【課題】良好な耐摩耗性および耐焼き付き性を有するとともに、基材への密着性および耐久性に優れた高硬度の硬質皮膜で被覆された硬質皮膜被覆部材およびその製造方法を提供する。
【解決手段】基材１上に略同一の厚さの応力緩和層３としてのクロム皮膜と略同一の厚さの硬質層４としての窒素含有クロム皮膜が交互に配置されるように複数のクロム皮膜と複数の窒素含有クロム皮膜が形成され、複数の窒素含有クロム皮膜の各々の厚さが２００ｎｍ以下であり且つ複数のクロム皮膜の各々の厚さの１．２〜５倍である。応力緩和層３と硬質層４は、クロムターゲットを使用してスパッタリングする装置の処理室内で連続的に形成され、応力緩和層３を形成する際には、処理室内をアルゴンガス雰囲気にし、硬質層４を形成する際には、処理室内をアルゴンガスと窒素ガスを含む雰囲気にする。 （もっと読む）

【課題】良好な耐摩耗性および耐焼き付き性を有するとともに、基材への密着性および耐久性に優れた高硬度の硬質皮膜で被覆された硬質皮膜被覆部材およびその製造方法を提供する。
【解決手段】基材１上に下地層２としてクロム皮膜が形成され、この下地層２上に４０ｎｍ以上の略同一の厚さの応力緩和層３としてのクロム皮膜と２５０ｎｍ以下の略同一の厚さの硬質層４としての窒素含有クロム皮膜が交互に配置されるように複数のクロム皮膜と複数の窒素含有クロム皮膜が形成されている。下地層２と応力緩和層３と硬質層４は、クロムターゲットを使用してスパッタリングする装置の処理室内で連続的に形成され、下地層２および応力緩和層３を形成する際には、処理室内をアルゴンガス雰囲気にし、硬質層４を形成する際には、処理室内をアルゴンガスと窒素ガスを含む雰囲気にする。 （もっと読む）

【課題】高速加工およびドライ加工でさらなる長寿命化を達成することができる表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】基材と、基材上に形成された被覆膜とを備え、被覆膜は、Ｔｉ_1-xＣｒ_xＮ（ただし、０≦ｘ＜０．３）からなるＡ層と、Ｔｉ_1-yＡｌ_yＮ（ただし、０．３＜ｙ＜０．７）からなるＢ層とがそれぞれ交互に積層されて構成されており、Ａ層の厚みλａおよびＢ層の厚みλｂはそれぞれ２ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であり、互いに接しているＡ層およびＢ層の厚みの比であるλａ／λｂの値は、基材に最も近い位置においては０．４＜λａ／λｂ＜０．７であって、基材側から被覆膜の最表面側に進むにしたがって連続的および／または段階的に増加していき、被覆膜の最表面に最も近い位置においては１．５＜λａ／λｂ＜３となる表面被覆切削工具である。 （もっと読む）

【課題】高速加工およびドライ加工でさらなる長寿命化を達成することができる表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】本発明は、基材と、基材上に形成された被覆膜とを備え、被覆膜は、Ｔｉ_1-xＮｂ_xＮ（ただし、０＜ｘ＜０．３）からなるＡ層と、Ｔｉ_1-yＡｌ_yＮ（ただし、０．３＜ｙ＜０．７）からなるＢ層とがそれぞれ交互に積層されて構成されており、Ａ層の厚みλａおよびＢ層の厚みλｂはそれぞれ２ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であり、互いに接しているＡ層およびＢ層の厚みの比であるλａ／λｂの値は、基材に最も近い位置においては０．４＜λａ／λｂ＜０．７であって、基材側から被覆膜の最表面側に進むにしたがって連続的および／または段階的に増加していき、被覆膜の最表面に最も近い位置においては１．５＜λａ／λｂ＜３となる表面被覆切削工具である。 （もっと読む）

【課題】高速加工およびドライ加工でさらなる長寿命化を達成することができる表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】本発明は、基材と、基材上に形成された被覆膜とを備え、被覆膜は、Ｔｉ_1-x-yＮｂ_xＳｉ_yＮ（ただし、０≦ｘ＜０．３、０＜ｙ＜０．３）からなるＡ層と、Ｔｉ_1-zＡｌ_zＮ（ただし、０．３＜ｚ＜０．７）からなるＢ層とがそれぞれ交互に積層されて構成されており、Ａ層の厚みλａおよびＢ層の厚みλｂはそれぞれ２ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であり、互いに接しているＡ層およびＢ層の厚みの比であるλａ／λｂの値は、基材に最も近い位置においては０．４＜λａ／λｂ＜０．７であって、基材側から被覆膜の最表面側に進むにしたがって連続的および／または段階的に増加していき、被覆膜の最表面に最も近い位置においては１．５＜λａ／λｂ＜３となる表面被覆切削工具である。 （もっと読む）

【課題】高速加工およびドライ加工でさらなる長寿命化を達成することができる表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、基材と、当該基材上に形成された被覆膜とを備え、被覆膜は、Ｔｉ_1-x-yＣｒ_xＳｉ_yＮ（ただし、０＜ｘ＜０．３、０＜ｙ＜０．３）からなるＡ層と、Ｔｉ_1-zＡｌ_zＮ（ただし、０．３＜ｚ＜０．７）からなるＢ層とがそれぞれ交互に積層されて構成されており、Ａ層の厚みλａおよび前記Ｂ層の厚みλｂはそれぞれ２ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であり、互いに接しているＡ層およびＢ層の厚みの比であるλａ／λｂの値は、基材に最も近い位置においては０．４＜λａ／λｂ＜０．７であって、基材側から被覆膜の最表面側に進むにしたがって連続的および／または段階的に増加していき、被覆膜の最表面に最も近い位置においては１．５＜λａ／λｂ＜３となることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】溶着現象を抑制した耐摩耗性及び耐高温酸化特性を持つ多層皮膜被覆部材を提供する。
【解決手段】基材２表面に硬質皮膜１を２層以上被覆した多層皮膜被覆部材において、該硬質皮膜１は外層である第１硬質皮膜４と、内層である第２硬質皮膜３を有し、該第１硬質皮膜４は、ＳｉＢＮＣＯ系であり、該第２硬質皮膜３は、金属成分がＡｌ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｗ、Ｓｉ、Ｖ、Ｚｒ、Ｍｏから選択される２種以上、非金属成分がＮと、硼素、Ｃ、Ｏ、Ｓから選択される１種以上を有し、該第１硬質皮膜４の表層は、Ｓｉ−Ｃ結合を示すピークから求めた面積をα、Ｓｉ−Ｏ結合を示すピークから求めた面積をβとしたとき９≦α／β≦２２、Ｂ−Ｎ結合を示すピークから求めた面積をＸとし、Ｂ−Ｏ結合を示すピークから求めた面積をＹとし、比をＸ／Ｙとしたとき、５≦Ｘ／Ｙ≦１２、であることを特徴とする多層皮膜被覆部材。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗性に優れると共に、部材を再生使用するときに、損傷した硬質皮膜を容易に除去できるような除膜性に優れた硬質皮膜形成部材を提供する。
【解決手段】基材１上に硬質皮膜４を備えた硬質皮膜形成部材１０ａであって、硬質皮膜４は、組成がＴｉ_ｖＭ_１−ｖ（Ｃ_ｘＮ_ｙＯ_ｚ）（ただし、Ｍは所定の元素、ｖ、ｘ、ｙ、ｚは所定量の原子比）を満足するＡ層２と、組成がＴｉ_ｖＣｒ_ｗＭ_{１−ｖ−ｗ}（Ｃ_ｘＮ_ｙＯ_ｚ）（ただし、Ｍは所定の元素、ｖ、ｗ、ｘ、ｙ、ｚは所定量の原子比）を満足するＢ層３とを含み、Ａ層２とＢ層３がこの順に交互に積層され、１層のＡ層２と、その上部の１層のＢ層３の積層構造を１単位としたときに、２単位以上の積層構造を有し、Ａ層２の１層の厚みに対するＢ層３の１層の厚みの比率が２以上、Ａ層２の１層の厚みが０．１〜３μｍ、Ｂ層３の１層の厚みが１〜１０μｍ、Ｂ層３の厚みの合計が５μｍ以上であることを特徴とする。 （もっと読む）

基板を支持する基板ホルダと、コーティング材料の広がり流れを放出するコーティング材料源とを備える基板を被覆するための物理蒸着装置。コーティング材料の広がり流れは、コーティング材料の発散部分とコーティング材料の指向部分とを含む。本装置は、さらに、コーティング材料源と動作可能に連係するように位置決めされたブラインダ手段であって、コーティング材料の指向部分がブラインダ手段から連続的に出て、略基板ホルダに向かって進むように、コーティング材料の広がり流れを受け止めて衝当させるためのブラインダ手段を備える。コーティング材料の指向部分は、コーティング材料の広がり流れより小さい広がりを呈する。
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本発明は、アーク蒸発による金属酸化物被膜層および／または金属窒化物被膜層のコーティング方法のためのターゲットの使用方法であって、前記ターゲットは前記ターゲットに使用された金属の融点よりも高い温度で操作することができ、かつ前記ターゲットは当該酸化物および／または窒化物が導電性をもたない金属から構成されている、使用方法に関する。さらに本発明は、アーク蒸発による金属酸化物被膜層および／または金属窒化物被膜層の製造のためのターゲットの使用であって、前記ターゲットは金属から構成されるマトリックスを有し、前記マトリックス中に前記金属の非導電性酸化物および／または窒化物が埋封されている、使用に関する。
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【課題】鉄系基材とこれにＷを中間層にして積層したＵＮＤＬＣ膜との密着性を向上させ、積層体の耐摩耗性および耐熱性に優れたＵＮＣＤ膜積層体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】鉄系基材またはＷＣ基材の表面に真空中で同軸プラズマジェットガンにより成膜したＵＮＣＤ膜、このＵＮＣＤ膜の上に水素中で同軸プラズマジェットガンにより成膜した第２のＵＮＣＤ膜が積層されているＵＮＣＤ膜積層体。鉄系基材１の場合、鉄系基材１の表面にＷ層２、このＷ層２の上に真空中で同軸プラズマジェットガンにより成膜した第１のＵＮＣＤ膜３、このＵＮＣＤ膜３の上に水素中で同軸プラズマジェットガンにより成膜した第２のＵＮＣＤ膜４が積層されている。第１のＵＮＣＤ膜のＳＰ３結合は第２のＵＮＣＤ膜より少なくする。 （もっと読む）

【課題】重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる切削工具基体表面に、組成式（Ｃｒ_１−ＸＡｌ_Ｘ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．４０〜０．７０）を満足するＣｒとＡｌの複合窒化物層からなり、かつ、該層についてＥＢＳＤによる結晶方位解析を行った場合、表面研磨面の法線方向から０〜１５度の範囲内に結晶方位＜１１０＞を有する結晶粒の面積割合が５０％以上であり、また、隣り合う結晶粒同士のなす角を測定した場合に、小角粒界（０＜θ≦１５゜）の割合が５０％以上であるような結晶配列を示すＣｒとＡｌの複合窒化物層で硬質被覆層を構成する。 （もっと読む）

【課題】 高い耐欠損性と耐摩耗性を有する切削工具を提供する。
【解決手段】 立方晶窒化硼素（ｃＢＮ）を７０体積％以上含有するｃＢＮ焼結体からなる基体６の表面を被覆層７で被覆し、ｃＢＮ焼結体は、粒径４〜６μｍのｃＢＮ粗粒子と粒径０．５〜１．２μｍのｃＢＮ微粒子とのｃＢＮ粒子の周囲を、少なくとも周期表４、５、６族金属から選ばれる１種以上の元素の炭化物と鉄族金属を含む結合相で結合してなり、被覆層７は、Ｔｉ_{１−ａ−ｂ−ｃ−ｄ}Ａｌ_ａＷ_ｂＳｉ_ｃＭ_ｄ（Ｃ_ｘＮ_１−ｘ）（ただし、ＭはＮｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｙから選ばれる１種以上、０．４５≦ａ≦０．５５、０．０１≦ｂ≦０．１、０．０１≦ｃ≦０．０５、０．０１≦ｄ≦０．１、０≦ｘ≦１）からなる切削工具１である。 （もっと読む）

【課題】十分な耐熱性と耐摩耗性を備え、より過酷な切削環境においても皮膜の性能を十分に発揮できる密着強度を有する多層皮膜被覆部材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基材の表面に硬質皮膜を２層以上被覆した多層皮膜被覆部材において、該硬質皮膜は外層である第１硬質皮膜と、内層である第２硬質皮膜を有し、該第１硬質皮膜は、ＳｉａＢｂＮｃＣｄＯｅであり、該第２硬質皮膜は、金属成分がＡｌ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｗ、Ｓｉ、Ｖ、Ｚｒ、Ｍｏから選択される２種以上、非金属成分がＮと、硼素、Ｃ、Ｏ、Ｓから選択される１種以上を有し、該第１硬質皮膜と該第２硬質皮膜との界面から少なくとも５００ｎｍまでの該第１硬質皮膜を低酸素濃度域とし、該低酸素濃度域における酸素含有量を原子比でｆとしたとき、０＜ｆ≦０．０５、であることを特徴とする多層皮膜被覆部材。 （もっと読む）

【課題】溶着性の高い被削材の切削加工で硬質被覆層がすぐれた自己潤滑性を発揮することにより、すぐれた耐摩耗性を示す表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】表面被覆切削工具の工具基体表面に、ＡｌとＴｉの複合窒化物系硬質被覆層あるいはＡｌとＣｒの複合窒化物系硬質被覆層を介して、または、介さずに、組成式：Ｎｉ（Ｃ_１−ＸＮ_Ｘ）で表した場合、０．１≦Ｘ≦１．０（但し、Ｘは原子比）を満足するＮｉの炭窒化物層、窒化物層を蒸着形成する。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗性に優れた耐摩耗金属体の製造方法を提供する。
【解決手段】炭化タングステン粒子２１を結合相２２によって結合してなる超硬合金２の表面を酸によってエッチングして結合相２２の一部を除去したエッチング表面を形成するエッチング工程と、その後、チャンバー内に超硬合金２と共に配置した銅ターゲットに電子ビームを照射することによって銅をガス化し、ガス化した銅をエッチング表面において液化させて炭化タングステン粒子２１の粒界に含浸させる銅含浸工程とを行う。これにより、超硬合金２の表面に、炭化タングステン粒子２１が銅２３によって結合された改質表層１１３を形成する。 （もっと読む）

【課題】重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる切削工具基体表面に、組成式（Ａｌ_１−Ｘ Ｔｉ_Ｘ ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．４０〜０．６０）を満足するＡｌとＴｉの複合窒化物層からなり、かつ、該層についてＥＢＳＤによる結晶方位解析を行った場合、表面研磨面の法線方向から０〜１５度の範囲内に結晶方位＜１１０＞を有する結晶粒の面積割合が５０％以上であり、また、隣り合う結晶粒同士のなす角を測定した場合に、小角粒界（０＜θ≦１５゜）の割合が５０％以上であるような結晶配列を示すＡｌとＴｉの複合窒化物層で硬質被覆層を構成する。 （もっと読む）

【課題】本願発明の課題は、高硬度を維持しつつ残留圧縮応力の低減化を図り、硬質皮膜層１、２の密着強度を改善して硬質皮膜被覆切削工具の長寿命化を図る。
【解決手段】本願発明は、超硬合金を基材とする切削工具に硬質皮膜を被覆した硬質皮膜被覆切削工具において、表面側に硬質皮膜層１、基材側に硬質皮膜層２が被覆され、硬質皮膜層１は（Ａｌ_ａＣｒ_１−ａ）Ｎ_ｘ、但し、０．５≦ａ≦０．７５、０．９≦ｘ≦１．１であり、硬質皮膜層２は（Ｔｉ_ｂＡｌ_１−ｂ）Ｎ_ｙ、但し、０．４≦ｂ≦０．６、０．９≦ｙ≦１．１であり、Ｘ線回折における硬質皮膜層１の（２００）面の格子定数をα１（ｎｍ）の時、０．４１１≦α１≦０．４１５であり、硬質皮膜層２の（２００）面の格子定数をα２（ｎｍ）の時、０．４１３≦α２≦０．４１８、であることを特徴とする硬質皮膜被覆切削工具である。 （もっと読む）

【課題】重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる切削工具基体表面に、組成式Ｔｉ（Ｃ_１−ＸＮ_Ｘ）（ただし、原子比で、Ｘは０．４０〜０．９８）を満足するＴｉの炭窒化物層からなり、かつ、該層についてＥＢＳＤによる結晶方位解析を行った場合、表面研磨面の法線方向から０〜１５度の範囲内に結晶方位＜１１０＞を有する結晶粒の面積割合が５０％以上であり、また、隣り合う結晶粒同士のなす角を測定した場合に、小角粒界（０＜θ≦１５゜）の割合が５０％以上であるような結晶配列を示す改質Ｔｉ炭窒化物層で硬質被覆層を構成する。 （もっと読む）

【課題】 高い耐欠損性と耐摩耗性を有する表面被覆部材を提供する。
【解決手段】 硬質相２を結合相３で結合したサーメット基体４と、その表面を被覆する被覆層５とからなり、硬質相２が第１硬質相２ａと第２硬質相２ｂとからなり、サーメット基体４の表面について、第１硬質相２ａの平均粒径をａ_ｓと第２硬質相２ｂの平均粒径をｂ_ｓとの比率（ｂ_ｓ／ａ_ｓ）が２〜１０、表面における硬質相２全体に対する第１硬質相２ａが占める平均面積をＡ_ｓと第２硬質相２ｂが占める平均面積をＢ_ｓとの比率（Ｂ_ｓ／Ａ_ｓ）が２〜１０であり、被覆層５は、層厚が３．５〜１０μｍで、Ｔｉ_{１−ａ−ｂ−ｃ−ｄ}Ａｌ_ａＷ_ｂＳｉ_ｃＭ_ｄ（Ｃ_ｘＮ_１−ｘ）（ただし、ＭはＮｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｙから選ばれる少なくとも１種、０．４５≦ａ≦０．５５、０．０１≦ｂ≦０．１、０．０１≦ｃ≦０．０５、０≦ｄ≦０．１、０≦ｘ≦１）からなる切削工具１等の表面被覆部材である。 （もっと読む）