【課題】 感度及びラフネス特性に優れた半導体用レジスト組成物、並びに、これを用いたレジスト膜及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る半導体用レジスト組成物は、下記一般式（Ｉ）により表される化合物を含有している。
【化１】
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【課題】界面活性剤を配合しなくても油性成分を乳化できる高分子乳化剤を開発する。
【解決手段】ポリメタクリル酸メトキシポリエチレングリコールを含有することを特徴とする高分子乳化剤。 （もっと読む）

【課題】光反応性重合体およびこの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、より迅速な光反応速度および優れた配向性を示す光反応性重合体、この製造方法およびこれを含む配向膜に関する。前記光反応性重合体は、アゾ系官能基が含まれている特定の繰り返し単位を全体の重合体中に５０モル％以上の含量で含むものである。 （もっと読む）

【課題】再溶解性、微細パターンの実現能力に優れ、基板との密着力および分散安定性が改善されたアルカリ可溶性バインダー樹脂の提供。
【解決手段】不飽和二重結合を含んだモノマー、カルボン酸を含んだ不飽和二重結合性モノマー、およびアリル基を含む不飽和二重結合性モノマーを繰り返し単位として含み、分子量分布(Ｍｗ/Ｍｎ)が２.０〜３.５であることを特徴とするアルカリ可溶性バインダー樹脂およびこれを含むネガ型感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】良好な解像性、並びにその硬化物における良好な電気絶縁特性及び強度を示すポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】（Ａ）フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂、（Ｂ）キノンジアジド基を有する化合物、（Ｃ）分子中に少なくとも２つのアルキルエーテル化されたアミノ基を有する化合物、（Ｄ）下記一般式（１）で表される構成単位（ｄ１）及び不飽和カルボン酸から誘導される構成単位（ｄ２）を含み、質量平均分子量が２万〜５０万であるアクリル樹脂、及び（Ｓ）溶剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物を使用する。一般式（１）中、Ｒ^１は水素原子又はアルキル基を表し、Ｒ^２は独立に炭化水素基を表し、ｐは０〜３を表す。
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【課題】高Δｎで且つ着色のない膜の作製に有用な重合性組成物の提供。
【解決手段】
下記式（Ｉ）で表される化合物を含む重合性組成物である。Ｐ¹及びＰ²は重合性基；ｍ１及びｍ２は１〜１０の整数；Ａ¹〜Ａ⁴は置換されていてもよい所定の環状基；Ｒは水素原子又はアルキル基；Ｚ¹及びＺ²は、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＮＨＣＯ−、又はＮＲ¹ＣＯ；Ｌ¹及びＬ²は−Ｏ−、−Ｓ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＯＣＯＯ−、−ＮＨＣＯ−、又はＮＲ¹ＣＯ；ｎ１及びｎ２は１又は２である。
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【課題】高Δｎで且つ着色のない膜の作製に有用な重合性組成物の提供。
【解決手段】式（Ｉ）で表される化合物で表される化合物を含む重合性組成物である。Ｐ¹及びＰ²は重合性基；ｍ１及びｍ２は１〜１０の整数；Ａ¹、Ａ²、及びＡ³は置換されていてもよい所定の環状基；Ｒは水素原子又はアルキル基；Ｚ¹は、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＯＣＯ−ＣＨ＝ＣＨ−、−ＮＨＣＯ−、又は−ＮＲ¹ＣＯ−；Ｌ¹及びＬ²は−Ｏ−、−Ｓ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＯＣＯ−ＣＨ＝ＣＨ−、−ＯＣＯＯ−、−ＮＨＣＯ−、又は−ＮＲ¹ＣＯ；ｎ１は１又は２である。
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【課題】高いΔｎで且つ無色の新規な重合性アゾメチン化合物の提供。
【解決手段】式（Ｉ）で表される化合物である。Ｐ¹及びＰ²は、重合性基；ｍ１及びｍ２は、１〜１０の整数；Ｒ¹及びＲ²は、炭素原子数１〜４のアルキル基、炭素原子数１〜４のアルコキシ基、炭素原子数２〜５のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２〜５のアシルオキシ基、炭素原子数２〜４のアシル基、炭素原子数２〜５のアミド基、シアノ基、又はハロゲン原子；ｎ１及びｎ２はそれぞれ、０〜４の整数；Ｒ³は、水素原子、又は炭素原子数１〜４のアルキル基；Ｚ¹及びＬ¹はそれぞれ所定の二価基；ｎは０、１又は２である。
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【課題】高強度で、劣化し難く、金属に対する腐食性が低く、環境および生体に対する負荷が小さいゲル、およびその製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】電気的に中性な単官能不飽和モノマーである第一のモノマー（ａ１）を重合し、特定の多官能不飽和モノマー（ａ２）により架橋することにより形成された第一の網目構造（Ａ）と、該第一の網目構造（Ａ）中に第二のモノマー（ｂ１）を導入し、該第二のモノマー（ｂ１）を重合し架橋することにより前記第一の網目構造（Ａ）中に形成された第二の網目構造（Ｂ）とからなる相互侵入網目構造を有するゲル。また、該ゲルの製造方法。 （もっと読む）

【課題】撥水性と滑水性に優れ、現像欠陥が少なく、現像後のレジストパターン形状が良好な液浸リソグラフィー用レジスト保護膜材料、更にはこの材料を用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】少なくとも、側鎖にヘキサフルオロヒドロキシプロピル基を有する（メタ）アクリレート単位、側鎖にフッ素含有環状エーテル構造含有基を有する（メタ）アクリレート単位、及び側鎖にスルホン酸基を有するビニルモノマー単位を含有し、重量平均分子量が１，０００〜５００，０００の範囲内である高分子化合物を含むものであることを特徴とするレジスト保護膜材料。 （もっと読む）

【課題】光弾性係数が小さく、位相差が大きく、偏光子との貼合性に優れた光学フィルムを提供する。
【解決手段】式（Ｉ）で表わされる単量体と水酸基もしくはアミド結合を有する単量体とを少なくとも含む重合体（Ａ）とセルロースエステル（Ｂ）とを含有するフィルム。


（式中、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３およびＲ^４はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、または炭素原子、酸素原子、窒素原子、リン原子及びケイ素原子、スズ原子のいずれか１種類以上を含む置換基を表し、ｎは０〜４の整数を表す。） （もっと読む）

【課題】レーザーによる画像記録により直接製版可能、かつ機上現像が可能であり、特に経時後の汚れ難さに優れ、さらに耐刷性が良好な平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】支持体上に、（Ａ）重合開始剤、（Ｂ）赤外線吸収染料、及び（Ｃ）重合性化合物を含有し、印刷インキ及び湿し水の少なくともいずれかにより除去可能な画像記録層を有する平版印刷版原版であって、前記支持体と前記画像記録層の間に設けられる下塗り層に、リン酸モノエステルを有するモノマー由来の繰り返し単位（ｉ）、リン酸ジエステルを有するモノマー由来の繰り返し単位（ｉｉ）、及び親水性基を側鎖に有する繰り返し単位を含み、上記繰り返し単位（ｉ）及び繰り返し単位（ｉｉ）の質量の和に対する繰り返し単位（ｉｉ）の質量比が０．０３〜０．２５である共重合体を含有することを特徴とする平版印刷版原版。 （もっと読む）

【課題】粒体を用いた造形時において粒体の飛散を抑制することが可能な造形用スラリー
を提供するとともに、この造形用スラリーを用いた造形方法を提供する。
【解決手段】
造形物用スラリーは、造形物を構成する疎水性粒体と、造形物を構成するとともに疎水性
粒体と同系であるモノマー及びオリゴマーの少なくとも一方からなる疎水性液状体とを混
合してなる。同系とは、疎水性粒体を構成する繰り返し単位構造の主骨格と、疎水性液状
体の単位構造の主骨格とが同一であること、該単位構造における側鎖官能基や該単位構造
における主骨格の一部が異なるものの、疎水性液状体と疎水性粒体との相互作用が疎水性
粒体間の相互作用と略同じになる程度に、該単位構造の主骨格同士が一部重複することを
意味している。それゆえに、疎水性粒体及び疎水性液状体がそれぞれ共重合体である場合
には、これらに含まれる原子の組成比が一致していないものも同系であるとする。 （もっと読む）

【課題】新規な化合物と、該化合物に由来する構造単位を有する樹脂と、該樹脂を含有するレジスト組成物等を提供する。
【解決手段】式（Ｉ）で表される化合物。［Ｌ^１は^＊１−Ｏ−^＊２、^＊１−Ｏ−ＣＨ_２−^＊２、又は^＊１−Ｏ−（ＣＨ_２）_ｋ１−ＣＯ−Ｏ−^＊２を表す。＊１は−ＣＯ−との、＊２はＹ^１との結合手を表す。ｋ１は１〜３の整数を表す。Ｙ^１は炭素数４〜２０の２価の飽和環状炭化水素基を表す。Ｒ^２は炭素数６〜１２の芳香族炭化水素基を表し、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子はハロゲン原子、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、ニトロ基、スルホ基、炭素数２〜７のアルキルオキシカルボニル基又は炭素数２〜７のアシル基で置換されていてもよい。］
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【課題】容易に製造可能であり、活性エネルギー線や熱によって硬化し得る飽和炭化水素系重合体、および、これを含有する硬化性に優れた組成物を提供する。
【解決手段】一般式（１）：
−Ｚ−Ｃ（＝Ｏ）−ＮＨ−Ｒ¹−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−Ｃ（Ｒ²）＝ＣＨ₂
（式中、Ｒ¹は２価の有機基、Ｒ²は水素原子、または、置換あるいは非置換の炭素原子数１から２０の炭化水素基、Ｚはヘテロ原子、ＮＲ³（Ｒ³は、水素原子、または、置換あるいは非置換の炭素原子数１から２０の炭化水素基）から選択される基である。）で表される置換基を分子内に１個以上有する飽和炭化水素系重合体（Ａ）。 （もっと読む）

【課題】経済的かつ効率的なビニル系重合体の精製方法、ヒドロシリル化反応性重合体及び組成物を提供する。
【解決手段】原子移動ラジカル重合法により製造されるハロゲン含有ビニル系重合体を（Ａ）重合体と水とを混合攪拌する精製工程、（Ｂ）脱ハロゲン化を行い、重合体１ｋｇ中のハロゲン原子の量を１０００ｍｇ以下にする脱ハロゲン工程、（Ｃ）重合体と水とを混合攪拌分離する精製工程を経て、得られる重合体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】優れた性質を示す非極性−極性オレフィン共重合体および該共重合体を温和な重合条件でかつ高い効率で得ることのできる製造方法を提供すること。
【解決手段】非極性−極性オレフィン共重合体の製造方法は、一般式（Ｉ）で表される遷移金属化合物（Ａ）と、有機金属化合物、有機アルミニウムオキシ化合物、および遷移金属化合物（Ａ）と反応してイオン対を形成する化合物からなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物（Ｂ）とからなるオレフィン重合用触媒の存在下に、非極性オレフィンと極性オレフィンを共重合させる。
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【解決手段】下記で示される含フッ素単量体。


（Ｒ⁴〜Ｒ⁶はＣ１〜６のフッ素化１価炭化水素基。ｋ¹は０〜２の整数。）
【効果】波長５００ｎｍ以下の放射線に対して優れた透明性を有し、現像欠陥の少ない感放射線レジスト材料の添加剤用樹脂を製造するための単量体。得られる高分子化合物は、機能性材料、医薬・農薬等の原料として有用で、撥水性、加水分解性などの調整が可能。 （もっと読む）

【課題】感放射線性組成物の放射線感度を高いレベルに保ちつつ、ラジカルや過酸化物の発生を抑制することで、優れた耐光性及び耐熱性を有し、かつ透過率及び電圧保持率の低下を抑えた層間絶縁膜等を形成可能なポジ型感放射線性組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、［Ａ］同一又は異なる重合体分子中に下記式（１）で表される基を含む構造単位とエポキシ基含有構造単位とを有する重合体、［Ｂ］光酸発生体、並びに［Ｃ］ヒンダードフェノール構造を含む化合物、ヒンダードアミン構造を含む化合物、アルキルホスファイト構造を含む化合物、及びチオエーテル構造を含む化合物からなる群より選ばれる１種又は２種以上の化合物を含有するポジ型感放射線性組成物である。

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【課題】低吸湿性能とアルカリ水溶解性能の相反する性質をバランス良く併せもち、各種焼結工程を含む成型用バインダーとして好適に用いられるポリマーの提供。
【解決手段】（Ａ）カルボキシル基含有ビニルモノマー、（Ｂ）ヒドロキシル基含有ビニルモノマー、（Ｃ）アルキル基の炭素数が１〜８である（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（Ｄ）次の一般式で表されるモノマー及び（Ｅ）ポリオキシエチレン構造を有する（メタ）アクリル酸エステル系モノマーを含むモノマー組成物を共重合したポリマーとする。


［Ｒ^１：Ｈ又はＣＨ_３，Ｒ^３：炭素数９以上の脂環族炭化水素基，ｎ＝０〜３］ （もっと読む）