Fターム[4H006AB78]の内容
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Fターム[4H006AB78]に分類される特許
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含フッ素スルホン酸塩類、光酸発生剤、レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法
【課題】リソグラフィ工程において、解像度に優れ、DOFが広く、LERが小さく、さらには感度が高く優れたパターン形状を形成できるレジスト組成物を調製するのに適した、レジスト溶剤に溶解性の高い光酸発生剤を提供する。
【解決手段】ベース樹脂、光酸発生剤及び溶剤を少なくとも含有してなるレジスト組成物において、光酸発生剤が、下記一般式(4)で表される含フッ素スルホン酸塩であるレジスト組成物。
(式中、Xは水素原子またはフッ素原子を表す。nは1〜6の整数を表す。R1は水素原子、アルキル基、アルケニル基、オキソアルキル基、アリール基、アラルキル基を表す。また、R1に含まれる炭素上の水素原子は、置換基によって置換されていてもよい。R2は、RAO、RBRCNのいずれかを表す。Aは、二価の基を表す。)
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塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
【課題】優れたフォーカスマージンを有するパターンを得ることができるレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】式(I)で表される塩及びこの塩を含有するレジスト組成物。
[式中、Q1及びQ2は、互いに独立に、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基;L1は、2価の飽和炭化水素基を表し、該基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基で置き換わっていてもよい;Wは、脂環式炭化水素基を表し、該基に含まれるメチレン基は、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基又はスルホニル基で置換されていてもよく、該基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、アルキル基、アルコキシ基、脂環式炭化水素基又は芳香族炭化水素基で置換されていてもよい;Rfは、互いに独立に、フッ素原子又はフッ化アルキル基;nは1〜10の整数;Z+は有機対イオンを表す。]
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レジスト組成物、並びに、それを用いたレジスト膜及びパターン形成方法
【課題】ウォーターマーク欠陥を減少させると共に、良好な形状のレジストパターンを形成可能とするレジスト組成物、並びに、それを用いたレジスト膜及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】(A)酸の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂と、(B)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物であって、下記一般式(I)又はビス(アルキルスルホニル)イミドアニオン、トリス(アルキルスルホニル)メチドアニオンを有するオニウム塩と、(C)フッ素原子及びケイ素原子の少なくとも一方を含んだ樹脂と、(D)第1の溶剤と第2の溶剤とを含んだ混合溶剤であって、前記第1及び第2の溶剤の少なくとも一方は標準沸点が200℃以上である混合溶剤とを含有するレジスト組成物。
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レジスト用化合物およびレジスト組成物
【課題】高感度で、高解像度のレジストパターンを作製することができ、集積度の高い半導体素子を高い生産性で作製することが可能となるレジスト組成物およびそれに用いることができる化合物を提供する。
【解決手段】 本発明は、(a)炭素数5〜45の芳香族ケトンまたは芳香族アルデヒド、および炭素数6〜15であり1〜3個のフェノール性水酸基を含有する化合物の縮合反応により製造されたポリフェノール化合物に、可視光線、紫外線、エキシマレーザー、極端紫外線(EUV)、電子線、X線、およびイオンビームからなる群から選ばれるいずれかの放射線の照射により直接的又は間接的に架橋反応を起こす架橋反応性基を導入する試剤を反応させることにより製造され、(b)分子量が300〜5000であり、かつ(c)該架橋反応性基を分子中に少なくとも1個有するレジスト化合物(A)を一種以上含むレジスト組成物およびそれに用いる化合物である。
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含フッ素スルホン、含フッ素チオエーテル、含フッ素チオエーテルの製造方法、及び、含フッ素スルホンの製造方法
【課題】エネルギー貯蔵デバイスの電解液に好適に使用可能な、新規な含フッ素スルホンを提供する。
【解決手段】下記式(1):
[化1]
(式中、R1は酸素原子が挿入されていてもよい炭素数1〜7のアルキル基又は炭素数1〜7のフルオロアルキル基である。R2は、−CF2CXYH(式中、XおよびYは、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、臭素原子、ヨウ素原子、炭素数1〜5のフルオロアルキル基又は炭素数1〜5のフルオロアルコキシ基である。)で表わされる基である。)で表されることを特徴とする含フッ素スルホンである。
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有機電界発光素子及び電荷輸送材料
【課題】優れた発光効率と耐久性を有し、更に駆動電圧が低く、かつ経時電圧上昇の小さい有機電界発光素子を提供すること。
【解決手段】基板上に、陽極及び陰極からなる一対の電極と、該電極間に発光層を含む少なくとも一層の有機層とを有する有機電界発光素子であって、前記有機層のうち少なくとも一層に特定のトリフェニレン化合物(例えば下記のいずれかの化合物)を含有する有機電界発光素子。
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シュウ酸バリウムチタニル粒子、その製造方法及びチタン酸バリウムの製造方法
【解決課題】本発明の目的は、微細で且つ、球状の粒子形状を有するシュウ酸バリウムチタニル粒子を提供すること。更に、本発明は結晶性に優れたチタン酸バリウムを提供すること。
【解決手段】平均粒子径が0.1〜50μmであり、粒子形状が球状であることを特徴とするシュウ酸バリウムチタニル粒子であり、その好ましい製造方法は、シュウ酸及び四塩化チタンを水に混合して得られる水溶液(A1液)と、塩化バリウム水溶液(B1液)と、を反応容器に供給しつつ、反応液を該反応容器から排出しながら、シュウ酸バリウムチタニルの生成反応を50℃未満で行うことが好ましい。
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酸発生剤用の塩及びレジスト組成物
【課題】優れた解像度を有するパターンを得ることができるレジスト組成物の酸発生剤用の塩を提供する。
【解決手段】式(I)で表される塩。[Q1及びQ2はフッ素原子又はC1-6ペルフルオロアルキル基を表す。L1及びL2はC1-17アルキレン基を表し、該アルキレン基の−CH2−は−O−又は−CO−で置き換わっていてもよい。環W1はC3-36飽和炭化水素環を表す。R2はC1-6アルキル基又はC1-6アルコキシ基を表す。sは0〜2の整数を表す。環W2はC3-36飽和炭化水素環を表す。R4はヒドロキシル基、C1-6ヒドロキシアルキル基又はC1-6ヒドロキシアルコキシ基を表す。vは、1〜3の整数を表す。R5は、C1-6アルキル基又はC1-6アルコキシ基を表す。wは、0〜2の整数を表す。Z+は、有機対イオンを表す。]
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塩、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
【課題】従来の酸発生剤を含むレジスト組成物では、得られるパターンのラインエッジラフネス(LER)が必ずしも満足できない場合があった。
【解決手段】式(I)で表される塩。
[式(I)中、Q1及びQ2は、互いに独立に、フッ素原子又は炭素数1〜6のペルフルオロアルキル基を表す。L1及びL2は、互いに独立に、2価の炭素数1〜17の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基を構成しているメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基で置き換わっていてもよい。環W1及び環W2は、互いに独立に、炭素数3〜36の脂肪族環を表す。R2及びR4は、互いに独立に、炭素数1〜6のアルキル基を表す。R3は、炭素数1〜12の炭化水素基を表す。t及びuは、互いに独立に、0〜2の整数を表す。Z+は、有機対イオンを表す。]
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新規化合物
【課題】優れた解像性を有し、矩形性が良好な微細パターンを形成できるとともに、酸発生剤から発生する酸が弱い場合も良好なレジスト特性が得られ、感度も良好なフォトレジスト組成物を構成できる高分子化合物の調製に好適な新規化合物を提供する。
【解決手段】下記一般式(2)(式中、R1はアダマンタン骨格を有する炭素数20以下の脂肪族環式基(但し、カルボニル基を有する基を除く。)であり、nは0または1〜5の整数を表し、R2は水素原子、フッ素原子又は炭素数20以下の低級アルキル基を表す。)で示される化合物。
[化1]
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環状第4級アンモニウム塩、それを用いた電解質組成物、及び該電解質組成物を用いた電気化学デバイス
【課題】約100℃以下で液状を示し、不揮発性、不燃性、高熱安定性、高イオン導電性、耐電気分解性(耐久性)などを有し、有機溶媒を使用することなくそのまま電解質としても使用できる新規第4級アンモニウム塩、それを用いてなる電解質組成物及び電気化学デバイスを提供する。
【解決手段】下記一般式(1)
(式中、R1は、水素原子又は炭素数1〜4の直鎖又は分岐のアルキル基を示す。R2及びR3は、同一又は異なって、炭素数1〜4の直鎖又は分岐のアルキル基、炭素数1〜4のアルコキシメチル基又は炭素数1〜4のアルコキシエチル基を示し、また、R2とR3とが環を形成していてもよい。mは、1又は2を表す。X−は、アニオンを示す。)で表わされる3位に置換基を有する環状第四級アンモニウム塩。
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オキソカーボン類を含有する高分子組成物及びその用途
【課題】水素ガスなどの気体燃料やメタノールやジメチルエーテルなどの液体燃料を用いる固体高分子型燃料電池のプロトン伝導膜用材料として有用であり、プロトン伝導膜としたときに、化学的安定性、耐水性に優れ、優れたプロトン伝導性を有するプロトン伝導膜を与える高分子組成物を提供する。
【解決手段】〔1〕オキソカーボン類と高分子化合物とを含有することを特徴とする高分子組成物。
〔2〕オキソカーボン類が、下式(1)で示される〔1〕に記載の高分子組成物。
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蓄電装置、リチウムイオン二次電池、電気二重層キャパシタ、及びリチウムイオンキャパシタ
【課題】耐還元性に優れた環状の4級アンモニウムカチオン、および1価のアニオンから構成される常温溶融塩を電解液とする高性能な蓄電装置を提供する。
【解決手段】下記一般式(G1)で表される環状の4級アンモニウムカチオンから構成される常温溶融塩を電解液とする蓄電装置である。
式中、R1〜R5のうち、一または二は、炭素数は1〜20のアルキル基、メトキシ基、メトキシメチル基、またはメトキシエチル基のいずれかを表し、他の三または四は、水素原子とし、A−は、1価のイミド系アニオン、1価のメチド系アニオン、パーフルオロアルキルスルホン酸アニオン、テトラフルオロボレート(BF4−)またはヘキサフルオロホスフェート(PF6−)のいずれかを表す。
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ポリアセン誘導体
【課題】有機薄膜太陽電池やフレキシブル基板などの有機薄膜上にも簡便な方法でポリアセン誘導体の薄膜を形成する方法及びそれに用いる新規なポリアセン誘導体を提供する。
【解決手段】下記式(I):
[式中、R1〜R8は水素原子、C1〜C20炭化水素基等であり、A1及びA2は親水性基であり、nは1、2又は3である。]で示されるポリアセン誘導体を用いることにより上記課題を解決しうる。
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電解液の製造方法
【課題】脂肪族環状アンモニウム系イオン液体を含む電解液であって、より低粘度の電解液を製造する方法を提供する。
【解決手段】カチオンAy(ピロリジニウムまたはピペリジニウム)とアニオンByとの塩であるイオン液体を含む電解液を製造する方法が提供される。その方法は、カチオンAyとアニオンBxとの塩である第一原料を結晶化させること;その結晶化させた第一原料を溶媒に溶かした溶液を調製すること;該溶液を吸着材と接触させる処理を行うこと;および、上記溶液を上記吸着材から分別した後、アニオンByを有する第二原料と上記第一原料とを混合して上記イオン液体を生じさせること;を包含する。
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電気絶縁油および油入電気機器
【課題】絶縁紙が巻きつけられた銅コイルが電気絶縁油中に配置された変圧器などの油入電気機器において、コイル等の絶縁紙に硫化銅が析出しない電気絶縁油、および、その電気絶縁油を用いた油入電気機器を提供すること。
【解決手段】本発明は、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾールの濃度が0.2重量%以下であることを特徴とする、油入電気機器に用いる電気絶縁油である。
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有機EL素子
【課題】ベンゾフルオランテン構造とアントラセン構造の両構造の特性を有し、安定性に優れた有機EL材料を提供する。
【解決手段】有機EL素子は、下記一般式(I)で表される化合物を含有する、少なくとも1層の有機化合物層を有する。
(式中、Lは連結基であり、位置1〜12のいずれかの位置と位置13〜22のいずれかの位置とを連結する。連結されなかった位置1〜22には、水素原子、置換または無置換のアリール基、置換または無置換の複素環基、置換または無置換のアルキル基、芳香族アミノ基のいずれかで置換されている。Lは、単結合、置換または無置換のアリーレン基、置換または無置換の複素環基、置換または無置換のアルキレン基のいずれかを表す。)
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塩及びレジスト組成物
【課題】優れた解像度を有するパターンを製造することができるレジスト組成物の酸発生剤用の塩を提供する。
【解決手段】式(I)で表される塩。[R1及びR2はフッ素原子又は炭素数1〜6のペルフルオロアルキル基を表す。R3は、水素原子又はメチル基を表す。X1は2価の炭素数1〜17の飽和炭化水素基を表し、前記2価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子で置換されていてもよく、前記2価の飽和炭化水素基に含まれる−CH2−は、−O−又は−CO−で置き換わっていてもよい。X2は、炭素数10〜14の2価の芳香族炭化水素基を表す。X3は、単結合、*1−CO−O−*2又は*1−CO−O−(CH2)k−CO−O−*2を表す。Z1+は、有機対イオンを表す。]
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シクロヘキサン化合物
【課題】 本発明が解決しようとする課題は、絶縁性液体として有用な化合物を提供することであり、また、タッチパネルを構成させた場合に広い温度範囲、特に低温域で使用することが可能であり、更にタッチパネル中の他の構成材料を侵さない化合物を提供することである。
【解決手段】 一般式(I)
【化1】
で表されるシクロヘキサン化合物を提供する。本願発明のシクロヘキサン化合物は、絶縁性液体を製造するのに有用であり、また、それを用いた組成物は、タッチパネル中の他の構成材料を侵さないことからタッチパネルの構成部材として有用である。
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透明絶縁性組成物
【課題】 ガラスの屈折率に近い1.5程度の屈折率、高い絶縁性及び高い安定性有する透明絶縁性液体を提供し、併せて当該透明絶縁性組成物を構成部材とする透過率の高いタッチパネルを提供する。
【解決手段】 一般式(I)
【化1】
表されるシクロヘキサン環を有する液晶化合物を少なくとも一種含有し、液晶相上限温度が0℃以下であるか又は液晶相を発現しないことを特徴とする透明絶縁性組成物及び当該組成物を構成部材とするタッチパネル並びにタッチパネルを具備した表示素子を提供する。
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