【課題】基板の表面へのソフトリソグラフィ・スタンプまたはマクロスタンプの印加圧力を、簡単に効率的に制御でき、自動化を促進する装置及び方法を提供する。
【解決手段】基板にマイクロ構造またはナノ構造の被着を実現できる可撓性スタンプを備える、転写によるソフトリソグラフィ用装置であって、該可撓性スタンプ１が、転写によって被着を実現できる構造面３１を、その片面に備えるエラストマ製層３と、該第１層３の構造面に対向する面に密接した状態のエラストマ製第２層２であって、軟強磁性材料から成る粒子を分散させたエラストマから成る第２層２とから成ることを特徴とする装置。 （もっと読む）

【課題】製造ラインを止めることなく、用途の異なる光学フィルムの連続的製造、ロールの交換およびロールの清掃が可能な光学フィルムの製造装置を提供すること。
【解決手段】１以上の鋳型ロール２および１以上の鏡面ロール３を備えた凹凸転写手段１０を有し、該凹凸転写手段においてポリマーフィルム１を鋳型ロール２と鏡面ロール３に交互に張架させて搬送することにより、鋳型ロール表面の凹凸形状をポリマーフィルムに転写させる光学フィルムの製造装置であって、前記凹凸転写手段１０におけるロールのうち少なくとも１つのロールが位置変更可能な可動式であることを特徴とする光学フィルムの製造装置。 （もっと読む）

【課題】耐久性が高く優れた離型性を具備したナノインプリント用のモールドと、このようなモールドを簡便に製造するための製造方法を提供する。
【解決手段】ナノインプリント用モールド１を、基材２と、基材２の一方の面２ａを被覆する樹脂層３と、この樹脂層３の面３ａに位置する凹部４とを備えたものとし、樹脂層３を表面の水接触角８０°以上、ＨＶ硬度４００以上とし、このようなナノインプリント用モールド１は、塗布工程にて、基材２の一方の面２ａに少なくともオルガノポリシロキサンと光触媒とを含有してなる塗布液を塗布して濡れ性変化樹脂材料層３′を形成し、乾燥工程にて、濡れ性変化樹脂材料層３′とマスターモールド１１を圧着し、その状態で濡れ性変化樹脂材料層３′に乾燥処理を施して樹脂層３を形成し、剥離工程にて、樹脂層３とマスターモールド１１とを離間することで形成する。 （もっと読む）

【課題】裏側に研削で凹部を形成した場合にマスクブランク用基板の内部に残留する応力を低減し、マスクブランク用基板の表側の平坦度を高く維持する。
【解決手段】インプリントモールドを作製するためのマスクブランクに用いられるマスクブランク用基板を製造する方法である。この製造方法は、対向する第１の主表面ＳＦ１及び第２の主表面ＳＦ２を備える基板１１を準備する工程と、第１の主表面ＳＦ１に小孔ＳＣＶを形成する小孔形成工程と、小孔ＳＣＶの底面ｂｆ１近傍の側壁ｓｄ１を切削して小孔ＳＣＶの底面ｂｆ１を広げる底面拡大工程と、広げられた底面ｂｆ２の上にある小孔の側壁ｓｄ１を除去する側壁除去工程とを備える。底面拡大工程と側壁除去工程とを交互に実施することにより、第１の主表面ＳＦ１に所定の大きさを有する凹部ＣＶを形成する。 （もっと読む）

【課題】精度よく位置合わせを行うことができるインプリントマスク、その製造方法、及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】インプリントマスク１は、石英板１０からなり、石英版１０の上面の一部に複数の凹部１１が形成されており、前記石英板１０における前記凹部１１間の部分が凸部１２となっている。そして、凸部１２、すなわち、凹部１１間の部分には不純物としてガリウム（Ｇａ）が含有されている。このガリウムは、上方からイオン注入されて導入されたものである。これにより、凸部１２内には、ガリウム拡散層１６が形成される。 （もっと読む）

【課題】裏側に研削で凹部を形成した場合にマスクブランク用基板の内部に残留する応力を軽減し、マスクブランク用基板の表側の平坦度を高く維持する。
【解決手段】インプリントモールドを作製するためのマスクブランクに用いられるマスクブランク用基板の製造方法である。この製造方法は、対向する第１の主表面ＳＦ１及び第２の主表面ＳＦ２を備える基板１１を準備する工程と、第１の主表面ＳＦ１における所定の領域を第２の主表面ＳＦ２の方向に研削して、凹部ＳＣＶを形成する研削工程と、凹部ＳＣＶの底面ｂｆ１に対し、第２の主表面ＳＦ２の方向に所定量のエッチングをさらに行い、所定深さの凹部ＣＶを形成するエッチング工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】磁気ディスク記録媒体の磁気情報の記録および再生の精度が低下しないスタンパまたは磁気転写マスターの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】（ａ）表面にレジスト膜を有する円環状基板を提供する工程と、（ｂ）電子線リソグラフィー法を用いて前記レジスト膜中にダミーパターンを有する凹凸パターンを形成する工程と、（ｃ）前記レジスト膜を現像して、前記描画パターンとダミーパターンを有するレジスト原盤を形成する工程と、（ｄ）前記レジスト原盤に電鋳を行い、ダミーパターンを有する電鋳マスターを形成する工程と、（ｅ）前記電鋳マスターからダミーパターンを除去して、円環状磁気ディスク記録媒体製造用のインプリントスタンパを形成する工程を含むことを特徴とするインプリントスタンパの製造方法。 （もっと読む）

【課題】連続的に生産できるモールドシートの製造方法を提供する。
【解決手段】基材が巻き取られた供給ロール及びエンボスロールを準備する（Ｓ１）。供給ロールから基材を巻きだし、基材をエンボスロールに搬送する。そして、基材とエンボスロールとの間に、シリコーン組成物からなる未硬化層を形成し、未硬化層を基材とエンボスロールとにより挟む（Ｓ２）。エンボスロールを加熱しながら回転し、未硬化層の表面に複数のエンボスパターンを転写しながら未硬化層を熱硬化する（Ｓ３）。熱硬化された未硬化層が形成された基材を、エンボスロールから剥がした後、未硬化層をさらに熱硬化してシリコーン層を形成する（Ｓ４）。 （もっと読む）

【課題】表面に離型層が形成された母材の欠損部分を補修することができるテンプレート補修方法、パターン形成方法及びテンプレート補修装置を提供する。
【解決手段】実施の形態のテンプレート補修方法は、母材と前記母材のパターン面に形成された第１の離型層とを備えたテンプレートの補修方法であって、前記パターン面に前記母材に対して親和性を有し、かつ、前記離型層に対して非親和性を有する材料を供給する。 （もっと読む）

【課題】インプリント用モールドの製造において微細なモールドパターンを高いパターン精度で形成することができるマスクブランクを提供する。
【解決手段】透光性基板１と該基板の表面に接して形成された薄膜２とを有するマスクブランク１０であって、上記薄膜２は、ケイ素（Ｓｉ）を含有する材料、またはタンタル（Ｔａ）を含有する材料で形成された上層４と、ハフニウム（Ｈｆ）およびジルコニウム（Ｚｒ）のうちの少なくとも一方を含有し、かつ酸素を実質的に含有しない材料で形成された下層３との積層膜からなる。 （もっと読む）

【課題】均一性の高い離型層をテンプレート表面に形成する。
【解決手段】本実施形態によれば、テンプレートの表面処理方法は、凹凸を有するパターン面を備えたテンプレートの表面を水酸化するか又は前記表面に水を吸着させて、前記表面にＯＨ基を分布させる工程と、前記ＯＨ基が分布したテンプレート表面にカップリング剤を結合させる工程と、を備える。これらの処理は、アミンが所定濃度以下に管理された環境で行われる。 （もっと読む）

【課題】表面に微細な凹凸パターンが形成された樹脂シート状物の効率的な製造方法を提供する。
【解決手段】表面に陽極酸化ポーラスアルミナまたはそれを鋳型として作製した凹凸パターンが形成された回転冷却ロール上に、溶融樹脂をスリットからシート状に連続的に押し出し、冷却ロール表面の凹凸パターンを溶融樹脂に転写した後冷却固化することを特徴とする、表面に微細な凹凸パターンが形成された樹脂シート状物の製造方法、およびその方法により製造された樹脂シート状物。 （もっと読む）

【課題】インプリント耐性を十分に備えながらも、精度良くパターンを転写させる。
【解決手段】インプリントにより所定のパターンを被転写物に転写するための元型モールド３０に離型層が設けられる離型層付きモールドにおいて、前記離型層に含まれる化合物の分子鎖における主鎖にはフルオロカーボンが含まれ、前記化合物の分子鎖は、元型モールドに対して吸着している吸着官能基を少なくとも２個以上有し、前記吸着官能基において、前記吸着官能基と元型モールドとの吸着の元となる結合エネルギーが、前記化合物の分子鎖における吸着官能基同士の結合エネルギーよりも大きい。 （もっと読む）

【課題】反りのある基板に容易に凹凸構造を形成可能な治具を提供する。
【解決手段】被加工物７０の上面に被覆された液状樹脂７６に凹凸構造６４を形成するための治具６２であって、中央に形成された円形凹部と、該円形凹部を囲繞する環状凸部５８と、該円形凹部の背面上に形成された凹凸構造６４とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高い防眩機能を示す防眩性フィルムの製作に有用な、防眩層形成用金型を提供し、さらに、その金型を用いて、優れた防眩機能を示しながら、白ちゃけによる視認性の低下が十分に防止され、高精細の画像表示装置の表面に配置したときにぎらつきの発生しない防眩性フィルム、及び防眩性板を製造する方法を提供する。
【解決手段】金型を構成する金属部材の一面にブラスト処理することにより微細凹凸構造（Ａ）を有する面を形成し、その面上に電解ニッケルめっき層を設けることにより微細凹凸構造（Ｂ）を有する面を形成する防眩層形成用金型の製造方法であって、微細凹凸構造（Ａ）の平均長さＳｍ１、算術平均傾斜角Ｒ△ａ１、及び算術平均高さＲａ１、並びに微細凹凸構造（Ｂ）の平均長さＳｍ２、算術平均傾斜角Ｒ△ａ２、及び算術平均高さＲａ２が特定の範囲にある防眩層形成用金型の製造方法。 （もっと読む）

【課題】太陽電池セル３０に効率的に集光可能なシートを成形可能な円筒状の金型Ｓ、その金型Ｓにより成形されたシート、及びそのシートを使用した太陽電池モジュール２００を提供する。
【解決手段】金型Ｓは、表面に凹凸形状を有する成型部が形成された円筒状の金型本体Ｓ１を備える。上記成型部に形成される凹凸形状として、軸方向に延びる溝が円周方向に沿って複数形成されたひだ部Ｐ１と、円周方向に延びる溝が軸方向に沿って複数形成された帯状溝部Ｂ１と、を有する。この金型Ｓを使用してシートを成型し、太陽電池モジュール２００に用いる。 （もっと読む）

【課題】離型性に優れる原版シートを簡便に製造できる原版シートの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の原版シートの製造方法は、加熱収縮性樹脂フィルムの片面または両面に、表面が平滑な樹脂製の硬質層を形成して、積層シートを得る硬質層形成工程と、前記積層シートを加熱収縮させることにより、硬質層を折り畳むように変形させて、硬質層の表面に凹凸パターンが形成された凹凸パターン形成シートを作製する凹凸パターン形成シート作製工程と、前記凹凸パターン形成シートに形成された凹凸パターンの表面に、金属または金属化合物からなる金属含有層を形成する金属含有層形成工程と、前記金属含有層の露出面に、フッ素系離型剤を含有する離型剤層を形成する離型剤層形成工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】表面に微細パターンが形成された熱可塑性樹脂材を熱インプリント法によって効率よく作製できる技術を提供する。
【解決手段】ガラス転移点以上の温度に加温した熱可塑性樹脂材の表面に微細な凹凸パターン形成を行うための耐熱性と強度を併せ持つモールドであって、アルミニウム材の陽極酸化によって形成される表面に規則的なホールアレー構造を有する陽極酸化ポーラスアルミナ層を有することを特徴とする熱インプリント用モールド、およびその製造方法、並びにそのモールドを用いた樹脂材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】アライメントマークが形成された台座付きの基板を作製するにあたって、アライメントマークと台座の相対的な位置ずれを低減する。
【解決手段】本発明の基板作製方法は、光透過性の基板１の第１の主面上に、この基板１に形成すべきアライメントマーク５と台座の位置に応じたハードマスク２ａを形成する工程と、そのハードマスク２ａを用いて基板１をエッチングすることにより、基板１の第１の主面にアライメントマーク５を形成する工程と、基板１の第１の主面上にハードマスク２ａを覆う状態でレジスト層６を形成した後、このレジスト層６に基板１の第２の主面側から露光用の光を照射することにより、レジスト層６を露光する工程と、そのレジスト層６の露光部分を現像により除去して得られるレジストパターン６ａをマスクに用いて基板１をエッチングすることにより、基板１の第１の主面側に台座を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、パターン部の凹部における樹脂の充填性および離型性が良好なナノインプリントモールドを得ることを主目的とする。
【解決手段】本発明は、凸部および凹部を有するパターン部、ならびに上記凸部の頂部に形成された金属膜を備えるモールド部材を準備し、第一離型剤を用いて、上記凹部の側壁部および底部、ならびに上記金属膜の表面に第一離型層を形成する第一離型層形成工程と、上記第一離型層を表面上に有する上記金属膜を剥離する金属膜剥離工程と、上記金属膜を剥離することにより露出した上記凸部の頂部に、第二離型剤を用いて、上記第一離型層よりも撥液性の高い第二離型層を形成する第二離型層形成工程と、を有することを特徴とするナノインプリントモールドの製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）