本発明は、ある量の導電性材料を浮揚させるための、該材料を浮揚状態に維持するためのコイルを備えてなり、該コイル中に変動する電流を使用する、装置に関する。本発明により、該装置は、第一コイルおよび第二コイルの２個のコイルを備えてなり、両方のコイルが使用中に交流電磁場を発生させ、該第一および第二コイルの交流電界が互いに反作用し、該第一および第二コイルが、該第一コイルおよび第二コイルの間で浮揚状態に維持されている該導電性材料が蒸発するように配置される。本発明は、ある量の導電性材料を浮揚させる方法にも関する。
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【課題】 成膜材料の混合を行うに際して成分割合の調整を容易に行うことができ、成膜領域のずれを防ぐ。
【解決手段】 真空成膜装置の成膜源１０が、複数の成膜材料をそれぞれ収容する複数の材料収容部１１Ａ，１１Ｂと、各材料収容部１１Ａ，１１Ｂ内の成膜材料を加熱する加熱手段１２Ａ，１２Ｂと、成膜材料の原子流又は分子流を成膜材料毎に放出する放出口１３Ａ，１３Ｂと、材料収容部１１Ａ，１１Ｂと放出口１３Ａ，１３Ｂとを気密に連通する放出流路１４_１Ａ，１４_２Ａ，１４_３Ａ，１４_１Ｂ，１４_２Ｂ，１４_３Ｂとを備え、同一成膜材料を放出する単数又は複数の放出口１３Ａ，１３Ｂを一方向に延設し、該一方向に延設された放出口１３Ａ，１３Ｂの外縁を直線で結んで形成される帯状の放出領域Ｓ_１Ａ，Ｓ_１Ｂが平面的に少なくとも一部で互いに重なり合うように、放出口１３Ａ，１３Ｂを配置している。 （もっと読む）

【課題】 モニター基板の材質を限定することなく、頻繁なモニター基板の交換が行うことのできる薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】 この発明のモニター基板装着装置は、前記基板ホルダーの中央部に開口した開口部を介して前記蒸着源と対峙する位置に設けられたモニター基板ホルダーと、未使用モニター基板が積層収納された着脱自在の未使用モニター基板収納箱と、使用済みモニター基板が積層収納される着脱自在の使用済みモニター基板収納箱と、前記未使用モニター基板収納箱から前記モニター基板ホルダーへモニター基板を送出し、前記モニター基板ホルダーへモニター基板を設置すると共に、モニター基板使用後において、前記モニター基板ホルダーから使用済みモニター基板収納箱へ使用済みモニター基板を送出して収納させるモニター基板移動手段とによって少なくとも構成される。 （もっと読む）

本発明は、面平行な小板を製造する方法に関し、方法は、ａ）キャリヤーに分離剤を蒸着させて分離剤５層を生成する工程と、ｂ）少なくとも１つの生成物層を分離剤層に蒸着させる工程と、ｃ）分離剤層を溶剤中に溶解させ、面平行な小板の形態で少なくとも１つの生成物層が存在する懸濁液を生成する工程を含み、分離剤が、アントラセン、アントラキノン、アセトアミドフェノール、アセチルサリチル酸、ショウノウ酸無水物、ベンズイミダゾール、ベンゼン−１，２，４−トリカルボン酸、ビフェニール−２，２−ジカルボン酸、ビス（４−ヒドロキシフェニル）スルホン、ジヒドロキシアントラキノン、ヒダントイン、３−ヒドロキシ安息香酸、８−ヒドロキシキノリン−５−スルホン酸一水和物、４−ヒドロキシクマリン、７−ヒドロキシクマリン、３−ヒドロキシナフタレン−２−カルボン酸、イソフタル酸、４，４−メチレン−ビス−３−ヒドロキシナフタレン−２−カルボン酸、ナフタレン−１，８−ジカルボン酸無水物、フタルイミドおよびそのカリウム塩、フェノールフタレイン、フェノチアジン、サッカリンおよびその塩、テトラフェニルメタン、トリフェニレン、トリフェニルメタノール、ならびにこれらの物質の少なくとも２種からなる混合物、特にペンタエリスリトール（Ｃ（ＣＨ_２ＯＨ）_４）、トリメシン酸（＝１，３，５ベンゼントリカルボン酸）、ＤＬ−アラニン、ＤＬ−バリン、２，６−２０ジアミノプリン、アスコルビン酸、１，３，５−ベンゼントリカルボン酸、ｏ−アセチルサリチル酸、ジフェン酸、テレフタル酸、ピロガロール、シアヌル酸、ヘキサメチルテトラミン（ウロトロピン）、フマル酸、および４−アセチル安息香酸、ならびにこれらの物質の少なくとも２種からなる混合物からなる群より選択される。 （もっと読む）

【課題】膜厚均一性を±１％程度の範囲内に抑えるとともに、２００ｍｍ×２００ｍｍ以上の大サイズにも対応可能な、蛍光体シートの製造方法を提供すること。
【解決手段】複数の原料蒸発源を有し、前記複数の原料蒸発源のそれぞれに予め必要に応じた量の原料を充填し、前記蒸発源のそれぞれについて、前記原料が蒸発し切った時点で、当該原料蒸発源への加熱エネルギー供給を絶つことを特徴とする方法。前記複数の原料蒸発源のそれぞれが、母体構成材料を充填されるものと、これと対をなす付活剤材料を充填されるものとの互いに対をなす構成を有するものである二元蒸着の場合は、前記互いに対をなす構成を有する複数の原料蒸発源のそれぞれについて、前記母体構成材料が蒸発し切った原料蒸発源と、この母体構成材料の蒸発源と対をなす付活剤材料の蒸発源への加熱エネルギー供給を絶つことを特徴とする。 （もっと読む）

本発明に係る抵抗加熱ボートは、抵抗加熱方式で金属蒸発物を基板に真空蒸着させる抵抗加熱ボートにおいて、ボート形状で加工される黒鉛層３１と、前記黒鉛層３１の表面に形成され、前記黒鉛層３１が前記金属蒸発物と反応しないようにする保護層３０とを備え、前記保護層３０は、アルミニウムリーチ層３２と窒素化合物層３３とを含むことを特徴とする。
前記抵抗加熱ボートの製造方法は、抵抗加熱方式で金属蒸発物を基板に真空蒸着させる抵抗加熱ボートの製造方法において、黒鉛層３１を、蒸発させようとする物質を位置させ得るように表面に蒸発孔２を有するボート形状で加工する段階と、前記黒鉛層３１の表面に窒素化合物をコーティングさせる段階と、前記黒鉛層３１の蒸発孔２にアルミニウムを位置させた後、熱処理により前記窒素化合物とアルミニウムとを反応させて、黒鉛層３１の表面に、前記黒鉛層３１が前記金属蒸発物と反応しないようにする保護層３０を形成させる段階とを備えることを特徴とする。
本発明によれば、アルミニウムを含む金属を安定的且つ連続的に蒸発させることができるようになる。
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【課題】 蒸着用マスクと被蒸着対象物の接触による被蒸着対象物への損傷の発生を抑制する。
【解決手段】 被蒸着対象物への蒸着パターンに対応する開口部１０が形成された薄板状の蒸着用マスク１００であって、被蒸着対象物の蒸着対象面と向かい合う対向面に突起１４を形成することによって上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】 金属吸着法を用いて均一な単原子ステップを有する固体結晶表面を形成する方法を提供する。
【解決手段】 固体結晶の両端に直流電圧を印加して所定の温度に加熱する段階と、直流電圧印加を保持しつつ、所定の温度に加熱された固体結晶の表面に金属原子を所定の蒸着速度で蒸着することで、固体結晶の表面に当該固体結晶を構成する原子の単原子ステップを形成する段階と、を含む固体結晶表面の形態制御方法。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、少なくとも一つの一定の方向へ曲がる炭素ナノチューブのマトリックス構造及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の炭素ナノチューブのマトリックス構造は基板、該基板の表面に形成された少なくとも一つの触媒塊、及び該触媒塊に成長された炭素ナノチューブのマトリックスを含み、該触媒塊の厚さは第一端部から第二端部へ漸進的に減らし、該第一端部から該第二端部への範囲中で、ある位置の厚さが好ましい厚さに寄って、該炭素ナノチューブのマトリックスは該好ましい厚さの位置から離れた方向へ曲がる。本発明は前記炭素ナノチューブのマトリックス構造の製造方法も提供する。 （もっと読む）

本発明は、シート状基板の概ね対向する主面上に薄膜を堆積させるためのコーター及びコーターの使用方法を提供する。コーターは、基板が、完全に鉛直な位置にあるのではなく、むしろ鉛直から鋭角度分だけオフセットされた鉛直オフセット構成で基板を支持するよう適合させた基板移送システムを有する。移送システムは、コーターを通って延びる基板進行路を規定する。移送システムは、基板を基板進行路に沿って搬送するよう適合されている。好ましくは、移送システムは、基板のうら主面を支持するためのサイドサポートを含む。好ましいサイドサポートは、コーティング材料が基板のうら主面上に堆積される場合に、そのようなコーティング材料が通過する少なくとも１つのパッセージを画定する。好ましくは、コーターは、基板進行路の両側のそれぞれに（例えば、コーティング材料を供給するよう適合させた）少なくとも１つのコーティング装置を含む。コーティング装置は、好ましくは、基板を基板進行路に沿って一度だけ通過させて、基板の概ね対向する両主面上にコーティングを堆積させるよう適合されている。 （もっと読む）

【課題】 無機酸化物の斜方蒸着膜からなる垂直配向膜を備えた液晶表示素子に好適で、配向膜の表面処理により配向の経時安定性、焼き付き現象の緩和及び耐光性を向上させることが可能な表面処理剤及びその処理方法を提供する。
【解決手段】 無機酸化物の斜方蒸着膜からなる垂直配向膜を用いた液晶表示素子に適用され、前記斜方蒸着膜の表面水酸基が、金属アルコラートで化学反応処理されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で、熱負荷によるガラス基板の割れなどを誘発することなく、複数枚のガラス基板から複数枚のパネルを省エネルギーのもとに調製することを可能にする、複数枚の基板への蒸着被膜の同時形成方法および当該方法を実施するための搬送トレイを提供すること。
【解決手段】 搬送トレイを、四角形状の枠体と、枠体の対向する枠辺と枠辺の間に、その両端を枠体の各枠辺と弾性部材を介して連結することでテンションを付加して架設した薄体状部材とから構成し、複数本の薄体状部材を、複数枚の基板が搬送トレイに載置されている状態を形成することができる保持部材として機能させるとともに、基板における蒸着被膜形成領域を画定するためのマスク部材として機能させ、所定の薄体状部材の所定の位置に、複数枚の基板を載置した際、隣接する基板同士を仕切るための仕切り部材を設ける。 （もっと読む）

【課題】 カーボンナノ材料を溶融金属に均等に分散させるために、カーボンナノ材料の濡れ性を改善することができる処理方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 カーボンナノ材料１１に、炭素と反応して化合物を生成する元素を含む金属粉末１２を混合する工程と、得られた混合物１５を真空炉２０に入れ、高温真空下で金属粉末１２を蒸発させ、この蒸気をカーボンナノ材料１１の表面に付着させる蒸着処理工程と、からなる。
【効果】 金属微粒子は炭素と化合物を生成し、この化合物が接合作用を発揮するため、金属微粒子はカーボンナノ材料に強固に結合する。カーボンナノ材料を溶融金属に混入した場合には、金属微粒子は溶融金属との濡れ性が高いため、溶融金属にカーボンナノ材料を均等に分散させることができる。 （もっと読む）

【課題】金属通電層の形成されたポリイミドフィルムが大気によって酸化されあるいは外部大気中の粉塵などによって汚染されることなく、金属メッキ層を形成することが可能なフレキシブル回路基板用積層構造体の製造装置およびその方法を提供する。
【解決手段】本発明のフレキシブル回路基板用積層構造体の製造方法は、ベースフィルムを表面処理する段階と、ベースフィルムにタイ層を形成する段階と、タイ層の形成されたベースフィルムに金属通電層を形成する段階と、金属通電層の形成されたベースフィルムに、電子ビームの照射による金属の蒸着によって金属メッキ層を形成する段階とを含み、これらの段階は全て真空チャンバー内で行われる。 （もっと読む）

【課題】 従来の反射式と透過式膜厚監視装置の問題を同時に解決でき、且つ、効果的に膜厚監視の精度を高めることができる膜厚監視装置を提供する。
【解決手段】 クランプメカニズムの表面に固定された光学基板の上に蒸着された光学薄膜厚を監視する膜厚監視装置であって、第一径路に沿って前記光学薄膜を透過するビームを発する少なくとも一つの光源、前記クランプメカニズムに相対する前記光源のもう一つ側に設置され、前記ビームを反射し、前記ビームを前記第一径路に平行した第二径路に沿って、再度、光学薄膜に透過させる少なくとも一つの逆反射器、および前記第二径路に沿って前記光学薄膜に透過した前記ビームを受ける少なくとも一つの光受信器を含む。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム系マトリクス中にシリコン相が微細に分散したＡｌ−Ｓｉ膜とその形成方法を提供する。
【解決手段】アルミニウムとシリコンを含有するＡｌ−Ｓｉ膜であって、アルミニウムまたはアルミニウム合金のマトリクスと、前記マトリクス中に分散された、粒径が数〜１００ｎｍであるシリコン微粒子とを有し、プラズマの使用または加熱により生成されたシリコン微粒子とアルミニウム微粒子を、超音速フリージェットの気流に乗せて真空チャンバー（成膜チャンバー３０）中に噴出して、真空チャンバー中に配置した基板３３上に物理蒸着させて形成した膜とする。 （もっと読む）

【課題】 接合に際し、ミクロン未満、例えば数ナノオーダーの厚さの薄い金属間化合物層を生成する。
【解決手段】 固相状態での接合に金属間化合物層の形成を要する異種金属ワークを接合する異種金属の接合装置は、接合すべき異種金属ワークＷ1、Ｗ2が入れられる真空容器11と、真空容器11内の一方のワークＷ2の接合面に金属間化合物層を形成するようにクラスターを照射するクラスター源15と、金属間化合物層を形成したワークＷ2と他方のワークＷ1を加圧および加熱する加圧・加熱手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】高感度で均一かつ耐久性に優れた放射線画像変換パネルを得ることのできる放射線画像変換パネルの製造装置及び放射線画像変換パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】放射線画像変換パネルの製造装置１は、真空容器２と、真空容器２の内部に設けられ支持体５に輝尽性蛍光体を蒸着させる蒸発源４と、蒸発源４に対向し所定の曲率半径を有する曲面を備えた支持体ホルダ６と、蒸発源４に対して支持体ホルダ６を回転させることによって蒸発源４から輝尽性蛍光体を支持体５に蒸着させる支持体回転機構１０と、支持体ホルダ６の曲面に当接された支持体５の両端部を挟持し、支持体５に張力が発生するように支持体ホルダ６に固定される固定部材７ａ，７ｂとを備える。固定部材７ａ，７ｂのうち支持体５の少なくとも一端を挟持するものは、スプリング８を介して支持体ホルダ６に固定する。 （もっと読む）

【課題】パターンジェネレータの空間的な応答を変更するためのシステム及び方法を提供する。
【解決手段】（ａ）材料をパターンジェネレータ装置の層に向かって、該層上にコーティングを形成するように方向付け、（ｂ）パターンジェネレータ上のコーティングから反射する光の形状が台形になるようにステップ（ａ）の間に少なくとも前記材料の一部が層に到達するのを妨げることを特徴とする、方法。 （もっと読む）

【課題】 成膜装置としての性能を損なうことなく、薄膜成長中の成膜装置内部の状態を外部から監視可能な内部動作監視装置および方法を提供する。
【解決手段】 本発明の内部動作監視装置は、成膜材料の温度と基板の温度を調節する温度調節手段と、成膜量調節用シャッタの開閉調節手段とを備える成膜装置の内部動作監視装置であって、温度調節手段と開閉調節手段の出力値を測定する装置状態測定手段と、装置状態測定手段に接続されて測定した出力値を蓄積する装置状態蓄積手段と、装置状態測定手段と装置状態蓄積手段に接続されるシャッタ状態比較手段とを備え、シャッタ状態比較手段において、シャッタの開閉状態を変更するための制御信号の入力があった場合に、信号入力前における、成膜材料の温度または基板の温度を制御するための出力値を装置状態蓄積手段から呼び出し、信号入力後における、成膜材料の温度または基板の温度を制御するための出力値と比較し、出力値の変動差を監視することを特徴とする。 （もっと読む）