【課題】耐摩耗性に優れ、また焼き付きなどが生じにくく、長期間使用しても摺動性に優れる硬質皮膜と、その摺動性に優れた硬質皮膜を短時間で形成することができる硬質皮膜の形成方法を提供する。
【解決手段】化学式Ｍ_ｘＢ_ａＣ_ｂＮ_ｃで示される硬質皮膜であって、Ｍは、４Ａ族、５Ａ族、６Ａ族の元素、及びＳｉ、Ａｌから選択される少なくとも１種の金属元素であり、０≦ａ≦０．２、０≦ｃ≦０．２、０＜ｘ−ａ−ｃ、ｘ−ａ−ｃ＜ｂ≦０．９、０．０５≦ｘ＜０．５、ｘ＋ａ＋ｂ＋ｃ＝１の各式を満たすことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】鋭い形状および研磨した刃先の上でなくても、スポーリング、フリッタリング、いわゆる刃先スポーリングおよびフレーキングを起こしにくいＰＶＤ被膜を有する被膜付き切削工具およびその製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも２つの非金属機能層または層システムの間に配置された金属中間層を含む被膜を備えた基材を含む被膜付き切削工具に関し、前記金属中間層は、Ｔｉ、Ｍｏ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｖ、Ｙ、Ｎｂ、Ｗ、ＴａおよびＺｒまたはこれらの混合物の1種または複数種から選択される金属元素を少なくとも６０at％含み、前記の少なくとも２つの非金属機能層または層システムは、窒化物、酸化物、硼化物、炭化物またはそれらの組み合わせの1種または複数種であり、前記の少なくとも２つの非金属機能層または層システムの厚さは前記金属中間層の厚さの３から２００倍である。金属中間層と交互積層した非金属機能層または層システムの数は少なくとも３である。 （もっと読む）

【課題】成膜時に、膜特性制御用の圧力勾配型Ａｒプラズマガンからのプラズマビームを照射して、所望特性の蒸着膜を得る成膜方法および装置を提供する。
【解決手段】蒸発用の圧力勾配型Ａｒプラズマガンからのプラズマビームを蒸発源に照射して、膜成分を粒子として蒸発・イオン化し、これを基板表面に蒸着させて成膜するにあたり、膜特性制御用の圧力勾配型Ａｒプラズマガンからのプラズマビームを基板に照射することによって、蒸着膜の結晶配向性等の膜特性を制御する。 （もっと読む）

【課題】 高い耐欠損性と耐摩耗性を有する切削工具を提供する。
【解決手段】 希土類金属（ＲＥ）をＲＥ_２Ｏ_３換算量で０．１〜３質量％、アルミニウム（Ａｌ）をＡｌ_２Ｏ_３換算量で０〜０．６質量％、マグネシウム（Ｍｇ）をＭｇＯ換算量で０〜１質量％、酸素を０〜２．５質量％の割合で含有する窒化珪素質焼結体からなる基体の表面に、Ｔｉ_{１−ａ−ｂ−ｃ−ｄ}Ａｌ_ａＷ_ｂＳｉ_ｃＭ_ｄ（Ｃ_ｘＮ_１−ｘ）（ただし、ＭはＮｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｙから選ばれる１種以上であり、０．４５≦ａ≦０．５５、０．０１≦ｂ≦０．１、０≦ｃ≦０．０５、０．０１≦ｄ≦０．１、０≦ｘ≦１である。）の被覆層が被着形成されている切削工具である。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、クレーター摩耗を低減するとともに高度な耐摩耗性を付与することができる被膜を備えた表面被覆切削工具を提供することにある。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、基材と該基材上に形成された被膜とを備え、この被膜は、１層または２層以上からなり、該層のうち少なくとも１層は、化学式Ｈｆ_1-aＺｒ_aＸ_b(ただし、ａ、ｂはそれぞれ原子比を示し、０＜ａ≦０．５５、０．１≦ｂ≦２である。またＸは硼素、酸素、炭素および窒素からなる群から選ばれる少なくとも１種の元素を示す。)で示される第１化合物を含むジルコニウム含有ハフニウム層であり、第１化合物は、Ｘ線回折における（１１１）面のピーク強度Ａと（２００）面のピーク強度Ｂとの比Ｂ／Ａが０≦Ｂ／Ａ≦１である結晶構造を有する。 （もっと読む）

【課題】アークイオンプレーティング装置用の蒸発源において、陰極の利用効率を飛躍的に向上させ、かつ表面平滑性が高く、残留応力が小さい薄膜を形成する。
【解決手段】陰極２の外周に配置されたリング状の磁石３と、陰極２の背面に配置されたソレノイドコイル４とを有する磁界形成手段５を備えたアークイオンプレーティング装置用の蒸発源１において、磁界形成手段５は、リング状の磁石３の極性の向きとソレノイドコイル４の極性の向きとが反対となるように構成され、陰極２を構成する物質を蒸発させる蒸発面の中心部から周縁に向かって延びた任意の線分上における磁束密度の最小値が４５Ｇａｕｓｓ（ガウス）以上、その平均値が８０Ｇａｕｓｓ以上である磁界を形成する。 （もっと読む）

【課題】重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、ＴｉＣ_ＸＮ_１−Ｘを満足する（原子比で、０．２≦Ｘ≦０．５）硬質被覆層を蒸着形成してなる表面被覆切削工具において、該硬質被覆層は、その表面研磨面の法線に対して、｛１００｝面の法線がなす傾斜角を測定して作成した傾斜角度数分布グラフにおいて、０〜１０度の傾斜角区分に最高ピークが存在し、その度数合計が全体の６０％以上であり、かつ、Σ３〜Σ１３の各分布割合の合計が、ΣＮ＋１全体の分布割合の合計の７０％以上を占める構成原子共有格子点分布グラフを示す。 （もっと読む）

【課題】鋼およびステンレス鋼の機械加工性能を高めた被膜付き工具を提供する。
【解決手段】超硬合金基材と被膜とを有し、特に鋼またはステンレス鋼を湿式または乾式で機械加工するのに有用な切削工具インサートにおいて、
上記被膜が、
総厚さ０．５〜５μｍ、望ましくは１〜４μｍで、柱状粒のＴｉ_１−ｘＡｌ_ｘＮの層であって、０．２５≦ｘ≦０．７、望ましくはｘ＞０．４である第１層すなわち最内層と、
厚さ１〜５μｍ、望ましくは１．５〜４．５μｍ、最も望ましくは２〜４μｍで、柱状粒の（Ａｌ_１−ｙＣｒ_ｙ）_２Ｏ_３層であって、０．１≦ｙ≦０．６、望ましくはｙ＝０．５である層と
を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

基板２２と被膜とを含む物品が提供される。本物品は、チップ形成材料除去工程において性能を改善するように示された切削インサート２０、あるいはチップ無し形成工程のための耐摩耗部品であってよい。１つの耐摩耗被覆方式４０はアルミニウム、クロムおよび窒素を含有する下層４２と最上層４６とを有する。被覆方式４０はまた、チタン、アルミニウム、クロムおよび窒素を含有する中間多周期性ナノレイヤ被覆方式４４を含む。中間多周期性ナノレイヤ４４被覆方式は複数の組の交互層配置５０、５２、５４、５６、５８、６０、６２を含む。交互層配置５０、５２、５４、５６、５８、６０、６２のそれぞれは、チタン、アルミニウムおよび窒素を含むベース層６４と、複数の組の交互ナノレイヤ６８、７０、７２、７４、７６、７８を有するナノレイヤ領域とを有する。交互ナノレイヤ６８、７０、７２、７４、７６、７８のそれぞれの組は、アルミニウム、クロム、チタンおよび窒素とを有する１つのナノレイヤ８２と、アルミニウム、クロム、チタンおよび窒素を有する別のナノレイヤ８４とを有する。ベース層厚さＧはナノレイヤ領域厚さＦより小さい。
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【課題】高速、無潤滑切削に用いられる切削工具に適した、耐酸化性、耐熱性に優れたZr-Al-Si-N系の皮膜をPVD処理により基板上に形成するために、製作工程における金属間化合物形成による脆化やジルコニウム粉末の酸化による発火や爆発の危険性を防止して容易にかつ低コストで製造したPVD処理用のZr-Al-Si系ターゲット材を提供する。
【解決手段】必要数のプラグ嵌合用の孔を加工したジルコニウム板材に、Al-Si合金で製作したプラグを嵌合し、ＰＶＤ処理用のZr-Al-Si系ターゲット材を製作する。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗性で摩擦の少ない多層構造体を提供することである。
【解決手段】硬質材料個別層と、炭素個別層またはシリコン個別層との交互の層からなる多層構造体であって、前記硬質材料個別層は、金属、金属炭化物、金属ケイ化物、金属炭化ケイ化物、金属ケイ化窒化物、金属炭化物含有炭素、金属ケイ化物含有シリコン、または前記物質の少なくとも２つからなる含有物であり、前記金属は、タングステン、クロム、チタン、ニオブおよびモリブデンの群から選択され、前記炭素個別層は、非結晶水素含有炭素、非結晶水素無含有炭素、シリコン含有炭素、または金属含有炭素からなる、ことを特徴とする多層構造体。 （もっと読む）

【課題】溶着性の高い被削材の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）下部層として、（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層、（ｂ）中間層として、層厚方向にそって、Ｃｒ最高含有点とＣｒ最低含有点の間でＣｒおよびＡｌ含有量がそれぞれ連続的に変化する組成変化（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層、（ｃ）上部層として、組成式：（Ａｌ_１−αＣｒ_α）Ｎ_βで表した場合、０．０５≦α≦０．５０（α値は原子比）を満足する平均組成を有し、かつ、上部層における窒素含有割合（β値。但し、原子比）が、中間層側から上部層表面に向かって減少する濃度分布構造を有し、しかも、上部層表面における窒素含有割合（β値）が、０≦β≦０．３５を満足する組成傾斜（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層、を形成する。 （もっと読む）

【課題】溶着性の高い被削材の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、（ａ）下部層として、（Ａｌ_１−ＸＴｉ_Ｘ）Ｎを満足する（但し、Ｘは原子比で０．３≦Ｘ≦０．７）ＡｌとＴｉの複合窒化物層、（ｂ）中間層として、（Ａｌ_１−αＣｒ_α）Ｎまたは（Ａｌ_{１−β−γ}Ｃｒ_βＭ_γ）Ｎ（ここで、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分）を満足する（但し、α、β、γは原子比で０．２≦α≦０．６、０．１０≦β≦０．５４、０．０１≦γ≦０．２５、０．２≦β＋γ≦０．６）を満足するＡｌとＣｒ（とＭ）の複合窒化物層、（ｃ）上部層として、ＡｌとＣｒ（とＭ）の合金層を設ける。 （もっと読む）

【課題】溶着性の高い被削材の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、（ａ）下部層として、０．５〜５μｍの平均層厚の（Ａｌ_１−ＸＴｉ_Ｘ）Ｎを満足する（但し、Ｘは原子比で０．３≦Ｘ≦０．７）ＡｌとＴｉの複合窒化物層、（ｂ）中間層として、０．５〜５μｍの平均層厚の（Ａｌ_１−αＣｒ_α）Ｎを満足する（但し、αは原子比で０．２≦α≦０．６）を満足するＡｌとＣｒの複合窒化物層、（ｃ）上部層として、０．２〜０．６μｍの平均層厚の（Ａｌ_１−ＸＴｉ_Ｘ）Ｎを満足する（但し、Ｘは原子比で０．３≦Ｘ≦０．７）ＡｌとＴｉの複合窒化物層、を設ける。 （もっと読む）

【課題】 耐摩耗性および潤滑性が高くかつ耐欠損性に優れた表面被覆工具を提供することにある。
【解決手段】 基体２の表面に、個々の平均層厚が１〜１００ｎｍの第１薄層７と第２薄層８の交互積層で全体平均層厚が０．８〜１０μｍの被覆層６を形成し、前記第１薄層が、組成式：Ｍ_ｘ（Ｃ_{１−ａ−ｂ−ｄ}Ｎ_ａＯ_ｂＢ_ｄ）_ｙ（ただし、Ｍは周期表第４、５、６族元素、Ａｌ、Ｓｉ、Ｙ、Ｃｅのうちの一種以上の金属元素、１．０＜ｘ／ｙ≦１．５、０≦ａ≦１、０≦ｂ≦０．５、０≦ｄ≦０．５）で表わされるとともに、前記第２薄層８が、組成式：Ｍ_ｘ（Ｃ_{１−ａ−ｂ−ｄ}Ｎ_ａＯ_ｂＢ_ｄ）_ｙ（ただし、Ｍは周期表第４、５、６族元素、Ａｌ、Ｓｉ、Ｙ、Ｃｅのうちの一種以上の金属元素、０．５≦ｘ／ｙ≦１．０、０≦ａ≦１、０≦ｂ≦０．５、０≦ｄ≦０．５）で表わされる構成とした表面被覆工具１である。 （もっと読む）

【課題】溶着性の高い被削材の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）下部層として、ＡｌとＴｉの複合窒化物層、（ｂ）中間層として、ＡｌとＣｒ（とＭ）の複合窒化物層、（ｃ）上部層として、組成式：（Ａｌ_１−αＣｒ_α）Ｎ_βまたは（Ａｌ_{１−γ−δ}Ｃｒ_γＭ_δ）Ｎ_ε（Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上）で表した場合、０．２≦α≦０．６、０．１０≦γ≦０．５４、０．０１≦δ≦０．２５、０．２≦γ＋δ≦０．６（但し、α値、γ値、δ値はいずれも原子比）を満足する平均組成を有し、かつ、上部層における窒素含有割合（β値、ε値。但し、原子比）が、中間層側から上部層表面に向かって減少する濃度分布構造を有し、しかも、上部層表面における窒素含有割合（β値、ε値）が、０≦β≦０．３５、０≦ε≦０．３５を満足する組成傾斜型のＡｌとＣｒ（とＭ）の複合窒化物層、を設ける。 （もっと読む）

真空コーティングユニットは、反応性ガス入口（１２）と、層状カソード（１１）を有する少なくとも１つのＰＶＤコーティング源（８、２１）と、複数の基板（７）を伴う基板担持体（６）とを含み、基板担持体（６）は二次元的に水平な範囲を形成し、少なくとも２つのＰＶＤコーティング源の間に位置決めされ、複数の基板（７）は、少なくとも１つの切刃（Ｅ）を層状基板（７）の周縁マージン領域に有する切削工具であり、基板担持体（６）の二次元範囲の面において分布されるように配置され、基板担持体（６）は、真空処理チャンバ（１）において、水平面（３）において、少なくとも２つのＰＶＤコーティング源（８、２１）の層状カソード（１１）の間に間隔をおいた状態で、かつ、少なくとも１つの切刃（Ｅ）の各々の少なくとも一部は、処理中の切刃（Ｅ′）を含み、処理中の切刃（Ｅ′）は、ＰＶＤコーティング源（８、２１）のカソード（１１）のうちの少なくとも１つに対向して向き付けられ、視線において常に露出されるよう位置決めされる状態で、配置されることにおいて特徴付けられる、真空コーティングユニット。
（もっと読む）

【課題】低中硬度被削材の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）下部層として、組成式：（Ｃｒ_1−ＸＡｌ_Ｘ）Ｎ又は組成式：（Ｃｒ_{1−Ｘ−Ｚ}Ａｌ_ＸＭ_Ｚ）Ｎ（Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上。０．４５≦Ｘ≦０．７５、０．０１≦Ｚ≦０．２５）を満足するＣｒとＡｌ（とＭ）の複合窒化物層、（ｂ）上部層として、層厚方向に沿って、Ｙ最高含有点とＣｒ最高含有点とが交互に繰り返し存在し、ＣｒとＹの含有割合が連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、Ｙ最高含有点が、組成式：（Ｃｒ_１−αＹ_α）Ｎ（０．１６≦α≦０．２６）を満足し、Ｃｒ最高含有点が、組成式：（Ｃｒ_１−βＹ_β）Ｎ（０．０１≦β≦０．１０）を満足するＣｒとＹの複合窒化物層を蒸着形成する。 （もっと読む）

【課題】低中硬度被削材の高速高送り切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）組成式：（Ｃｒ_1−αＡｌ_α）Ｎあるいは組成式：（Ｃｒ_1−α−βＡｌ_αＭ_β）Ｎ（但し、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、原子比で、０．４５≦α≦０．７５、０．０１≦β≦０．２５）を満足するＣｒとＡｌ（とＭ）の複合窒化物層からなる下部層、（ｂ）組成式：（Ｃｒ_１−γＹ_γ）Ｎ（但し、原子比で、０．０１≦γ≦０．１）を満足するＣｒとＹの複合窒化物層からなる上部層、以上（ａ）、（ｂ）で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗性と耐熱性とに優れたγ−アルミナベースの硬質皮膜を１０００℃以下で形成することができる耐摩耗性部材を提供する。
【解決手段】アルミニウム酸化物を基とする硬質皮膜を基材に被覆した硬質皮膜形成部材であって、硬質皮膜は、窒素を含有し、組成が次式（１）で示され、Ａｌ_１−ｘＭ_ｘ（Ｏ_１−ｙＮ_ｙ）_ｚ（０≦ｘ≦０．５、０＜ｙ≦０．５、ｚ＞０）…式（１）式（１）におけるＭは、第４族、第５族、第６族（Ｃｒを除く）、Ｙ、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｂからなる群から選択される少なくとも１種の元素であり、硬質皮膜は基材の温度が４００〜６００℃において形成されることを特微とする。 （もっと読む）