原子層成長による金属含有膜の形成方法を提供する。この方法は、少なくとも一種の前駆体を基板に供給することを含んでなり、少なくとも一種の前駆体は構造が式ＩＩ（式中、ＭはＨｆまたはＺｒであり、ＲはＣ_１−Ｃ_６アルキルであり、ｎは０、１、２、３、４または５であり、ＬはＣ_１−Ｃ_６アルコキシである）に対応する。さらに液体注入原子層成長による金属含有膜の形成方法を提供する。この方法は少なくとも一種の前駆体を基板に供給することを含んでなり、少なくとも一種の前駆体は構造が式ＩＩＩ（式中、ＭはＨｆまたはＺｒであり、ＲはＣ_１−Ｃ_６アルキルであり、ｎは０、１、２、３、４または５であり、Ｌはアミノであり、アミノは独立してＣ_１−Ｃ_６アルキルによって１又は２置換されていてもよい）に対応する。

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原子層成長によるチタン含有膜の形成方法を提供する。この方法は少なくとも一種の前駆体を基板に供給することを含み、少なくとも一種の前駆体は構造が式Ｉ（式中、ＲはＣ_１−Ｃ_６アルキルであり、ｎは０、１、２、３、４または５であり、ＬはＣ_１−Ｃ_６アルコキシ又はアミノであり、かつアミノは独立してＣ_１−Ｃ_６アルキルによって１又は２置換されていてもよい）に対応する。

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【課題】新規な含窒素有機珪素化合物と、その効率的な製造法の提供。
【解決手段】エチレングリコールモノアリルエーテル又はポリエチレングリコールモノアリルエーテルを出発原料とし、アルコキシシランを用いてシリル化した後、アミノ基を導入することにより、一般式（１）


で示される含窒素有機珪素化合物を得る。さらに、該化合物のアミノ基に、後周期遷移金属と２座での錯形成可能なリン原子を２個有するビフェニル基、ビナフチル基、又はフェロセニル基を導入することにより、一般式（２）


で示される含窒素有機珪素化合物を得る。 （もっと読む）

【解決手段】スルホン酸化合物もしくはその誘導体又は銅化合物の存在下に、ヒドロキシル基含有化合物のヒドロキシル基をクロロシランによりシリル化することを特徴とするヒドロキシル基のシリル化方法。
【効果】本発明のヒドロキシル基含有化合物のシリル化方法によれば、ヒドロキシル基をクロロシランによりシリル化する反応を促進することができ、特に非極性溶媒中で有効にシリル化することができる。 （もっと読む）

【課題】凝集物の生成が抑制可能でかつ金属原子に対する配位子の数を制御可能な金属−珪素複合アルコキシドを提供する。
【解決手段】本発明に係る金属−珪素複合アルコキシドは下記一般式（１）で表される。


一般式（１）中、「Ｍ」は金属原子を表す。「Ｒ」はアルキル基を表し、互いに異なっていても互いに同一のものを含んでいても良い。「Ｒ’」は炭素数４以下のアルキル基を表し、互いに異なっていても互いに同一のものを含んでいても良い。「Ｑ」は二価の炭化水素基またはイオウ原子を含有する二価の有機基を表し、互いに異なっていても互いに同一のものを含んでいても良い。「Ｘ」は一価の炭化水素基を表し、互いに異なっていても互いに同一のものを含んでいても良い。「ａ」は０〜３の整数を、「ｂ」は１〜５の整数を、「ｎ」はｂを超えない整数を表す。 （もっと読む）

【課題】新規なフルオロアダマンタン誘導体、その製造方法、および組成物を提供する。
【解決手段】下記化合物（１’）、その製造方法、および化合物（１’）と有機溶媒を含む組成物（ただし、Ｑはモノフルオロメチレン基またはジフルオロメチレン基（６個のＱは同一であっても異なっていてもよい。）であり、Ｚ’は−Ｆ、−Ｈ、または−Ｗ’−ＣＨ_２ＣＨ_２ＳｉＲ_３（３個のＺ’は同一であっても異なっていてもよい。）であり、Ｗ’は単結合、エーテル性酸素原子、炭素数１〜８のアルキレン基、炭素数１〜８のオキシアルキレン基、炭素数２〜８のエーテル性酸素原子を有するアルキレン基または炭素数２〜８のエーテル性酸素原子を有するオキシアルキレン基であり、Ｒは炭素数１〜６のアルキル基または炭素数１〜６のアルコキシ基であって、少なくとも１個のＲは炭素数１〜６のアルコキシ基である。）。
【化１】
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【解決手段】下記一般式（１）


（Ｒ¹及びＲ²は１価炭化水素基であるか、又はＲ¹とＲ²が結合してこれらが結合する炭素原子と共に脂環をなしてもよく、各々同一又は異なっていてもよい。Ｒ³及びＲ⁴は１価炭化水素基であって、各々同一又は異なっていてもよい。Ｒ⁵は水素原子又はメチル基である。Ｒ⁶は１価炭化水素基であって、各々同一又は異なっていてもよい。Ｒ⁷はハロゲン原子又はアルコキシル基である。ｋは０〜１０の整数である。Ｒ⁵が水素原子の時にｍは１、Ｒ⁵がメチル基の時にｍは０である。ｎは０〜２の整数である。）
で表される有機ケイ素化合物。
【効果】本発明の新規な有機ケイ素化合物は、遊離のヒドロキシル基を含有せず、安定性が高く、無機材料と共有結合可能な加水分解性シリル基を含有し、硬化後も黄変、不快臭がない、光重合開始基を有する有機ケイ素化合物として非常に有用である。 （もっと読む）

【課題】屈折率制御機能、光吸収機能、発光機能又は電荷輸送機能等の機能を有する有機シリカの合成に有用な有機シラン化合物の提供。
【解決手段】フェニレン基、ビフェニレン基、ナフチレン基、ビピリジレン基、ビニレン基又はメチレン基を含む所定の有機基を骨格有機基として導入した有機シラン。これらの有機シランを用いることにより、一般の有機合成反応、例えば鈴木、薗頭、根岸、熊田−玉尾、小杉−右田−スティル、アミノ化等のカップリング反応を利用して、屈折率制御機能、光吸収機能、発光機能又は電荷輸送機能等を有する様々な有機シリカを合成できる。 （もっと読む）

【課題】アルキルアルコキシシリル基により保護された水酸基を含有し、脱保護により脱離したシリル基がシルセスキオキサン骨格に組み込まれるアルコキシシランを提供する。
【解決手段】本発明は、下記一般式（１）で表される有機ケイ素化合物である。
【化１】


（式中、Ｒ¹、Ｒ²、Ｒ⁴、Ｒ⁵およびＲ⁶は炭素数１から１０のアルキル基、アラルキル基またはアリール基であり、Ｒ³は炭素数２から１０のアルキレン基又は炭素数７から１０のフェニルアルキレン基を示し、ａおよびｂは、ａ≧０、ｂ≧１およびａ＋ｂ＝３を満たす整数である。） （もっと読む）

【課題】光増感作用を示す固体光触媒であるチタニアの表面に触媒部位となるビタミンＢ₁₂化合物を、シロキサン結合を主鎖に有する結合部を介して強固に固定化することによる、様々なｐＨ条件で耐久性の高いビタミンＢ₁₂−チタニアハイブリッド化合物および脱ハロゲン化触媒を提供する。
【解決手段】一つ以上のビタミンＢ₁₂化合物が、結合部を介してチタニアに固定化されていることを特徴とするビタミンＢ₁₂−チタニアハイブリッド化合物。 （もっと読む）

【課題】化学的な安定性が高く、メソ構造の有機シリカの合成に有用な化合物の提供。
【解決手段】一般式（１）の有機シラン化合物。


（Ａｒは２価の芳香族有機基を、Ｒ^１は水素原子等を示し、Ｘは反応性置換基を示す。） （もっと読む）

【課題】加水分解性基を有する金属系界面活性剤のオリゴマーを用いて、不純物が少ない緻密な単分子膜を迅速に形成できる有機薄膜形成方法を提供する。
【解決手段】すなわち、本発明は、
（１）
（Ａ）有機溶媒中で、少なくとも１以上の加水分解性基を有する金属系界面活性剤及び前記金属系界面活性剤と相互作用し得る化合物を混合して、前記金属系界面活性剤の加水分解生成物である水酸基含有化合物を２０〜２０００ｐｐｍ含有する有機薄膜形成用溶液を作製する工程、及び
（Ｂ）得られる有機溶媒溶液を基板と接触させる工程
からなる有機薄膜形成方法において、金属系界面活性剤が式（Ｉ）
【化１】


で表される化合物のオリゴマーの少なくとも１種であることを特徴とする有機薄膜形成方法。 （もっと読む）

本発明は、一般式（Ｉ）
（Ｒ″）Ｏ−Ｃ_nＨ_2nＳｉ（Ｒ′）_m（ＯＲ）_3-m
［式中、基Ｒ及びＲ′は独立して、１〜４個の炭素原子を有する線状の又は分枝したアルキル基であり、ｎは、１、２、３、４、５、６、７又は８であり、そしてｍは０、１、２又は３であり、そしてＲ″は基Ｈ₂Ｃ（Ｏ）ＣＨ−又はＨ₂Ｃ（Ｏ）ＣＨＣＨ₂−である］
のグリシジルオキシアルキルアルコキシシランの製造方法であって、
（ｉ）一般式（ＩＩ）
（Ｒ″）Ｏ−Ｃ_nＨ_2n-1
［式中、Ｒ″は、基Ｈ₂Ｃ（Ｏ）ＣＨ−又はＨ₂Ｃ（Ｏ）ＣＨＣＨ₂−であり、ｎは１、２、３、４、５、６、７又は８である］
の官能化したアルケンを、
（ｉｉ）一般式（ＩＩＩ）
ＨＳｉ（Ｒ′）_m（ＯＲ）_3-m （ＩＩＩ）
［式中、基Ｒ及びＲ′は、独立して、１〜４個の炭素原子を有する線状の又は分枝したアルキル基であり、かつ、ｍは０、１、２又は３である］の少なくとも１つの水素アルコキシシランと、
（ｉｉｉ）少なくとも１の均一系触媒
（ｉｖ）少なくとも１種の溶媒及び／又は少なくとも１種の希釈剤及び
（ｖ）少なくとも１種の促進剤の存在下で反応させる、製造方法に関する。 （もっと読む）

【課題】 有機−無機複合材料などとして有用なビス（２−メルカプトエチル）シラン化合物の工業的に有利な製造方法を提供する。
【解決手段】一般式（１）；


（式中、Ｒ^１、Ｒ^２はそれぞれ独立して、炭素数１〜２のアルキル基または炭素数１〜２のアルコキシ基を示す。ただし、Ｒ^１、Ｒ^２の少なくとも１つは炭素数１〜２のアルコキシ基である。Ｒ^３は炭素数１〜２のアルキル基を示す。）で表されるチオカルボニル基含有シラン化合物を、還元剤と反応させることを特徴とする一般式（２）；


（式中、Ｒ^１、Ｒ^２は前記と同様である。）で表される化合物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】感光性組成物、特に、二層、あるいは多層レジストに好適な感光性組成物、感光性組成物に好適な樹脂、および該樹脂の製造に好適な化合物、該組成物を用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）酸の作用により分解して脱離する基を有する特定のシロキサン単位を含有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂、および（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とする感光性組成物、該樹脂、および該樹脂の製造に好適な化合物、および該組成物を用いたパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】収率よく効率的に高純度のアミノアルキルシラン化合物を製造することができる方法を提供する。
【解決手段】Ｃｌ（ＣＨ₂）_nＳｉ（ＣＨ₃）_a（ＯＲ¹）_3-a （１）
（Ｒ¹は炭素数１〜１０の一価炭化水素基であり、ｎは１〜１０の整数、ａは０、１又は２である。）で示されるクロロアルキルシラン化合物と、一般式（２）Ｒ²Ｒ³ＮＨ （２）（Ｒ²は水素原子又は炭素数１〜１０の置換又は非置換の一価炭化水素基、Ｒ³は炭素数１〜１０の置換又は非置換の一価炭化水素基であり、互いに環を形成してもよい。）で示されるアミン化合物とを相間移動触媒存在下、反応させることにより、Ｒ²Ｒ³Ｎ（ＣＨ₂）_nＳｉ（ＣＨ₃）_a（ＯＲ¹）_3-a （３）で示されるアミノアルキルシラン化合物を製造する。
【効果】シランカップリング剤、繊維処理剤、高分子変性剤として有用なアミノアルキルシラン化合物を、収率よく製造することができる。 （もっと読む）

【課題】ホスホリルコリン基を有するシラン化合物を高収率かつ簡便に製造できる製造方法を提供すること。
【解決手段】末端にアミノ基を持つシラン化合物と、末端にカルボキシル基を持つホスホリルコリン基含有化合物とを、アミド化縮合剤に４−（４,６−ジメトキシ−１,３,５−トリアジン−２−イル）−４−メチルモルホリニウムクロライドを用いてアミド化縮合反応を行うことを特徴とする、下記式（３）で表されるホスホリルコリン基含有シラン化合物の製造方法である。


式（３）
式（３）中、ｍは２〜６、ｎは１〜４である。Ｘ₁、Ｘ₂、Ｘ₃は、それぞれ単独に、メトキシ基、エトキシ基である。ただし、Ｘ₁、Ｘ₂、Ｘ₃のうち、２つまではメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基のいずれでも良い。 （もっと読む）

アルコキシシランが、マイクロ波またはＲＦエネルギーを使用する工程により調製される。したがって、適切なヒドロキシ化合物（アルコール等）および触媒の存在下でケイ素金属および銅触媒をマイクロ波放射にかけ、対応するトリアルコキシシランを生じさせる。任意のアルコキシシランは、従来の方法より高選択性、低温、および短い時間で調製される。 （もっと読む）

【課題】 分子量分布が広く、高活性で水素レスポンスが高く、高立体規則性を有するα−オレフィンの重合体又は共重合体の重合又は共重合に用いられるα−オレフィンの重合又は共重合用触媒、その触媒成分及びα−オレフィンの重合方法を提供する。
【解決手段】 特定の環状アミノシランが含まれたα−オレフィンの重合又は共重合用触媒、または、［Ａ］マグネシウム、チタン、ハロゲン元素及び電子供与体を必須とする触媒固体成分、［Ｂ］有機アルミニウム化合物成分、並びに［Ｃ］化１で表わされる環状アミノシランからなるα−オレフィンの重合又は共重合用触媒 （もっと読む）

【課題】窒素含有オルガノシラン又は酸素含有オルガノシランを、酸により触媒される侵食から安定化させ、そして生ずる分解を妨ぐための方法の提供。
【解決手段】製品の分解の影響を受けやすい、少なくとも一つのＳｉ−Ｈ又はＮ−Ｈ基を有する窒素含有オルガノシランを、（ａ）残余のアニオン又は金属カチオンを除去するための弱塩基性イオン交換媒体と接触させる段階、（ｂ）前記オルガノシランを前記弱塩基性イオン交換樹脂から分離する段階、（ｃ）前記オルガノシランを蒸留する段階よりなる処理を施す。上記Ｓｉ−Ｈ基を侵食するアニオン又は酸が排出され、この分解が妨げられる。これらのアニオンに低濃度で曝露しても、酸化ケイ素、酸窒化ケイ素及び窒化ケイ素膜の使用に関する半導体の加工において、重大な分解を生じ、そして製品安定性及び長期間の有効期間に重大な影響が生じうる。 （もっと読む）