【課題】ＺｎＯ原料粉末に添加される、希土類元素を２種以上１７種以下含む希土類元素酸化物粉末の偏析を抑制し、組成均一性に優れたＺｎＯ蒸着材を製造するとともに、膜組成が均一なＺｎＯ膜が得られるＺｎＯ蒸着材を製造する。
【解決手段】ＺｎＯ原料粉末１２と希土類元素を２種以上１７種以下含む希土類元素酸化物粉末１３との原料混合粉末１４を用い、ドクターブレード法により得られたグリーンシートから、グリーン単層体１９或いはグリーン積層体２０又は２９を作製し、これを焼成後に粉砕して混成粉末２５又は３１を作製する。この混成粉末を用いて造粒粉末を作製し、成形、焼結を経て、希土類元素を含むＺｎＯ焼結体からなるＺｎＯ蒸着材３４を作製する。 （もっと読む）

【課題】密度が十分に高く、比抵抗も十分に低い酸化亜鉛系スパッタリングターゲットおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ドーパント材料としてγ−Ａｌ₂ Ｏ₃ を用いて酸化亜鉛系スパッタリングターゲットを製造し、この酸化亜鉛系スパッタリングターゲットを用いてスパッタリング法により酸化亜鉛系透明導電膜を成膜する。γ−Ａｌ₂ Ｏ₃ は１〜３重量％含有させる。酸化亜鉛系スパッタリングターゲットは、酸化亜鉛粉末とγ−Ａｌ₂ Ｏ₃ 粉末とを混合し、この混合粉末を１１５０〜１３００℃で焼結することにより製造する。γ−Ａｌ₂ Ｏ₃ の粒子サイズは好ましくは０．５μｍ以下とする。 （もっと読む）

【課題】スパッタリング中の異常放電現象の発生を制御し、パーティクルによる歩留まり低下を抑制することができる複合酸化物焼結体を提供する。
【解決手段】亜鉛と、酸素イオンに６配位を仮定したときのイオン半径が０．７〜１．１Åの正三価以上の価数を取り得る元素Ａ、酸素イオンに４配位を仮定したときのイオン半径が０．５〜０．７Åの正三価以上の価数を取り得る元素Ａとは異なる元素Ｍをそれぞれ少なくとも１種以上含み、Ｃｕを線源とするＸ線回折パターン（ＸＲＤ）の２Θ＝３０〜４０°の範囲内に検出される回折ピークが六方晶系ウルツ型構造に帰属される（１００）面、（００２）面、（１０１）面のみから構成されることを特徴とする複合酸化物焼結体とすることで、異常放電現象の発生を制御し、パーティクルによる歩留まり低下を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】割れ及びアーキングの発生が少ない酸化亜鉛焼結体からなるスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】焼結体密度が５．３〜５．５ｇ／ｃｍ^３であって、ヤング率と曲げ強度の比Ｅ／σが３００〜１５００である酸化亜鉛焼結体を用いたスパッタリングターゲット。酸化亜鉛焼結体はＺｎＯを主体とし、ＺｎＯの粒界及び粒子内に存在するＡｌ_２Ｏ_３と、ＺｎＯとＡｌ_２Ｏ_３の反応により生成し、ＺｎＯの粒界及び粒子内に存在するＺｎＡｌ_２Ｏ_４とからなる。 （もっと読む）

【課題】ターゲット材として使用したときに割れ及びアーキングの発生が少ない酸化亜鉛焼結体を提供する。
【解決手段】ＺｎＯを主体とし、ＺｎＯの粒界及び粒子内に存在するＡｌ_２Ｏ_３と、ＺｎＯとＡｌ_２Ｏ_３の反応により生成し、ＺｎＯの粒界及び粒子内に存在するＺｎＡｌ_２Ｏ_４とからなり、ＺｎＯの平均粒径Ｄ１とＺｎＡｌ_２Ｏ_４の平均粒径Ｄ２との比Ｄ１／Ｄ２が０．１〜６０であることを特徴とする酸化亜鉛焼結体。ＺｎＯの粒界に存在するＺｎＡｌ_２Ｏ_４粒子の個数と、粒内に存在するＺｎＡｌ_２Ｏ_４粒子の個数の比が粒内／粒界で０．１５〜０．３５である。 （もっと読む）

一つの例の実施形態において、半導体性のカルコゲニドのフィルムを堆積させるためのスパッターのターゲットの構造は、記載される。スパッターのターゲットは、少なくともおおよそ２Ｎ７のカルコゲニドの合金の純度、個々に酸素（Ｏ）、窒素（Ｎ）、及び水素（Ｈ）について５００ｐｐｍと比べてより少ない気体の不純物、並びに、５００ｐｐｍと比べてより少ない炭素（Ｃ）の不純物を有する少なくとも一つのカルコゲニドの合金を備えるターゲットの本体を含む。特定の実施形態において、少なくとも一つのカルコゲニドの合金のカルコゲニドは、ターゲットの本体の組成物の少なくとも２０原子パーセントを備えると共に、カルコゲニドの合金は、カルコゲニドの合金についての理論的な密度の少なくとも９５％の密度を有する。
（もっと読む）

【課題】 低温域における電気伝導性が良好なｎ型熱電素子を得ることができるｎ型熱電素子用組成物を提供する。
【解決手段】 ｎ型熱電素子３の材料となるｎ型熱電素子用組成物は、金属元素比率でＣａとＭｎとの合計が１００ｍｏｌ％になるようにＣａ：４０〜６０ｍｏｌ％、Ｍｎ：４０〜６０ｍｏｌ％を含有したＣａＭｎＯ_３に、Ｎｂを添加してなるものである。このとき、Ｎｂは、Ｃａ及びＭｎを上記の比率で含有するＣａＭｎＯ_３に、ＣａとＭｎとの合計１００ｍｏｌ％に対して元素換算で１０〜３０ｍｏｌ％だけ添加されている。これにより、低温域における比抵抗ρを小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】 安価な方法で高密度かつ均一な組織の円筒型の酸化物焼結ターゲット材を得ることが可能な製造方法を提供する。
【解決手段】 酸化物粉末を含むスラリーを円筒形状の吸水型に注入した後、前記吸水型の円筒内壁にスラリーを沈降させながら吸水型の中心線を回転軸心として回転速度３０ｒｐｍ以下で回転させことにより円筒形状の酸化物成形体を得、次いで前記酸化物成形体を焼結して円筒型酸化物焼結体を得る円筒型酸化物焼結ターゲット材の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 低抵抗の薄膜の形成が安定して可能な酸化亜鉛系焼結ターゲットおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 アルミニウムを０．２〜３質量％含有する酸化亜鉛系ターゲットであって、焼結密度５．５ｇ／ｃｍ^３以上、且つアルミニウムの内の８原子％以上が、固溶した形態で存在している酸化亜鉛系焼結ターゲットである。本ターゲットは、平均粒径１μｍ以下の酸化亜鉛粉末と、平均粒径１．５μｍ以下の亜鉛とアルミニウムの複合酸化物粉末とをアルミニウムを０．２〜３質量％含有するように調整し混合した後、プレス成形し、次いで酸素濃度１ｐｐｍ以下の窒素気流中で、１２００℃から１５００℃の温度で焼結を行い、焼結密度５．５ｇ／ｃｍ^３以上、アルミニウムの内の８原子％以上を固溶した形態で存在させた焼結体を得ることにより、製造することができる。 （もっと読む）

【課題】 磁気ヘッドと記録媒体との接触を抑制することができる磁気ヘッド用基板および磁気ヘッドならびに磁気記録装置を提供する。
【解決手段】 Ａｌ_２Ｏ_３を６０〜７０質量％、ＴｉＣを３０〜４０質量％含有する磁器ヘッド用基板７、７′であって、平均結晶粒径が４００ｎｍ以下のＡｌ_２Ｏ_３結晶粒子７９と平均結晶粒径が２００ｎｍ以下のＴｉＣ結晶粒子７７を有するとともに、任意断面の１０μｍ×８μｍの領域に、Ａｌ_２Ｏ_３結晶粒子７９に内包されたＴｉＣ結晶粒子７７ａが２０個以上存在する。 （もっと読む）

【課題】耐環境性に優れた酸化亜鉛系ターゲットを提供することを課題とする。
【解決手段】酸化亜鉛を主成分とし、チタン（Ｔｉ）及びガリウム（Ｇａ）の両元素を含有し、両元素がチタン１．１ａｔ％以上又はガリウム４．５ａｔ％以上の範囲で含有されている。 （もっと読む）

【課題】低抵抗な耐薬品性に優れた非晶質酸化錫系透明導電膜を提供する。
【解決手段】（ａ）原料化合物粉末を混合して混合物を調製する工程；（ｂ）前記混合物を成形して成形体を調製する工程；及び（ｃ）前記成形体を１１００℃以上１３８０℃以下で２時間以上焼成する工程を含む、酸化物焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】直流スパッタリング法が使用できる程度にバルク抵抗値が低いスパッタリングターゲットを効果的に製造することのできる方法を提供する。
【解決手段】Ｚｎ、Ｓｎ、Ｉｎ、Ｇａ及びＴｉから選択される１又は２以上の金属元素を含有し、金属元素の一部が、金属元素の価数よりも高い金属元素で置換固溶されている酸化物を含む原料粉末を、加圧下で直流パルス電流を通電して通電焼結させることを特徴とする酸化物焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ターゲットとして用いた場合に、スパッタリング中の異常放電現象を著しく抑制することが可能な酸化物焼結体を提供する。
【解決手段】（Ａ）酸化亜鉛を含有し平均粒径が１０μｍ以下の六方晶系ウルツ型構造を有する粒子、および（Ｂ）金属元素Ｍ（Ｍはアルミニウム等を示す）を含有し最大粒径が５μｍ以下のスピネル構造を有する粒子からなる複合酸化物焼結体であって、当該焼結体を構成する亜鉛と金属元素Ｍが原子比で表したときにＭ／（Ｚｎ＋Ｍ）＝０．００６〜０．０７であり、かつ、当該焼結体中のスピネル構造を有する粒子同士の粒子間距離は０．５μｍ以上のものが個数頻度で１０％以上である複合酸化物焼結体をスパッタリングターゲットとして成膜に使用する。 （もっと読む）

【課題】ＤＣ放電ができる程度にバルク抵抗値が低いスパッタリングターゲットを効果的に製造する方法を提供する。
【解決手段】亜鉛原子及び酸素原子を含有する亜鉛化合物と、スズ原子及び酸素原子を含有するスズ化合物を含む原料粉末を、加圧下で直流パルス電流を通電して通電焼結させることを特徴とする酸化物焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】特別な装置を必要とせず、大量に、また、緻密に制御した複合材料の製造技術の確立が望まれている。本技術はナノスケールの厚みの添加物連続層を材料内に導入することで、電気的特性、機械的特性等が制御された新規機能を有する複合材料の製造方法を提供する。
【解決手段】ナノ添加物をマトリックス中へ均一または連続層として分散導入するために静電吸着を利用し、添加物を被覆したセラミック複合粒子を作製することにより、弾性率及び電気伝導性に特徴的な機能性セラミック複合材料を得ることが可能となる。これを用いて通常の粉末冶金プロセスを経由して、複合材料を製造することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】均質で絶縁性が高く、良好な特性を有する、導電性複合酸化物膜を得るための絶縁性ターゲット材料を提供する。
【解決手段】絶縁性ターゲット材料は、一般式ＡＢＯ₃で表される導電性複合酸化物膜を得るための絶縁性ターゲット材料であって、Ａ元素の酸化物と、Ｂ元素の酸化物と、Ｓｉ化合物およびＧｅ化合物の少なくとも一方と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、酸化ニッケルが均一に分散してなる酸化ニッケル−安定化ジルコニア複合酸化物及び該複合酸化物を簡便に製造する方法並びに優れた出力特性を有する固体酸化物型燃料電池用燃料極を提供する。
【解決手段】水酸化ニッケル及び／又は炭酸ニッケルと安定化ジルコニウムの水酸化物との混合物を焼成してなることを特徴とする酸化ニッケル−安定化ジルコニア複合酸化物。 （もっと読む）

【課題】 スパッタリング時に、ノジュールを発生しないターゲットを提供する。また、エッチング性に優れ、且つ、特に４００〜４５０ｎｍ域の透明性に優れた非晶質透明導電膜を提供する。
【解決手段】 酸化インジウムと、酸化亜鉛と、酸化マグネシウムと、を含むスパッタリングターゲットであり、このスパッタリングターゲットは、スパッタリング時に、ノジュールを発生しない。また、酸化インジウムと、酸化亜鉛と、酸化マグネシウムと、を含む非晶質透明導電膜であり、この非晶質透明導電膜は、エッチング性に優れ、且つ４００〜４５０ｎｍ域の光線透過率が高い。 （もっと読む）

【課題】バンドギャップ等の電気特性を任意の値に制御できる酸化物及び電気特性を任意の値に制御する方法を提供する。
【解決手段】下記式（１）で表され、式（１）中のＲの一部が正二価以下の元素又は正四価以上の元素により固溶置換されている酸化物。
（ＲＭ_２Ｏ_４）_ｍ（ＲＭＯ_３）_ｎ （１）
（式中、Ｒは、Ｓｃ、Ｙ、Ｄｙ、Ｌｕ、Ｅｒ、Ｙｂ、Ｔｍ、Ｈｏ及びＩｎからなる群より選択される１又は２以上の元素であり、Ｍは、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｍｇ及びＧａからなる群より選択される１又は２以上の元素であり、ｍは１又は２であり、ｎは０以上の整数である。） （もっと読む）