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Fターム[4J100DA01]の内容

付加系(共)重合体、後処理、化学変成 (209,625) | ポリマーの物性 (16,252) | 分子量、重合度 (6,343)

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【課題】形成されるパターン上において異物の発生が少ない着色感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】着色剤、樹脂、光重合性化合物及び光重合開始剤を含み、着色剤が、キサンテン染料を含む着色剤であり、樹脂が、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも一種に由来する構造単位と、N−シクロヘキシルマレイミドに由来する構造単位とを有する共重合体である着色感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】
未硬化部が水または非常に弱いアルカリ性の現像液で現像可能で、かつ基材密着性に優れた感光性樹脂組成物、ならびに該感光性樹脂組成物の原料となる側鎖ラジカル重合性基含有重合体を提供すること。
【解決手段】
(a)アクリロイルモルホリン、(b)不飽和一塩基酸、(c)分子内にアルキレンオキシド鎖を持つ(メタ)アクリレートを必須単量体として重合した共重合体に(d)カルボキシル基と反応し得る官能基とラジカル重合性不飽和結合を同一分子中に持つ化合物を付加した側鎖ラジカル重合性官能基含有共重合体を用いること。 (もっと読む)


【課題】優れた露光マージン及びマスクエラーファクターを有し、且つ欠陥の発生が少ないレジストパターンを得ることができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】(A1)式(I)で表される構造単位を有する樹脂、(A2)アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂、(B)酸発生剤並びに(D)式(II1)で表される化合物及び式(II2)で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種を含有するレジスト組成物。
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【課題】低燃費性及びウェットグリップ性能をバランス良く向上できるタイヤ用ゴム組成物を提供する。
【解決手段】1,3−ブタジエン、下記一般式(I)で表される化合物、及び特定の置換基を有するスチレン系化合物を共重合して得られ、末端が窒素、酸素及びケイ素からなる群より選択される少なくとも1種の原子を含む官能基を有する変性剤で変性された共重合体と、リン含有量が200ppm以下である改質天然ゴムとを含むタイヤ用ゴム組成物。
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【課題】優れたラインエッジラフネス(LER)を有し、且つ欠陥が少ないレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】(A1)式(I)で表される構造単位を有する樹脂、(A2)アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂、(B)酸発生剤及び(D)式(II)で表される化合物を含有するレジスト組成物。


[式中、R1は、水素原子又はメチル基;A1は、−(CHm1−、−(CHm2−O−(CHm3−又は−(CHm4−CO−O−(CHm5−、m1〜m5は、それぞれ1〜6の整数;R2はフッ素原子を有する炭化水素基。] (もっと読む)


【課題】少量の無機フィラーであっても熱伝導性を向上でき、機械的特性に優れる絶縁性放熱フィルムを提供する。
【解決手段】有機粒子2、絶縁性と熱伝導性とを有する無機フィラー3及び架橋ゴム4含む絶縁性放熱フィルム1において、前記有機粒子と前記無機フィラーとの平均粒径の比率を、有機粒子/無機フィラー=1/1以上に調整する。前記有機粒子の平均粒径は5〜50μm程度であり、前記有機粒子と前記無機フィラーとの平均粒径の比率は、有機粒子/無機フィラー=1.5/1以上であってもよい。前記有機粒子と前記無機フィラーとの割合(重量比)は、有機粒子/無機フィラー=1/1〜1/5程度であってもよい。前記無機フィラーの割合は、フィルム全体に対して40〜60重量%程度であり、かつ熱伝導率が2W/m・K以上であってもよい。前記無機フィラーの形状が板状であってもよく、特に、窒化ホウ素であってもよい。 (もっと読む)


【課題】レジストパターン製造時のCD均一性が良好であり、レジストパターンを形成した場合に欠陥の発生数を低減することができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】(A1)式(I)で表される構造単位を有する樹脂、(A2)アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂及び(B)アルカリ現像液の作用により開裂する構造を有する酸発生剤を含有するレジスト組成物。


[式(I)中、R1は、水素原子又はメチル基を表す。A1は、−(CHm1−、−(CHm2−O−(CHm3−又は−(CHm4−CO−O−(CHm5−を表す。m1〜m5は、それぞれ独立に、1〜6の整数を表す。R2は、フッ素原子を有する炭素数1〜10の炭化水素基を表す。] (もっと読む)


【課題】CD均一性が良好で、かつ欠陥が少ないレジストパターンを製造可能なレジスト組成物を提供する。
【解決手段】(A1)式(I)で表される構造単位を有する樹脂、(A2)式(II)で表される構造単位を有し、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂及び(B)酸発生剤を含有するレジスト組成物。


[式中、R2は、フッ素原子を有する炭化水素基;環Tは、置換基を有していてもよいスルトン環;Zは、置換基を有していてもよいアルカンジイル基等;Zは、単結合又はカルボニル基を表す。] (もっと読む)


【課題】有既存のモノマーとの重合によって架橋度及び性質が制御された機械的な架橋構造を持つ架橋ポリマーを製造できるとともに、該架橋ポリマーを解架橋できるロタキサン、該ロタキサンからなる架橋剤、該架橋剤を利用した架橋方法、該架橋方法により架橋して得られた架橋ポリマー、及び該架橋ポリマーの分解方法を提供することにある。
【解決手段】少なくとも1つの重合活性基を有する2つのクラウンエーテル分子からなる輪成分と、該輪成分の空孔部分を貫通する、特定構造の軸成分とを備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】
塗布後及び現像後の樹脂膜の濁りを充分に抑制することが可能であり、かつ低温での硬化が可能で、アルカリ水溶液で現像可能であるポジ型感光性樹脂組成物、並びに、該ポジ型感光性樹脂組成物を用いたレジストパターンの製造方法、かかる方法により形成されたレジストパターンを有する半導体装置、及び該半導体装置を備える電子デバイスを提供すること。
【解決手段】
(A)フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂と、(B)光により酸を生成する化合物と、(C)熱架橋剤と、(D)所定の構造単位を有するアクリル樹脂と、を含有するポジ型感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】CD均一性が良好で、かつ欠陥が少ないパターンを製造することができるレジスト組成物の提供。
【解決手段】(A1)式(I)で表される構造単位を有する樹脂、(A2)式(II)で表される構造単位を有し、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂及び(B)酸発生剤を含有するレジスト組成物。


[式中、R2は、フッ素原子を有する炭化水素基;環Tは、スルトン環を表す。] (もっと読む)


【課題】低燃費性及び耐摩耗性をバランス良く改善できるゴム組成物及びそれを用いた空気入りタイヤを提供する。
【解決手段】共役ジエン化合物及び/又は芳香族ビニル化合物の重合体を、窒素含有複素環基を有する化合物により変性して得られる重合体混合物と、シリカとを含み、前記重合体混合物の重量平均分子量が1.0×10〜1.0×10であるゴム組成物に関する。 (もっと読む)


【課題】パターン倒れ及び欠陥の少ないレジスト組成物の提供。
【解決手段】(A1)式(I)で表される構造単位を有する樹脂、(A2)アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂及び(B)式(II)で表される酸発生剤を含有するレジスト組成物。


[式中、R1は、水素原子又はメチル基;A1は、−(CHm1−、−(CHm2−O−(CHm3−又は−(CHm4−CO−O−(CHm5−;m1〜m5はそれぞれ1〜6の整数;R2はフッ素原子を有する炭化水素基;R及びRは、それぞれフッ素原子又はペルフルオロアルキル基;Xは2価の飽和炭化水素基;Rは環状エーテル構造を含む基;Z1は有機カチオンを表す。] (もっと読む)


【課題】微粒子化された顔料を高度に微分散させることができるとともに、長期保存安定性に優れた顔料着色剤組成物を調製可能な顔料分散剤、及びその製造方法、並びにそれを用いた顔料着色剤組成物を提供する。
【解決手段】その側鎖又は末端に1個以上の水酸基を有する水酸基含有アクリル系ポリマーに、2−スルホ安息香酸無水物を反応させて得られるスルホン酸基含有アクリル系ポリマーからなることを特徴とする顔料分散剤、及びその製造方法、並びにそれを用いた顔料着色剤組成物である。 (もっと読む)


【課題】レジストパターン製造時のフォーカスマージン(DOF)が良好で、レジストパターンを形成した場合に欠陥の発生数を低減することができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】(A1)式(I)で表される構造単位を有する樹脂、(A2)アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂及び(B)式(II)で表される酸発生剤を含有するレジスト組成物。


[式中、R1は、水素原子又はメチル基;A1は、−(CHm1−、−(CHm2−O−(CHm3−等m1〜m3はそれぞれ1〜6の整数を表す。] (もっと読む)


【課題】 螺旋状ポリアセチレンを用いた、導電チャンネルとなる導電路を安定して形成できる有機導電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 螺旋状ポリアセチレン分子と溶媒を含有する溶液を複数の電極間に配置する工程と、前記溶液に電界を印加して前記螺旋状ポリアセチレン分子からなる導電路を形成する工程を有する有機導電デバイスの製造方法。前記溶液に電界を印加する方法は、前記溶液を複数の電極間に配置した後、前記複数の電極間に電界を印加する方法、または前記複数の電極間に電界を印加した後、前記複数の電極間に前記溶液を配置する方法のいずれかである。 (もっと読む)


【課題】従来から知られる酸発生剤を含有するレジスト組成物では、得られるレジストパターンのマスクエラーファクター(MEF)が必ずしも十分に満足できない場合があった。
【解決手段】式(I)で表される塩。


[式(I)中、R及びRは、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数1〜6のペルフルオロアルキル基を表す。Xは、2価の炭素数1〜17の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子で置換されていてもよく、該飽和炭化水素基を構成する−CH−は、−O−又は−CO−で置き換わっていてもよい。Z1+は、有機対イオンを表す。] (もっと読む)


【課題】優れた解像度及びラインエッジラフネス(LER)を有し、かつ欠陥が少ないレジストパターンを得ることができるレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】(A1)式(I)で表される構造単位を有する樹脂、(A2)アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂及び(B)酸に不安定な基を有する酸発生剤を含有するレジスト組成物。


[式中、R1は、水素原子又はメチル基を表す。A1は、−(CHm1−、−(CHm2−O−(CHm3−又は−(CHm4−CO−O−(CHm5−を表す。m1〜m5は、それぞれ独立に、1〜6の整数を表す。R2は、フッ素原子を有する炭素数1〜10の炭化水素基を表す。] (もっと読む)


【課題】CD均一性が良好なレジストパターンを製造可能なレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】(A)式(I)で表される構造単位を有し、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂、(B)酸発生剤及び(D)式(II)で表される化合物を含有するレジスト組成物。


[式中、環Tは、置換基を有していてもよいスルトン環;Zは、置換基を有していてもよいアルカンジイル基等;Zは、単結合又はカルボニル基;Rは、ハロゲン原子を有してもよいアルキル基、水素原子又はハロゲン原子;R及びRは、それぞれ炭化水素基、アルコキシ基、アシル基、アシルオキシ基、アルコキシカルボニル基、ニトロ基又はハロゲン原子;m及びnは、それぞれ0〜4の整数を表す。] (もっと読む)


【課題】石油源からの燃料油、植物源または動物源からの燃料油、およびこれらの燃料油の混合物の低温特性を改良すること。
【解決手段】式(I)の構造単位および式(II)の構造単位


を含む硫黄不含ポリマーであって、式中、R1は、C8−C22アルキル基、好ましくはC12−C16アルキル基を表し、R2は、水素またはメチルであり、R3は、−R5(OR6nOR7を表し、R5およびR6は、同じまたは異なってもよく、独立して、直鎖または分岐鎖C1−C8アルキレン基を表し、nは、1〜20の整数であり、R7は、C1−C4アルキル基を表し、R4は、水素またはメチルであり、ポリマー中の構造単位(I):構造単位(II)のモル比は、100:1〜2:1の範囲内である、硫黄不含ポリマー。 (もっと読む)


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