【課題】プラズマ反応器用電極において、溝又は細孔が電極又は誘電体の表面に形成してあるものでは、電極に印加した電圧により溝又は細孔の部分で電界が集中しても、プラズマ放電は溝又は細孔において二次元的つまり平面的に発生するため、排気ガスなどが通る空間つまり電極間のプラズマ放電は均等な状態にすることが難しく、プラズマ発生効率が低い。
【解決手段】金属板からなり、少なくともその一方の表面に、表面から突出して電位の集中する部位を複数形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 ウェル状反応容器１０に対して、気泡を混入させることなく液状体を供給することが可能な、反応チップを提供する。
【解決手段】 ウェル状反応容器１０の内面から開口部に向かって、複数の棒状突起２０が立設されている。複数の棒状突起２０の間隔ｗは、ウェル状反応容器１０に供給される液滴の直径より小さく形成されている。棒状突起２０の高さｈは、ウェル状反応容器１０に供給される液滴の半径より大きく形成されている。 （もっと読む）

【課題】安定したプラズマ処理を効率よく行うことができるプラズマ処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】半導体ウェハ５を対象としてプラズマ処理を行うプラズマ処理装置において、真空チャンバ２の主体となるチャンバ容器４０の底部４０ｃに電極部材４６が装着された下部電極３を配置し、下部電極３の上方に外縁部５１ａよりも内側の下面側に下方に突出した突出面を備えた上部電極４を昇降自在に配設する。上部電極４を下部電極３に対して下降させて、外縁部５１ａをチャンバ容器４０の側壁部４０ａにおける中間高さＨＬに設けられた環状の密封面４０ｄに当接させ、下部電極３と上部電極４との間に密閉された処理空間２ａを形成する。これにより、上部電極４の上方は常圧空間２ｂとなり、異常放電の発生を防止して安定したプラズマ処理を効率よく行うことができる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ放電リアクター及びガス処理装置において、高電圧印加電極の突起先端の耐久性を向上させることである。
【解決手段】プラズマ放電リアクター及びガス処理装置は、複数の突起３を有する高電圧印加電極２と、高電圧印加電極２に対して空間を隔てて配置された接地電極５と、接地電極５と高電圧印加電極２の間に位置しプラズマが励起される空間部１０と、高電圧印加電極２と接地電極５の間に電圧を供給する電源部６を備える。被処理ガスａはプラズマ空間部１０内でプラズマ処理される。高電圧印加電極２に配設された突起３は絶縁材４で被覆されている。 （もっと読む）

【課題】 粒子層数が数層以上の膜厚においても、微粒子構造体の基板面内での方向および面方位を制御し、｛１１１｝配向以外の面心立方構造を有する微粒子構造体を形成することができる膜状微粒子構造体の製造方法を提供すること。
【解決手段】 表面にエッチピット処理を施した二枚の単結晶（Si）基板８０１を作製する工程と、作製した二枚の単結晶基板８０１で平行にはさまれた微小空間８０８に球形状単分散微粒子分散液８０３を充填し、球形状単分散微粒子分散液８０３中の微粒子が周期的に配列したコロイド結晶からなる微粒子構造体８０７を形成する工程を有する。またさらに、コロイド結晶からなる微粒子構造体８０７から分散媒を蒸発させ（８０６）、オパール結晶からなる微粒子構造体８０７を形成する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】２種以上の流体を微小流路に導入し、微小流路内で流体の進行方向に互いの流体境界で接触させて反応や抽出を実施し、各々の流体が実質的に他の流体の混入なしに別々に所定の排出口より排出できる微小流路構造体を提供する。
【解決手段】流体を導入する２以上の導入口及びそれらに連通する導入流路と、導入流路が合流する合流部と連通しかつ導入された流体を流す微小流路１９と、微小流路に連通しかつ導入される流体を分離する分岐部を有した２以上の排出流路及びそれらに連通する排出口と、を有した微小流路構造体であって、微小流路には、導入された２以上の流体により形成される層流界面の位置又はその近傍に微小流路の高さと実質的に等しい高さの不連続な仕切り壁２２が設けられているとともに、仕切り壁の両側の位置に連続した凸形状のガイド条１６が微小流路の底面に設けられている微小流路構造体を用いる。 （もっと読む）

本発明は、マイクロ処理制御に使用されるコンポーネントであって、少なくとも１つの処理制御マイクロ流体要素（４）およびマイクロ流体チャネル接続部（９）を備え、マイクロ流体要素（４）を包囲する断熱性のハウジング（１）が設けられたものに関する。このマイクロ流体チャネル接続部（９）は、ハウジング（１）を介して案内される。個々のハウジング（１）を連結するための連結要素は、それぞれ整列したマイクロ流体チャネル接続部（９）が密封状態で相互連結可能なように、ハウジング（１）に配置される。マイクロ流体要素（４）は、接続ブロック（３）と熱輸送ブロック（２）の間に差し込まれ、熱輸送ブロック（２）および接続ブロック（３）の温度、すなわちマイクロ流体要素（４）の温度が制御可能である。個々のハウジング（１）を相互連結するための連結要素は、ネジ山部（２２）を含むコニカルスクリュー（２１）および円錐状テーパ部（２３）を有する。コニカルスクリュー（２１）に適合する穴（１９）を備え、相互接続される第１のハウジング（１）から突出する止めピン（１８）は、止めピン（１８）に適合する第２のハウジングの凹み部（２０）に導入される。この止めピンは、円錐状テーパ部（２３）が止めピン（１８）の孔（１９）と嵌合するように、コニカルスクリュー（２１）によって前記凹み部に強く押圧される。
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本発明は、不均一触媒式の反応の実施のためプレート構造若しくは層構造のマイクロ反応器（１）に関し、プレートは化学反応及び熱搬送のために設けられている。反応室内で内壁に触媒物質を施してあり、若しくは溝内に設けてあり、すべての室内にスペーサ部材（１１）を設けてある。特にマイクロ反応器のスリット状の反応室は、内法寸法が１５００マイクロメートルよりも小さく、かつ自由なスリット高さに対する自由なスリット幅の比が１０乃至４５０の範囲である通路を備えている。
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【課題】大気圧下において被処理物表面又は被処理薄膜のプラズマ処理を高効率に行い、プラズマによる導電性・半導体性被処理物表面又は導電性・半導体性被処理薄膜の損傷を防止するプラズマ処理装置および方法を提供する。
【解決手段】電極間の距離が作動ガスの進行方向に沿って増大するグライディングアーク用電極対１８がプラズマ発生部４に配設され、プラズマ発生部４にプラズマを放射する射出口２０が設けられ、電極対１８の先端が射出口２０より内側に位置し、作動ガス供給手段により電極間に大気圧以上又は大気圧近傍の作動ガス１４が供給され、電圧印加時に電極間に生じるアーク４ａが電極間の開方向に移動するグライディングアークを発生させてプラズマを生成し、このプラズマを射出口２０から放射するプラズマ生成装置２を具備する。 （もっと読む）

【課題】 水をヨウ素と二酸化硫黄で分解するＩＳ（Iodine-Sulfur）法による水素生成において、ヨウ素使用量を削減する。
【解決手段】 水素生成原料製造用マイクロチップは、それぞれに異なる流体が注入される複数の注入マイクロチャンネル１ａ，１ｂ，１ｃと、注入マイクロチャンネル１ａ，１ｂ，１ｃから流入した流体を合流させて化学反応により水素生成原料を生成する反応マイクロチャンネル２と、反応マイクロチャンネル２から出てきた流体を分流する複数の分離マイクロチャンネル３ａ，３ｂ，３ｃと、を具備する。反応マイクロチャンネル２は、注入マイクロチャンネル１ａ，１ｂ，１ｃそれぞれの境界の延長に沿って、反応マイクロチャンネル２内の流れの分離を助けるとともに相当程度の混合も許容する分離手段４を有する。 （もっと読む）

【課題】 被処理粉体の球形化処理若しくは複合化処理を高効率且つ連続処理で実施する事により、コンパクトな製造装置を提供する。
【解決手段】 中空円盤型容器１の内部に高速回転する回転軸まわりに開口部を有する回転円盤２がある。その回転円盤の表面２１及び裏面２２には、それぞれ回転ピン３及び４が付設され、中空円盤型容器１の内表面１１及び内裏面１２には、それぞれ、前記回転ピンに対向し、その回転ピンと一定の隙間を有した固定ピン５及び６が付設されている。又、開口部を有する回転円盤２の軸心側に吸込翼７、裏面外周には突出翼８が設置され、さらに中空円盤型容器の内表面１１の中央に分級室３０、その中央に供給管３２、外壁には排出口３３が設置されている。開口部を有する回転円盤２が高速回転する事で、粉体が回転ピン３及び４と固定ピン５及び６の隙間を通過しつつ、多流量で内部循環する。 （もっと読む）

【課題】 微細な凹溝を表面に形成した基体プレートと、この凹溝を被覆するためのカバー体とを確実に接合し、内部に液漏れのない流路を形成するにあたり、接着する場合には接着剤が流路内に流入することを阻止でき、また熱圧着、超音波溶着あるいはレーザー溶着する場合には流路の熱変形を抑制でき、もって寸法精度の高いマイクロ化学デバイス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 合成樹脂製の基体プレート１の接合面側に所定パターンで凹溝３を設けるとともに、該凹溝の両側に沿った接合面Ｓ上に突条４を一体成形し、基体プレートの接合面側に合成樹脂製のカバー体２を突条に押し当てた状態で、接着、熱圧着、超音波溶着及びレーザー溶着からなる接合手段のうち何れか一種又は二種の接合手段にて接合し、内部に凹溝とカバー体とで流路を形成した。 （もっと読む）

【課題】オゾンやコロナ発生に際し電極間に印加する電圧をできるだけ低くし、両電極をオゾンやコロナ発生部所では電気的に完全に隔離することによりオゾンやコロナ発生量をより効率よく発生させる。また、オゾンやコロナ発生時に伴うＮＯｘによる影響をなくす。
【解決手段】電極の一方を絶縁体の外皮で覆い長い線状、帯状、棒状または板状にし、もう一方の電極をそれぞれの形状にあわせて裸線にして他の絶縁芯線に沿わせて平行、直角、螺旋、網状あるいはジグザグ状などに密着配置することにより、電圧を低くする。また、ゼオライトなどによる窒素除去装置を設けて、ほとんど酸素雰囲気でオゾンやコロナ発生を行えばＮＯｘを発生せずにオゾンやコロナを効率よく発生できる。該方法による、オゾンやコロナ発生装置は、有機ガス又はＮＯｘの有害ガスの分解浄化に用いる事ができる。 （もっと読む）

【課題】 バルブを開いた状態から閉じる時の応答速度を向上させることにより、その時の逆流量を減少させ、該バルブをダイヤフラム式ポンプ機構やプランジャ式ポンプ機構の吐出側逆流防止バルブとして用いた場合に、吐出量の低下や、該ポンプ機構の駆動周波数に対する吐出量の直線性の低下を抑制すること。
【解決手段】 毛細管状の流路を有するマイクロ流体デバイスであって、前記流路の途中に該流路を遮断するための堰状構造を有し、該堰状構造部及び該堰状構造を含む近傍の領域が固着しておらず且つ流路内の流体圧力により流路を開放して流体を流通する流路開放部が設けられてなり、該流路開放部に相対する流路外部に該流路開放部を圧迫するように圧迫部材が設けられてなることを特徴とするマイクロ流体デバイス。 （もっと読む）

この発明は、単段階プロセスチャネル（１２０）において平衡限界的化学反応を行うプロセスに関する。交差流型熱交換（１５４）を備えたマルチチャネル反応器（１００）が開示されている。
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【課題】 大きな流体圧であっても良好な流体密封性を有し、部材の交換、再利用が可能で、簡便なワンタッチ操作性を有するマイクロチップコネクター構造を提供する。
【解決手段】 流体流通用のチューブ１４が挿通される中空部１１１を有し、マイクロチップに固定されるマイクロチップ固定体１１と、チューブ１４の外周に配置され、マイクロチップ固定体１１の中空部１１１に挿入されてその先端部がマイクロチップ固定体の中空部１１１内壁に圧着されるフェルール体１２と、 流体流通用のチューブ１４が挿通穴１３を頂部に有し、フエルール体１２後端部１２２を押圧した状態でマイクロチップ固定体に係止されるキャップ体１３とを有する、マイクロチップ微細流路への流体の供給もしくは排出のためのマイクロチップコネクターである。 （もっと読む）

本発明は、室内用空気清浄器または空調装置の内部に装着され、陰イオンを発生させる非オゾンクラスター陰イオン装置を請求の範囲とする。一般に、電子にとって金属と気体の境界面は障壁であり、この障壁を越えて電子を放出するには、電子を閉じ込めているエネルギーより高いエネルギーを与えなければならない。言い換えると、電子を閉じ込めているエネルギーより高い電界が必要になる。電界が高くなると、トンネル効果が発生する。つまり、電子が波の性質を有し、金属と誘電体（空気）との間の薄くなったエネルギー障壁を、越える代わりに突き抜ける。一般に、トンネル効果は、エネルギー障壁の厚さが約１００オングストロームを下回った場合に発生すると言われてきた。金属と気体の境界面では、帯電電界が１０^７〜１０^８［Ｖ／ｃｍ］前後になると、トンネル効果が発生して数μＡの電流が流れる。ただし、微細な線断面や鋭い先端部であれば、２〜５ｋＶ程度の低い電圧でも、トンネル効果が発生することがある。具体的には、本発明は、無数の鋭い突起を有する金属繊維（ＭＦ）の形態を有する陰イオン発生部と、電源部から構成される。陰イオン発生部は、白金、ステンレス鋼、銅、銀、亜鉛、ニッケル、マンガン、およびタングステンの８種類の金属の合金、自由電子を有する導電布、導電樹脂、および半導電樹脂をロープ状により合わせて構成される。本発明に用いるＭＦは、表面上に多数の針を有する。このＭＦに電気エネルギーを与えると、針は、一般的なイオン化ポテンシャルより低いエネルギーで空気中に電子を放出する。この場合、水分の付着による周囲の湿気が電子の放出に影響を及ぼす。針から放出された電子は、酸素や他の物質などの中性の粒子に付着して（酸素は非常に強い電子親和力［−１３５ＫＪ／ｍｏｌｅ］を有する）、それらを陰イオンに変える。この場合、陰イオンの質量が電子の質量より大きくなり、陰イオンの移動速度が低下して、導電性が低下するばかりか、他の中性粒子のイオン化が行われなくなる。そこで本発明では、オゾン（Ｏ_３）を発生させることなく陰イオンを発生させることを主張する。
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粒子サイズが１００ｎｍ以下の酸化物及び絶縁膜でコーティングされたナノ粒子を気体搬送しながらプラズマ処理することで，酸化物ナノ粒子表面の有機汚染，未反応基を除去することができる。
【課題】粒子サイズが１００ｎｍ以下の酸化物及び絶縁膜でコーティングされたナノ粒子は，壁面などへ付着しやすく，凝集体となりやすい。これらの材料を単分散状態で気体搬送することは極めて困難である。
【解決手段】ブラシなどのような微小な突起を多数設けた構造体をホッパー下端に設置し，その構造体を回転させることで材料を定量供給する。供給した材料を体積変動によって煙状化し，キャリアガスと共にプラズマ処理する部分に気体搬送する。 （もっと読む）

【課題】 処理される微粒子が確実に表面改質効果を得ることができる微粒子処理方法並びに装置の提供。
【解決手段】 ガスをプラズマ処理装置に供給する工程と、前記ガスのプラズマ処理装置への供給経路に粒子を供給し、ガスの流れとともにプラズマ処理装置内へ粒子を供給する工程と、前記供給経路のプラズマ処理装置内出口に対向して配された一対の電極間において、該出口を囲むようにプラズマを生じさせる工程からなることを特徴とする微粒子処理方法である （もっと読む）

エチレン等を製造する熱分解反応炉で用いられるクラッキングチューブ（５０）であって、管の内面に、管内流体の撹拌作用を有するフィン（１）が管軸に対して傾斜して形成されており、フィンは１条乃至複数条の螺旋軌跡を描いて螺旋方向に断続して配備され、管軸の一方の端面から他方の端面まで、管軸方向の全体に亘って、管内面にフィンの存在しない領域（Ｚ_Ｂ）を有している。
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