本発明は、基板材料を複数のウェハ状スライスに切断する工程から得られた使用済み研磨スラリーを処理するための方法及びシステムに関するものであり、前記スラリーは潤滑流体、未使用研磨粒子、及び微粉を含む。この方法は、使用済みスラリーを第１の沈降ステップで未使用研磨粒子を含む固形濃縮物と固形物減損スラリーとに分離するステップと、その後、クロスフロー濾過により固形物減損スラリーを微粉含有画分と固形物及び微粉減損再生潤滑流体とに分離するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】 スラリーの粘度を上げることなく潤滑性に優れたスラリーが得られる水溶性切削液及びそれを含有する砥粒スラリーを提供する。
【課題を解決するための手段】 １分子中に１〜８個の活性水素原子を有する炭素数２４以下の化合物（ａ）に、テトラヒドロフラン及び炭素数２〜３のアルキレンオキサイドを付加して得られる共重合ポリエーテル（Ａ）を含有してなる水溶性切削液並びに該水溶性切削液及び体積平均粒径１〜５０μｍの砥粒を含んでなる砥粒スラリーであって、水溶性切削液と砥粒の重量比が１：０．５〜１：２である砥粒スラリーである。 （もっと読む）

本発明は、基板材料からウェハ状のスライスを製造する、特に半導体デバイスの製造において使用するための方法及びシステムに関する。この方法は、研削粒子を表面上に有するカッティングワイヤを備えるスライス切断デバイスを用意するステップと、約３０μＳ／ｃｍ以下の導電率に対応するイオン強度を有する水性冷却用及び潤滑用流体を用意するステップと、前記カッティングワイヤが接触し、前記基板材料を切断する切り溝内に、前記切り溝領域からの粉末基板材料の除去を促進しその結果使用済み流体となる前記冷却用及び潤滑用流体を分配しながら前記基板材料を前記カッティングワイヤで複数のスライスに切断するステップと、前記使用済み流体を前記切断デバイスから取り除き、前記粉末基板材料を前記使用済み流体から回収するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】シリコン等の硬度の高い脆性材料の切断加工において、高い加工精度と加工能率を示し、また発泡などの問題を起こさない遊離砥粒ワイヤソー用水溶性加工油剤、上記油剤と遊離砥粒を含むスラリー、上記油剤、スラリーを用いたシリコン等の脆性材料の切断加工方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）グリセリン５〜８０質量％、（Ｂ）ジエチレングリコール及び／又はプロピレングリコール３〜６０質量％、（Ｃ）芳香族多価カルボン酸塩０．３〜２０質量％、
（Ｄ）多価アルコール誘導体３〜３０質量％、及び（Ｅ）水３〜８８．７質量％を含有する遊離砥粒ワイヤソー用水溶性加工油剤；この油剤及び砥粒を含む切断加工用スラリー；これらを使用した脆性材料の加工方法。 （もっと読む）

【課題】加工精度を向上しつつ、切削研削用ホイールの熱による変質劣化を防止して切削研削用ホイールの長寿命化を図ることができると共に、環境への負荷を軽くできる切削研削用組成物、切削研削油剤、切削研削用ホイール及び表面改質材を提案する。
【解決手段】切削研削油剤１では、多孔質で表面積が大きいリザーダイト及び又はアンティゴライトであるフィロケイ酸塩鉱物を主成分として含有させたことにより、当該リザーダイト及び又はアンティゴライトによって、切削研削用ホイール２及び被削面３ａに生じる熱を一段と奪うことができ、かくして、切削研削用ホイール２及び被削面３ａ間を従来よりも冷却させることができる。 （もっと読む）

【課題】アルキルフェノールエトキシレートを含有せず、実用上満足できる乳化安定性、潤滑性、消泡性が得られ、金属加工での金属イオン増加による乳化劣化の問題が低減された、金属加工油組成物を提供すること。
【解決手段】潤滑油基油に、少なくとも下記一般式（１）で表されるアルケニルフェノールの１種または２種以上にアルキレンオキサイドを付加した化合物を含有することを特徴とする金属加工油組成物。


［式中、Ｒは炭素数１３〜１７のアルケニル基を表し、ＡＯは炭素数２〜４のオキシアルキレン基を表し、ｎは１〜１００の整数であって、ｎ個のＡＯは同一であっても異なってもよい。］ （もっと読む）

【課題】廃棄され、処分に困っている雑多な不純物を含む廃食用油の再生処理方法及びそれにより得られる再生油の利用方法の提供。
【解決手段】廃食用油をろ過して異物を除去しクリーンな廃食用油とし、これにメタノール及び苛性アルカリを加えてエステル化し、そのエステル化油を水洗後、層分離し、上層部分を吸着処理する。得られた再生油は切削油、研磨油、浸透油、保温油、ディーゼルエンジン油、油除去用液体洗浄液に利用する。 （もっと読む）

【課題】 低毒性で環境に悪影響を与えず、防錆効果の高い組成物として調製された防錆剤を提供しようとする。
【解決手段】グリセリン、飽和脂肪酸およびその塩、飽和ジカルボン酸およびその塩、トリカルボン酸およびその塩、トリルトリアゾールまたはベンゾトリアゾール、を含む水溶液からなる防錆剤である。
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連続番号の炭素原子、及びｎ−ｄ−Ｍによる１０重量％未満のナフテン系炭素を有する異性化基油を含む金属加工流体が提供される。該金属加工流体は、ミスト形成低減、低い泡立ち度、及び優れた脱泡性を示す。
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連続番号の炭素原子、及びｎ−ｄ−Ｍによる１０重量％未満のナフテン系炭素を有する異性化基油を含む金属加工流体が提供される。該金属加工流体は、ミスト形成低減、低い泡立ち度、及び優れた脱泡性を示す。
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【課題】加工性能が高いとともに、べたつきがなく、かつ浮遊ミストの発生も抑制でき、さらに金属材料を腐食するおそれの少ない極微量給油式金属加工油組成物を提供する。
【解決手段】極微量給油式金属加工油組成物は、炭素数１２〜４０のビニリデン化合物を基油とする。本組成物によれば、切削や研削等における加工性能が高いとともに、べたつきがなく、かつ浮遊ミストの発生も抑制できる。さらに、耐加水分解性も高いため、長期間使用しても、工作機械、ワークあるいは工具等に腐食を発生させるおそれもない。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ダイシング時の切削屑の硬質板状物への付着を防止できる切削水用添加剤を提供することにある。
【解決手段】水に不要な成分を０．１質量％以上含有せず、下記一般式（１）で表される単量体ユニットを５０質量％以上有するポリマーを０．００１〜５０質量％含有することを特徴とするダイシング切削水用添加剤。
【化１】


（式中、Ｒ^１〜Ｒ^３はそれぞれ水素原子又は炭素数１〜８の炭化水素基を表す。） （もっと読む）

【課題】アルミニウムまたはその合金に対し、腐食等の影響がなく、使用時に混入する潤滑油や作動油等の乳化を効果的に抑制する水溶性加工油剤を提供すること。
【解決手段】本発明は、カチオン性抗乳化剤を含有し、下記一般式（１）で表されるアルキルホスホン酸化合物又はその塩を少なくとも１種含有することを特徴とする、水溶性加工油剤を提供する。
【化１】


（但し、Ｒ_１は炭素数５〜１１の直鎖又は分岐アルキル基、アルキレン基、又は芳香環を含む直鎖又は分岐アルキル基、アルキレン基を示し、Ｒ_２、Ｒ_３は両方が水素又は一方が水素であり、他方が炭素数１〜４の直鎖又は分岐アルキル基、アルキレン基を示す。） （もっと読む）

【課題】優れた潤滑性、抗菌性を有し、さらに泡立ちも少ない新規な金属加工油剤を提供する。
【解決手段】（Ａ）ポリヘキサメチレンビグアニジン塩、
（Ｂ）（Ｂ−１）水酸基を有する炭素数１８の脂肪酸の縮合エステル、
（Ｂ−２）水酸基を有する炭素数１８の脂肪酸、及び
（Ｂ−３）ステアリン酸及びイソステアリン酸から選ばれる脂肪酸
からなる群から選ばれる少なくとも一種、
（Ｃ）塩基性物質、及び
（Ｄ）水
を含有することを特徴とする水溶性金属加工油剤。 （もっと読む）

【課題】低粘度化した場合であっても、粘度−温度特性、低温粘度特性及び低蒸発性の全てを高水準で達成することが可能な潤滑油基油及びその製造方法、並びに当該潤滑油基油を含有する潤滑油組成物を提供すること。
【解決手段】本発明の潤滑油基油は、尿素アダクト値が４質量％以下であり、粘度指数が１３０以上であり、且つ、ＮＯＡＣＫ蒸発量が１５質量％以下であることを特徴とする。また、本発明の潤滑油基油の製造方法は、ノルマルパラフィンを含有する原料油について、得られる被処理物の尿素アダクト値が４質量％以下、粘度指数が１３０以上、且つ、ＮＯＡＣＫ蒸発量が１５質量％以下となるように、水素化分解／水素化異性化を行う工程を備えることを特徴とする。また、本発明の潤滑油組成物は、上記本発明の潤滑油基油を含有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低粘度化、粘度−温度特性、低温粘度特性及び低蒸発性の全てを高水準で達成することが可能な潤滑油基油及びその製造方法並びに潤滑油組成物を提供すること。
【解決手段】本発明の潤滑油基油は、尿素アダクト値が４質量％以下、粘度指数が１３０以上、−３５℃におけるＣＣＳ粘度が２０００ｍＰａ・ｓ以下、且つ、４０℃における動粘度とＮＯＡＣＫ蒸発量との積が２５０以下であることを特徴とする。また、本発明の潤滑油基油の製造方法は、ノルマルパラフィンを含有する原料油について、得られる被処理物の尿素アダクト値、粘度指数、−３５℃におけるＣＣＳ粘度及び４０℃における動粘度とＮＯＡＣＫ蒸発量との積がそれぞれ上記条件を満たすように、水素化分解／水素化異性化を行う工程を備えることを特徴とする。また、本発明の潤滑油組成物は、上記本発明の潤滑油基油を含有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】対象となる被加工物が大型ものや複雑な形状を有したものの場合においても加工後の被加工物表面に変色や荒れなどのトラブル発生を確実に防止することが可能な水系クーラントおよび金属の切削加工方法を提供すること。
【解決手段】全クーラント中のSiの含有率が１０ｐｐｍ以下であること水系クーラントを用いて特に大型かつ複雑な形状を有する被加工物を切削加工すること。 （もっと読む）

【課題】耐加水分解性、潤滑性に優れ、水溶性油剤又は不水溶性油剤として使用しても、錆発生の問題から解消される新規な金属加工油剤組成物を提供する。
【解決手段】特定ポリエーテル化合物を基油として、又は該特定ポリエーテル化合物を鉱物油、動植物油脂及び合成油から選ばれた少なくとも1種に含有させたものをの基油として使用すること。 （もっと読む）

【課題】広範囲の液体における金属酸化物ナノ粒子のための分散剤としてのＰＩＢＳＡを提供する。このような液体の例は、トルエン、キシレン、ミネラルスピリット、ヘキサン、およびフェノキシイソプロパノールからなる群から選択される少なくとも一つの部を含む。
【解決手段】ナノ粒子または粒子、および少なくとも一のＰＩＢＳＡまたはＰＩＢＳＡ反応生成物、を含んでなる分散体。 （もっと読む）

【課題】加工効率面からは潤滑性と冷却性の両方をバランスよく満たし、しかも腐敗しにくく、また環境面からは廃液処理性に優れた切削・研削加工用油剤を用いて、切削・研削加工する方法を提供すること。
【解決手段】被加工部材を切削・研削加工する方法において、極微小水滴からなる水分を組成物全量に対し０．０１〜２０質量％含有する切削・研削加工用油剤を加工部位に供給することを特徴とする、潤滑性、冷却性ともに優れ、しかも廃液処理が容易な切削・研削加工方法。 （もっと読む）