【課題】本発明は、工程チャンバと真空ポンプの間に位置し、低圧プラズマを生成して工程チャンバから排出される汚染物質を除去するプラズマ反応器を提供する。
【解決手段】プラズマ反応器３１０は、内部にプラズマ生成空間を形成する少なくとも１つの誘電体３０と、誘電体３０の少なくとも一端に連結する接地電極４１，４２と、誘電体３０の外周面に固定され、交流電源部６０と連結して交流駆動電圧が印加される少なくとも１つの駆動電極５０と、を含み、接地電極４１，４２は、プラズマ反応器３１０の長さ方向に沿って非均一直径を有する。 （もっと読む）

【課題】特定の生成物や副次生成物の生成量を低減可能とされた被処理物の処理方法及び処理装置、さらには、特定の生成物が生成するように制御可能とされた被処理物の処理方法及び処理装置を提供すること。
【解決手段】本発明の被処理物の処理方法は、温度変化することにより成分状態が変化する気体を含む被処理物が活性化状態にある時に、前記被処理物が特定の成分に変化させられる温度領域以下に前記被処理物を急冷することによって、前記特定の成分が存在する温度領域の保持時間を短くして前記被処理物の成分状態を変化させる処理を施すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】粒径が小さく、粒径のばらつきが小さい微粒子を製造することができる製造装置および微粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】微粒子の製造装置は、微粒子製造用の原料を熱プラズマ炎中に間歇的に供給する原料供給手段と、内部に熱プラズマ炎が発生されるものであり、原料供給手段により間歇的に供給される原料を熱プラズマ炎で蒸発させて気相状態の混合物とするプラズマトーチと、プラズマトーチの内部に熱プラズマ炎を発生させるプラズマ発生手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、耐摩耗性の高いセラミックビーズが得られ、かつ、粒径の小さいセラミックビーズであっても効率よく回収できるセラミックビーズの製造方法を提供する。
【解決手段】
高電圧型の直流（ＤＣ）プラズマガンを用いて層流の熱プラズマを発生させ、当該熱プラズマに、予熱したセラミック原料を概ね直交した粉末供給口から投入して溶融後、冷却固化する方法であって、捕集手段にガスを吹き込んで、該熱プラズマを通過したセラミック原料を捕集することを特徴とするセラミックビーズの製造方法。セラミックビーズは、排気された捕集手段、又は／及び冷却水を流した捕集手段で捕集することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】誘導プラズマを安定化させ、有機ハロゲン化合物の安定した分解が可能な有機ハロゲン化合物の分解装置を提供する。
【解決手段】放電管１３内に供給した有機ハロゲン化合物を誘導プラズマを用いて分解する分解装置１０は、有機ハロゲン化合物と水蒸気の混合ガスを内周面に沿って旋回流にして噴出する第１の噴出孔１８が内周面に形成された第１のガス吹込みリング１９と、第１のガス吹込みリング１９の上方に配置され、有機ハロゲン化合物と水蒸気の混合ガスを内周面に沿って旋回流にして噴出する第２の噴出孔２０が内周面に形成された第２のガス吹込みリング２１と、第２のガス吹込みリング２１の上方に配置され第２のガス吹込みリング２１の上端をシールすると共に、第２のガス吹込みリング２１内を貫通し、先端部が第１のガス吹込みリング１９の内孔の上部位置まで達する断面円形の円柱部２２を備えたシール部材２３とを有する。 （もっと読む）

【課題】ＤＣプラズマと高周波プラズマを組合わせたり、２段高周波プラズマ等の複雑なプロセスを用いることなく、より簡便な方法により平滑な表面のセラミックビーズが得られるセラミックビーズの製造方法およびセラミックスビーズを提供する。
【解決手段】高電圧型の直流（ＤＣ）プラズマガンを用いた層流を形成した熱プラズマ中に予熱したセラミック原料を投入し、冷却固化した後、セラミックビーズを捕集する。
セラミック原料をキャリアガスで送りながら、耐熱性の管を通した炉を通過させることにより予熱した原料粉末を熱プラズマに投入し、熱プラズマに対して６０°以上の排出角でセラミックスビーズが排出される条件でプラズマ処理することが好ましい。これにより、ビーズ表面が平滑で、クラック欠陥やビーズ内部の空洞欠陥が少ない良好なセラミックビーズが得られる。 （もっと読む）

【課題】処理すべき処理対象ガス量に応じて省スペース化することのできる排ガス除害装置を提供する。
【解決手段】本発明の排ガス除害装置１０は、ハロゲン化合物を含む処理対象ガスＦを囲繞し、その内部における高温の熱分解領域にて処理対象ガスＦの熱分解を行い、熱分解した熱分解排ガスＧを熱分解排ガス排出孔３４から排出する反応炉１２と、反応炉１２が挿設されているとともに反応炉１２から排出された熱分解排ガスＧを外部へ排出する排気孔４４が設けられており、熱分解排ガスＧを排気孔４４まで導くガス流路４６が内部に形成された装置本体１４とを備えており、ガス流路４６には、熱分解排ガスＧに含まれるハロゲン物質と反応してハロゲンを熱分解排ガスＧから除去する反応材Ｘが充填されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
水蒸気プラズマを安定して生成することができる、新たな水蒸気プラズマ生成装置を提供する。
【解決手段】
流入した水蒸気を水蒸気プラズマとして流出させる被加熱体を、一体に連結された複数の被加熱部材により構成する。該複数の被加熱部材に、水蒸気の流入側から水蒸気プラズマの流出側へ向かうにつれて徐々に数が減らされた貫通孔と、それぞれが対向する面の少なくとも一方に水蒸気の通過域を構成する凹部を形成することで、安定した水蒸気プラズマを発生させることができる。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体の外周部を目封じすることで、構造自体の断熱性が高まり断熱性を向上させることができ、導入ガス温度を上昇できるハニカム構造体を提供するものである。さらに、触媒を担持する場合には、担持触媒を早期活性化できる。とりわけ、コールドスタート時（エンジン冷間始動）においても、導入ガス温度を上昇させやすく、担持触媒を早期活性化させやすくできる。大量の水素を生成させることができ、電極の耐久性も高いプラズマリアクタを提供する。
【解決手段】一の端面から他の端面まで連通しガスの流路となる複数のセル３を区画形成している、隔壁４を含むセル構造部と、前記セル構造部の外周部７の両端面が、目封じされた目封じ部９を有するセル３を備えているハニカム構造体１であって、前記目封じ部９のセル面積が、全セル面積の１０％以上であるハニカム構造体１。 （もっと読む）

ガス洗浄装置及びガス洗浄方法が提供される。本発明によるガス洗浄装置は、 反応ガスが流入される反応管と、反応管と連結され、流入された反応ガスをプラズマ化させる反応器と、反応器内のプラズマに水を注入するための水注入部とを備え、別途のヒーターを使用せず、プラズマの熱源を利用して水を蒸気化させるため、非常に経済的なガス洗浄が可能である。さらに、プラズマ化した反応ガスが排出される最適の領域で水を直接蒸気化させて反応ガスを洗浄するため、ガス洗浄の効率も向上する。
（もっと読む）

【課題】粒径の均等性を向上させることが可能な造粒装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明の造粒装置１００によれば、造粒容器６１の中心部、天井部、側部、底部そして中心部へと循環する循環ガス流に乗って粉体が造粒容器６１内を循環する。この過程で粉体がプラズマフレームＦ２によって加熱されて粉体同士が付着し、粒径が徐々に大きくなる。そして、所定の粒径以上に成長した大径粒体は、自重によって循環ガス流から離脱する。ここで、循環ガス流から離脱した大径粒体は、造粒容器６１の底部に貫通形成された環状孔８２を通って直ちに造粒容器６１の外部、即ち、回収容器１０へと排出されるから、所定の粒径以上に成長した大径粒体に、循環中の粉体又は粒体がさらに付着することが防がれる。これにより、大径粒体の過剰な大型化を抑えて、粒径の均等性を向上させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】複数の粒子が固着した複合粒子を従来より簡便に製造することが可能な複合粒子製造装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明の複合粒子製造装置１００によれば、複数の粒子排出装置２０，２０から落下した粒子に側方からイオン風（ガス）が吹き付けられて、それら粒子が筒形加熱炉７０の上面開口の上方で合流する。各粒子には、イオン風に含まれる気体イオンが付着して互いに反対極性に帯電しているので、合流した粒子同士を静電吸着させることができる。そして、その静電吸着した合体粒子が筒形加熱炉７０を降下する間に加熱溶融されて複合化するので、複合粒子を従来より簡便に製造することができる。また、粒子に気体イオンを付着させることで帯電させているので、複数の粒子同士を衝突又は摩擦により帯電させた場合のように粒子が破壊されることもない。 （もっと読む）

本発明は、液体物質をプラズマトーチの中に注入するための装置に関し、プラズマ流領域（３）の周囲に配置した注入器を有するＮ（Ｎ＞１）個の注入器グループを備え、各注入器グループは少なくともｎｉ（ｎi≧２）個の注入器（１ｂ，１ｂ′，１ｄ，１ｄ′，１ｆ，１ｆ′）を有し、これら注入器をプラズマ流軸線の側方に配置し、各々が前記液体物質を、少なくとも部分的に前記プラズマの流れの方向とは反対方向（１０，１０ ′）に、前記プラズマ内に注入する。
（もっと読む）

【課題】より広いガス条件でプラズマ放電できるプラズマ生成装置を提供すると共に、ＰＦＣなどの有害成分の除去効率を向上させるプラズマ生成装置を提供する。
【解決手段】ガス導入口１ａとガス導出口１ｂを有する円筒状反応容器１に螺旋コイル２を巻回し、この螺旋コイルの２箇所に形成した電極５、６に高周波電源３からの高周波電力を印加して筒状反応容器内でプラズマを発生させ、ガス導入口から導入したガス中の有害成分を分解するプラズマ生成装置であって、螺旋コイルの全巻数が、螺旋コイルの２箇所の電極間の巻数よりも多くされる。ガス導入口側の電極の外側に存在するコイルの巻数をＬとし、２つの電極間のコイルの巻数をＭとしたとき、Ｌ／Ｍが０．３以上である。ガス導出口側の電極の外側に存在するコイルの巻数をＮとし、２つの電極間のコイルの巻数をＭとしたとき、Ｎ／Ｍが０．５以上である。 （もっと読む）

システムは、プラズマ流を生成するプラズマ生成チャンバと、プラズマによって前駆体物質を蒸発させ、反応混合物を形成する反応チャンバと、截頭円錐面と、反応チャンバの噴射口と冷却混合物アウトレットとの間に形成され、噴射口から反応混合物が供給され、反応混合物を冷却して、冷却混合物を形成し、冷却混合物を冷却混合物アウトレットに供給する急冷領域とを有する急冷チャンバと、噴射口に配設され、反応混合物が噴射口を介して流れる際に、反応混合物に調整流体を直接流し、これによって、反応混合物の流れを妨害して、急冷領域内に乱流を発生させ、反応混合物を冷却して、凝固されたナノ粒子を含む冷却混合物を生成する調整流体噴射リングとを備える。
（もっと読む）

【課題】移動が困難な有害物をその保存場所で処理することができる車載式水プラズマ有害物処理装置を提供する。
【解決手段】アーク放電により発生される水プラズマのジェット気流中に直接有害廃棄物ＱＱを投入し該有害物をガス化せしめる水プラズマ有害物処理装置を設ける。トラックＰの荷台上に、水プラズマ発生装置１０を備えたプラズマ処理用ユニット１００を設置する。発電機４３を備えた発電・機械用ユニット２００を設置する。有害廃棄物ＱＱを収容する処理材タンク４４を設置した作業エリア３００を設置する。前記プラズマ処理用ユニット１００に水プラズマ発生装置１０を備える。プラズマ処理用ユニット１００に有害物をガス化した廃棄物を処理する排気処理装置２０を備える。これらの装置と、水プラズマ発生装置１０及び排気処理装置２０に使用する処理用水を収容する水槽３０とを防音性の箱状ユニット内に備える。 （もっと読む）

【課題】急激な温度変化にさらされた場合であってもクラックの発生等により損傷を受けることを抑制することができるプラズマ発生体を提供する。
【解決手段】プラズマ発生体は、内部に放電空間となる空洞を備えている。この空洞は、空洞は、基体の外表面に沿って一方向に延在した形状であり、基体における空洞の端部に隣接した部位は、他の部位よりも弾性率が大きい。基体は、例えば、アルミナセラミックス等であり、空洞の端部に隣接した部位は、例えば、銅等からなる。 （もっと読む）

本発明は滑走型電気アーク装置用セラミック電極（１２２）に関する。セラミック電極（１２２）は、背部（２０２）とヒール部（２０６）と先端部（２０８）とで規定されセラミック羽根（２００）を有する。セラミック羽根（２００）の放電端部（２０４）は、セラミック羽根（２００）のほぼヒール部（２０６）から先端部（２０８）にかけて発散形状で規定される。セラミック羽根（２００）に接続した台座表面（２１０）は、滑走型電気アーク装置内にセラミック羽根（２００）を容易に取付けられるように構成されている。１つ以上のセラミック電極（１２２）が、可燃性物質の少なくとも一部を酸化するための滑走型アーク装置または他の装置で使用される。
（もっと読む）

本発明は可燃性物質の酸化方法および酸化装置に関する。本発明の方法は、滑走型電気アーク酸化装置（１０４）のプラズマゾーン（１１４）に一定量の可燃性物質を導入する工程を有する。本発明の方法は、更に、滑走型電気アーク酸化装置（１０４）のプラズマゾーン（１１４）に一定量の酸化剤を導入する工程を有する。一定量の酸化剤は、化学量論的に過剰の酸素量から成る。本発明の方法は、更に、滑走型電気アーク酸化装置（１０４）のプラズマゾーン（１１４）内の電極間に放電を発生させて可燃性物質を酸化する工程を有する。
（もっと読む）

基材の表面上の、金属酸化物のナノ粒子、複数の金属酸化物のナノ粒子およびそれらの混合物から選択されるナノ粒子の少なくとも1つのナノ多孔性層の調製のための方法であり、前記ナノ粒子が分散され安定化されている少なくとも1つのコロイド状ゾルが、前記ナノ粒子を前記表面上に投射する熱プラズマジェット中に注入される方法。ナノ多孔性層および装置特に前記層を含む分離装置。 （もっと読む）