【課題】マスクブランク用基板の洗浄時に、超音波を印加した洗浄水を用いた洗浄方法を適用した場合でも、ガラス基板内部に潜傷が発生することを抑制でき、しかも基板主表面に存在するパーティクルを確実に排除できるマスクブランク用基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のマスクブランク用基板の製造方法は、ガラス材料からなる基板の表面に向かって、周波数が１．５ＭＨｚよりも高い超音波が印加された洗浄水を当てて基板の表面を洗浄する洗浄工程を有する。 （もっと読む）

【課題】 光透過性と異方導電性とを高いレベルで両立し、種々の電気機器に好適に用いることができる透明異方導電性膜、及び、そのような透明異方導電性膜を簡易かつ安価に製造することができる透明異方導電性膜の製造方法を提供する。
【解決手段】 導電物質を含む導電性線部が間隔を空けて複数並ぶ透明異方導電性膜であって、該透明異方導電性膜は、導電性線部の長軸方向における電気抵抗率が、１×１０^−２Ω・ｃｍ以下であり、導電性線部の長軸方向と直交する方向における電気抵抗率が、１×１０^２Ω・ｃｍであり、全光線透過率が５０％以上である透明異方導電性膜。 （もっと読む）

【課題】アルカリ金属のガラス基板の表面への拡散を確実に防止することができるマスクブランクス、フォトマスクの製造方法及びフォトマスクを提供すること。
【解決手段】マスクブランクス１０は、アルカリ金属を含有するガラス基板１、このガラス基板の表面上に形成された拡散防止層２、拡散防止層２上に形成された遮光層３、遮光層３上に形成された反射防止層４を備える。ガラス基板の表面が研磨され、その表面粗さＲａが２ｎｍ以下とされた。表面粗さＲａが２ｎｍ以下であっても、拡散防止層２が設けられることにより、ガラス基板１からアルカリ金属が他の層へ拡散することを抑制し、マウスニップ欠陥の発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】薄膜自体に膜応力がある場合においても、マスクブランクの平坦度が所望の平坦度となり、マスクのパターン位置精度や、パターン転写の際、パターン位置ずれやパターン欠陥が発生することがないマスクブランクの製造方法および転写用マスクの製造方法を提供する。
【解決手段】電子デバイス用基板の主表面上に薄膜を形成してマスクブランクを製造するマスクブランクの製造方法であって、
前記薄膜を形成する側の主表面の表面形状が凸形状である基板に対し、クロムを主成分とする材料からなり、引張応力を有する前記薄膜をスパッタリング法で形成することにより、前記薄膜の成膜前よりも主表面の平坦度が高いマスクブランクを得ることを特徴とするマスクブランクの製造方法および転写用マスクの製造方法。 （もっと読む）

【課題】絶縁性基板を発熱プレートに接触させて加熱すると共に、基板を導電性のホットプレートから剥離する際に、基板の剥離帯電を抑制する。
【解決手段】薄膜トランジスタ基板は、ガラス基板である絶縁性基板１１と、絶縁性基板１１の一方の面上で外縁に沿って内側に形成された導電膜１２とで構成される。加熱装置３０は、薄膜トランジスタ基板１０を加熱する際に発熱する発熱プレート３１と、薄膜トランジスタ基板１０の導電膜１２を吸着して固定させる吸着穴３２と、薄膜トランジスタ基板１０と接触し、発熱プレート３１上に載置させると共に、発熱プレート３１から剥離させる基板支持部３３と、基板支持部３３を昇降させる昇降機構３４と、により構成される。 （もっと読む）

【課題】電磁波の放射損失を極小さくし、遠距離の電力送電を効率よく送電することが出来ることを特徴とする電力送電、及びその製造方法の提供。
【解決手段】電力送電を効率よく送電するために鉄管、セラミック管、又はガラス管（以下、略して、ガラス管とする）の内部、又は外部を金、又は銀、又は銅などの貴金属を使用して蒸着、又はメッキ加工をしたガラス管の内部を、直進性があり、指向性があり、単一波長の正弦波の電磁波を使用して電力送電する。 （もっと読む）

【課題】電磁波の透過特性を維持しつつ、曲げ成形時に歪みを抑制することのできる熱線反射ガラス板、及び熱線反射ガラス板の曲げ成形方法を提供すること。
【解決手段】熱線反射膜１１２と、該熱線反射膜１１２に少なくとも一辺１１４で隣接し、熱線反射膜のメッシュパターン１３０によりなり、複数の開口線１３２を有する周波数選択表面１１１とをガラス板の少なくとも片面に設けた熱線反射ガラス板において、少なくとも一辺１１４のガラス板の中央に近い部分と交差する開口線１３２は、一辺１１４との交差角が５°以上であることを特徴とする。 （もっと読む）

発光素子は:発光性基材と;該発光性基材の表面上に形成された金属微細構造を有する金属層と;を含み、前記発光性基材は、Zn₂SiO₄:Mnの化学組成を有する発光体を含む。発光素子の製造方法および発光方法もまた提供される。前記発光素子は、良好な発光の均一性、高い発光効率、良好な発光安定性および単純な構造を有しており、極めて高い輝度を有する発光装置において用いられうる。 （もっと読む）

発光素子は、発光基板；および発光基板の表面上に形成された、金属微細構造を有する金属層；を含み；この際、発光基板は、化学組成：Ｙ_２Ｏ_３：Ｅｕを有する発光材料を含む。また発光素子の製造方法および発光方法も提供される。発光素子は良好な発光均質性、高い発光効率、良好な発光安定性および単純な構造を有し、極めて高い輝度を有する発光装置において用いることができる。
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発光ガラスおよび前記発光ガラス上に形成された金属微細構造を有する金属層を含む発光素子であって、前記発光ガラスが、化学組成：ｂＹ_２Ｏ_３・ｃＡｌ_２Ｏ_３・ｄＢ_２Ｏ_３・ｙＴｂ_２Ｏ_３を有する。発光素子の製造方法および発光方法も提供される。該発光素子は、良好な発光均一性、高い発光効率、良好な発光安定性および単純構造を有し、超高輝度を有する発光装置に用いられうる。 （もっと読む）

発光ガラスおよび前記発光ガラス上に形成された金属微細構造を有する金属層を含む発光素子であって、前記発光ガラスが、化学組成：ａＲ_２Ｏ・ｂＺｎＯ・ｃＳｉＯ_２・ｎＭｎＯ_２（式中、Ｒはアルカリ金属元素を表し、ａ、ｂ、ｃ、およびｎは、それぞれ、９．５〜４０、８〜４０、３５〜７０、および０．０１〜１のモル部を表す）を有する。発光素子の製造方法および発光方法も提供される。該発光素子は、良好な発光均一性、高い発光効率、良好な発光安定性および単純構造を有し、超高輝度を有する発光装置に用いられうる。 （もっと読む）

本発明に係る発光ガラス素子は、発光ガラス基体を備え、該発光ガラス素子の表面には金属層が設けられ、該金属層は金属微細構造を有する。発光ガラス基体は化学式ａＭ_２Ｏ・ｂＹ_２Ｏ_３・ｃＳｉＯ_２・ｄＴｍ_２Ｏ_３で記載された複合酸化物を含有する。式中、Ｍはアルカリ金属元素を表し、ａ、ｂ、ｃ、ｄは各成分のモル数を表し、ａ値の範囲が２５〜６０、ｂ値の範囲が１〜３０、ｃ値の範囲が２０〜７０、ｄ値の範囲が０．００１〜１０である。また、本発明はさらに該発光ガラス素子の製造方法及びその発光方法を提供する。
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本発明では電界放出発光材料の発光効率を高める方法、発光ガラス素子およびその調製方法を開示しており、化学式がａＭ_２Ｏ・ｂＹ_２Ｏ_３・ｃＳｉＯ_２・ｄＴｂ_２Ｏ_３である発光ガラスを基板として、基板の表面に非周期性の金属マイクロ・ナノ構造を持つ金属層を形成するものであり、金属層に陰極線を出射すると、陰極線は金属層を透過した後、基板を励起して発光させる。調製方法では、発光ガラス基板を調製して、ガラス基板の表面に金属層を形成した後、アニール処理し、冷却した後に発光ガラス素子が得られる、工程を含む。本発明の発光ガラス素子は工程が簡単で、使用しやすく信頼性が高く、電界放出発光材料の発光効率を大幅に高める方法、優れた透光性、高い均一性を備え、発光効率が高く、安定性に優れ、構造が簡単で、調製方法が簡単で、低コストの発光ガラス素子を提供する。 （もっと読む）

本発明に係る発光ガラス素子は、発光ガラス基体を備え、該発光ガラス素子の表面には金属層が設けられ、該金属層は金属微細構造を有する。発光ガラス基体は化学式ａＭ_２Ｏ・ｂＹ_２Ｏ_３・ｃＳｉＯ_２・ｄＣｅ_２Ｏ_３で記載された複合酸化物を含有する。式中、Ｍはアルカリ金属元素を表し、ａ、ｂ、ｃ、ｄは各成分のモル数を表し、ａ値の範囲が２５〜６０、ｂ値の範囲が１〜３０、ｃ値の範囲が２０〜７０、ｄ値の範囲が０．００１〜１０である。また、本発明はさらに該発光ガラス素子の製造方法及びその発光方法を提供する。
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本発明に係る発光ガラス素子は、発光ガラス基体を備え、該発光ガラス素子の表面には金属層が設けられ、該金属層は金属微細構造を有する。発光ガラス基体は化学式ａＭ_２Ｏ・ｂＹ_２Ｏ_３・ｃＳｉＯ_２・ｄＰｒ_２Ｏ_３で記載された複合酸化物を含有する。式中、Ｍはアルカリ金属元素を表し、ａ、ｂ、ｃ、ｄは各成分のモル数を表し、ａ値の範囲が２５〜６０、ｂ値の範囲が１〜３０、ｃ値の範囲が２０〜７０、ｄ値の範囲が０．００１〜１０である。また、本発明はさらに該発光ガラス素子の製造方法及びその発光方法を提供する。

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本発明に係る発光ガラス素子は、発光ガラス基体を備え、該発光ガラス素子の表面には金属層が設けられ、該金属層は金属微細構造を有する。発光ガラス基体は化学式ａＭ_２Ｏ・ｂＹ_２Ｏ_３・ｃＳｉＯ_２・ｄＥｕ_２Ｏ_３で記載される複合酸化物を含有する。式中、Ｍはアルカリ金属元素を表し、ａ、ｂ、ｃ、ｄは各成分のモル数を表し、ａ値の範囲が２５〜６０、ｂ値の範囲が１〜３０、ｃ値の範囲が２０〜７０、ｄ値の範囲が０．００１〜１０である。また、本発明はさらに該発光ガラス素子の製造方法及びその発光方法を提供する。
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本発明に係る発光ガラス素子は、発光ガラス基体を備え、該発光ガラス素子の表面には金属層が設けられ、該金属層は金属微細構造を有する。発光ガラス基体は化学式ａＭ_２Ｏ・ｂＹ_２Ｏ_３・ｃＳｉＯ_２・ｄＤｙ_２Ｏ_３で記載された複合酸化物を含有する。式中、Ｍはアルカリ金属元素を表し、ａ、ｂ、ｃ、ｄは各成分のモル数を表し、ａ値の範囲が２５〜６０、ｂ値の範囲が１〜３０、ｃ値の範囲が２０〜７０、ｄ値の範囲が０．００１〜１０である。また、本発明はさらに該発光ガラス素子の製造方法及びその発光方法を提供する。
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【課題】熱線遮断性が高く、電波及び可視光を透過することができる熱線反射膜、並びに熱線反射構造体及び熱線反射構造体の製造方法の提供。
【解決手段】一の表面に、該表面を基準として複数の凹部が配列されたことによって形成された凹凸部と、該凹凸部表面に導電層とを有する熱線反射膜であって、前記凹部の深さが１μｍ未満であり、前記導電層の厚みが１μｍ以下であり、前記凹凸部が傾斜側壁を有し、前記凹部の傾斜側壁を水平面に垂直投影した投影面積Ａと、前記凹部全体を水平面に垂直投影した投影面積Ｂとが、次式、（Ａ／Ｂ）×１００≧２０％を満たす熱線反射膜である。 （もっと読む）

本発明の装置は、以下の積層を含む：グレージング機能を有する基板（Ｖ_１）、関連する電流供給部を備える第一導電層（ＴＣＣ_１）、電気活性ラッカー層（ＶＥＡ）であって、還元されること、および／または補償電荷として作用する電子およびカチオンを受容することが可能な、少なくとも１つの電気活性化合物、酸化されること、および／または補償電荷として作用する電子およびカチオンを放出することが可能な、少なくとも１つの電気活性有機化合物、色のコントラストを得るためにエレクトロクロミックである前記電気活性有機化合物のうちの少なくとも１つ、および電流の作用の下で、前記電気活性有機化合物の酸化および還元反応を可能にすることができ、色のコントラストを得るために必要とされるイオン電荷によって形成される電気活性媒体の成分を含む少なくとも１つの結合ポリマーを含有する、電気活性ラッカー層、および関連する電流供給部を備える第二導電層（ＴＣＣ_２）。
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