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Fターム[4K021BA04]の内容

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【課題】メンテナンスコストを十分に低減しつつ、長期に渡って安定して純度の高いフッ素ガスを得ることが可能な気体発生装置および気体発生方法を提供する。
【解決手段】電解槽1内は、隔壁2により陰極室3および陽極室4に区画される。電解槽1内には電解浴5が形成される。陰極室3内に陰極6が設けられ、陽極室4内に陽極7が設けられる。電解浴5ではフッ化水素の電気分解が行われる。陽極室4内で発生したフッ素ガスは、フッ素ガス排出管30を通して排出される。フッ素ガス排出管30には、コンプレッサ32が介挿される。コンプレッサ32にはインバータ回路32Iが接続される。陽極室4には、陽極室4内の圧力を測定する圧力計PS2が設けられる。制御装置90は、圧力計PS2の測定結果に基づいてインバータ回路32Iを制御する。それにより、コンプレッサ32に内蔵されたモータの回転速度が調整される。 (もっと読む)


【課題】廃液から次亜リン酸、亜リン酸等のリン化合物を有効利用が可能なリン酸に変換し、かつ効率良く除去・回収することができる廃液処理方法を提供すること。
【解決手段】次亜リン酸及び/又は亜リン酸を含む廃液を、陽極用電極と陰極用電極とからなる少なくとも一対の電極21と、振動攪拌手段22とを備える電解処理槽5にて電解処理することにより、次亜リン酸及び亜リン酸を酸化してリン酸に変換し、これを除去、回収する。 (もっと読む)


【課題】フッ化水素酸を含有する電解浴での電解などに於いて、陽極効果が発生せず、電極溶解による著しいスラッジの発生がなく、CF4の発生を抑制でき、且つ電極崩壊を起こすことなく安定に電解を継続できる陽極材料を提供する。
【解決手段】表面がグラッシーカーボンから成る導電性材料基体の少なくとも一部を導電性ダイヤモンド膜で被覆する。 (もっと読む)


【課題】硫酸及び過硫酸が高濃度で共存する過硫酸溶解水を製造することが可能な過硫酸製造装置及び過硫酸製造方法を提供する。
【解決手段】陽極30と陰極32とを備え、陽極30と陰極32との間に電流を流し、硫酸溶液を電解して、過硫酸溶解水を製造する過硫酸製造装置1であって、前記硫酸溶液の電解時に、陽極30と陰極32との間を流れる電流を所定の間隔で停止させるか又は逆電流を流す制御手段38を備える過硫酸製造装置および過硫酸製造方法。 (もっと読む)


【課題】硫酸及び過硫酸が高濃度で共存する過硫酸溶解水を製造することが可能な過硫酸製造装置及び過硫酸製造方法を提供する。
【解決手段】陽極30と、陰極32と、陽極30側に硫酸アンモニウムを含む硫酸溶液を供給する硫酸溶液供給手段16と、を備え、陽極30と陰極32との間に電流を流し、前記硫酸溶液を電解して、過硫酸溶解水を製造する過硫酸製造装置1であって、前記硫酸溶液供給手段16により供給される前記硫酸溶液の全硫酸濃度は、6.5〜12mol/Lの範囲であり、そのうちの0.01〜3mol/Lの範囲は、硫酸アンモニウム由来によるものである。 (もっと読む)


本発明は、室温下で、高アスペクト比を有するルチル型二酸化チタンナノニードルを合成するための電気化学的一工程プロセスを提供する。 (もっと読む)


【課題】酸化還元循環を完成可能な経済的、実用的で、しかも二次汚染を発生することのない水素生成方法及びその応用の提供。
【解決手段】水素生成反応形成ステップ、水素生成反応加速ステップ、水素生成反応加速ステップを含み、水素生成反応形成ステップの一実施形態は、金属、金属合金、或いはその廃棄物を水素生成反応材料とし、洗浄処理後に、電解液と接触させ化学反応を起こさせ、これにより水素と副産物を得て、水素生成反応加速ステップの一実施形態は、水素生成反応形成ステップに有機酸或いは無機酸を添加し、化学反応により、水素生成の速度を速め、派生処理ステップは、水素生成反応の終了後に得られた金属イオンを含む電解液を乾燥及び適当な溶液による処理を経て、或いは電解法の還元処理により、金属に還元する。 (もっと読む)


【課題】パーティクルの発生による気体の純度の低下が防止された気体発生装置を提供する。
【解決手段】ベローズポンプ61は、モータ70およびヘッド部71を備える。ヘッド部71内に、金属からなるベローズ72が収容されている。ベローズ72内に気体圧縮室73が形成されている。モータ70が作動することにより、ベローズ72が伸縮する。それにより、気体圧縮室73が圧縮および拡張され、フッ素ガスが気体導入口74aから気体導出口74aへ送り出される。ベローズポンプ61のモータ70とヘッド部71との間に、ボール減速機62が取り付けられる。ボール減速機62は、モータ70の回転速度を所定の減速比で減速させてヘッド部71内のベローズ72に伝達する。 (もっと読む)


【課題】タリウム含有硝酸カリウムに含まれるタリウムを回収し有効利用するとともに、硝酸カリウムについても回収して有効利用することができるタリウム及び硝酸カリウムの回収方法及び回収装置を提供する。
【解決手段】タリウム含有硝酸カリウムを溶解槽1にて水に溶解して水溶液とし、電気分解槽3にてこの水溶液直流電流を通電することにより、溶存するタリウムを金属タリウムまたは酸化タリウムとして析出させ、金属タリウムまたは酸化タリウムを回収するタリウム回収工程と、固液分離機5によってタリウムが除去された水溶液を結晶缶6にて濃縮することにより、溶存する硝酸カリウムを結晶として析出させ、固液分離機8によって硝酸カリウム結晶を回収する硝酸カリウム回収工程と、を有する。 (もっと読む)


【課題】電解硫酸の生成のための電流効率を向上させるとともに、同時に、レジスト等の洗浄剥離効率を高めることのできる電解硫酸による洗浄方法及び半導体装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】硫酸電解槽1に外部より第1の硫酸溶液を供給して電解を行い、前記硫酸電解槽1内に酸化性物質を含有する第1の電解硫酸を生成する工程と、前記硫酸電解槽1に、外部より、先に供給した第1の硫酸溶液より濃度の高い第2の硫酸溶液を供給して、前記硫酸電解槽1内において、前記第2の硫酸と前記第1の電解硫酸とを混合するとともに、更に、電解を行い、前記硫酸電解槽1内に硫酸と酸化性物質を含有する第2の電解硫酸よりなる洗浄液を生成する工程と、前記洗浄液を用いて洗浄対象物23の洗浄処理を行う洗浄処理工程とを備えたことを特徴とする電解硫酸による洗浄方法及び当該洗浄装置を用いた半導体装置の製造方法。 (もっと読む)


【課題】導電性ダイヤモンド陽極を用いて、濃硫酸を直接電解し、酸化性活物質を安定して生成させる硫酸電解方法を提供する。
【解決手段】陽極室4と陰極室12に供給する硫酸を含む前記電解液の温度を30℃以上とするとともに、陽極室4に供給する硫酸を含む電解液の流量F1(L/min)を下記(1)式から算出される陽極側で発生する発生ガスの流量Fa(L/min)の値の1.5倍以上(F1/Fa≧1.5)とし、かつ、陰極室12に供給する硫酸を含む電解液の流量F2(L/min)を下記(2)式から算出される陰極側で発生する発生ガスの流量Fc(L/min)の値の1.5倍以上(F2/Fc≧1.5)としたことを特徴とする硫酸電解方法。Fa=(I×S×R×T)/(4×ファラデイー定数)式(1)Fc=(I×S×R×T)/(2×ファラデイー定数)式(2) (もっと読む)


【課題】従来のNF3の電解合成では、電極表面や電極近傍での直接電解によりNF3が合成されるが、アンモニウムイオンの拡散速度を越えて電流を流すと、過剰のFラジカルとアンモニウムイオンとの反応は電極表面で進行できなくなり、電流効率は低下する。
【解決手段】本発明では、溶融塩電解でフッ化アンモニウムからNF3を合成する際に、該フッ化アンモニウムの成分であるフッ化物イオンの放電で生成するフッ素ラジカル(F・)と反応して高次金属フッ化物を合成できる金属イオンを溶解させる。これにより、溶解させた金属イオンが過剰のFラジカルと反応して高次の金属フッ化物となる。従って電極表面や電極近傍での直接電解に必要な量を超える電流を流しても、電流が無駄なく使用され、目的のNF3を高電流効率で合成できる。 (もっと読む)


【課題】機械的強度に優れ、過酷な電解条件に耐えることが出来、電解液による腐食を防止し、耐久性のある硫酸電解槽の提供。
【解決手段】導電性ダイヤモンド陽極として導電性基板3aの表面に導電性ダイヤモンド皮膜3bを形成し、導電性基板3aの裏面を、導電性基板3aと同等若しくはこれより大きい剛体よりなる給電体19に、導電性ペースト20を用いて貼り付け、ダイヤモンド陽極の導電性ダイヤモンド皮膜3b側の外周にガスケット21を介して陽極室4を構成する陽極室枠22を当接し、陽極室枠22の前面に隔膜2を当接し、隔膜2の前面に陰極室12を形成する陰極室枠23、ガスケット24及び陰極11を順次当接し、陰極11の裏面を、陰極11と同等若しくはこれより大きい剛体よりなる給電体25に、導電性ペースト26を用いて貼り付け、一方の給電体より前記導電性ペーストを介して他方の給電体に給電することを特徴とする硫酸電解槽1。 (もっと読む)


本発明は、過レニウム酸をアンモニアと反応させることによる純粋な過レニウム酸アンモニウムの製造方法並びに高純度の過レニウム酸アンモニウムに関する。 (もっと読む)


【課題】安全性の高いフッ素発生装置を提供する。
【解決手段】セル10内の第1電極11と第2電極12との間に金属フッ化物31を含むフッ素原料30を挟む。電流供給手段20により第1電極11から第2電極12へ直流電流を通電する。第1電極11とフッ素原料30との接触面から発生するガスを第1ガスポート13から導出する。 (もっと読む)


【課題】備蓄された炭酸リチウムや使用済みリチウムイオン二次電池から回収されるリチウム分などから、高純度のリチウム化合物用原料として有用な高純度水酸化リチウムを製造する方法を提供する。
【解決手段】炭酸リチウム、リチウム含有鉱石、使用済みリチウムイオン二次電池などを硫酸処理して硫酸リチウム水溶液とし、この硫酸リチウム水溶液を、陽極と陰極の間に陽イオン交換膜、バイポーラ膜および陰イオン交換膜を使用した電気透析し、精製工程を加えて不純物を低減した水酸化リチウム水溶液を生成させる。 (もっと読む)


【課題】長期保存が利かずに国内備蓄のできない水酸化リチウムを必要時に製造できる方法を提供する。
【解決手段】備蓄しておける炭酸リチウム、リチウム含有鉱石、使用済みリチウムイオン二次電池塩酸を用いて塩酸リチウム水溶液にして、またリチウムを含む潅水から無機吸着剤で吸着・分離した塩化リチウム粉末を水溶液にしてバイポーラ膜電気透析により塩酸と水酸化リチウム水溶液を同時に生成させる。塩酸は、繰り返し塩化リチウムに得るために備蓄したリチウム源と反応させる。一方、水酸化リチウム水溶液は、精製工程を付して不純物を低減ないし除去し、高純度水酸化リチウム・1水和物とする。 (もっと読む)


【課題】変質しやすく長期保存が利かずに国内備蓄のできない水酸化リチウムを必要時に迅速に製造する技術を提供する。
【解決手段】出発原料として炭酸リチウムを用い、炭酸リチウムを水に溶解ないし懸濁させて陽イオン交換膜を用いて電解し、陰極室に水酸化リチウム水溶液を精製させ、この水酸化リチウム水溶液を精製工程に付して不純物を低減ないし除去し、濃縮・析出・ろ過・分離乾燥をすることにより、リチウムイオン二次電池正極材用原料、SAWフィルター用の光学セラミックス材料用原料、高純度の電解質等のリチウム化合物用原料として有用な高純度水酸化リチウム・1水和物。 (もっと読む)


【課題】腐食性のガス種を生成するための電気分解装置において、陽極ゾーンと陰極ゾーンとを構成している電極を互いに接近させることが可能であり、かつ腐食−侵食現象を効果的に抑える分離膜を有する電気分解装置を提供する。
【解決手段】電気分解装置200は電解質202、例えばフッ化水素酸(HF)溶液を収容し、陰極203と陽極204が配置された容器201を有する。また、互いに隣接した列の陰極203と陽極204との間に、夫々配置された4つの分離膜214ないし217を有する。さらに当該分離膜214ないし217は、炭素マトリックスにより硬化された炭素繊維強化材により構成され、電解質に生成されるガス種に対して不透過性を有し、かつイオンに対して透過性を有する多孔部分を有している。 (もっと読む)


【課題】過硫酸の自己分解を抑制し、少量の薬品で高濃度の過硫酸をオンタイムで供給することができる過硫酸製造装置を提供する。
【解決手段】陽極12と、陰極14と、陽極12と陰極と14の間に設けられた隔膜10と、陽極12および陰極14の隔膜10と反対側の面に接触して設けられた集電体16,18とを有し、陽極12側および陰極14側に電解液として硫酸溶液を流し、陽極12と陰極14との間に電圧を印加して過硫酸を電解生成させる電解槽4を備え、10〜96重量%濃度の硫酸溶液を電解液として、1回の流通で0.001mol/L〜0.2mol/Lの範囲の濃度の過硫酸を生成させる過硫酸製造装置1。 (もっと読む)


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