【課題】熱によるスタンパの寸法変化を防止され、製造コストを削減可能なインプリント装置を提供すること。
【解決手段】表面に凹凸パターンを有するスタンパ５６を、基板５２上に供給された紫外線硬化樹脂材料５４の上に配置し、該スタンパ５６の背面を流体を用いて加圧することにより該スタンパ５６を押圧し、紫外線を照射することにより、前記紫外線硬化樹脂材料５４を硬化させ、前記基板５２の表面に前記凹凸パターンの反転凹凸パターンを形成するインプリント装置１０において、前記基板５２を保持する保持部材１４と、前記保持部材１４と対向する耐圧体１２と、前記紫外線の光源２０と、を有し、前記耐圧体１４はその底部に導光板１６を収容し、該導光板１６は前記保持部材１４と対向して配置されており、前記光源２０から発生した紫外線は、該導光板の側面１６ｂから入射して該導光板１６の前記保持部材１４側から出射し、前記紫外線硬化樹脂材料に照射されることを特徴とするインプリント装置。 （もっと読む）

【課題】熱によるスタンパの寸法変化が防止され、製造コストが削減されたインプリント装置を提供すること。
【解決手段】表面に凹凸パターンを有するスタンパ５６を、基板５２上に供給された紫外線硬化樹脂材料５４の上に配置し、該スタンパ５６の背面を流体を用いて加圧することにより該スタンパ５６を押圧し、紫外線を照射することにより、前記紫外線硬化樹脂材料５４を硬化させ、前記基板５２の表面に凹凸パターンを形成するインプリント装置１０において、前記基板５２を保持する保持部材１４と、前記保持部材１４と対向する耐圧体１２と、を有し、前記耐圧体１２は、その底部に前記紫外線硬化樹脂材料５４に紫外線を照射するＬＥＤ１６を備え、且つ前記耐圧体１２の底部と前記保持部材１４とが対向するように配置されていることを特徴とするインプリント装置。 （もっと読む）

【課題】装置内において基板上に存在する異物を検出することができる技術を提供する。
【解決手段】基板上の樹脂とモールドとを接触させた状態で当該樹脂を硬化させ、硬化した樹脂から前記モールドを剥離することで前記基板上にパターンを転写するインプリント処理を行うインプリント装置であって、前記基板上に存在する異物を検出する検出部を有し、前記検出部は、前記基板上に光を照射して前記基板上からの光を取得する取得部と、前記取得部で取得された光に基づいて、前記基板上に存在する異物が位置するショット領域を特定する特定部と、を含み、前記光は、前記基板上の複数のマーク又は複数のパターンからの光と、前記基板上に存在する異物からの光とを含み、前記特定部は、前記複数のマーク又は前記複数のパターンからの光から前記基板上の複数のショット領域の配列を特定し、前記異物からの光に基づいて前記特定した複数のショット領域のうち前記異物が存在するショット領域を特定することを特徴とするインプリント装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】正確なパターン形成とスループットとの両立に有利なインプリント装置を提供する。
【解決手段】インプリント装置１は、基板１０上のインプリント１２材を型８により成形して硬化させ、基板１０上にパターンを形成するものである。インプリント装置１は、基板１０上のインプリント材１２と型８との間にガスを供給する供給手段６を有する。この供給手段６は、型８、インプリント材１２および基板１０の少なくとも１つを透過する透過性ガスと、成形により生じる圧力により液化する凝縮性ガスとを混合した混合ガスを供給する。 （もっと読む）

【課題】型（モールド）の倍率補正を高精度に実施する点で有利な保持装置を提供する。
【解決手段】インプリント用の型７を保持する保持装置３は、型７を引きつけて保持する複数の吸着部２３と、複数の吸着部２３を支持する支持部１５とを含むチャック１１と、支持部１５に支持され、力を加えて型７を変形させるアクチュエーター３２と、を有し、吸着部２３の少なくとも１つは、アクチュエーター３２により加えられる力の方向に変位可能に支持部１５に支持されている。 （もっと読む）

【課題】建材や家具などの化粧シートの表面への凹凸装飾パターン（エンボス）付与技術、および偽造防止向けの意匠性の高いエンボスホログラムパターン付与技術における、エンボスパターンと絵柄の同調におけるエンボス寸法・見当の修整方法およびそれを実現できる連続エンボス機を提供する。
【解決手段】熱可塑性樹脂フイルム１６の搬送方向に、マーク印刷機４、加熱装置５、凹凸付与版６、マーク位置検出器８、テンション調節ロール９、冷却装置１０を備えた連続エンボス機を用いて、前記熱可塑性樹脂フイルム１６が、加熱状態において凹凸形状パターンを付与された後、前記熱可塑性樹脂フイルム１６の右側か、左側が伸ばされて凹凸形状パターンが崩れ始めるのを検知して、元の凹凸形状パターンに修整することができるものである。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリント用のメサ型のモールドの洗浄においてモールドの破損を抑制する。
【解決手段】ナノインプリントに使用したレジストの残渣が付着した状態のナノインプリントモールドに施される洗浄方法において、平板状の支持部１１と、該支持部の一面にありかつ該一面から所定の高さを有するメサ部１２を有するモールド１が凹凸パターン領域Ｒ１上にフッ素化合物を含有する離型層１４を備えた状態で、上記モールド１を洗浄液に浸漬して超音波洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】１つ以上のブロック共重合体および１つ以上のナノインプリントステップを製造プロセスに組込むことによってナノパターン化するための方法を提供する。
【解決手段】ブロック共重合体は有機もしくは無機成分で構成され得、層状、球状、または円筒状であり得る。その結果、５〜１００ｎｍの特徴ピッチおよび／または少なくとも１Ｔｄｐｓｉのビット密度を有する一次元もしくは二次元のパターンを有するパターンド媒体が形成され得る。 （もっと読む）

【課題】テンプレートに付けたパターンを印写可能媒体に印写することによってパターンを基板に転写する印写リソグラフィで、この印写可能媒体として熱可塑性または熱硬化性樹脂を使うとき、それだけを必要な温度に迅速に加熱する装置・方法を提供する。
【解決手段】テンプレート３０の転写すべきパターンの上に薄い金属層３５が設けてあり、このテンプレート３０を印写可能媒体３４に接触させ、それとそれを保持するホルダ３１を通してレーザ３６のビーム３７で照射する。このビーム３７を金属層３５が効率的に吸収し、この金属層からの熱を印写可能媒体３４へ効率的に伝達するので、印写可能媒体３４の加熱が迅速であり、熱が基板３２に入って基板を歪めることがない。 （もっと読む）

【課題】生産性を低下させることなく、インプリント領域に存在する異物を効率良く検出するインプリント装置を提供する。
【解決手段】このインプリント装置は、モールド３を保持する保持手段４と、基板５上にて樹脂のパターンを形成するインプリント領域１５に、異物が存在するかどうかを検査する異物検査手段８ａと、インプリント領域１５に未硬化樹脂を塗布する塗布手段７ａと、保持手段４に対してインプリント領域１５を相対的に移動させる移動手段６と、各構成要素の動作を制御する制御手段とを備える。移動手段６は、異物検査手段８ａによる検査位置、塗布手段７ａによる塗布位置、及び保持手段４による押印位置のそれぞれにインプリント領域１５を移動可能である。また、制御手段は、移動手段６によるインプリント領域の動きと連動させて、異物検査手段８ａに対してインプリント領域の検査を実施させる。 （もっと読む）

【課題】モールドの離型中における計測器による計測の正確さの点で有利なインプリント装置を提供する。
【解決手段】型を保持する保持部と、基板または前記型の位置決めに係る物体の位置を計測する計測器と、前記保持部を支持する第１支持体と、前記計測器を支持する第２支持体と、前記第１支持体および前記第２支持体を支持する第３支持体と、前記第３支持体の鉛直方向上方、かつ、前記第１支持体と前記第２支持体との間に設けられ、鉛直方向の剛性がそれ以外の方向の剛性より高い継手機構と、を有し、前記第３支持体は、前記第１支持体および前記第２支持体の一方および前記継手機構を介して前記第１支持体および前記第２支持体の他方を支持する。 （もっと読む）

【課題】転写の際に、被成形品に気泡が発生することを防止することができ、転写のための押圧力を小さくすることができ、さらに、被成形品と型との型離れがよい転写装置を提供する。
【解決手段】基板テーブル１０３と、基板テーブル１０３に対して相対的に移動自在な型保持体１０５と、型保持体１０５をＹ軸方向で基板テーブル１０３に対して相対的に移動位置決めするための駆動手段と、型保持体１０５をＺ軸方向で基板テーブル１０３に対し接近・離反する方向で相対的に移動位置決めするための駆動手段と、型保持体１０５に保持されている型５５の転写パターンが形成されている面に、薄膜状の被成形層１６を設ける被成形層設置手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】基板の表面を改質し、当該基板の表面と結合対象物との密着性を向上させる。
【解決手段】表面改質ユニットにおいて、テンプレートの表面に紫外線を照射し、当該テンプレートの表面を洗浄する（工程Ａ２）。続いて、表面改質ユニットにおいて、テンプレートの表面に紫外線を照射しながら、当該テンプレートの表面に表面改質液を供給して、テンプレートの表面に多量の水酸基を付与する（工程Ａ３）。その後、塗布ユニットにおいて、テンプレートの表面に紫外線を照射しながら、当該テンプレートの表面に離型剤を塗布する（工程Ａ４）。その後、リンスユニットにおいて、離型剤をリンスして、当該離型剤の未反応部を除去する（工程Ａ５）。こうしてテンプレートの表面に離型剤が所定の膜厚で成膜される。 （もっと読む）

【課題】一旦形成されたパターンを変化させることができる新規なパターンを有する構造体の製造方法及び装置、モールドの製造方法を提供する。
【解決手段】
パターンを有する構造体の製造方法において、
弾性変形し得る被加工物を、第１の状態から面内方向に弾性変形させ、
変形状態の前記被加工物の表面上に、前記被加工物とは異なる材料を含み構成されるパターン部材を形成し、
前記パターン部材と前記被加工物との接触面積は維持したまま、前記被加工物を前記第１の状態に近づけ又は前記第１の状態に戻すようにする。
【選択図】 図８
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【課題】微細な転写パターンが外周に形成されている転写ロールに付着している不要物を除去するときに、前記転写ロールの微細な転写パターンに傷がつくことを防止する。
【解決手段】外周に微細な転写パターン１１が形成されている転写ロール９を、粘着剤４３を用いて掃除するように構成されている転写ロール清掃装置５である。 （もっと読む）

【課題】シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写した後、被成型品に貼り付いているシート状モールドを被成型品から剥がすモールド剥離装置において、装置の構成を簡素化する。
【解決手段】転写装置５から離れた箇所に位置しお互いがくっついているモールドＭＡと被成型品Ｗとのうちの被成型品Ｗを保持する被成型品保持体１９と、被成型品保持体１９で保持された被成型品Ｗに貼り付いているモールドＭＡが巻き掛けられ被成型品保持体１９に対して移動することで、被成型品ＷからモールドＭＡを剥がす剥離ローラ２３とを有するモールド剥離装置７である。 （もっと読む）

【課題】 空気と置換するためのガスの供給量を必要最小限に低減したインプリント装置を提供する。
【解決手段】 インプリント装置は、テンプレートを保持する保持部と、基板を保持するステージと、前記テンプレートを囲むように配置された複数のガス供給開口を介して前記テンプレートと前記基板との間の空間に空気と置換するためのガスを供給するガス供給部と、前記複数のガス供給開口を囲むように前記保持部の前記ステージ側の表面に形成された第１ガス回収開口を介して前記ガスを回収する第１ガス回収部と、前記基板を囲むように前記ステージに形成された第２ガス回収開口から前記ガスを回収する第２ガス回収部と、前記第１ガス回収開口により囲まれる第１領域と、前記第２ガス回収開口により囲まれる第２領域とが重なり合う第３領域が形成される場合に、前記複数のガス供給開口のうち前記第３領域内に位置するガス供給開口のみから前記ガスを供給するように前記ガス供給部を制御する制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被転写基板の局所的な突起に追従し、パターン転写不良領域を低減することが可能で、耐久性のあるスタンパおよび転写方法を提供する。
【解決手段】表面に凹凸形状が形成されたインプリント用スタンパにおいて、前記凹凸形状が形成された樹脂製のパターン層と、前記パターン層の裏面に配置された樹脂製の緩衝層と、前記緩衝層の裏面に配置された基材層とを有し、前記緩衝層のヤング率が前記パターン層のヤング率よりも小さく、前記基材層のヤング率が前記緩衝層のヤング率よりも大きいことを特徴とするインプリント用スタンパ。 （もっと読む）

【課題】 インプリント処理がなされる空間内の気体がインプリント装置外に流出することの防止とインプリント装置外のパーティクルが前記空間内に流入することの防止との両立。
【解決手段】 インプリント装置は、モールド１１を保持するヘッド１２と、基板１３を保持するステージ１４と、樹脂を前記基板に塗布する塗布機構２０と、インプリント処理がなされる第１空間Ａとその外側の第２空間Ｂとの境界を定める第１隔壁４１と、前記第２空間とその外側の第３空間Ｃとの境界を定める第２隔壁４０と、を備え、前記第２空間を経由した前記第１空間と前記第３空間との間の気体の流通を阻害するように前記第２空間の圧力を調節する。 （もっと読む）

【課題】プレス時の金型と基板との接触面内における圧力分布を均一化できるホットエンボス治具及びこれを用いた熱プレス装置を提供する。
【解決手段】本発明のホットエンボス治具は、熱可塑性を有する板状の基板６の表面６ａに所定のパターンを転写するためのホットエンボス治具であって、一主面７ｂに、所定のパターン７ａが形成されたパターン領域を有する平板状の第１の金型７と、一主面９ｂが第１の金型７のパターン形成されている側の主面７ｂに対向して配置され、第１の金型７との間で基板６を挟持可能な平板状の第２の金型９と、第１の金型７及び第２の金型９のうち、少なくとも一方の金型の基板６が接する主面とは反対側の主面に密着して配置された、耐熱性を有する弾性シート１０と、弾性シート１０の外周部分１０ａを囲むように配置された抑え部材１１とを備える。 （もっと読む）