【課題】従来に比べて厚い被膜をＰＶＤ法で形成することにより優れた耐摩耗性を有するとともに、形成時や切削加工時に被膜が破壊されることを低減した表面被覆切削工具を提供することにある。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、基材と、該基材上に形成された被膜とを含む表面被覆切削工具であって、上記被膜は、１５μｍ以上５０μｍ以下の厚みを有する物理蒸着層であって、Ｘ線回折において（２００）面配向を示し、その（２００）面におけるピークの半価幅２θが０．１°＜２θ＜０．９°を満たす柱状組織を含み、この柱状組織は、複数の柱状晶を含み、基材表面から垂直方向２μｍの位置であって基材表面に対して平行な所定の長さの線分上において、基板表面に対して垂直方向の長さが２．５μｍ以上４μｍ以下である柱状晶が上記線分の５０％以上８０％以下を占めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】厚い被覆層をＰＶＤ法で形成することにより優れた耐摩耗性を有する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】基材と、該基材上に形成される被覆層とを含む表面被覆切削工具であって、被覆層は少なくとも１層以上の物理蒸着層を有しており、表面被覆切削工具の少なくとも刃先部における被覆層の厚さが１０μｍ以上５０μｍ以下であって、物理蒸着層は、ＩＶａ族元素、Ｖａ族元素、ＶＩａ族元素、Ｂ、ＳｉおよびＡｌからなる群から選択された少なくとも１種の元素のホウ化物、窒化物、炭化物、酸化物、炭窒化物、窒酸化物または炭窒酸化物からなり、物理蒸着層の各層のＸ線回折法によるＸ線回折ピークの最大の回折強度の和Ｉ_cと、基材のＸ線回折法によるＸ線回折ピークの最大の回折強度Ｉ_subとの比Ｉ_c／Ｉ_subが１以上１００以下である表面被覆切削工具である。 （もっと読む）

【課題】従来の酸化物皮膜よりも耐摩耗性に優れた硬質皮膜を提供する。
【解決手段】基材の表面に形成される硬質皮膜であって、（Ｃｒ_１−ｘＳｉ_ｘ）Ｏ_ｙからなり、
０．０１０≦ｘ≦０．３０、および０．８≦２ｙ／（ｘ＋３）（ｘはＳｉの原子比を示し、ｙはＯの原子比を示す。）を満たすことを特徴とする硬質皮膜。 （もっと読む）

【課題】従来の硬質皮膜である上記ＴｉＡｌＮや、ＴｉＣｒＡｌＮ、ＴｉＣｒＡｌＳｉＢＮ、ＣｒＡｌＳｉＢＮ、ＮｂＣｒＡｌＳｉＢＮ等よりもより耐酸化性、耐摩耗性に優れた硬質皮膜を提供する。
【解決手段】基材の表面に形成される硬質皮膜であって、（Ｔｉ_ａＣｒ_ｂＡｌ_ｃＭ_ｄＢ_ｅ）（Ｃ_ｘＮ_１−ｘ）からなり、０≦ａ≦０．２、０．０５≦ｂ≦０．４、０．４５≦ｃ≦０．６５、０．００５≦ｄ≦０．０５、０≦ｅ≦０．１５、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＋ｅ＝１、０≦ｘ≦０．５、Ｍ：Ｃｅ、ＰｒおよびＳｃよりなる群から選択される１種以上（ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅは夫々Ｔｉ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ，Ｂの原子比を示し、ｘはＣの原子比を示す。）であることを特徴とする硬質皮膜。 （もっと読む）

【課題】本願発明は、ＰＶＤ法によりコランダム構造を有する酸化物皮膜の高硬度化をはかり、耐摩耗性と耐熱性に優れた被覆工具を提供することである。
【解決手段】物理蒸着により酸化物を工具基材に被覆した多層被覆工具において、該酸化物はＡ層、Ｂ層からなり、Ａ層はＣｒ酸化物、Ｂ層は（ＡｌｘＣｒｙ）を金属成分とする酸化物、但し、ｘ、ｙは原子比率（％）、５０≦ｘ≦９０、ｘ＋ｙ＝１００、であり、Ａ層とＢ層は交互積層した積層構造を有し、Ａ層の平均層厚（ｎｍ）をＴＡ、Ｂ層の平均層厚（ｎｍ）をＴＢとしたとき、ＴＡ≦５０、ＴＢ≦５０であり、Ｂ層はコランダム構造の結晶構造を有し、Ｘ線回折において、（１１・６）面の回折ピークの２θ値が、（αｘ＋５４．０）≦２θ≦（αｘ＋５４．７）、但し、αは２．６５２×１０^−２、の範囲にあることを特徴とする多層被覆工具である。 （もっと読む）

金属壁２６を有する真空チャンバに、スパッタターゲットを備えたマグネトロンが複数配されており、少なくともそのうちの一つは、ＨＰＰＭＳマグネトロンで、スイッチング素子５を介して容量素子６をＨＰＰＭＳマグネトロンのスパッタターゲットに接続することで、電気パルスが供給される。効率的な基板の前処理及びコーテイングを達成するために、スイッチング素子がチャンバ壁に配されている。電極対がもけられており、その第１電極はＨＰＰＭＳマグネトロンとなり、第１及び第２電極を適切に配することで、基板テーブル４に保持された物体１１は、電極対の両能動面の間に位置するか、あるいは両能動面の間の空間を通って移動する。エッチング工程で、負のバイアス電圧が物体に印加され、物体は金属イオン照射によってエッチングされ、その後バイアス電圧を連続的に下げることによって、スパッタターゲットからスパッタされた物質は物体に積もり層になる。
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【課題】表面被覆切削工具の寿命を長期化させることができる表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】基材の表面上に第１被覆層と第２被覆層とが交互に積層されてなる表面被覆層を含んでいる。第１被覆層には、Ａ層とＢ層とが交互に１層以上積層されており、Ａ層はＡｌとＣｒとを含む窒化物からなりＣｒの原子数の比は０．１よりも大きく０．４以下であり、Ｂ層はＡｌとＴｉとを含む窒化物からなりＴｉの原子数の比は０．２以上０．６以下である。第２被覆層には、Ｃ層とＤ層とが交互にそれぞれ１層以上積層されており、Ｃ層はＴｉとＳｉとを含む窒化物からなりＳｉの原子数の比は０．０５よりも大きく０．３以下であり、Ｄ層はＴｉとＣｒとを含む窒化物からなりＣｒの原子数の比は０．０５以上０．３以下である表面被覆切削工具である。 （もっと読む）

本発明は、ＰＶＤ（物理的蒸着）によって、特に陰極アーク蒸着によって酸化物層を製造するための方法であって、粉末冶金ターゲットが蒸着され、その粉末冶金ターゲットは少なくとも２つの金属または半金属構成要素でできており、そのターゲットの金属または半金属構成要素の組成が、液相への転移における室温からの加熱の際に、少なくとも２つの金属または半金属成分の溶融混合物の状態図に関して純粋な固相のどの相境界もが横切られないように選択される方法に関する。 （もっと読む）

【課題】従来の硬質皮膜であるＴｉＡｌＮや酸化物皮膜よりも耐摩耗性に優れた硬質皮膜を提供する。
【解決手段】基材の表面に形成される硬質皮膜であって、（Ｔｉ_ａＡｌ_ｂＳｉ_ｃ）Ｏ_ｘからなり、０．３≦ａ≦０．７、０．３≦ｂ≦０．７、０≦ｃ≦０．２、ａ＋ｂ＋ｃ＝１、０．８≦［ｘ／（２ａ＋１．５ｂ＋２ｃ）］≦１．２を満たすことを特徴とする硬質皮膜、または、（Ｔｉ_ａＣｒ_ｄＡｌ_ｂＳｉ_ｃ）Ｏ_ｘからなり、０．０５≦ａ≦０．４、０．１≦ｄ≦０．８５、０≦ｂ≦０．７、０≦ｃ≦０．２、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１、０．８≦［ｘ／（２ａ＋１．５ｄ＋１．５ｂ＋２ｃ）］≦１．２満たすことを特徴とする硬質皮膜（ａ，ｄ，ｂ，ｃはＴｉ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉの原子比を示し、ｘはＯの原子比を示す。） （もっと読む）

本発明は、ＤＣスパッタリング法によって、超硬材料、サーメット、鋼、またはセラミックで構成される基材を少なくとも１つのＴｉ_１−ｘＡｌ_ｘＮ層で被覆する方法に関する。本発明はさらに、上記方法によって被覆された工作物または工具、ならびにその使用に関する。本発明の目的の１つは、スパッタリング法およびアーク法の利点を併せ持つ被膜の形成が可能となる方法、すなわち小さい粗さおよび好ましい（２００）組織を有する被膜を得ることが可能となる方法を提供することである。本発明のさらに別の目的は、上記性質を有する被膜を有する工作物を提供することである。本発明のさらに別の目的は、金属の機械加工に特に適した工具を使用することである。本発明の方法によって実現される目的は、プラズマ密度を増加させるためにイオン化促進が使用されることを特徴とする。
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【課題】チッピングなどの欠陥を生じることなく、高い耐磨耗性を示し、しかも切削抵抗が低いＤＬＣ被覆工具を提供する。
【解決手段】基材上に実質的に水素を含まないＤＬＣ膜を形成したＤＬＣ被覆工具において、上記ＤＬＣ膜が、波長６３２．８ｎｍのレーザを用いたラマン分光スペクトルにおいて、１０００〜１２００ｃｍ^−１の間にピークを有する特性バンドとしてＳバンドを持ち、ＤバンドとＧバンドの面積強度比Ｓｄ／Ｓｇが０．８以下であり、ＳバンドとＤバンドのピーク強度比Ｉｓ／Ｉｄ及び面積強度比Ｓｓ／Ｓｄがいずれも０．１５以上であると共に、上記ＤＬＣ膜表面における直径０．１μｍ以上の凸部の個数Ｎｐ（個／ｍｍ^２）と膜厚ｔ（ｍｍ）の比Ｎｐ／ｔを１．５×１０^８以下、直径０．１μｍ以上の凹部の個数Ｎｈとの膜厚ｔの比Ｎｈ／ｔを１．０×１０^８以下のものとする。 （もっと読む）

【課題】重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる切削工具基体表面に、組成式（Ｔｉ_１−Ｘ Ｓｉ_Ｘ ）（Ｃ_１−Ｙ Ｎ_Ｙ ）（ただし、Ｘ、Ｙはいずれも原子比で、Ｘは０．０１〜０．３、Ｙは０．４〜０．９６）を満足するＴｉとＳｉの炭窒化物層からなり、かつ、該層についてＥＢＳＤによる結晶方位解析を行った場合、表面研磨面の法線方向から０〜１５度の範囲内に結晶方位＜１００＞を有する結晶粒の面積割合が５０％以上であり、また、隣り合う結晶粒同士のなす角を測定した場合に、小角粒界（０＜θ≦１５゜）の割合が５０％以上であるような結晶配列を示すＴｉとＳｉの炭窒化物層で硬質被覆層を構成する。 （もっと読む）

液滴無しの耐摩耗性被膜は、Ｔｉ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｓｉおよびそれらの組み合わせからなる群より選択される金属のうちの少なくとも１つの金属または金属化合物を含む窒化物層を備える耐摩耗性の窒化物被膜を、アーク陰極の前面においてベネチアンブラインドのフィルタシステムを用いる陰極アーク蒸発法によって基材表面上に蒸着することにより製造される。これにより、ベネチアンブラインドのフィルタシステムを用いずに得られた耐摩耗性被膜と比較して上記耐摩耗性被膜内の金属微小液滴および／または金属微粒子が低減される。
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【課題】硬さが高く耐摩耗性に優れ、チタン合金などの特殊合金や鉄系材料の高速切削加工において工具寿命を延長する炭化タングステン基焼結体の提供を目的とする。
【解決手段】炭化クロム、炭化バナジウムの中から選ばれた１種または２種：０．１〜２重量％と、鉄族金属：０．１〜１重量％と、残りが炭化タングステンおよび不可避的不純物とからなる炭化タングステン基焼結体であって、炭化タングステンはWCとW₂Cとからなり、WC(101)面のＸ線回折ピーク強度をIWC(101)と表し、W₂C(101)面のＸ線回折ピーク強度をIW₂C(101)と表したとき、Ｘ線回折ピーク強度比IW₂C(101)/(IWC(101)＋IW₂C(101))は０．２〜０．３である炭化タングステン基焼結体。 （もっと読む）

【課題】重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる切削工具基体表面に、組成式（Ｔｉ_１−Ｘ Ｓｉ_Ｘ ）（Ｃ_１−Ｙ Ｎ_Ｙ ）（ただし、Ｘ、Ｙはいずれも原子比で、Ｘは０．０１〜０．３、Ｙは０．４〜０．９６）を満足するＴｉとＳｉの炭窒化物層からなり、かつ、該層についてＥＢＳＤによる結晶方位解析を行った場合、表面研磨面の法線方向から０〜１５度の範囲内に結晶方位＜１１１＞を有する結晶粒の面積割合が５０％以上であり、また、隣り合う結晶粒同士のなす角を測定した場合に、小角粒界（０＜θ≦１５゜）の割合が５０％以上であるような結晶配列を示すＴｉとＳｉの炭窒化物層で硬質被覆層を構成する。 （もっと読む）

【課題】ＷＣ基超硬合金を基材とする被覆工具において、皮膜と基材の密着強度を改善し、実用環境下において皮膜剥離を格段に低減し、耐摩耗性に優れた被覆工具、及び被覆工具の製造方法を提供することである。
【解決手段】ＷＣ基超硬合金を基材とする工具に硬質皮膜を被覆した被覆工具において、該基材の表面の結晶構造がｂｃｃ構造からなるＷ改質相であり、該Ｗ改質相の直上に炭化物相、該炭化物相の直上に硬質皮膜を有することを特徴とする被覆工具及びその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】非晶質炭素膜と基材との密着性に優れるとともに耐摩耗性に優れた非晶質炭素被覆工具を提供することを目的とする。
【解決手段】基材と非晶質炭素膜とを備え、非晶質炭素膜は基材側の内層部と表面側の外層部とからなり、非晶質炭素膜の内層部に含まれる水素量は０．５原子％以上３原子％以下であり、非晶質炭素膜の外層部に含まれる水素量は０．５原子％未満であり、非晶質炭素膜の内層部の水素量は、基材側から表面側に向かって水素量が徐々に減少するという濃度勾配を持つ非晶質炭素被覆工具。 （もっと読む）

【課題】良質の膜、特に、成膜室内残留水分に起因する酸素及び（又は）水素の取り込みの抑制された膜を形成できるアーク式イオンプレーティングによる成膜装置を提供する。
【解決手段】真空容器（成膜室）２内の水分を冷却捕捉する冷却器５１部分が室２内に設置されたコールドトラップ装置５と、蒸発源１のカソード１１のカソード材料蒸発面１１１の前方において収束せず平行進行又は発散する磁力線ｍＬからなる磁場をプラズマの生成領域に印加する磁場形成手段３００と、カソード材料蒸発面１１１におけるいずれの位置からも冷却器５１を見通せなくするとともに磁場形成手段３００が発する磁力線ｍＬに沿ってプラズマが冷却器５１へ達することを遮るための遮蔽部材６とを備えているアーク式イオンプレーティングによる成膜装置Ａ。 （もっと読む）

【課題】重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる切削工具基体表面に、組成式（Ｔｉ_１−Ｘ Ｓｉ_Ｘ ） Ｎ（ただし、Ｘは原子比で、０．０１〜０．３）を満足するＴｉとＳｉの窒化物層からなり、かつ、該層についてＥＢＳＤによる結晶方位解析を行った場合、表面研磨面の法線方向から０〜１５度の範囲内に結晶方位＜１００＞を有する結晶粒の面積割合が５０％以上であり、また、隣り合う結晶粒同士のなす角を測定した場合に、小角粒界（０＜θ≦１５゜）の割合が５０％以上であるような結晶配列を示すＴｉとＳｉの窒化物層で硬質被覆層を構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、高度な耐摩耗性を付与することができる被膜を備えた表面被覆切削工具を提供することにある。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、基材と該基材上に形成された被膜とを備えるものであって、該被膜は、１以上の層を含み、該層のうち少なくとも１の層は、結晶構造が正方晶型である化学式Ｖ_XＮｂ_1-XＺ_Y（ただし、Ｘ、Ｙはそれぞれ原子比を示し、Ｘは０．５≦Ｘ≦０．６５であり、Ｙは０．１≦Ｙ≦２である。また、Ｚは硼素、酸素、炭素、および窒素からなる群より選ばれる少なくとも１種の元素を示す。）で示される第１化合物を含むニオブ含有バナジウム層であることを特徴とする。 （もっと読む）