【課題】ＦＺ用の１２０ｍｍより大きい直径を有する多結晶シリコンロッドの製造で高い歩留まりで多結晶シリコンロッドを提供し、それを大きな直径のＦＺ単結晶に引き上げる際の頻繁な欠陥形成に対抗する。
【解決手段】最も内側の領域Ａに多結晶の細いロッドが存在し、細いロッドの周りに析出された針状結晶がない又は僅かしかない領域Ｂが存在し、外側の領域Ｄに針状結晶の面積割合が７％未満であり、針状結晶の長さは１５ｍｍ未満であり、その幅は２ｍｍ未満であり、外側の領域でマトリクスの微結晶の長さは０．２ｍｍを超過せず、領域ＢとＤとの間に領域Ｂの組織から領域Ｄの組織に滑らかに移行する混合領域Ｃが存在するポリシリコンロッドにより解決される。 （もっと読む）

１０〜５００ｍ²／ｇのＳＴＳＡ表面積５、ＳＴＳＡ表面積に基づく増粘作用４〜８ｍＰａｓ・ｇ／ｍ²、及びミクロ細孔体積０．０３〜０．０７ｃｍ³／ｇを有する凝集一次粒子の形で、熱分解的に製造された二酸化ケイ素粉末。それは、加水分解可能なケイ素化合物、酸素含有ガス及び一次燃焼ガスを混合し、その混合物を反応チャンバー中で燃焼し、さらに二次燃焼ガスを反応チャンバー中に通過して、続いて得られた粉末をガス状物質から分離することによって製造され、その際、原材料化合物の水素比ガンマ一次は、１未満であり、かつ同時に原材料混合物の酸素比ラムダ一次は、１より大きい。二酸化ケイ素粉末を含有する分散液。 （もっと読む）

【課題】渦動床反応器中で反応ガスをシリコン顆粒に析出させることによって高純度のポリシリコン顆粒を連続的に製造する方法を提供する。
【解決手段】少なくとも２つの隣接する帯域からなる反応空間を備えた反応器において、下方の帯域はシリコン不含ガスを複数のできるだけ均一に分布したノズルを通してシリコン顆粒中に導入することによって弱く流動化され、上方の帯域は壁の外側に設けた加熱装置により加熱され、形成された反応帯域中にシリコン含有反応ガスは１つ以上のノズルにより上向きに垂直方向に向いたガス噴流よりも高速で噴入され、ノズルの上方で気泡を形成する渦動床によって包囲されて局部的な反応ガス噴流が形成され、反応ガス噴流の内部でシリコン不含ガスは粒子表面上で分解し、粒子の成長を生じ、反応ガスは殆んど化学的な平衡反応が静止するまで導入され、反応ガスに含まれるシリコンをシリコン顆粒に析出させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、良好な触媒粒子を用いて、ドープされた細長のナノ構造体を形成するための良好な方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、細長のナノ構造体の成長において使用される触媒粒子を提供する。触媒粒子は、ナノ構造体材料中に実質的に溶解することなく、ナノ構造体材料を含む細長のナノ構造体の成長を促進する触媒化合物と、ナノ構造体材料中に実質的に完全に溶解することにより、成長の間に細長のナノ構造体にドープされる少なくとも１種のドーパント元素とを備える。さらに、本発明は、触媒粒子を使用して、少なくとも１種のドープされた細長のナノ構造体を基板の上に形成するための方法を提供する。当該方法により、細長のナノ構造体においてドーパント濃度を制御することが可能となる。さらに、当該方法により、１０^１７原子／ｃｍ^３より小さい低ドーパント濃度の細長のナノ構造体を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】籾殻を熱分解して得られる熱分解ガスから籾酢液を利用して籾殻のアルカリ成分の溶解分離し、アルカリ成分を溶解分離した籾殻を燃焼排ガスの廃熱により乾燥し、乾燥された籾殻を熱分解し、得られた籾殻炭を焼成して、高純度の非晶質シリカを製造する。
【解決手段】籾殻を酢酸含有溶液に浸漬して、籾殻に含まれるアルカリ成分を浸出し、アルカリ成分が浸出された籾殻を、燃焼排ガスにより加熱された温水で洗浄後、脱水し乾燥して、乾燥籾殻を形成し、この形成された乾燥籾殻を熱分解して炭化させて籾殻炭を形成すると共に熱分解ガスを形成し、前記熱分解ガスについては冷却して籾酢液を分離し、前記籾殻炭については焼成して高純度シリカを含有する籾殻灰を製造すること特徴とする籾殻から高純度シリカの製造方法にある。 （もっと読む）

【課題】完全無機質、かつ、柔軟性を有する生体適合性シリカ繊維を、実験室レベルの小型で簡便な装置でも製造しうる製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】アルコキシシランを、リン酸トリエチルを含む水と有機溶媒の混合溶媒に溶解させ、大気と接触させながらゾル状の紡績液とし、粘度を調整した紡績液を、静電噴霧法により紡糸化してシリカ不織布とする。その後、カルシウムイオンを含む水溶液中でイオン交換し、400℃以上1000℃以下の温度で焼成する。または、前記混合溶媒にリン酸トリエチルを添加せずに、静電噴霧法により紡糸化してシリカ不織布とした後、リン酸中で加熱し、その後、カルシウムイオンを含む水溶液中でイオン交換し、400℃以上1000℃以下の温度で焼成してもよい。 （もっと読む）

高度に均一なシリコン／ゲルマニウムナノ粒子が、望ましい小さな二次粒子サイズを有する安定な分散物に形成されることができる。シリコン／ゲルマニウム粒子は、分散物を形成するために表面改質されることができる。シリコン／ゲルマニウムナノ粒子は、粒子特性を変化させるためにドーピングされることができる。分散物は、適切な／用途のためのインクとして印刷されることができる。分散物は、光起電力電池の形成のため又は印刷された電子回路の形成のためなどの、選択的にドーピングされた半導体材料の堆積物を形成するために用いられることができる。
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【課題】 トリクロロシラン製造装置において、１２００℃以上の高温で高い転換率を得ると共に、ヒータの不純物対策を容易とし、装置の小型化を可能にすること。
【解決手段】 テトラクロロシランと水素との供給ガスを高温下で転換反応させてトリクロロシランと塩化水素とを含む反応生成ガスを生成するトリクロロシラン製造装置であって、一端開口部１ａから供給ガスが導入されると共に他端開口部１ｂから反応生成ガスが導出される石英製外管１と、石英製外管１の内側に設けられた筒状断熱材２と、筒状断熱材２の内側に設けられ内部が供給ガスの反応流路３ａとなる反応管３と、石英製外管１の外周に設けられ電磁誘導加熱により反応管３を加熱する電磁誘導加熱機構４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】高価かつエネルギー多消費型の大掛かりな装置を必要とせず、大面積の基板にも対応可能であり、容易、安価に半導体薄膜を形成する方法を提供すること。
【解決手段】上記課題は、一対の電極の間に、不純物の濃度および／または種類の異なる半導体薄膜を少なくとも二層以上積層した構造を有する太陽電池の製造において、該半導体薄膜のうちの少なくとも一層が、（Ａ）式Ｓｉ_ｎＲ_ｍで表されるポリシラン化合物 並びに（Ｂ）シクロペンタシラン、シクロヘキサシランおよびシリルシクロペンタシランよりなる群から選ばれる少なくとも１種のシラン化合物を含有することを特徴とするシラン組成物を基板上に塗布して塗膜を形成する工程と、該塗膜を熱処理および／または光処理する工程を含む形成方法により形成されていることを特徴とする、太陽電池の製造方法により達成される。 （もっと読む）

【課題】電極層を損傷することがなく電極間距離を一定に保つことが可能であり、しかも、接触抵抗が小さく、ある程度の凹凸があっても確実に電極を接続可能である導電性微粒子を提供する。
【解決手段】球状コア粒子１と、該球状コア粒子表面に形成された弾性被覆層２と、該弾性被覆層表面に形成された導電性薄膜層３とからなり導電性微粒子であり、前記弾性被覆層が次の工程により形成することを特徴とする導電性微粒子の製造方法。(a)球状コア粒子表面に疎水性官能基を付与する工程。(b)前記疎水性球状コア粒子を水および/または有機溶媒に分散させて疎水性球状コア粒子の分散液を調製する工程。(C)前記疎水性球状コア粒子分散液に界面活性剤を添加する工程。(d)疎水性球状コア粒子分散液に有機ケイ素化合物を添加し、更にアルカリを添加して前記疎水性球状コア粒子表面に有機ケイ素化合物の加水分解縮重合物からなる弾性被覆層を形成させる工程。 （もっと読む）

表面変性され、高度に構造化された酸化カリウムでドープされたシリカであって、ＢＥＴ表面積（ｍ²／ｇ）：２５〜４００、平均一次粒度（ｎｍ）：５〜５０、ｐＨ：３〜１０、炭素含量（質量％）：０．１〜１０、酸化カリウム含量（質量％）：０．０００００１〜４０を特徴とするシリカは、酸化カリウムでドープされたシリカを表面変性に供することによって製造される。前記熱分解シリカは、シリコーンゴム組成物中で充填剤として使用されてよい。 （もっと読む）

【課題】 シード粒子などとして好適な比較的粒径が大きく、ＣＶ値が４％未満程度の小さいポリオルガノシロキサン粒子を再現性よく製造する方法を提供する。
【解決手段】 一般式（Ｉ）
Ｒ^１Ｓｉ（ＯＲ^２）_３ …（Ｉ）
で表されるケイ素化合物を水性溶液とし、塩基性触媒存在下で加水分解、縮合反応させて、ポリオルガノシロキサン粒子を製造する方法において、前記ケイ素化合物を水性媒体に溶解して、ケイ素化合物と水とのモル比が１：０．２３〜１：１．７の範囲にあるケイ素化合物含有水性溶液を調製したのち、前記ケイ素化合物に対して３５倍モル以上の水と、塩基性触媒を含む塩基性触媒水性溶液中に添加し、加水分解、縮合反応させる方法である。 （もっと読む）

トランス結合誘導プラズマ反応器を用いることで、純シリコンパウダーを製造するように、シリコンを含む前駆体を分解するプラズマの連続的な形成を行うことができる。そして、純シリコンのパウダーは集められ、処理されて太陽光発電または半導体に用いるシリコンのインゴットを製造するのに使用される。
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【課題】四塩化珪素の亜鉛還元によって高純度シリコンを得るシリコンの製造方法であり、結晶粒の比較的大きく高結晶性のシリコンを生成させて他の反応ガスや不純物から分離し、そのまま系内で溶解することによる融体の高純度シリコンを製造する製造方法を提供することを課題とした。
【解決手段】本発明は高温亜鉛ガス雰囲気中に低温の四塩化ケイ素を導入し反応させて気相中に固体シリコンを生成させ、該生成した固体シリコンをガスと分離し、液状シリコン中に導入することによって溶解し、液状シリコンとして生成させることを特徴とする高純度シリコンの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】開いた析出反応器中でケイ素からなるＵ字型の支持物質を固定し、析出反応器を空気密に密閉し、前記のＵ字型の支持物質を直流を流すことにより加熱し、析出反応器中へ供給管路を経てケイ素含有反応ガス及び水素を導通し、排ガスを排出管路を経て析出反応器から除去し、かつ前記支持物質が所望の直径に達した後に析出を終了し、前記支持物質を室温に冷却し、前記析出反応器を開き、前記支持物質を析出反応器から除去し、かつケイ素からなる二番目のＵ字型の支持物質を析出反応器中に固定することによる高純度多結晶シリコンのバッチ式製造方法。
【解決手段】析出されたケイ素を有する一番目の支持物質を取り出すために析出反応器を開いてから、二番目の支持物質上にケイ素を析出するために反応器４を閉じるまで、不活性ガスを、前記の供給管路及び排出管路を通して、開いた反応器中へ導入する。 （もっと読む）

本発明は、液体ジェットガイドエッチングにより固形物から物質を除去するための方法に関する。本発明に係る方法は、特にウエハの切削、微細構造化、ドーピングまたはそれへの金属被膜形成のためにも使用される。 （もっと読む）

これらは、反応管の内壁面に堆積されたシリコン析出物を効果的に除去することで、反応器を長時間安定的に操作することができる流動層反応器を利用した粒状の多結晶シリコンの連続形成方法を提供する。本発明の方法は、（i）前記反応ガス供給手段により前記反応ガスを供給することで、反応ガスと接触するシリコン粒子の表面にシリコンが析出されると同時に、前記反応領域を取り囲む反応管の内壁面にシリコン析出物が堆積するシリコン粒子の形成工程；（ii）前記反応ガスを供給することを中断した後、前記反応管内部に残留するシリコン粒子の残留層の高さが前記出口の高さを超過しないようにシリコン粒子の一部を前記流動層反応器の外部に排出させるシリコン粒子の部分排出工程；及び（iii）前記シリコン析出物と反応して気相のシリコン化合物を生成させることができるエッチングガスを前記反応領域の空間に供給することで、シリコン析出物を除去するシリコン析出物の除去工程とを含む。
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基板上に非触媒金属アイランドを形成し、該非触媒金属アイランドの周囲を覆い包むように触媒金属ドーナッツを形成し、該触媒金属ドーナッツ上にシリコンナノチューブを成長させてシリコンナノチューブを製造する。これにより、該触媒金属ドーナッツを利用してシリコンナノチューブを効果的に成長させることができる。
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【課題】本発明は、酸素存在下でアルデヒドとアルコールやアルコール類からカルボン酸エステルを製造する際等に触媒として用いられる金担持微粒子であって、触媒成分である金の耐剥離性や耐磨耗性の点で優れ、高い反応性を安定して維持することができる粒子を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、粒子径が２０〜１５０μｍのシリカを含む担体に金が担持された粒子であって、粒子最外表面から５μｍ以内の厚さで実質的に金を含まない層が形成されている、金担持粒子を提供するものである。 （もっと読む）

【目的】球状シリカ粒子の従来の製造手法の中で、大粒の粒子と小粒の粒子の比率、これらの粒子の平均粒子径を特定範囲内で制御することを可能とする独立２峰性の粒径分布を有する球状シリカ粒子懸濁溶液とその製造方法、および球状シリカ粒子を提供する。
【構成】独立２峰性の粒径分布）を有する球状シリカ粒子の懸濁溶液であって、該懸濁溶液の調製が３５℃以上溶媒の沸点以下で行われ、大粒粒子の平均粒子径（Ｄｌ）が９００〜１８００ｎｍ、小粒粒子の平均粒子径（Ｄｓ）が５０〜４００ｎｍであり、ＤｌとＤｓの比（Ｄｌ／Ｄｓ）が５〜２０であり、小粒粒子の占める体積割合が２０〜４０％であることを特徴とする。 （もっと読む）