２が設けられる。各気圧式駆動部に通じる複数の給気管１６０は、マルチコネクタ２３０を介して接続ポート２２２に接続される。 （もっと読む）

【課題】スリットノズルを備えた基板処理装置において、適切に基板を搬送する。
【解決手段】基板処理装置において、搬送ユニットである搬送ロボット２１と、基板に薬液を塗布する塗布ユニット１０とを設ける。そして、搬送ロボット２１と塗布ユニット１０とを、塗布方向（Ｘ軸方向）に対して垂直となる方向（Ｙ軸方向）に配列するように配置する。搬送ロボット２１は、ロボットハンド２１２のチャック２１３によって基板を保持する。ロボットハンド２１２は、第１アーム２１４および第２アーム２１５によってＹ軸方向に進退する。また、昇降機構２１６は必要に応じてアーム部２１１を昇降させ、回転機構２１９は軸Ｏを中心にアーム部２１１を回転させることによりアーム部２１１の進退する方向（向き）を変更する。 （もっと読む）

【課題】 基板に温度ムラに起因するピン跡を残さない基板支持部材を提供する。
【解決手段】 載置台１上で基板Ｗを支持するために、載置台１に形成された貫通孔５より先端部８が出没可能とされた支持ピン７であって、支持ピン７の先端部８は、ロッド先端部１１ａに通したコイルスプリング１２により支持され、先端部８の先端は基板Ｗを載置しない状態で１〜２ｍｍほど載置台１よりも突出し、支持ピン７の先端部８は基板Ｗの自重により縮んで、先端部８の先端平面部と載置台１とが面一となる構成とした。 （もっと読む）

【課題】インクジェット式塗装機に搬送されてくる建築板に正確にタイミングを合わせて塗装ノズルヘッドからの塗料の噴射を開始することができ、建築板に高い意匠精度で塗装を行なうことができる建築板の塗装装置を提供する。
【解決手段】搬送手段５で建築板１を送りながら、インクジェット式塗装機２の塗装ノズルヘッド３から塗料を噴射させることによって、建築板１の表面を塗装するようにした建築板１の塗装装置に関する。前記搬送手段５が、建築板１が載置された状態で塗装ノズルヘッド３の下方を通過する搬送面６を有する。前記搬送面６には、建築板１の端縁を係止する位置決め凸部７が突設されている。 （もっと読む）

【課題】基板にレジスト膜を形成し、液浸露光した後の基板に対して現像処理を行う装置において、液浸露光により基板上に残留する水滴によるレジストパターンの解像に対する悪影響を抑えること。
【解決手段】基板に付着した液滴はある時間が経つと、そのサイズが急激に小さくなり、このとき基板のレジスト膜に変質層（ウオータマーク）が形成されることに着眼し、液浸露光後に液滴のサイズが急激に小さくなっていく時間帯に入る前の時間帯にて基板が洗浄部で洗浄されるように基板の搬送制御を行う。具体的には露光装置から搬出準備信号が出力されたときに、インターフェイス部の基板搬送手段が他の搬送作業に優先して搬送ステージ上の基板を洗浄部に搬送する。 （もっと読む）

【課題】塗装の品質を向上するとともに建築板の衝突を防止する。
【解決手段】塗装面を上向きにして建築板Ｂを搬送する搬送手段１と、搬送手段１の搬送経路上に配置され建築板Ｂの塗装面に塗料を噴射する複数の塗料噴射手段２と、搬送経路における塗料噴射手段２の手前で建築板Ｂの反りを計測して建築板Ｂの良否を判定する反り判定手段と、反り判定手段で不良と判定された建築板Ｂを塗料噴射手段２の手前で搬送経路から排除する排除手段３とを備える。規定以上の反りが生じている建築板Ｂを塗料噴射手段２の手前で排除手段３により搬送経路から強制的に排除するので、塗料噴射手段２と塗装面との距離をほぼ一定の範囲に保って塗装の品質が向上できるとともに、建築板Ｂが塗料噴射手段２に衝突するのを防止できる。 （もっと読む）

【課題】高粘性流体の塗布を行うことができ、かつ、ヘッドのヘッド保持部材に対する着脱が容易な電子部品保持装置，電子部品装着システムおよび電子部品装着方法の提供を課題とする。
【解決手段】ヘッド保持部材５２の吸着面１３０をディスペンサヘッド５８の被吸着面５６６に密着させてヘッド吸着用負圧室１６２を形成し、ディスペンサヘッド５８を負圧により吸着させる。ヘッド保持部材５２によるディスペンサヘッド５８の保持により接着剤収容室５７０が正圧供給通路１００に連通させられ、正圧の供給により吐出ノズル５６４から接着剤５６１が所定量ずつ吐出される。ヘッド保持部材５２は一ノズルヘッド，リボルバヘッド，ディスペンサヘッドを選択的に負圧により吸着して保持し、回路基板への接着剤の塗布，電子部品の装着を行う。 （もっと読む）

【課題】柱状構造体の外周面にコーティングを施す際、柱状構造体の中心軸と台座の中心軸と略均一させ、コーティングの厚さを均一化することにより、得られた柱状構造体（セラミックハニカム構造体）の耐熱衝撃性、アイソスタティック強度、熱応力、機械応力等の品質特性を向上させるとともに、コーティング部の乾燥性にも優れているため、生産性を向上させることができる柱状構造体の位置決め方法及び装置を提供する。
【解決手段】柱状構造体１を台座３に載置し、柱状構造体１が載置された台座３に、位置決め固定治具２４を当接させた後、位置決め固定治具２４と対向した位置決め調整治具２５で、柱状構造体１を（２点又は１点で）当接しつつ、台座３から柱状構造体１を移動させ、柱状構造体１を位置決め固定治具２４に当接させることにより、柱状構造体１の中心軸を台座３の中心軸に略一致するように位置決めを行い、且つ柱状構造体１が、位置決め固定治具２４と位置決め調整治具２５とで４点又は３点支持されていることにある。 （もっと読む）

【課題】基板を一方向に移動させながら塗布液を塗布する塗布方式において、基板を受け渡して保持する際に基板の流れが止まることを回避することが可能な技術を提供すること。
【解決手段】塗布処理装置２３ａは、基板Ｇを保持して一方向に搬送するベルト搬送機構１２と、ベルト搬送機構１２の上方に設けられ、搬送されている基板Ｇに塗布液を吐出する塗布液吐出ノズル１４と、基板Ｇを一方向に搬送してベルト搬送機構１２に搬入する搬入側搬送部１３と、ベルト搬送機構１２から基板Ｇを一方向に搬出する搬出側搬送部１５とを具備し、ベルト搬送機構１２は、多数の吸着孔５７が形成された吸着搬送ベルト５１と、吸着搬送ベルト５１が巻き掛けられる一対の搬送ロール５２と、搬送ロール５２を駆動させる駆動機構５３と、吸着搬送ベルト５１の吸着孔５７を介して基板Ｇを吸引する吸引機構５５とを有する。 （もっと読む）

【課題】多様な形状の被塗布物を良好に保持して好適な塗膜を形成可能なスピンコート用保持具を提供する。
【解決手段】スピンコート用保持具２は、フレーム２１と、このフレーム２１の内周面２１Ａに固定された板ばね部材２２と、板ばね部材２２に一連に設けられレンズＬを保持する保持部２３とを備えている。これにより、保持部２３は多様な形状のレンズＬを保持でき、レンズＬの保持位置を適宜調整して塗れ残りなどの外観不良を抑制できる。保持の際にレンズＬに吸着パッドを接触させたり、レンズＬを搬送する際にレンズＬを直接ハンドリングする必要がないため、被塗布面を汚染する危険性がなくなる。 （もっと読む）

【課題】各処理工程において適正なワークのピッチを設定することにより、ライン長の適正化を図ることとするライン構造を提案する。
【解決手段】連続的に流れるワークに対し複数の処理を連続的に行うライン構造であって、各処理工程において複数のワークに対し同時に処理が実施されるものとし、或る処理工程から次の処理工程にワークを移載する移載装置を備え、前記或る処理工程における前記各ワークの進行方向のピッチは、前記次の処理工程における前記各ワークの進行方向のピッチと異なる構成であり、前記移載装置にて、前記或る処理工程から前記次の処理工程に前記ワークを移載する際に、前記或る処理工程における前記各ワークの進行方向のピッチから、前記次の処理工程における前記各ワークの進行方向のピッチに変更を行うこととする。 （もっと読む）

メインチャンバ（１０２）と、ロードチャンバ（１０６）と、流体堆積チャンバ（１０８）と、環境コントローラ（１１０）とを含むクラスタツール（１００）が記述される。ロードチャンバ（１０６）は、メインチャンバ（１０２）と結合され、１つ以上の基板を受け取るように構成される。流体堆積チャンバ（１０８）は、メインチャンバ（１０２）に結合され、１つ以上の基板上に流体を堆積させるように構成された流体堆積デバイス（３０７）を含む。ロボット（１０４）は、メインチャンバ（１０２）の中に含まれ、該ロボット（１０４）は、ロードチャンバ（１０６）と流体堆積チャンバ（１０８）との間で１つ以上の基板を移送するように構成される。環境コントローラ（１１０）は、クラスタツール（１００）内の実質的に自律的な環境を維持するように構成される。
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【目的】パレットで搬送されるワークを回転させながら接着剤塗布するとき、パレットを特別な構造にせず、簡単な構造でコストダウン可能にする。
【構成】パレット３０に受け治具２１〜２４を介してワーク１１〜１４を支持し、回転駆動手段４０の上に置いてパレット３０を押し下げることにより、回転駆動手段４０の筒部４１〜４４で受け治具２１〜２４をパレット３０から脱着させ、同時に各受け治具２１〜２４と係合一体化し、この状態でモータ４８を駆動すると、出力ギヤ４９と各筒部の被動ギヤ４７ａ〜ｄが噛み合って、全ワーク１１〜１４が一度に回転する。 （もっと読む）

【課題】 缶体の印刷不良の発生を防止した缶体搬送器具を提供する。
【解決手段】 印刷装置１０において、搬送ローラ３０の外周部に取り付けられるキャンポケット１００は、樹脂により構成される本体部材１１１の表面に金属メッキ層１１２を構成することにより、樹脂により構成される本体部材１１１が露出しない構成となっている。このため、缶体が本体部材１１１を構成する樹脂に接触せず、キャンポケット１００が紫外線の影響を受けても、缶体に印刷不良が生じない。 （もっと読む）

【課題】 狭いスペースに複数の処理部を配置して基板の処理を連続的にできるとともに、搬送装置の制御や保守が容易で、且つ設備コストを低減できる基板処理ラインを提供する。
【解決手段】 鉛直面内で環状に形成された基板搬送路の左右両側に沿って設置された一対のガイドレール３と、これらのガイドレールに同数ずつ移動自在に案内され、移動方向に隣り合うものどうし屈曲自在に無端状に連結された複数のキャリア２と、基板搬送路の左右両側を移動するキャリアどうし、対向した位置を保つように同期して各キャリアを駆動する駆動装置と、基板搬送路の左右両側で対向するそれぞれのキャリアに設けられて、矩形状基板の少なくとも４隅近傍を左右両側から把持する複数のクランプ部材と、少なくとも基板搬送路の上方搬送路部分Ｃ１と下方搬送路部分Ｃ２に沿ってそれぞれ設置され、各キャリアにより搬送される基板に対して所定の処理を施す複数の処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板の大きさや形状によらず容易に基板を乾燥できる乾燥装置を提供する。
【解決手段】 乾燥装置１は外箱３を有し、外箱３の底面にはホットプレート５が設けられている。
ホットプレート５上にはリフトピン１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅ、１１ｆが設けられており、これらは図示しないアクチュエータ等によって上下に移動可能である。
さらにホットプレート５上には可動ピン１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅ、１２ｆ、１２ｇ、１２ｈ、１２ｉが設けられている。
可動ピン１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅ、１２ｆ、１２ｇ、１２ｈ、１２ｉの裏面には磁石が設けられており、ホットプレート５上の任意の位置に固定可能である。 （もっと読む）

【課題】基材の内径対応能力が高い円筒状基材把持治具を提供すること。また、この円筒状基材把持治具を用いた円筒状基材移載装置を提供すること。また、この円筒状基材移載装置を用いた電子写真感光体の製造方法を提供すること。
【解決手段】袋状部材１２を、非変形時において軸方向の両端部の最小外径よりも中央部の最大外径の方が大きく構成し、軸方向に圧縮変形することで筒状胴部１２Ａの外径Ｘを拡大させ、軸方向に引張り変形することで筒状胴部１２Ａの外径を収縮させる。これにより、円筒状基体３０の把持及びその解除を行う円筒状基材把持治具である。そして、これを用いて円筒状基材移載装置を構成する。 （もっと読む）