アルカリ金属又はアルカリ土類金属のフルオロシリケートを流動層反応炉において熱分解することにより四フッ化ケイ素を調製するためのプロセス及びシステム。分解反応において発生する四フッ化ケイ素の一部を反応炉に循環させ流動化ガスとして使用して上記フルオロシリケート材料を分散させる。上記分解反応において発生したアルカリ金属又はアルカリ土類金属のフッ化物残渣を上記反応炉から排出し、フルオロケイ酸と反応させてアルカリ金属又はアルカリ土類金属のフルオロシリケートを生成させる。当該フルオロシリケートを、四フッ化ケイ素をさらに発生させるため上記反応炉に導入する。
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シリコン化合物の熱分解により高純度のシリコンを製造する方法であって、シリコン化合物は、シリコン化合物が熱分解する温度にあるキャリアガスと混合して熱分解される方法が記載される。さらに、その方法を行うための反応器及びプラントが記載される。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコン析出時の電極ユニットと反応炉との短絡を防止する。
【解決手段】反応炉内１で加熱された上下方向に沿うシリコン芯棒４に原料ガスを供給することによりシリコン芯棒４の表面に多結晶シリコンを析出させる多結晶シリコン製造装置において、シリコン芯棒４を上下方向に延設保持する電極４７と、冷却媒体を流通させる冷却流路４０が内部に形成され、反応炉の底板部２に形成された貫通孔２１内に挿入されて、電極４７を保持する電極ホルダ４６と、貫通孔２１の内周面と電極ホルダ４６の外周面との間に配置され、底板部２と電極ホルダ４６との間を電気的に絶縁させる環状絶縁材３４とを有し、電極ホルダ４６の外周面に、環状絶縁材３４と電極４７との間で上方へ向けて開放する受け皿部５０が設けられている。 （もっと読む）

本発明の対象は、一般式（１）：Ｓｉ（ＳｉＲ₃）₄のネオペンタシランの製造方法であり、この方法では一般式（２）：Ｒ₃Ｓｉ−（Ｓｉ−）_xＳｉＲ₃［式中、ＲはＨ、Ｃｌ、Ｂｒ、及びＩから選択されており、Ｘは負ではない整数〜５である］のケイ素化合物を、エーテル化合物（Ｂ）の存在下で反応させる。 （もっと読む）

【課題】リチウムイオン電池の性能を改善する複合ケイ素／炭素物質が得られる調製プロセスを提供すること。
【解決手段】炭素コーティングされたケイ素粒子を含む複合ケイ素／炭素物質を調製するためのプロセスであって、次の連続工程が行われる、プロセス：ケイ素粒子を溶媒中にて酸素フリーのポリマーの溶液と混合し、それによってポリマー溶液中のケイ素粒子分散液を得る工程；工程ａ）にて得られた分散液をスプレー乾燥操作に供し、それによってポリマーでコーティングされたケイ素粒子からなる複合ケイ素／ポリマー材料を得る工程；工程ａ）にて得られた物質を熱分解し、それによって炭素コーティングされたケイ素粒子を含む複合ケイ素／炭素物質を得る工程。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコン製造プロセスやトリクロロシラン製造プロセス、又は転換プロセスから分離されたポリマーを分解してトリクロロシランに転換する。
【解決手段】分解炉２に、分解炉２の内部を加熱する加熱手段８と、ポリマーと塩化水素とを分解炉２の上下方向に沿って内底部まで案内し下端開口部３ａから分解炉２内に供給する原料供給管３と、原料供給管３の外周面と分解炉２の内周面との間に形成される反応室１３の上部から反応ガスを導出させるガス導出管４とが設けられ、原料供給管３の外周面又は分解炉２の内周面の少なくともいずれかに、原料供給管３の下端開口部３ａから供給されるポリマーと塩化水素との混合流体を反応室１３内で攪拌しながら上昇させるように案内するフィン１４が一体に形成されている。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコン製造プロセスやトリクロロシラン製造プロセス、又は転換プロセスから分離されたポリマーを分解してトリクロロシランに転換する。
【解決手段】分解炉２に、分解炉２の内部を加熱する加熱手段１１と、分解炉２の内部に形成される反応室４と、反応室４内に分解炉２の上方から上下方向に沿って挿入され下端開口部３ａが分解炉２の内底面８ｂに対向する中心管体３と、中心管体３の外側に筒状に形成される反応室４の上部にポリマーと塩化水素とを供給する原料供給管５，６と、中心管体３の上端部から反応ガスを導出させるガス導出管７とが設けられ、中心管体３の外周面又は分解炉２の内周面の少なくともいずれかに、ポリマーと塩化水素とを反応室４内で混合しながら中心管体３の下端開口部３ａまで案内するフィン１４が一体に形成されている。 （もっと読む）

本発明は、凝集体サイズを表面積に関連付ける特定の式を満たす凝集体サイズ及び表面積を有する凝集体を含むヒュームドシリカ、並びに液体媒質中に分散された際に特定の粘度、べき法則指数、及び／又は弾性率特徴を示す凝集体を含むヒュームドシリカ提供する。本発明は、シリカ前駆物質を可燃性ガス流と混合し、該流動を燃焼させ、燃焼ガス流及びヒュームドシリカ粒子を生成することによりそのようなヒュームドシリカを調製するプロセスも提供し、該プロセスでは、ドーパントが導入され、燃焼ガス流及びヒュームドシリカ粒子の時間／温度プロファイル又は履歴が、急冷後凝集体成長を可能にするように調整され、及び／又は追加的シリカ前駆物質が、燃焼ガス流に導入される。
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【課題】焼成量を増大させたとしても、シリカ粒子の不具合を抑制することのできるシリカ粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】シリカ粒子は、ポリオルガノシロキサン粒子を焼成する工程を通じて製造される。焼成炉内にて焼成される焼成炭素量を５．０以上の範囲とし、かつ、焼成炉内の雰囲気を７．０体積％〜１７．０体積％の酸素濃度範囲にする。焼成炭素量は、焼成炉内の容積ａ（Ｌ）と、ポリオルガノシロキサン粒子集合体に含まれる含有炭素量ｂ（ｇ）とにより、焼成炭素量（ｇ／Ｌ）＝含有炭素量ｂ／容積ａで表される。 （もっと読む）

【課題】高純度のポリシリコンを高速で得ることが可能な製造装置を提供する。
【解決手段】内部に導入されたハロゲン化ケイ素化合物の超臨界流体状態を形成するための反応容器本体１０と、反応容器本体１０の内部に設けられプラズマ放電を行うための電極１１，１２と、反応容器本体１０の内部に設けられプラズマ放電で分解したシリコンをシリコンの融点より高い温度に保持された表面上で析出させ、且つ、析出したシリコンを融解させる析出用部材３０と、析出用部材３０上で融解したシリコンを回収する回収部材と３２、を備えるポリシリコンの製造装置Ｉ。 （もっと読む）

多結晶シリコンを作製する当該プロセスには、反応チャンバーにおいて、熱分解可能なシリコン化合物をシリコン粒子に接触させることが含まれる。熱分解可能なシリコン化合物の一部が分解されシリコンダストが生成される。当該シリコンダストを、上記反応チャンバーから排出し、当該反応チャンバーへ再循環させる。取り出されたシリコンダストは、シリコン粒子と凝集する。
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【課題】 乾式シリカは保存期間中に水分を吸着しやすく、これによりエポキシ樹脂などと混練した際の初期粘度が増大していく傾向がある。従って、保存期間が長くなっても樹脂への分散性に優れ、樹脂に充填した場合の粘度の上昇が抑えられる乾式シリカ微粒子包装物を提供する。
【解決手段】 保存期間中の水分の吸着を抑制するため、水蒸気透過率が１（ｇ／（ｍ^２・ｄａｙ）、４０℃／９０％ＲＨ）以下の包装容器に乾式シリカ微粒子を封入して保存する。このような乾式シリカ微粒子包装物は、長期間保存した後であってもエポキシ樹脂などと混練した際の粘度変化が少ない。 （もっと読む）

本発明は、多結晶シリコンの製造方法に関する。本発明の方法は、シリコン含有ガスに基づくガス混合物を配管システムを通して還元リアクターに供給し、流出ガス混合物が形成されるようにシリコンを加熱面に析出させる工程を含む。シリコン析出プロセスは、ガス混合物を輸送する配管システムによって直列に連結された少なくとも2基のリアクターで同時に行う。そして、全てのリアクターの稼働に用いられるガス混合物を最初のリアクター入口に供給し、直列に連結された全てのリアクター中を通して連続的に輸送する。 （もっと読む）

固体マルチ結晶シリコンインゴット又はウェハの製造方法であって、（ｉ）反応スペースに面する内側表面及び（ｉｉ）反対側の外側表面を有する反応炉チャンバ壁と製品出口とを具える反応炉チャンバへ、シリコン含有ガスを導入するステップと、前記反応スペース内でプラズマを発生させるステップと、前記シリコン含有ガスに十分な温度を与えることによって液体シリコンを製造するために、当該シリコン含有ガスを熱分解するステップと、前記シリコン含有ガスを熱分解しながら、前記反応炉チャンバ壁の内側表面を、シリコンの融点未満の平衡温度に維持するステップと、前記製品出口からの液体シリコンを固体マルチ結晶シリコンインゴット又は固体マルチ結晶シリコンウェハに鋳造するために、当該液体シリコンをモジュールへ直接導入するステップを含む。 （もっと読む）

シリコン又は反応金属を製造するための方法であって、（ｉ）反応スペースに面する内側表面及び（ｉｉ）反対側の外側表面を有する反応炉チャンバ壁を具える反応炉チャンバへ、シリコン含有原料又は反応金属含有原料を導入するステップと、前記反応スペース内で、液体シリコン製品又は液体反応金属製品を発生させるのに十分な第１の熱エネルギーを発生させるステップと、第２の熱エネルギーからの熱流が、最初に前記反応炉チャンバ壁の外側表面に影響を与えるように、前記反応炉チャンバ壁の外へ第２の熱エネルギーを発生させるステップと、前記第１の熱エネルギー源及び前記第２のエネルギー源を制御することによって、内側表面壁の温度を、シリコン又は反応金属の融点を超えて又は融点未満である温度範囲に確定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】ホウ素等の不純物の分離効果に優れ、かつ不純物除去剤による汚染の問題を生じる虞もなく、精製効果に優れた精製方法を提供する。
【解決手段】金属シリコンに塩酸ガスを反応させて生成した三塩化シランを精製する工程において、該三塩化シランを含む混合流体を蒸留装置に導いて塩化シラン系ポリマーと接触させ、三塩化シランを蒸留させて精製する一方、上記混合流体に含まれる低沸点不純物を上記ポリマーに取り込ませて蒸留残として三塩化シランから分離し、上記ポリマーと共に系外に除去することを特徴とする三塩化シランの精製方法。 （もっと読む）

【課題】着色剤が均一に分散された着色非晶質シリカ微粒子を提供すること。
【解決手段】ＪＩＳＺ８７２２で規定されるＬ値が９４以下であり、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｃｏ、及びＮｉから選択される１種以上の着色元素が均一に分散され、結晶化度が１０％以下であることを特徴とする。着色剤を粒子中に分散させているため、着色状態を安定して保持できる。また、レーザー加工などを適用する場合に、吸収したレーザー光のエネルギーにより粒子全体が均一に加熱されるという利点がある。加熱が均一に進行すると、レーザー光を照射した部位にある粒子を確実に熔融することが可能になり、加工精度が向上できる。更にＬ値について上述の範囲に設定していることにより、上述の効果をより確実に発現可能である。そして、結晶化度が上述の範囲であるため、着色元素の分散がより均一になる他、レーザー加工性が優れることになる。 （もっと読む）

【課題】高温で熱処理を施すことなく、結晶性の高い良好なシリコン膜を形成することが可能なシリコン膜の形成方法を提供する。
【解決手段】ポリシラン修飾シリコン細線を含む液体を調製（Ｓ１０１）したのち、基体の上にポリシラン修飾シリコン細線を含む液体を用いて塗布膜を形成（Ｓ１０２）し、この塗布膜を加熱する（Ｓ１０３）ことにより、シリコン膜を形成する。これにより、高温で加熱せずに、塗布膜中においてシリコンの結晶化が促進される。 （もっと読む）

【課題】高純度シリコンを製造するための方法およびシステムを提供する。
【解決手段】（１）トリクロロシランの生成、（２）区分（１）で生成されたトリクロロシランの不均化によるモノシランの生成、および（３）このようにして生成されたモノシランの熱的分解の区分を有し、その際、 区分（１）で、トリクロロシランの生成のためにシリコンは少なくとも１つの塩化水素処理工程において塩化水素と反応され且つ、それに同時に、区分（２）で副生成物として形成している四塩化ケイ素がシリコンおよび水素と反応される高純度シリコンの製造方法、およびトリクロロシランの生成のための生成装置（１）、モノシランを生成するためのさらなる装置（２）および生成されたモノシランの熱的分解のための装置（３）を有する高純度シリコンの製造設備であって、装置（１）が少なくとも１つの塩化水素処理反応器、少なくとも１つの変換反応器、トリクロロシラン含有反応混合物のための少なくとも１つの回収容器および少なくとも１つの分離装置を有し、装置（２）が少なくとも１つの不均化反応器および少なくとも１つの分離装置を有し、且つ装置（３）がモノシランのための少なくとも１つの分解反応器を有し、装置（２）が、装置（２）において形成している四塩化ケイ素が装置（１）における少なくとも１つの変換反応器に供給され得る方法により少なくとも１つの戻り配管によって装置（１）に接続されている、前記設備。 （もっと読む）

【課題】塩化工程から分離したポリマー、あるいは多結晶シリコン製造工程の排ガスから分離したポリマーを分解してトリクロロシランに転換する製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】多結晶シリコン製造プロセスにおいて発生される高沸点クロロシラン類含有物（ポリマー）を、塩化水素と混合して分解炉に導入し、４５０℃以上、好ましくは４５０℃以上〜７００℃以下の加熱下でポリマーと塩化水素を反応させてトリクロロシランを製造することを特徴とし、好ましくは、ポリマーに対して塩化水素を１０〜３０質量％混合した混合物を分解炉に導入して分解するトリクロロシランの製造方法および製造装置。 （もっと読む）