【課題】光硬化後に短時間且つ簡便に離型することができ、離型力が小さい硬化性組成物を提供する。また、離型力が小さいパターン形成方法を提供する。
【解決手段】硬化用組成物は、重合性モノマーと重合開始剤とを有し、前記重合開始剤が前記重合性モノマーの重合を開始させ、前記重合性モノマーが重合することで硬化する硬化性組成物において、前記硬化性組成物は圧力を受けてガスを発生するガス発生剤を更に有する。 （もっと読む）

【課題】離型力が小さく、発泡による欠陥が少なく、かつ生産性に優れた膜の製造方法を提供する。
【解決手段】基板２上に、重合性モノマーと、光刺激によりガスを発生する感光性ガス発生剤と、を含む光硬化性組成物を塗布して塗布膜（被形状転写層１）を形成する工程と、前記塗布膜にモールド３を接触させる工程と、モールド３を介して前記塗布膜に光を照射して前記塗布膜を硬化させると共に前記塗布膜内にガスを発生させる工程と、前記塗布膜に光を照射した後、前記塗布膜からモールド３を離し、基板２上に所定のパターン形状を有する膜（硬化膜１１）を形成する工程と、を含み、前記塗布膜に光を照射する工程において、前記塗布膜に含まれる重合性モノマーの重合反応の反応速度が、前記塗布膜に含まれる感光性ガス発生剤のガス発生反応の反応速度よりも速いことを特徴とする、膜の製造方法。 （もっと読む）

【課題】熱サイクルナノインプリント リソグラフィによるパターン形成に要する時間を短縮する。
【解決手段】硬化性を有するケイ素化合物と酸発生剤を含むナノインプリント用組成物３０を基板２０に塗布して膜を形成し、ＵＶ照射により当該膜中に酸を発生させ、当該膜にローラ５０を押圧し、ローラ５０によって膜が押圧されている間に、ケイ素化合物の熱硬化温度以上に膜を加熱し、ローラ５０を剥離し、硬化パターンを得る。 （もっと読む）

【課題】 インプリントのために基板上に載置するレジスト膜の膜厚を薄く且つ精度良く制御することができ、パターン寸法精度の向上に寄与する。
【解決手段】 インプリントプロセスを用いたパターン形成方法であって、基板上１０に、不揮発性の第１の樹脂成分、揮発性の第２の樹脂成分、及び第１の樹脂成分の硬化反応を促進する結合反応開始材を含むインプリント用のレジスト２０を、空間的に離散した状態で載置し、レジスト２０中の第２の樹脂成分を揮発させることにより、レジスト２０の体積を減少させ、体積減少処理工程後のレジスト２０に対して、テンプレート３０のパターン面を押印し、テンプレート３０のパターン面が押印された状態でレジスト２１を硬化させ、レジスト２１が硬化した後に該レジスト２１からテンプレート３０を剥離する。 （もっと読む）

【課題】輝点の発生が抑制された導光板の製造方法を提供する。
【解決手段】この導光板の製造方法はシート製造工程と転写工程とを備える。転写工程は、連続樹脂シートを押圧ロールと形状ロールとで挟み込むことで押圧して形状ロールに圧着する押圧工程と、連続樹脂シートを形状ロールの周面に沿って搬送する搬送工程と、連続樹脂シートを形状ロールの周面から剥離する剥離工程とを含む。導光板の表面には、転写型に形成された複数の凹部に対応する複数の凸部が形成される。剥離工程の前に、連続樹脂シートの幅方向における全ての地点において連続樹脂シートと形状ロールとを非圧着状態とする。 （もっと読む）

【課題】輝点の発生が抑制された導光板の製造方法を提供する。
【解決手段】この導光板の製造方法はシート製造工程と転写工程とを備える。転写工程は、連続樹脂シートを押圧ロールと形状ロールとで挟み込むことで押圧する押圧工程と、連続樹脂シートを形状ロールの周面に密着させたまま搬送する搬送工程と、連続樹脂シートを形状ロールの周面から剥離する剥離工程とを含む。シート製造工程において押し出される樹脂の温度は、樹脂のガラス転移温度Ｔｇに対して、（Ｔｇ＋１１０）℃〜（Ｔｇ＋２００）℃の範囲である。形状ロールの温度は、（Ｔｇ−２５）℃〜（Ｔｇ−５）℃の範囲である。転写型に形成された複数の凹部の深さＤと複数の凹部のピッチＰとの比率Ｄ／Ｐは、０．０５〜０．４５の範囲である。導光板の表面には複数の凹部に対応する複数の凸部が形成される。 （もっと読む）

【課題】輝点の発生が抑制された導光板の製造方法を提供する。
【解決手段】この導光板の製造方法はシート製造工程と転写工程とを備える。転写工程は、連続樹脂シートを押圧ロールと形状ロールとで挟み込むことで押圧する押圧工程と、連続樹脂シートを形状ロールの周面に密着させたまま搬送する搬送工程と、連続樹脂シートを形状ロールの周面から剥離する剥離工程とを含む。押し出される樹脂の温度は、樹脂のガラス転移温度Ｔｇに対して、（Ｔｇ＋１１０）℃〜（Ｔｇ＋１５０）℃である。樹脂はメタクリル酸メチルとアクリル酸メチルとの共重合体であり、共重合体中のアクリル酸メチル単位の比率は４質量％以上である。形状ロールの温度は、（Ｔｇ−５）℃〜（Ｔｇ＋５）℃である。転写型の凹部の深さＤとピッチＰとの比率Ｄ／Ｐは、０．０５〜０．４５である。導光板の表面には凹部に対応する凸部が形成される。 （もっと読む）

【課題】 本発明の実施形態によれば、パターン不良の少ないインプリントリソグラフィ装置及び方法を提供することができる。
【解決手段】 テンプレートに形成されたパターンサイズに基づいてパターン形成剤に含まれる、離型剤及びレジスト剤の混合比を計算する計算部と、前記計算部の計算結果に基づいて前記レジスト剤及び前記離型剤の混合する混合器と、前記混合器から前記パターン形成剤を前記基板上に滴下するノズルと、前記基板上に滴下された前記パターン形成剤を前記テンプレートで押下後に前記パターン形成剤に光を照射する照射装置と、を備える。 （もっと読む）

【課題】パターンを基板のレジスト層上へとインプリントし、基板からすべての残膜層を除去すること。
【解決手段】モールディングシステムは、土台および土台から延びている少なくとも１つの突起物を有するモールドを含む。突起物は、先端面を有する。システムは、また、先端面上の第１の光触媒層も含む。第１の光触媒層は、第１の放射線による第１の光触媒層の活性化に応じて、基板上の残膜層を少なくとも部分的に破壊するように構成される。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリントプロセス法において、中間スタンパの作製に有利に使用することができる光硬化性転写シートであって、その際に使用される微細凹凸パターンを有する金型との離型性、及び中間スタンパから凹凸パターンが転写される光硬化性樹脂との離型性が良好であり、且つ凹凸パターンの転写性に優れた光硬化性転写シートを提供する。さらに、上記光硬化性転写シートを用いて微細な凹凸パターンを形成する方法を提供する。
【解決手段】加圧により変形可能で、ポリマーと反応性希釈剤を含む光硬化性組成物からなる光硬化性転写層１１を有する光硬化性転写シート１０であって、前記ポリマーが、脂環基を有する（メタ）アクリレート繰り返し単位を含むアクリル樹脂からなることを特徴とする光硬化性転写シート１０。更に、これを用いた凹凸パターンを形成する方法。 （もっと読む）

【課題】光硬化性樹脂組成物の溶融等する温度を調整することにより、熱インプリントや光インプリントによる生産性を高め、また安価に、高精度な微細成形品を製造する方法を提供する。
【解決手段】固体エポキシ化合物と液状エポキシ化合物と光重合開始剤とを含有し、加熱により溶融又は軟化する、固体光硬化性樹脂組成物を用いて、（ａ）基材上に未硬化樹脂層４１を形成する工程、（ｂ）未硬化樹脂層４１を溶融又は軟化する温度に加熱した状態で、型３９を押圧接触させ、押圧接触状態を保持したまま再固形化する温度に冷却した後、離型して一次成形体４１′を形成する工程、（ｃ）一次成形体４１′にフォトマスク７を介して選択露光して選択硬化させる工程、（ｄ）未露光部分を除去して樹脂成形体６を形成する工程を行う。 （もっと読む）

【課題】表面に該表面と異なる色のステッチ模様を設けた部材の製造方法を提供する。
【解決手段】前工程において所要形状に成形した合成樹脂製の基材１０の表面に向けレーザー光を照射して、基材１０の表面１２を変色させてステッチ模様ＳＴの糸部２０を形成すると共に、糸部２０の端部には表面１２から陥凹状に彫り込んだ針穴部２２を形成する。なお、基材１０を成形する樹脂材料には、レーザー光の照射により変色または発色する添加剤が添加されている。 （もっと読む）

【課題】レーザー光の照射領域の樹脂成形品の表面とレーザー光を照射しない部分とで色目が異なる、意匠性に富んだレーザーエッチング品の製造方法を提供する。
【解決手段】レーザー光照射によりレーザー光３が照射された領域が変色する樹脂成形品１の上に加飾層２が積層された加飾成形品６に対し、表面に加飾層２が積層された側から加飾成形品６の一部にレーザー光３を照射して、レーザー光３が照射された領域の加飾層２を除去し、さらにレーザー光３の照射を継続してその領域の樹脂成形品表面を変色させることにより変色部４を形成する。 （もっと読む）

【課題】エッチング性に優れ、基板との接着性の高い感光性組成物を提供する。
【解決手段】少なくとも、Ｉ／Ｏ値が０．５以下のシランカップリング剤（Ａ）と、Ｉ／Ｏ値が０．５を超えるシランカップリング剤（Ｂ）を含有する感光性組成物。 （もっと読む）

【課題】安価にナノインプリント用金型を製造することが可能なナノインプリント用金型の製造方法を提供する。
【解決手段】表面に微細な凹凸が形成されたマスタ基板に対して、添加剤が添加された第一樹脂材料を接合させて押圧し、熱転写法により第一樹脂材料を固化させることにより凹凸を転写させる（第一接合工程、第一熱転写工程）。マスタ基板を剥離した後（第一除去工程）、凹凸が形成された第一樹脂材料に対して、添加剤が添加された第二樹脂材料を接合させて押圧し、熱転写法により第二樹脂材料を固化させることにより凹凸を転写させる（第二接合工程、第二熱転写工程）。第一樹脂材料を剥離させた後の第二樹脂材料を電気鋳造の母型とし、電気鋳造法により第二樹脂材料表面に金属を電着させる。そして第二樹脂材料を溶解させることにより、ナノインプリント用金型を製造する。 （もっと読む）

【課題】低温・低圧・短時間の単一条件下で、高アスペクト比でナノメートルからマイクロメートルオーダーの微細パターンを一括形成する方法を提供すること。
【解決手段】本発明の微細パターン形成方法は、ポリシランとシリコーン化合物とを含むパターニング材料を基板に塗布する工程と；所定の微細パターンが形成されたモールドを、該塗布されたパターニング材料に圧接する工程と；該モールドと該パターニング材料とを圧接した状態で、該基板側からエネルギー線を照射する工程と；該モールドを離型する工程と；該パターニング材料に、該モールドが圧接されていた側からエネルギー線を照射する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、スタンパの微細な凹凸を有する型面に放射線硬化型樹脂を塗布もしくは充填し、基材を積層した後、放射線を照射して、前記放射線硬化型樹脂の硬化物と前記基材とを重合接着させる工程を含む光学物品の製造方法において、スタンパの凹凸型面から容易に剥離でき、光学物品の微細な凹凸パターン形状の歪みを抑制すると共に、紫外線による劣化を防止する光学物品の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】スタンパの微細な凹凸を有する型面に放射線硬化型樹脂を塗布もしくは充填し、基材を積層した後、放射線を照射して、前記放射線硬化型樹脂の硬化物と前記基材とを重合接着させる工程を含む光学物品の製造方法であって、前記スタンパが放射線透過性を有しており、放射線の照射はスタンパ側から行うことを特徴とする光学物品の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】微細パターン形成体の製造方法を提供する。
【解決手段】基板と表面に微細パターンを有するモールドとを組み合わせて、重合性モノマー、含フッ素ポリマー、および重合開始剤を含む硬化性組成物を、該基板表面と該モールドのパターン面との間に挟持させる工程、前記硬化性組成物中の重合性モノマーを重合させて該組成物を硬化物とする工程、モールドを硬化物から剥離して基板と一体の微細パターン形成体を得る微細パターン形成体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 微細なパターンの意匠でも容易に、簡素な設備で、低コストで、樹脂表面に加飾する。
【解決手段】 レーザー照射前にレーザー吸収性材料又は結晶性樹脂を第１のローラーにより基材樹脂表面に塗布する工程と、レーザーを用いて樹脂表面を選択的に加熱・溶融する工程と、レーザー照射後に該レーザー吸収性物質又は結晶性樹脂を第２のローラーにより基材樹脂表面に定着させる工程とを含む樹脂の加飾方法。 （もっと読む）

本発明のナノパターニング方法は、レジストフィルム(12)を形成する工程、及び該レジストフィルム(12)にパターンを形成する工程を含む。該レジストフィルム(12)は、少なくとも2つのビニル基を持つ有機シリコーン化合物、該有機シリコーン化合物とは異なる、有機シリコーン架橋剤、触媒、及び触媒阻害剤を含む。硬化されたレジストフィルム(12)は、該触媒及び該触媒阻害剤の存在下で生成された、該有機シリコーン化合物と、該有機シリコーン架橋剤との間の反応生成物を含む。本発明の物品(10)は、基板(14)を含み、また該硬化されたレジストフィルム(12)は、該基板(14)上に設けられる。該レジストフィルム(12)における該触媒阻害剤の存在のために、該レジストフィルム(12)は、硬化を伴うことなしに、室温にて何時間にも渡り、取扱うことができる。同時に、該レジストフィルム(12)は、工業的に価値あるものと考えられる、十分に短い期間内に硬化する。 （もっと読む）