【課題】 半導体製造工程から排出される排ガスに含まれる有害成分を、火炎により熱分解する装置において、排ガスが高濃度の腐食性ガスを含む場合であっても、あるいは火炎による熱分解で高濃度の腐食性ガスが生成する場合であっても、目的の有害成分を効率よく分解することが可能で、燃焼室の構成が高温の腐食性ガスに対する優れた耐腐食性を有する熱分解装置を提供する。
【解決手段】 有害成分を熱分解する燃焼室、燃料ガスと空気を含むガスを燃焼室へ噴出するノズル、排ガスを含むガスを燃焼室へ噴出するノズルを備え、該燃焼室の側壁が、燃焼室側の表面にフッ素樹脂が被覆された基材で構成され、該側壁の外周全体にわたり冷媒を流通するための流路が設けられてなる熱分解装置とする。 （もっと読む）

【課題】 従来の技術は面構造の磁器充填物であるため吸収塔の塔径が大きく、酸霧の捕捉を吸収塔で行っていたため充填高も高く、従って充填容積が大きくまたレンガ張りの塔を用いていたために充填物重量および塔重量が大きく、基礎の負荷も大きいとう問題があった。
【解決手段】 本発明では線構造のフッ素樹脂充填物を用いたため吸収塔塔径の低減を可能とし、三酸化硫黄酸霧の捕捉を酸霧除去設備で別途行う組み合わせをしたために、充填高の低減を可能にした。従って充填容積の低減を実現し、さらに従来の磁器充填物では傷つけるために用いられなかったフッ素樹脂ライニングを施工することで塔重量の低減、基礎の負荷の低減を可能とした。それにより、従来の大型で重量のある三酸化硫黄の捕捉システムの軽量化を図った。 （もっと読む）

【課題】（１）小型で、効率よく、有害ガスを無害レベルまで除害でき、（２）低いランニングコストで稼動することができる、ガス除害装置を提供する。
【解決手段】 化学成分を含む気体が導入され、ＭＥＡのアノード２が面する流路Ａ１と、アノード集電体となるようにアノードに接し、かつ流路Ａ１を占めるように配置された、連続気孔を持つ導電多孔体１１とを備え、導電多孔体が、ＭＥＡの電極に接する電極接触多孔シート１１ｓと、ＭＥＡの電極に非接触の非接触多孔シート１１ｔとを有し、電極接触多孔シートが、非接触多孔シートに比べて、目が細かいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】（１）小型で、効率よく、有害ガスを無害レベルまで除害でき、（２）低いランニングコストで稼動することができる、アンモニア分解装置を提供する。
【解決手段】 対をなす電極２,３、および該対をなす電極に挟まれる電解質１で構成される第１のＭＥＡと、第１のＭＥＡに隣接して、対をなす電極２，３、および該対をなす電極に挟まれる電解質１で構成される第２のＭＥＡとを備え、第１のＭＥＡと第２のＭＥＡとが、アノード２,２を対向させて、気体を流す流路Ａ１を挟み、該流路を両側電極流路としていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】各種ランプを使用しないで、使用による時々刻々変化する条件下であっても、火花放電を防ぎつつ安定したストリーマ放電等を維持出来る放電装置を提供する。
【解決手段】導電性を有する担持体２に光触媒３を担持させ、且つその抵抗値を高抵抗とした光触媒担持体４と、この光触媒担持体４に互いにほぼ等間隔に立設した複数の針状電極５と、これら複数の針状電極５の先端部５ａから０．１〜３０ｍｍ離れた位置に光触媒担持体４とほぼ平行に設置した接地電極６とからなり、光触媒担持体４と接地電極６との間に電源７により±３〜±３０ＫＶの電圧を印加し、上記複数の針状電極５と接地電極６との間にストリーマ放電等を発生させるが、光触媒担持体４自体が高抵抗値を有しているから、火花放電を起こすことなく安定してストリーマ放電等を継続する。 （もっと読む）

【課題】 （１）小型で、効率よく、有害ガスを除害でき、（２）低いランニングコストで稼動することができる、アンモニア分解装置を提供する。
【解決手段】 アンモニア分解装置１０は、対をなす電極２，３、および該対をなす電極に挟まれる電解質１で構成されるＭＥＡを備え、対をなす電極には、それぞれ、気体を導入するための流路１１，１２が設けられ、そのうち少なくとも化学成分を含む気体が導入される電極の流路に、少なくとも一つの折り返し部Ｔが設けられており、その折り返し部を有する流路が、連続気孔を有する金属多孔体７または８で占められていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】廃液からの硫化水素の発生を防ぐことが可能な廃液の処理方法を提供する。
【解決手段】バッチ内で硫黄と第１の硫黄を含む化合物とを反応させた後、バッチ内に残存する硫黄と第２の含硫化合物との混合物を、液状の第３の含硫化合物で洗浄する。そして、この洗浄により発生する、硫黄、第２の含硫化合物、及び、第３の含硫化合物を含む廃液に、第３の含硫化合物と共重合可能な化合物を混合することで、第３の含硫化合物と共重合可能な化合物とを共重合させる。 （もっと読む）

【課題】処理すべき処理対象ガス量に応じて省スペース化することのできる排ガス除害装置を提供する。
【解決手段】本発明の排ガス除害装置１０は、ハロゲン化合物を含む処理対象ガスＦを囲繞し、その内部における高温の熱分解領域にて処理対象ガスＦの熱分解を行い、熱分解した熱分解排ガスＧを熱分解排ガス排出孔３４から排出する反応炉１２と、反応炉１２が挿設されているとともに反応炉１２から排出された熱分解排ガスＧを外部へ排出する排気孔４４が設けられており、熱分解排ガスＧを排気孔４４まで導くガス流路４６が内部に形成された装置本体１４とを備えており、ガス流路４６には、熱分解排ガスＧに含まれるハロゲン物質と反応してハロゲンを熱分解排ガスＧから除去する反応材Ｘが充填されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エネルギの消費量を著しく増大させたり、処理の絶対量を低下させることなく、簡易な方法及び構造で、プラズマによって行う排ガスの処理効率を向上することができるようにした排ガス処理装置における磁場によるプラズマの制御方法及びそれを用いた排ガス処理装置を提供すること。
【解決手段】反応管１内に導入した排ガスを、反応管１内に発生させたプラズマにより分解し処理する排ガス処理装置において、反応管１内に磁場を発生させることにより、反応管１内に発生したプラズマの状態を制御する。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で、高酸化雰囲気における耐酸化性を有する低コストのＮＯｘ分解素子、発電装置を提供する。
【解決手段】ＮＯｘ分解素子１０は、ＮＯｘを含むガスが導入される多孔質のアノード２と、水蒸気が導入される多孔質のカソード３とを備えている。アノードとカソードとの間には、イオン導電性をもつイオン導電材１が介在している。カソード１０は、金属粒状体３１と、イオン導電性のセラミックス３２との焼結体である。金属粒状体３１は、Ｎｉおよび／またはＦｅを主成分として構成され、少なくとも表面領域は高耐熱合金化されている。高耐熱合金化処理には、クロマイジング，アルミナイジング等があり、これらにより、Ｃｒおよび／またはＡｌに富化される。金属粒状体３１の最表層は、０．５〜１００ｎｍの厚さで酸化されている。 （もっと読む）

【課題】大気中に浮遊している繊維状アスベストを、比較的小さなエネルギーをもって溶融塊合或いは球状化するものであり、大気中の浮遊量を低減し、例え人体の中に取り入れられることがあっても、これが肺に突き刺さってしまうことがないように処理する方法を提供する。
【解決手段】アスベスト浮遊物のプラズマによる処理法であって、マイクロ波プラズマにあっては、マイクロ波発信器と、導波管と、を備えたマイクロ波発生装置に対し、導波管の先端の共振器内に放電管を配置してマイクロ波プラズマを発生させ、当該放電管内にアスベスト浮遊物として含む大気を導入して、マイクロ波プラズマからの熱及び発生する活性種によって、前記アスベスト浮遊物を変性（非針状化、無害化）する。 （もっと読む）

改良された酸化方法を用いて広範囲の供給材料を酸化することができる。酸化は反応器内で行い、ここで供給材料を硝酸のような酸化性酸と混合する。反応混合物にはまた、硫酸のような第２の酸化性酸及び水、及び／又は溶解し且つ機械的に混合されている酸素ガスを含ませることができる。反応器は、少なくとも約２０７０ｋＰａ、又は望ましくは少なくとも約２８００ｋＰａのような昇圧に保持することができる。反応混合物の温度は２１０℃以下に保持することができる。ここで記載する種々の態様においては、本方法には、反応器からの再循環流出流を供給材料と混合し、１種類以上の酸化性酸を供給材料と混合し、供給材料を粉砕して粒子の寸法を減少させ、供給材料をほぼ一定の供給速度で高圧反応器中に供給し、酸素ガスを反応器のヘッドスペースから反応混合物中に分散させ、及び／又は気体の全部又は殆ど全部を液体流出流によって反応器から取り出すことを含ませることができる。 （もっと読む）

【課題】高温状態で凝固したスラグから熱エネルギーを高効率で回収することのできるスラグの熱エネルギー回収方法を提供する。
【解決手段】高温状態で凝固した鉄鋼スラグ１等のスラグを熱交換器１０に投入し、熱交換器１０内を流通する気体４をスラグにより昇温させてスラグの熱エネルギーを回収するに際して、スラグと気体４とを熱交換する熱交換器として、スラグを横方向に搬送しながら気体４と熱交換する熱交換器１０を用いてスラグの熱エネルギーを回収する。 （もっと読む）

【課題】異常放電の発生を抑えつつ、処理対象ガスの処理を継続し、未処理のガスが残らないようにする。
【解決手段】高電圧印加部２０を設ける。ハニカム構造体４の第１の電極８を高電圧印加部２０の正電圧供給端子Ｔ１に接続する。ハニカム構造体４の第２の電極９を高電圧印加部２０の負電圧供給端子Ｔ２に接続する。制御部ＣＮＴよりスイッチング用集積回路ＩＣ１，ＩＣ２に対して駆動パルスＰＳ１，ＰＳ２を出力し、第１の電極８に接地電位から正方向に立ち上がる正電圧＋Ｖ１を、第２の電極９に接地電位から負方向に立ち下がる負電圧−Ｖ２を、交互に切り換えて印加する。異常放電検知部２１を設け、第１の電極８と第２の電極９との間の異常放電の発生を検知した場合、その異常放電の発生量に応じて、第１の電極８と第２の電極９への高電圧の休止期間を自動調整する。 （もっと読む）

【課題】大容量の高電圧電源を用いることなく、高いガス処理能力を得る。
【解決手段】高電圧印加手段２０を設ける。ハニカム構造体４の第１の電極８を高電圧印加手段２０の正電圧供給端子Ｔ１に接続する。ハニカム構造体４の第２の電極９を高電圧印加手段２０の負電圧供給端子Ｔ２に接続する。制御部ＣＮＴよりスイッチング用集積回路ＩＣ１，ＩＣ２に対して駆動パルスＰＳ１，ＰＳ２を出力し、第１の電極８に接地電位から正方向に立ち上がる正電圧＋Ｖ１を、第２の電極９に接地電位から負方向に立ち下がる負電圧−Ｖ２を、交互に切り換えて印加する。この際、駆動パルスＰＳ１のオンタイミングに対して駆動パルスＰＳ２のオンタイミングをＴＣ時間遅延させることにより、この遅延時間ＴＣの間、第１の電極８と第２の電極９との間に、正電圧＋Ｖ１と負電圧−Ｖ２との差電圧Ｖ１＋Ｖ２（高電圧）を印加させる。 （もっと読む）

【課題】排ガスの浄化システムに利用した場合に、その浄化システムをできるだけ小型化できるプラズマ発生体を提供する。
【解決手段】 本発明の放電装置は、第１誘電性部材と、空間を介して第１誘電性部材に対向する第２誘電性部材と、第１誘電性部材の内部又は表面に設けられ、交流電位に応じて空間にプラズマを発生させ、直流電位に応じて空間に電界を生じさせる第１電極群と、第２誘電性部材の内部又は表面に設けられ、交流電位に応じて空間にプラズマを発生させ、直流電位に応じて空間に電界を生じさせる第２電極群と、第１電極群および第２電極群の一方に交流電位を供給し、第１電極群および第２電極群の他方に直流電位を供給し、第１電極群と第２電極群との間で交流電位と直流電位とを切り換える切換部とを有する。 （もっと読む）

【課題】ガス流対向面の表面積を大とし、更なるガス処理能力の向上を図る。
【解決手段】各ハニカム構造体４に角穴４ｄを複数設ける。これにより、各ハニカム構造体４の処理対象ガスＧＳの通過方向に面する上流側の面（最上流の面）４ｂ１、各ハニカム構造体４の処理対象ガスＧＳの通過方向に面する角穴４ｄの下流側の面４ｂ２では、プラズマが発生せず、処理対象ガスＧＳの流れに接すると共に、処理対象ガスＧＳの通過方向への流体圧を受けることから、この面４ｂ１，４ｂ２がガス流対向面となって、処理対象ガスＧＳ中の水分がハニカム構造体４内に入り込み、ハニカム構造体４でのプラズマ発生を活性化させる。 （もっと読む）

【課題】高電圧の休止期間を設けて、省エネルギーを図る。
【解決手段】高電圧印加部２０を設ける。ハニカム構造体４の第１の電極８を高電圧印加部２０の正電圧供給端子Ｔ１に接続する。ハニカム構造体４の第２の電極９を高電圧印加部２０の負電圧供給端子Ｔ２に接続する。制御部ＣＮＴよりスイッチング用集積回路ＩＣ１，ＩＣ２に対して駆動パルスＰＳ１，ＰＳ２を出力し、第１の電極８に接地電位から正方向に立ち上がる正電圧＋Ｖ１を、第２の電極９に接地電位から負方向に立ち下がる負電圧−Ｖ２を、交互に切り換えて印加する。この際、駆動パルスＰＳ１のオンタイミングに対して駆動パルスＰＳ２のオンタイミングをＴＣ時間進ませることにより、第１の電極８への正電圧＋Ｖ１が接地電位に立ち下がった状態と第２の電極９への負電圧−Ｖ２が接地電位に立ち上がった状態とが重なる期間（高電圧の休止期間）を設け、第１の電極８と第２の電極９との間に電圧が印加されないようにする。 （もっと読む）

【課題】人体に安全な周波数の放射線を利用した電子殺菌器を提供する。
【解決手段】パイプ状の本体ノズル１内にアルカリ粉体を収容したミネラル素材ケース５を設置し、前記ミネラル素材ケースの一端付近に電源から接続された配線の先端７を切断したままでＹ型に固定し、前記ミネラル素材ケースの他端部で直角に曲げられた前記ノズル内にさらに酸化金属部４と酸化物吸着剤部３を順に配置し、前記酸化物吸着剤部の先に照射端末２を設けた、アルカリ性電子放射器を用いることにより、人体に安全な低周波エネルギーによる活性化電子の放出を行い、殺菌機能を実現する。 （もっと読む）

【課題】 低い電圧でプラズマを発生させることができ、プラズマによる表面電極の侵食が抑制された沿面放電型のプラズマ発生体およびプラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、セラミックスからなる絶縁基板１と、絶縁基板１の一方主面に設けられた第一電極２１と、絶縁基板１の内部または他方主面に設けられ、第一電極２１の少なくとも一部と対向している対向領域および絶縁基板１の一方主面に垂直な方向から見たときに第一電極２１の外側に延出している延出領域を有する第二電極２２とを備えた沿面放電型のプラズマ発生体であって、第二電極２２に対向する第一電極２１の周縁部が多数の孔４１を有するセラミック被膜４で覆われている。 （もっと読む）