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Fターム[4K029BC08]の内容

物理蒸着 (93,067) | 被膜の性質 (4,709) | 光学的性質 (1,136) | 透光性、透明性 (218)

Fターム[4K029BC08]に分類される特許

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【課題】装飾部品の表面にAuを含有する硬質膜であり、特にAu固有の光沢と色調とを有して明度の高く耐傷性に富んだことを特徴とした装飾部品を提供すること。
【解決手段】表面に硬化層を有し、硬化層はTi、Zr、またはHfのうちから選ばれる一種類以上の金属からなる窒化物、炭化物または炭窒化物で構成された下地層と、AuまたはAu合金からなる仕上層と、下地層と仕上層との間に設けた硬質透明誘電体層によって構成することにより、Au固有の光沢と色調とを有して明度が高く傷の目立たない高品位な装飾部品を達成できる。硬質透明誘電体層は積層構造を有することが好ましい。 (もっと読む)


【課題】電子顕微鏡用試料ホルダの電子線窓に、薄くかつ反応性の低い薄膜を形成すること。
【解決手段】本発明は、BN膜を形成すべき基板を冷却する工程S12と、スパッタリング法を用い、前記基板上に非晶質BN膜を形成する工程S14と、を有する薄膜形成方法、前記薄膜を用いた電子顕微鏡用試料ホルダおよびその形成方法である。本発明によれば、非晶質BN膜を均一に形成することができる。よって、反応性の低いBN膜を薄く形成することができる。 (もっと読む)


【課題】相変化光ディスクの記録層と保護層との間中間層として、リアクティブスパッタリングによって成膜されるGeCrN系層の成膜速度及び膜組成のばらつきを抑制し、製品歩留まりを上げることができるGe−Cr合金スパッタリングターゲット及びその製造方法を提供する。
【解決手段】Cr5〜50at%を含有するGe−Cr合金スパッタリングターゲットにおいて、相対密度が95%以上であることを特徴とするGe−Cr合金スパッタリングターゲット及び平ふるい下75μm以下のCr粉と、ふるい下250μm以下でありかつBET比表面積0.4m/g以下であるGe粉を均一に分散混合させた後、焼結することを特徴とするGe−Cr合金スパッタリングターゲットの製造方法。 (もっと読む)


【課題】SiO蒸着材料を用いる透明ガスバリア性フィルムの製造方法において、SiOx蒸着フィルムが黄色味を帯びずに高い透明性を備えながら、優れたガスバリア性も付与できる前記製造方法を提供する。
【解決手段】基材フィルムの少なくとも一方の面に、SiO蒸着材料を用い、反応ガスを導入しない雰囲気下でエレクトロンビーム(EB)蒸着方法によりSiOx膜を形成する透明ガスバリア性フィルムの製造方法であって、前記SiO蒸着材料は、少なくとも金属ケイ素とその酸化物とシリカゾルを含み、かつ、固形分比が40%以上70%以下であるスラリーを乾燥、焼結したものであり、前記SiO蒸着材料のO/Si比は1.4以上1.6以下であり、前記SiO蒸着材料の嵩密度は60%以上80%以下であることを特徴とする透明ガスバリア性フィルムの製造方法。 (もっと読む)


【課題】バリア性能が向上したバリア性積層体を提供する。
【解決手段】少なくとも1層の有機層と、少なくとも1層の無機層とを有し、前記有機層は、重合性化合物と、1分子中に2以上の重合開始能を有する部位を有する光重合開始剤を含む組成物を光照射して硬化させてなることを特徴とするバリア性積層体。 (もっと読む)


【課題】簡便かつ効率的で、金型や固定治具等の被洗浄部材に対するダメージが少ない、被洗浄部材の洗浄方法等を提供する。
【解決手段】光学素子製造装置から光学材料成分が付着した被洗浄部材41を取り出す工程と、取り出された被洗浄部材41を、光学材料成分を除去する洗浄装置40に設置する工程と、洗浄装置40にて、設置された被洗浄部材41の周囲環境に所定のガスを導入する工程と、導入された所定のガスに高周波電圧を印加してプラズマ化し、被洗浄部材41の表面をプラズマ化されたガスに晒し、光学材料成分をハロゲン化物にして気化させ除去する工程と、を含む被洗浄部材41の洗浄方法。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、低屈折率ガラスにおいて優れた透過率特性を有し、フレアやゴースト等の発生の少なく、かつ優れたヤケ防止効果を有し、耐久性、耐擦性にも優れた反射防止膜及びこれを有する光学部品、交換レンズ及び撮像装置を提供する。
【解決手段】基板上に、第1層〜第5層を基板側からこの順に積層してなる反射防止膜であって、波長領域400〜700 nmの光において、基板の屈折率が1.42〜1.55であり、各層は所定の光学膜厚を有し、第1層はアルミナを主成分であり、第2層〜第4層は所定の屈折率を有し、第5層がシリカを主成分とする多孔質層である反射防止膜。 (もっと読む)


【課題】大きな成膜速度で透明で低屈折率の光学膜を成膜できる透明光学膜の成膜方法を提供し、また該透明光学膜の成膜方法により成膜されてなる透明光学膜を提供する。
【解決手段】フッ素を含む化合物のガス7を導入して全圧8Pa以上とした雰囲気下で、Mg−Siメタルターゲット4を用いた反応性スパッタリング法により、基板11上に透明な光学膜を成膜する。 (もっと読む)


【課題】スパッタリング法による成膜時において、電子や酸素イオンが基板に入射することを防ぎ、基板や基板上の膜へのダメージを低減することで、膜特性を向上させることができるスパッタ装置及び成膜方法を提供する。
【解決手段】成膜材料を備えたターゲット22と、ターゲット22の表面22aと基板Wの表面W1とを略平行に配置しつつ、基板Wをターゲット22に対して相対移動させる搬送手段と、を有し、基板Wの表面W1の長辺方向の長さより、ターゲット22の表面22aの短手方向における長さが短く形成されたスパッタ装置において、ターゲット22と基板Wとの間において、ターゲット22の短手方向に磁場を印加する永久磁石26を有し、基板Wをターゲット22の短手方向に沿って搬送させることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】有機層を用いることなく、耐熱性を向上させた反射防止膜を有するプラスチックレンズおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】プラスチックレンズ基材の表面に直接または他の層を介して多層反射防止膜を有するプラスチックレンズ。前記多層反射防止膜は、金属元素が同一であり、かつ酸素含有量が異なる少なくとも2つの金属酸化物層を隣接して有する複合層を含む。上記のプラスチックレンズの製造方法。前記複合層を構成する各金属酸化物層は、同一の蒸発源を用い、かつ隣接する層同士は、反応性酸素ガス分圧が異なる条件下で蒸着することで形成されることを含む。 (もっと読む)


【課題】強度が強くて傷や磨耗が発生しにくいコーティング層が形成された装飾品を提供すること。
【解決手段】装飾品10は、装飾品本体11としてのキュービックジルコニア体の上部に透光性のコーティング層13を形成したものである。コーティング層13では、窒化シリコン層(Si34)および酸化シリコン層(SiO2)が交互に6層ずつ形成されており、その最下層において、装飾品本体11と接する層は窒化シリコン層である。また、コーティング層13において、最上層は、酸素より窒素を多く含む酸窒化シリコン層になっている。かかる層はいずれも、反応性スパッタ法により形成されている。 (もっと読む)


【課題】基板上に光吸収特性を有する金属膜を蒸着によって成膜する際に光学特性が安定した光学フィルタ及びその成膜方法を提供する。
【解決手段】基板上に金属膜層と誘電体膜層を積層状に形成する光学フィルタにおいて、その金属膜層を蒸着で形成する際に膜厚さが不安定となる蒸着初期及び/又は蒸着終期に蒸着皮膜に反応性ガス(活性ガス;酸素、窒素、フッ素など)を照射して化合物に変化させることを特徴としている。これによって酸化、窒化などで化合物に変化した被膜は透明となり光の透過率に影響を及ぼすことがない。 (もっと読む)


【課題】透光性の宝飾石の輝きを損なうことなく宝飾石を保持することができ、さらに、宝飾石のパビリオンから光を入射させて、これまでにない輝きを発揮することのできる装飾品を提供すること。
【解決手段】装飾品1において、基台30にはパビリオン111の一部のみが挿入される固定穴31が形成され、固定穴31の縁部分310と、宝飾石10のパビリオン111において縁部分310と対向する部分とが接着剤40により固定されており、パビリオン111の一部のみに接着剤40が塗布されている。この状態において、パビリオン111の大部分が開放状態にあるので、光源装置5からパビリオン111に光を入射させてクラウン112側から出射させる。 (もっと読む)


【課題】
成膜時の蒸発速度、成膜速度が高く、導電性および透明性に優れ、さらには耐湿性に優れた緻密なZnO膜を形成するZnO蒸着材とその製造方法を提供する。
【解決手段】
透明導電膜の成膜に用いられるZnO蒸着材であって、CeおよびAlを含み、Ce含有量がAl含有量より多く、Ce含有量が0.1〜14.9質量%の範囲内およびAl含有量が0.1〜10質量%の範囲内であるZnO多孔質焼結体を主体とし、該焼結体が3〜50%の気孔率を有することを特徴とし、好ましくは、CeとAlの合計含有量が0.2〜15質量%、平均気孔径0.1〜500μm、平均結晶粒径1〜500μmのZnO蒸着材であるZnO多孔質焼結体とその製造方法。 (もっと読む)


基材上に薄膜を形成するための方法およびシステムを提供する。本システムでは、実質的に非吸光性の薄膜を形成するために、基材表面にコーティング材料を堆積して反応させる。単位時間に形成される非吸光性薄膜の体積は、表面積をx倍増加させ、コーティング材料の堆積速度を倍数xの逆数より大きな倍数だけ増加させ、それによって単位時間当たりの非吸光性薄膜の体積の形成速度を増加することによって増加させることができる。
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【課題】電波透過性および鏡面のような金属調光沢を有し、該金属調光沢が失われにくく、かつ低コストである電波透過性装飾部材を提供する。
【解決手段】該課題は、基体12と、該基体12上に設けられた、シリコンまたはゲルマニウムと金属との合金からなる光反射層14とを有する電波透過性装飾部材10により解決され、光反射層14としては、シリコンまたはゲルマニウムと金属との合金の物理的蒸着によって形成された蒸着膜であることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】ZnSとSiOを含まないZnOベースのスパッタリングターゲットであり、スパッタリングによって膜を形成する際に、基板への加熱等の影響を少なくし、高速成膜ができ、膜厚を薄く調整でき、またスパッタ時に発生するパーティクル(発塵)やノジュールを低減し、品質のばらつきが少なく量産性を向上させることができ、かつ結晶粒が微細であり80%以上、特に90%以上の高密度を備えたスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】A、Bは其々異なる3価以上の陽性元素であり、その価数を其々Ka、Kbとしたとき、A(KaX+KbY)/2(ZnO)、1<m、X≦m、0<Y≦0.9、X+Y=2を満たす酸化亜鉛を主成分とした化合物を含有し、かつ相対密度が80%以上であることを特徴とするスパッタリングターゲットに関する。 (もっと読む)


【課題】基材フィルムの表面に形成した蒸着層に型押しを施して凹凸模様を形成する包装用蒸着フィルムにおいて、より鮮やかな模様が得られるようにする。
【解決手段】蒸着フィルム1は、基材フィルム2の表面にプライマー層5を形成し、プライマー層5の表面に蒸着層3を形成したものである。模様原版4で蒸着層に型押しを施し、凹凸模様を形成する。 (もっと読む)


【課題】光透過における写像性に優れた、彩色、および金属光沢を有する光学薄膜積層体およびそれを用いた加飾成形品を提供することを課題とする。
【解決手段】基材上に薄膜積層体を備える光学薄膜積層体であって、該薄膜積層体が高屈折率薄膜層、低屈折率薄膜層を各1層以上交互に積層した薄膜積層体であり、且つ、前記光学薄膜積層体が光透過における写像性を有することを特徴とする光学薄膜積層体とする。また、前記光学薄膜積層体表面に対して鉛直線方向から測定光を前記光学薄膜積層体に入射したときの光透過法による像鮮明度(JIS K 7105に準拠)が、光学くし幅0.125mmにおいて85%以上であることを特徴とする請求項1に記載の光学薄膜積層体とする。 (もっと読む)


【課題】SiOを蒸着材料としたガスバリア性フィルムにおいて、反応ガスを導入しなくても、黄色を呈さず高い透明性を備えながら、優れたガスバリア性を有するガスバリア性フィルムおよびその製造方法の提供。
【解決手段】 基材フィルムの少なくとも一方の面に、SiOx蒸着材料を用い、反応ガスを導入しない雰囲気下でエレクトロンビーム蒸着方法によりSiOx膜を形成し、前記SiOx蒸着材料が結晶質のSiOの回折パターンを有するものであり、かつ、前記SiOx蒸着材料の真密度に対する嵩密度が70%以上80%未満であるガスバリア性フィルムの製造方法。該製造方法を用いて形成したことを特徴とするガスバリア性フィルムであって、前記SiOx膜の膜厚が200nm以下であることを特徴とするガスバリア性フィルム。 (もっと読む)


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