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物理蒸着 (93,067) | 被膜の用途 (4,612) | 工具 (979)

Fターム[4K029BD05]に分類される特許

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【課題】本発明は、VNの特性とTiAlNの特性とを兼備し、特に耐摩耗性に優れた被覆膜を備えた表面被覆切削工具を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、基材とその上に形成された被覆膜とを備え、該被覆膜は、VNからなるA層と、Ti1-xAlxN(ただし式中xは0.3≦x≦0.7)からなるB層とが交互に各々2層以上積層されてなり、該A層の層厚λaと該B層の層厚λbとは、それぞれ2nm以上1000nm以下であり、その層厚比λa/λbは、基材側から被覆膜の最表面側にかけて増大し、かつ基材に最も近いA層とB層の層厚比λa/λbは0.1以上0.7以下であり、最表面側に最も近いA層とB層の層厚比λa/λbは1.5以上10以下であることを特徴としている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、AlNの特性とCrAlNの特性とを兼備し、特に耐摩耗性に優れた被覆膜を備えた表面被覆切削工具を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、基材とその上に形成された被覆膜とを備え、該被覆膜は、AlNからなるA層と、Cr1-xAlxN(ただし式中xは0.3≦x≦0.8)からなるB層とが交互に各々2層以上積層されてなり、該A層の層厚λaと該B層の層厚λbとは、それぞれ2nm以上1000nm以下であり、その層厚比λa/λbは、基材側から被覆膜の最表面側にかけて増大し、かつ基材に最も近いA層とB層の層厚比λa/λbは0.1以上0.7以下であり、最表面側に最も近いA層とB層の層厚比λa/λbは1.5以上10以下であることを特徴としている。 (もっと読む)


本発明は、ターゲットとして実施され、アーク蒸発ソースの一部である第1の電極を有する真空処理システム内でワークピースを表面処理する方法であって、第1の電極によって、アーク電流を用いてアークを動作させ、ターゲットから、ワークピース上に少なくとも部分的に、かつ断続的に堆積させる材料を蒸発させ、ワークピースホルダとして実施され、ワークピースと共にバイアス電極を構成する第2の電極を有し、電圧供給部によって、バイアス電極にアーク電流と整合するようにバイアス電圧を印加し、したがって本質的に、表面上に材料が正味で蓄積されない方法に関する。
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【課題】本発明は、VNの特性とCrAlNの特性とを兼備し、特に耐摩耗性に優れた被覆膜を備えた表面被覆切削工具を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、基材とその上に形成された被覆膜とを備え、該被覆膜は、VNからなるA層と、Cr1-xAlxN(ただし式中xは0.3≦x≦0.8)からなるB層とが交互に各々2層以上積層されてなり、該A層の層厚λaと該B層の層厚λbとは、それぞれ2nm以上1000nm以下であり、その層厚比λa/λbは、基材側から被覆膜の最表面側にかけて増大し、かつ基材に最も近いA層とB層の層厚比λa/λbは0.1以上0.7以下であり、最表面側に最も近いA層とB層の層厚比λa/λbは1.5以上10以下であることを特徴としている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、AlNの特性とTiAlNの特性とを兼備し、特に耐摩耗性に優れた被覆膜を備えた表面被覆切削工具を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、基材とその上に形成された被覆膜とを備え、該被覆膜は、AlNからなるA層と、Ti1-xAlxN(ただし式中xは0.3≦x≦0.7)からなるB層とが交互に各々2層以上積層されてなり、該A層の層厚λaと該B層の層厚λbとは、それぞれ2nm以上1000nm以下であり、その層厚比λa/λbは、基材側から被覆膜の最表面側にかけて増大し、かつ基材に最も近いA層とB層の層厚比λa/λbは0.1以上0.7以下であり、最表面側に最も近いA層とB層の層厚比λa/λbは1.5以上10以下であることを特徴としている。 (もっと読む)


【課題】 従来の硬質皮膜であるTiAlN皮膜やTiCrAlN皮膜よりも耐酸化性に優れ、且つ、硬度の高い硬質皮膜およびその形成方法を提供する。
【解決手段】 (1) 〔(Ti,Cr,V)a (Nb,Ta)b (Al,Si,B)C 〕(C1-x x )からなる硬質皮膜であって、a+b+c=1、aTi+aCr+aV =a、bNb+bTa=b、cAl+cSi+cB =c、0.05≦b、0.5≦c≦0.73、0≦cSi+cB ≦0.15、aTi>0、aCr+aV +cSi+cB >0、0.4≦x≦1.0を満たすことを特徴とする硬質皮膜(但し、上記式において、aTiはTiの原子比、aCrはCrの原子比、aV はVの原子比、bNbはNbの原子比、bTaはTaの原子比、cAlはAlの原子比、cSiはSiの原子比、cB はBの原子比、xはNの原子比を示すものである。)等。 (もっと読む)


本発明は、フライス、切削インサート、射出成形用金型などのような工具のための摩耗保護層、特に物理的蒸着法を使用して蒸着させた摩耗保護層であって、当該層が、AlNbXの一般的な組成を有し(式中、Xは、N、C、B、CN、BN、CBN、NO、CO、BO、CNO、BNO、またはCNCOを表す)、Nbの割合が40原子%未満であり、かつ/または当該製造プロセスにおいて使用されるアルミニウム粉体が、アルミニウムに対して10〜50原子%のジルコニウムと混合されることを特徴とする摩耗保護層に関し、さらに摩耗保護層を製造するための方法にも関する。 (もっと読む)


【課題】被削材の工具への溶着を抑えることで、耐摩耗性に優れるとともに、被削材の表面を高品位に仕上げ加工することができる表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】表面被覆切削工具は、基材110と該基材上に形成された被膜とを有し、該被膜は、化学式Al1-xCrxyzu(式中xは0<x≦0.2であり、y、z、uは0<y+z+u≦1.1である)で表わされる化合物からなる層をその一部に含む。 (もっと読む)


【課題】 耐摩耗性および耐欠損性が向上する被覆層を備えた表面被覆工具を提供する。
【解決手段】 基体2の表面に、Ti1−a(C1−x)(MはNb、Mo、Ta、Hf、Al、SiおよびYの群から選ばれる少なくとも1種、0.35≦a≦0.55、0≦x≦1)からなる第1薄層7と、Ti1−b(C1−y)(0.40≦b≦0.60、ただしb>a、0≦y≦1)からなる第2薄層8とが交互に一定の周期で積層された下層9と、Ti1−c(C1−x)からなる第3薄層11と、Ti1−d(C1−y)(0.45≦d≦0.65、ただしd>c、0≦y≦1)からなる第4薄層12とが交互に一定の周期で積層された上層13とを被覆し、第1薄層7の平均層厚tと第2薄層8の平均層厚tとの比が1.2≦t/t≦2.5で、第3薄層11の平均層厚tと第4薄層12の平均層厚tとの比が2.5≦t/t≦18(ただし、(t/t)<(t/t))の表面被覆工具1である。 (もっと読む)


【課題】金属、セラミックス等へ充分な付着性と硬度等において立方晶窒化ホウ素本来の特性を示す立方晶窒化ホウ素被覆膜複合材料を提供する。
【解決手段】基体2と、前記基体表面上に形成された周期律表の第4族金属(Ti、Zr、Hf)、第5族金属(V、Nb、Ta)、前記第4族金属及び第5族金属の窒化物又はホウ化物或いはホウ窒化物の内から選ばれるいずれか1種以上の成分よりなる中間層3と、前記中間層3の表面に被膜した立方晶窒化ホウ素を主成分とする表面膜4とから形成される立方晶窒化ホウ素被覆膜複合材料であって、前記表面膜4の立方晶窒化ホウ素の光学的縦波モードのフォノンによるラマン散乱又は光学的横波モードのフォノンによるラマン散乱のいずれか一方の半値幅が、50cm−1以下のピークを示すか、X線解折で立方晶窒化ホウ素の特定結晶面の反射ピークの2θの半価巾が特定値である立方晶窒化ホウ素被覆膜複合材料。 (もっと読む)


【課題】連続重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる基体表面に、(Ti,Al)N層を硬質被覆層として蒸着形成した表面被覆切削工具において、(Ti,Al)N層を組成式(TiAl1−X)Nで表した場合、X=0.50〜0.70を満足する全体平均組成を有し、同時に、下部側(工具基体側)から上部側(表面側)に向うにしたがって、Xが1.0から0.4まで漸次減少する傾斜組成を有し、また、該層についてEBSDによる結晶方位解析を行った場合、表面研磨面の法線方向から0〜15度の範囲内に結晶方位<111>を有する結晶粒の面積割合が50%以上であり、また、隣り合う結晶粒同士のなす角θを測定した場合に、0<θ≦15゜の割合が50%以上である結晶配列を示す。 (もっと読む)


【課題】 高硬度鋼の高速断続切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、(Cr,Al)Nからなる硬質被覆層が蒸着形成された表面被覆切削工具において、該硬質被覆層は、粒状晶(Cr,Al)Nからなる薄層Aと柱状晶(Cr,Al)Nからなる薄層Bの交互積層構造として構成され、薄層Aおよび薄層Bはそれぞれ0.1〜2μmの層厚を有し、さらに、上記粒状晶の結晶粒径は5〜30nm、また、上記柱状晶の結晶粒径は50〜500nmである。 (もっと読む)


【課題】断続重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる基体表面に、(Cr,Al)N層を硬質被覆層として蒸着形成した表面被覆切削工具において、(Cr,Al)N層を組成式(CrAl1−X)Nで表した場合、X=0.40〜0.70を満足する全体平均組成を有し、同時に、下部側(工具基体側)から上部側(表面側)に向うにしたがって、Xが0.3から1.0まで漸次増加する傾斜組成を有し、また、該層についてEBSDによる結晶方位解析を行った場合、表面研磨面の法線方向から0〜15度の範囲内に結晶方位<111>を有する結晶粒の面積割合が50%以上であり、また、隣り合う結晶粒同士のなす角θを測定した場合に、0<θ≦15゜の割合が50%以上である結晶配列を示す。 (もっと読む)


【課題】断続重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる基体表面に、(Ti,Al)N層を硬質被覆層として蒸着形成した表面被覆切削工具において、(Ti,Al)N層を組成式(TiAl1−X)Nで表した場合、X=0.50〜0.70を満足する全体平均組成を有し、同時に、下部側(工具基体側)から上部側(表面側)に向うにしたがって、Xが0.4から1.0まで漸次増加する傾斜組成を有し、また、該層についてEBSDによる結晶方位解析を行った場合、表面研磨面の法線方向から0〜15度の範囲内に結晶方位<111>を有する結晶粒の面積割合が50%以上であり、また、隣り合う結晶粒同士のなす角θを測定した場合に、0<θ≦15゜の割合が50%以上である結晶配列を示す。 (もっと読む)


【課題】高速・高能率切削が可能な、TiAlNよりも耐摩耗性に優れた硬質皮膜を得るための有用な製造方法を提供する。
【解決手段】所定の組成および結晶構造を有する硬質皮膜を製造するための方法であって、ターゲットを構成する金属の蒸発およびイオン化をアーク放電にて行うアークイオンプレーティング法において、該ターゲットの蒸発面にほぼ直交して前方に発散ないし平行に進行する磁力線を形成し、この磁力線によって被処理体近傍における成膜ガスのプラズマ化を促進すると共に、前記被処理体に印加するバイアス電位をアース電位に対して−50V〜−300Vとして成膜する。 (もっと読む)


【課題】 切削工具基材の表面に形成する皮膜を改良し、耐酸化性や耐熱性や耐摩耗性に優れ、鋼のドライ加工や高硬度材の高速加工が長期にわたって安定して行える被覆切削工具基材を提供する。
【解決手段】 切削工具基材の表面に、結晶構造がNaCl型構造である一般式(Alx,Cr1-x)N(式中、xは、0.55≦x≦0.75の条件を満たす。)で示されるAl−Cr−N皮膜と、結晶構造がNaCl型構造である一般式(Aly,Cr1-y-z,Tiz)N(式中、y,zは、0.55≦y≦0.75、0.2≦z≦0.3、0.05≦1−y−z≦0.2の条件を満たす。)で示されるAl−Cr−Ti−N皮膜とを交互に積層させた。 (もっと読む)


【課題】 高速断続重切削において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐欠損性、耐剥離性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、硬質被覆層を蒸着形成してなる表面被覆切削工具において、下部層はTi化合物層で構成され、また、上部層は、化学蒸着により形成された一層平均層厚0.5〜1.0μmの酸化アルミニウム層と物理蒸着により形成された一層平均層厚0.3〜0.5μmの酸化アルミニウム層との交互積層構造として構成され、さらに、上部層内に連続して存在するクラックの層厚方向最大長さは0.5μm以上1.0μm以下である。 (もっと読む)


【課題】高速加工およびドライ加工でさらなる長寿命化を達成することができる表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】基材と、基材上に形成された被覆膜とを備え、被覆膜は、Ti1-xCrxN(ただし、0≦x<0.3)からなるA層と、Ti1-yAlyN(ただし、0.3<y<0.7)からなるB層とがそれぞれ交互に積層されて構成されており、A層の厚みλaおよびB層の厚みλbはそれぞれ2nm以上1000nm以下であり、互いに接しているA層およびB層の厚みの比であるλa/λbの値は、基材に最も近い位置においては0.4<λa/λb<0.7であって、基材側から被覆膜の最表面側に進むにしたがって連続的および/または段階的に増加していき、被覆膜の最表面に最も近い位置においては1.5<λa/λb<3となる表面被覆切削工具である。 (もっと読む)


本発明は加工物のための少なくとも1層を有するコーティングに関し、その少なくとも1層はAlCr1−xで表される金属成分を含み、xは0≦x≦0.84を満たす原子比であり、O1−yで表される非金属成分をも含み、ZはN、B、およびCの群から選択される少なくとも1種の元素であって0≦y≦0.65で好ましくはy≦0.5であり、そのコーティングはX線回折パターンがCrNの立方晶相ではない立方晶相の生成を示すようにCrと酸化物を含む非ガンマ相を少なくとも部分的に含んでいる。
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【課題】良好な耐摩耗性および耐焼き付き性を有するとともに、基材への密着性および耐久性に優れた高硬度の硬質皮膜で被覆された硬質皮膜被覆部材およびその製造方法を提供する。
【解決手段】基材1上に略同一の厚さの応力緩和層3としてのクロム皮膜と略同一の厚さの硬質層4としての窒素含有クロム皮膜が交互に配置されるように複数のクロム皮膜と複数の窒素含有クロム皮膜が形成され、複数の窒素含有クロム皮膜の各々の厚さが200nm以下であり且つ複数のクロム皮膜の各々の厚さの1.2〜5倍である。応力緩和層3と硬質層4は、クロムターゲットを使用してスパッタリングする装置の処理室内で連続的に形成され、応力緩和層3を形成する際には、処理室内をアルゴンガス雰囲気にし、硬質層4を形成する際には、処理室内をアルゴンガスと窒素ガスを含む雰囲気にする。 (もっと読む)


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