【課題】磁性基材、半導体基材および光学基材の少なくとも一つを研磨するのに使用可能な積層開口網状研磨パッドの形成方法を提示する。
【解決手段】光硬化性ポリマーの第１および第２ポリマーシート１２または膜を曝露して、第１および第２ポリマーシート１２に曝露パターンを形成する。曝露は、光硬化性ポリマーを硬化させるのに十分な曝露時間で行われるが、近傍の細長部位がいっしょに硬化されない長さである。第１および第２ポリマーシートを接合して、第１および第２ポリマーシートのパターンがクロスした研磨パッドを形成する。第１および第２シートが、垂れ下がりを抑えるのに十分であって、ポリマーシートの細長チャネル３６同士、および平行面同士の間に直交関係を保持するのに十分な剛度を有した状態で、積層開口網状研磨パッドを硬化させることにより、固定化する。 （もっと読む）

【課題】優れた研磨レートで高い平坦性を維持することを実現するための研磨布及び研磨方法を提供することを目的とする。
【解決手段】平均断面積４０〜４００μｍ²の極細繊維束を含む不織布と、不織布に含浸付与された架橋ポリウレタン弾性体とを含み、架橋ポリウレタン弾性体は、特定の研磨スラリーに対する質量膨潤率が０．２〜６質量％である、研磨布である。 （もっと読む）

ポリマー内部に分散した要素網状構造と、パッド内に形成された複数の空隙と、前記空隙の少なくとも一部分に連結される前記要素網状構造の少なくとも一部分と、を含む化学機械的平坦化研磨パッドが提供される。要素網状構造、およびポリマーと反応性プレポリマーとの少なくとも１つを含む組成物を提供するステップと、組成物に対し第１の気体を導入するステップと、気体を用いて組成物の中に複数の空隙を生成するステップと、を含む化学機械的平坦化研磨パッドを形成する方法も同様に開示されている。ポリマーまたは反応性ポリマーの内部で要素網状構造に対して力を加え、続いて力を除去し空隙を形成させることによる空隙形成方法も同様に開示されている。
（もっと読む）

【課題】常温または高温時において安定した摩擦係数を有すると共に、高い耐久性を有し、長期間に渡って信頼性を維持することができる耐熱摩擦板材料を提供すること。
【解決手段】シート状基材に、ポリアミドイミド樹脂組成物を含浸し加熱硬化してなる耐熱摩擦板材料であって、前記ポリアミドイミド樹脂組成物として、（Ａ）ポリアミドイミド樹脂、（Ｂ）エポキシ樹脂、および（Ｃ）無機フィラーを必須成分として含有し、かつ硬化物の５％質量減少温度が４００℃以上となるものを用いる。 （もっと読む）

【課題】高い摩擦係数を有し、摩擦材の総厚変化量が少なく、耐熱性（耐ヒートスポット性）に優れる湿式摩擦材を提供すること。
【解決手段】繊維状物質を含む基材に熱硬化性樹脂を含浸させた後、加熱硬化してなる湿式摩擦材において、該繊維状物質のアスペクト比が１０以上であって、かつ該繊維状物質が該基材中に６０〜７５質量％含まれる、湿式摩擦材。 （もっと読む）

【課題】ポリエステル繊維織布の表面処理が不要でありかつフェノール樹脂との十分な接着性が得られ摩擦摩耗特性に優れた繊維強化樹脂組成物を提供する。
【解決手段】ビスフェノールＡを５０〜１００モル％含むフェノール類とホルムアルデヒド類とをアミン類を触媒として合成され、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー測定による数平均分子量Ｍｎが５００〜１０００でありかつ重量平均分子量Ｍｗと数平均分子量Ｍｎの比としての分散度Ｍｗ／Ｍｎが２．５〜１５であるレゾール型フェノール樹脂と、四フッ化エチレン樹脂とを配合した樹脂組成物を、ポリエステル繊維織布に対し含浸してなる摺動部材用繊維強化樹脂組成物であり、好適には、レゾール型フェノール樹脂を４０〜６０重量％、四フッ化エチレン樹脂を１０〜３０重量％、及びポリエステル繊維織布を２５〜３５重量％含む。 （もっと読む）

【課題】平坦化特性に優れ、スクラッチの発生を抑制でき、研磨速度が大きい研磨パッド（研磨層）を製造する方法を提供する。
【解決手段】不織布又は織布に銅メッキを施した補強層を予め型内に設置し、水アトマイズ法にて得られる不規則形状の錫粉末及び／又は錫合金粉末を含む金属成分と、ポリウレタン等の熱可塑性樹脂及び／又は熱可塑性エラストマーと、有機溶媒とを含有する錫組成物を型に流し込み、その後有機溶媒を除去することにより金属シートを作製する。続いて金属シートを熱プレスし研磨シートの電気抵抗を低下させ、表面を平滑にする。 （もっと読む）

【課題】研磨層（ポリウレタンエラストマーからなる多孔質銀面層）表面の均一性に優れ、被研磨面を凹凸なく均一に研磨することが出来る研磨シートを提供すること。
【解決手段】研磨面の表面に微細孔を多数形成させた多孔質銀面層を有する研磨シートであって、前記微細孔のうち孔径５０μｍφ以下の微細孔が表面に存在する全微細孔の８５％以上を占め、該多孔質銀面層を塗布するベース基材が厚さ０．７〜２．５ｍｍのポリエステル不織布である不織布研磨シート。 （もっと読む）

本発明は、チキソトロープとしての、およびフィルター材料としてのその使用を含む加工助剤のような、例えば流体シールおよび摩擦材料をはじめとする製品での強化材として使用するための熱硬化性樹脂およびポリアレーンアゾールパルプに関する。このパルプは、（ａ）不規則形状の熱硬化性繊維繊維状構造物と、（ｂ）不規則形状のポリアレーンアゾール繊維状構造物と（ｃ）水とを含んでなり、それによって熱硬化性繊維フィブリルおよび／またはスタークは、ポリアレーンアゾールフィブリルおよび／またはスタークと実質的に交絡される。本発明はさらに、かかる熱硬化性樹脂およびポリアレーンアゾールパルプの製造方法に関する。
（もっと読む）

【課題】ガラス、半導体、誘電／金属複合体及び集積回路等に平坦面を形成するのに使用される研磨用パッドにおいて、パッド間における発生スクラッチ数はほぼ一定で、パッドによってスクラッチが極端に多くなるということがない優れた研磨パッドおよび研磨装置を提供する。
【解決手段】高分子基材中にマイクロバルーンを分散させた構造の研磨層を有する研磨パッドにおいて、該研磨層が炭化水素系化合物または脂肪酸化合物を含有していて、かつその分子量が１３０〜２０００であることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】耐久性と摩擦性能に優れた湿式摩擦材の製造方法を提供すること。
【解決手段】不織布２０の表層に粒子３２と熱硬化性樹脂４２を充填し乾燥・硬化させて粒子３２と樹脂４２からなる層（中間層）１２を形成した後、不織布２０の裏面側から密度調整剤３１と熱硬化性樹脂４１を充填し乾燥・硬化させ、不織布２０の表面に摩擦調整剤３３と熱硬化性樹脂４１を塗布して乾燥・硬化させる。中間層１２が壁の役目を果たし、密度調整剤３１が不織布２０内部へ高密度に充填され、摩擦調整剤３３が摩擦摺動面１５の表層に定着し均一に塗布される結果、湿式摩擦材１０の耐久性及び摩擦性能を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェハなどの被研磨物の周縁だれを低減できる研磨布を提供する。
【解決手段】 不織布３に樹脂を含浸させて製造される研磨布であって、前記不織布３が、ポリエステル繊維に熱融着糸を混綿したものであり、前記熱融着糸が、芯部の表面が該芯部よりも低融点の鞘部で覆われた芯鞘構造を有するものであり、不織布の製造工程における加熱によって、鞘部が溶融してポリエステル繊維と交絡点を形成し、低圧縮率で高モジュラスの不織布３とし、かかる不織布３に、樹脂を含浸して従来よりも低圧縮率で高硬度の研磨布としている。 （もっと読む）

【課題】 水性ポリウレタン樹脂を繊維基材の全体にわたって均一に固着させることを可能とし、十分な硬度を有し、磨耗しにくく長寿命で、しかも形態安定性にも優れた研磨用シートを効率よくかつ確実に得ることを可能とすると共に、製造環境や環境汚染の問題も同時に解決できる研磨用シートの製造方法、並びに、その製造方法により得られる研磨用シートを提供すること。
【解決手段】 （Ａ）カルボキシル基含有ポリウレタン樹脂、（Ｂ）炭素数が１〜４であるカルボン酸のアンモニウム塩及び（Ｃ）水を含む混合液を、不織布に含浸させた後に乾燥して研磨用シートを得ることを特徴とする研磨用シートの製造方法。 （もっと読む）

被覆研磨物品が複合タイ層を有する。複合タイ層は、多官能性アジリジンを含む第１の重合性組成物をバッキング上に配置する工程と、少なくとも１つの酸性フリーラジカル重合性モノマーと単独重合が、５０℃より低いガラス転移温度を有するポリマーをもたらす少なくとも２つのフリーラジカル重合性側基を有する少なくとも１つのオリゴマーとを含む第２の重合性組成物を第１の重合性組成物上に配置し、第１および第２の重合性組成物を少なくとも部分的に重合させる工程とによって作製可能である。
（もっと読む）