固体材料を気化させる容器（30）は、内部体積を取り囲む少なくとも側壁と、底部壁と、カバーとを有するハウジングを備えている。このカバーは、ハウジングから蒸気流が流出できるようにするために少なくとも1つの開口部を備えている。ヒーターがハウジングの少なくとも一部を加熱して固体材料を気化させる。カバーと固体材料の間に配置されたバッフル（50）が、固体材料と開口部の間の直接的な見通し線を妨げている。このバッフルはカバーから離れていて、気化した材料の流れを制御して、そのバッフルとカバーに挟まれた領域に流入させ、開口部からの蒸気流の均一性を向上させる。内部体積と、バッフルとカバーに挟まれた領域の体積の比は、少なくとも約20：1である。固体材料は、有機発光デバイスの層を形成するのに使用される有機材料にすることができる。
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【課題】 蒸発材料の放出濃度が高い蒸発材料の放出口付近であっても蒸発材料の放出量を長期間測定することができる蒸着装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 蒸発材料取出用孔部４ｃ（５ｃ）の縁部に設けられた熱電対２１ａ（２１ｂ）と、放出用容器４（５）の加熱設定温度と熱電対２１ａ（２１ｂ）により検出された測定温度との温度偏差を算出する監視制御装置１１とを具備し、温度偏差に基づき、放出レートすなわち蒸発材料の放出量割合を求めるようにしたので、従来の水晶振動子式のように蒸発材料が堆積する膜厚計を蒸発材料の放出濃度が非常に高い場所に設置して放出量割合を検出する場合とは異なり、蒸発材料が堆積する問題がなく連続して長期間使用することができ、したがって蒸着装置の稼働率が低下することを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】従来装置では、成膜、リークを繰り返すにつれ、防着板壁に堆積する膜も厚くなり、吸着ガスの量も増加していくため、防着板のホーニング直後と成膜を繰り返した後とでは、成膜された薄膜の膜質が変化し、成膜のバッチ間にばらつきが生じるという問題や、防着板に付着・堆積した膜が剥離してゴミとなり、真空容器内に飛散して被成膜基板の表面に付着し、不良が発生するという問題や、生産性が低下するという問題があった。
【解決手段】真空容器１内に設けられ被成膜体を蒸発源に対向保持する保持治具３と、真空容器内に沿って設けられた防着部材４とを備えたものにおいて、防着部材として、蒸発源２の側面外方部から保持治具の側面外方部にわたって包囲すると共に真空容器の内壁面から離間され、かつ真空容器の中心部側から内壁面に向けて斜め下方に傾斜した複数の羽板部材４１を用いて構成した。 （もっと読む）

【課題】 組成に偏りがなく、高速加熱時の融解性にすぐれた薄膜ハンダ層
【解決手段】 電子ビーム蒸着装置を真空に保持した状態で第１のターゲットであるＡｕ−Ｓｎ合金に電子ビームを放射してＡｌＮ基板１上に厚さｄ１（例えばｄ１＝１μｍ）の第１次合金層３ａを被着させて第１の電子ビーム放射を終了する。第１の電子ビーム放射を終えたら第２の電子ビーム放射に移行して、第１次合金層３ａ上に厚さｄ２の第２次合金層３ｂを被着させる。以下同様にして順番に第３次合金層３ｃ、第４次合金層３ｄ及び第５次合金層３ｅを積層して５層（ｄ１＋ｄ２＋ｄ３＋ｄ４＋ｄ５）の薄膜合金層から成る厚さｄのＡｕ−Ｓｎ合金積層ハンダ３を形成する。 （もっと読む）

【課題】 基板と画素パターンを蒸着するためのマスクと、基板とマスクの位置合わせをするためのアライメント機構を備えたマスクホルダと蒸着源とを用いて、有機エレクトロルミネッセンス素子を作製する真空蒸着方法において、複数個の基板面内上での膜厚分布均一性を高める。
【解決手段】 基板とマスクとマスクホルダからなる構造体を、蒸着源の上部に同心円状に複数個配置して、かつ、基板とマスクとマスクホルダからなる構造体を、蒸着源の中心部から外側に向けて傾きを持たせた状態で蒸着を行う。 （もっと読む）

本発明は、素材フィルム表面に蒸着層を形成して蒸着フィルムを製造するための真空蒸着装置及び蒸着フィルム製造方法に関する。この真空蒸着装置では、同調手段（１８）が、コーティングロール（１４）の外周速度ｖ１と出側ガイドロール（１５）の外周速度ｖ２とをｖ１＝ｖ２とする。このため、蒸着フィルム表面の蒸着層が出側ガイドロール（１５）に擦れない。これにより、蒸着層に傷が入る可能性を解消し、蒸着層の性能を十分に実現させる。
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【課題】蒸着開始時のツーリング時間を短縮し、材料ロスを低減する。また、基板内の膜厚分布を均一にして有機ＥＬ素子の品質を向上する。
【解決手段】蒸着材料の抵抗加熱発熱源であって、本体の少なくとも一部が絶縁材料からなる円筒形状又は多角筒形状のルツボ、及び曲げ加工された平板からなる抵抗加熱ヒーターからなり、平板の曲げ加工された部分によって画定される空間にルツボが収納され、平板の少なくとも一部分とルツボの側面の少なくとも一部分とが接触面を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】キャリアガスを被蒸着基板方向に放出するガス流路内にガスを加熱する複数の固体片からなるガス加熱体を設けることで、蒸着装置の外部にキャリアガスを加熱する専用の加熱装置を設けず、被蒸着基板近傍で、キャリアガスを有機原料の沸点もしくは昇華点以上の高温に加熱することを可能とする。
【解決手段】チャンバ内に蒸着源１２と被蒸着基板とを対向して設けた蒸着装置であって、蒸着源１２は、蒸着材料７１を蒸発させるるつぼ１３と、るつぼ１３の外周側に沿って被蒸着基板方向にガス６１を供給するガス流路１４と、ガス流路１４を通過するガス６１を加熱するガス加熱体１５とを備えたもので、ガス加熱体１５はガス流路１４内に配置した複数の固体片１５１からなる蒸着装置である。 （もっと読む）

【課題】 耐衝撃性および流動性に優れ、ダイレクト蒸着後に美麗な光輝表面を保つことができ、しかも、樹脂レンズとの熱板溶着接合部の外観が良好であるダイレクト蒸着用熱可塑性樹脂組成物および成形品を提供する。
【解決手段】 本発明のダイレクト蒸着用熱可塑性樹脂組成物は、ジエン系ゴム状重合体（Ｇ）に、芳香族ビニル系単量体９９〜７５質量％およびシアン化ビニル系単量体１〜２５質量％を含むビニル系単量体混合物（Ｖ）を、グラフト率４０〜８０％でグラフト重合してなるグラフト共重合体（Ａ）１〜１００質量部と、ビニル系（共）重合体（Ｂ）９９〜０質量部（（Ａ）と（Ｂ）との合計は１００質量部である。）とを含有する。 （もっと読む）

【課題】 多数の開口部を有するマスク部２を複数個配置したメタルマスク１を枠状のフレームに固定するに際し、各マスク部の位置を正確に位置決めする技術を提供する。
【解決手段】 メタルマスク１の各辺を、複数のテンションユニット１３で把持して引っ張り、メタルマスク１にテンションを加えると共に、そのメタルマスク１の下側にガラススケールを重ね合わせておき、メタルマスク１のＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄで示す領域のマスク部２の開口部が、ガラススケールに設けている基準マークに正しく重なる位置となるように、各テンションユニット１３が付与するテンションを調整することで各マスク部２の位置を正確に位置決めする構成とする。 （もっと読む）

【課題】 画質の良好な再生放射線画像を与える放射線像変換パネルおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 基板上に気相堆積法により形成された多数の蛍光体柱状物が並立する蛍光体層を有する放射線像変換パネルであって、蛍光体柱状物の頂面における平均柱径が０．１乃至５０μｍの範囲にあり、かつ最大でも、該蛍光体柱状物の頂面での柱径が２００μｍを越えないことを特徴とする放射線像変換パネル。蛍光体層の気相堆積の開始に先立って、蒸発源全体を充分な溶融状態におくことにより、上記の放射瀬像変換パネルが製造できる。 （もっと読む）

【課題】 蒸着時の再現性の低下や有機材料に発生する問題を解決する。
【解決手段】 有機発光素子用の被処理基板上に有機層を蒸着させるための蒸着用ルツボ１２であって、蒸着処理の際に有機材料が配される底部１１と、蒸着処理の際に気化した有機材料が排出される開口部１３と、該開口部から該底部が見えなくなるように、該底部と該開口部との間に設けられた少なくとも１つの屈曲部１４とを備えてなるルツボ、ならびに蒸着装置および蒸着方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】 フイルム上への連続的に表面処理を行う表面処理装置において、表面処理室間の圧力差に影響を受けることなく、不純物ガスの拡散、混入を防止することが可能であり、また、装置の小型化が可能な表面処理装置を提供すること。
【解決手段】 チャンバ内に有するロール室及び表面処理室は、シールローラーと、これらに対して非接触で近接配置されたシール機構部とによって仕切られ、シールローラーとシール機構部との間に開口部を有し、シール機構部は、開口部にガスを供給するガス供給部と、開口部からガスを排気するガス排気部とを有する。 （もっと読む）

【課題】 反射防止膜及びその反射防止膜を有する光学物品に関し、特に表面コーティング層の剥離強度の向上および耐湿性／耐候性を向上した光学物品を提供する。
【解決手段】 本発明の反射防止膜の形成方法は、蒸着装置内に配置した光学基板の表面に金属酸化物からなる薄膜を、少なくとも１層以上形成する反射防止膜であって、前記反射防止膜を少なくとも１回以上の蒸着装置から取り出すことにより耐湿性／耐候性を向上した、反射防止膜を有する光学物品を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＰＢＮを積層して形成した本体の表面に、導電性膜を積層した容器であって、耐久性に優れたＰＢＮ容器、及びそのようなＰＢＮ容器の製造方法を提供する。
【解決手段】ＰＢＮ（パイロリティック窒化ボロン）を積層して形成した本体の表面に、導電性膜を積層した容器であって、少なくとも、前記本体の層断面と該層断面に接する少なくとも１つの壁面とのなす角度が、２０度〜８０度であることを特徴とするＰＢＮ容器。並びに、ＰＢＮ（パイロリティック窒化ボロン）容器を製造する方法であって、少なくとも、ＰＢＮを積層して本体を形成し、該形成した本体の層断面を、該層断面に接する少なくとも１つの壁面とのなす角度が２０度〜８０度となるように加工し、該加工した本体の表面に、導電性膜を被覆することを特徴とするＰＢＮ容器の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 蒸着により形成される薄膜の品質を向上し、装置の稼働率を向上し得る蒸着装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 ガラス基板１が配置されて蒸着が行われる蒸着用容器３内に、蒸発材料を放出する放出孔１１ｄが形成され、放出孔１１ｄからガラス基板１に向かう蒸発材料の飛翔経路Ｘを遮断または開放するシャッター１２と、シャッター１２に付着した蒸着材料である蒸着物１６を掻き落とすスクレーパー１７を備え、シャッター巻取り部材１４の巻取り回数が所定回数に到達するごとに、蒸着物１６がスクレーパー１７により掻き落とされるため、一連の成膜工程において蒸着物１６が落下することを防止することができ、したがって蒸着により形成される薄膜の品質を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、透明性に優れ、材料の安全性が高く、密着が良好であり、クリーン性が高く、かつ高速製造によりコストダウンが可能なガスバリアフィルム積層体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】プラスチック材料からなる基材の片面もしくは両面に、フェノールカルボン酸および／またはそのエステル化物を主成分とするガスバリア層を積層してなることを特徴とするガスバリアフィルム積層体およびそのガスバリア層を減圧下で成膜する製造方法である。 （もっと読む）

本発明は、ＯＬＥＤ蒸着工程用蒸発ソースとして用いられるるつぼ装置に関するもので、特に、蒸着工程時の有機物質の蒸発のためにるつぼを加熱し、その有機蒸気が、るつぼと対向して位置する基板に均一に蒸着されるようにするために、有機蒸発物質の蒸発方向と蒸発量を制御するマルチノズル部（４０）と、上部が開口された円筒形るつぼ（５０）とが結合されて構成され、特に、ＯＬＥＤ蒸着工程時に、薄膜の均一性を向上させ、かつ、有機物質の使用効率を高める。

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【課題】 良好な強誘電体特性が得られる電極膜、圧電素子、強誘電体キャパシタ及び半導体装置を提供することにある。
【解決手段】 電極膜は、基体の上方に形成される白金族金属を含み、ＣｕＫ_α線を用いたθ−２θ法によるＸ線回折において求められるピークに対応する回折角２θが、電極膜の熱処理後のピークに対応する回折角以上の大きさである。 （もっと読む）

本発明は、成膜室に接続された減圧手段により減圧して、成膜室で蒸発源から有機化合物材料を蒸発させて成膜する際、有機化合物材料の粒子よりも小さい粒子、即ち原子半径の小さい材料からなるガス（シラン系ガス等）を微量に流し、有機化合物膜中に原子半径の小さい材料を含ませる新規な成膜方法を提供する。
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