【課題】 作業性、信頼性の高い成膜マスク装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】 収納孔を有するスペーサ５と、当該スペーサの下面に密着配置され、前記収納孔に対応する部分に成膜形成用の下部マスクパターンが形成された下部マスク４と、前記スペーサの上面に密着配置され、前記収納孔に対応する部分に成膜形成用の上部マスクパターンが形成された上部マスク６とを少なくとも具備してなるからなる成膜マスク装置であって、成膜マスク装置の特定部材の板面に固定される１つの固定ガイドピン３３と、成膜マスク装置の特定部材の板面に対してスライドするように取り付けられる１つ以上のスライドガイドピン３５とを具備し、前記固定ガイドピンと前記スライドガイドピンを具備しない成膜マスク装置に前記各ガイドピンと各々嵌め合うガイド孔を設けてなる。 （もっと読む）

【課題】 輝度が高く、かつ残光性に優れた放射線像変換パネル及びその製造。
【解決手段】 １ｍｍ厚の結晶化ガラス支持体上に蒸着法で厚み３００ｍのＥｕ付活ＣｓＢｒ蛍光体層の放射線像変換パネルを形成するとき、Ｘ線を１００Ｒ照射した後の放射線像変換パネルの、６００〜７００ｎｍの透過率が照射前の透過率の７０％以下となる蛍光体を選択した。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、基板をほぼ垂直に起立した状態で有機物を蒸着して有機薄膜を形成して大型基板に適用可能で、かつ、均一な厚さの有機薄膜を形成することができる有機物蒸着装置を提供するためのものである。
【解決手段】 本発明の有機物蒸着装置は胴体を成し、基板を地面に対し、７０゜ないし１１０゜の角度を維持するようにするチャンバと、前記基板上に蒸着する有機物を受け入れる少なくとも一つの有機物格納所からなる有機物格納部と、前記基板上に蒸着する有機物を噴射する有機物噴射ノズル部と、前記有機物噴射ノズル部と有機物格納部とを連結させる連結ラインと、前記有機物格納部、有機物噴射ノズル部及び連結ライン中の少なくとも前記有機物噴射ノズルを垂直方向に移動させることができる移送装置を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】 特にＣｓＢｒ輝尽性蛍光体における付着性と画質特性（輝度）とも優れた放射線画像変換パネル及びその製造方法の提供。
【解決手段】 支持体上にＣｓＢｒ：Ｅｕ輝尽性蛍光体を有する輝尽性蛍光体層が気相堆積法（気相法）により形成される放射線画像変換パネルにおいて、該輝尽性蛍光体層の断面を励起光源にて支持体側から蛍光体層表面側に向かって励起した際に、発光強度の低い層と発光強度の高い層が交互に積層されていることを特徴とする放射線画像変換パネル。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成により、容易に小型化に対応することが出来るようにした、成膜装置用マルチソース機構を提供する。
【解決手段】 真空チャンバーの開口を密閉するように取り付ける真空フランジ１１と、真空フランジを貫通して外部に延びると共に、外端に回転駆動力を加える駆動軸１２と、駆動軸の内端に回転可能に取り付けたソースステージ機構１３と、ソースステージ機構の周囲方向に沿って分散配置され、その表面に垂直な回転軸の周りに回転可能に支持された複数個のソースヘッド１５と、ソースステージ機構の一方向のみの回転を許すラチェット機構１６と、駆動軸の回転を各ソースヘッドに伝達する伝達部１７と、を備えるように、成膜装置用マルチソース機構１０を構成する。 （もっと読む）

【課題】 特に鮮鋭性に優れた放射線画像変換パネルの製造方法の提供。
【解決手段】 支持体（基板）上にハロゲン化アルカリを母体とする輝尽性蛍光体を蒸着法により蒸着する工程を有する放射線画像変換パネルの製造方法において、基板面内の温度の変動係数を１〜４０％で蒸着することを特徴とする放射線画像変換パネルの製造方法。 （もっと読む）

【課題】薄膜原材料の利用効率を高めることで、高品質の薄膜を高い生産性で成膜する真空成膜装置を実現することを目的とする。
【解決手段】真空成膜チャンバ内に配置したリング状のハース３に収容した薄膜原材料４にエネルギービームを照射し、薄膜原材料４を加熱蒸発させることで基板上に薄膜を成膜する真空成膜装置において、前記ハース３における薄膜原材料４の形状として、エネルギービームが照射される箇所８を通り前記ハース３と同心の円上において薄膜原材料４の量が最大となる形状としたことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 輝度が高く、かつ作業性に優れた放射線像変換パネル及びその製造方法を提供することである。
【解決手段】 内部に少なくとも２以上のセルを有する蒸発源ルツボに、温度特性の異なる２種以上の蒸着材料を充填し、加熱することにより溶解、蒸発させて、支持体上に蛍光体層を形成することを特徴とする放射線像変換パネルの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、基板をほぼ垂直で起立した状態で有機物を蒸着して有機薄膜を形成して大型基板に適用可能で、かつ、均一な厚さの有機薄膜を形成することができる有機物蒸着装置を提供するためのものである。
【解決手段】本発明の有機物蒸着装置は胴体を成し、基板を地面に対し、７０゜ないし１１０゜の角度を維持するようにするチャンバと、基板上に蒸着する有機物を受け入れる少なくとも一つの有機物格納所からなる有機物格納部と、基板上に蒸着する有機物を噴射する有機物噴射ノズル部と、有機物噴射ノズル部と有機物格納部とを連結させる連結ラインと、有機物格納部、有機物噴射ノズル部及び連結ライン中の少なくとも有機物噴射ノズルを垂直方向に移動させることができる移送装置を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】 耐擦傷性及び撥水性の耐久性により優れた光学部材及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 プラスチック基材と、このプラスチック基材上に真空蒸着法で形成された多層反射防止膜と、この多層反射防止膜上に形成された撥水層とを有する光学部材であって、前記多層反射防止膜の最外層が、二酸化ケイ素を含有する無機物質と、有機ケイ素化合物及び／又はケイ素非含有有機化合物とを蒸着原料として真空蒸着法で形成され、かつ酸素及び／又はアルゴンイオンが照射されてなるハイブリッド層であり、前記撥水層が、フッ素置換アルキル基含有有機ケイ素化合物を含む撥水原料が電子銃による加熱処理で、前記最外層に蒸着されてなる層である光学部材である。 （もっと読む）

予工程において、情報収集用に準備した試験用基板１１とターゲート１２上のレーザ光ＬＢの入射点の空間的位置の位置関係を固定した状態で、ターゲート１２にレーザ光ＬＢを照射するか、試験用基板を回転させながらターゲート１２にレーザ光ＬＢを照射するかしながら、一定の照射時間に応じて堆積された試験用基板上の膜厚分布情報を予め得る。本工程においては、基板１１または基板ホルダ２１とターゲート１２上のレーザ光ＬＢの入射点とを、相対的に特定の回転中心軸の周りに回転させるか相対的に空間的に移動させながら、あるいはそうした相対的回転と相対的移動を共に行いながら、予工程において予め得た膜厚分布情報に基づき、各相対位置関係における堆積時間を調整する。
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【課題】 簡単な構成により、容易に小型化に対応することができるようにした、マスキング機構及びそれを備えた成膜装置を提供する。
【解決手段】 真空チャンバーの開口部を密閉して取り付ける真空フランジ１１と、真空フランジ１１に対して回転可能にそして軸方向に移動可能に支持され、その外端に回転運動及び直線運動が加えられる駆動軸１２と、駆動軸１２の内端に取り付けたマスク部１３とを備え、マスク部１３が、駆動軸１２に対して垂直に固定保持された円板状のマスク支持円板１３ａと、マスク支持円板１３ａの外周縁に沿って軸方向内側に延びるように、全体としてほぼ多角柱状に配置された複数個のマスク支持板１３ｂと、各マスク支持板１３ａに取り付けられた所定形状のマスク孔を備えたマスク１３ｃとを含むように、マスキング機構１０を構成する。 （もっと読む）

【課題】 従来以上の高画質（輝度）が得られる放射線画像変換パネル及びその製造方法の提供。
【解決手段】 支持体上にＣｓＢｒ：Ｅｕ輝尽性蛍光体を有する輝尽性蛍光体層が気相堆積法（気相法）のにより形成される放射線画像変換パネルにおいて、該輝尽性蛍光体層の断面を励起光源にて支持体側から蛍光体層表面側に向かって励起した際に、発光強度の低い層と発光強度の高い層を交互に積層しないことを特徴とする放射線画像変換パネル。 （もっと読む）

最も近い既知の方法では、コヒーレント光源の光が目下の層表面に送出され、成長に依存して変化する微細な粗さに基づく拡散性の後方散乱が検出器によって時間に依存して検出される。これによって特徴的な点を介して、プロセスとの時間的な関連が形成される。しかしこの公知の方法は場所分解能を有しておらず、場所固定の基板でのみ使用可能である。従って、特に太陽電池用のカルコパイライト薄膜技術において使用される継続作動における同時蒸着用の本発明による方法では光ビーム（ＬＬＳ）が周期的かつ継続的に移動基板（Ｓ）にわたってガイドされ、ここで光ビーム（ＬＬＳ）の走査速度は移動基板（Ｓ）の前進速度よりも格段に高い。後方散乱光の検出は、目下の層表面上の入射場所に依存して行われる。測定された特徴的な点（１，２，２ａ，３，４）を既知の析出プロセスに割当てることによって場所的な散乱光プロフィールが作成される。この散乱光プロフィールによって、予期される層のクオリティに関する予測がデポジションプロセスの各時点および場所でなされる。偏差は現場で、相応のプロセスパラメータを変えることによって調整される。
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【課題】細い管状体の管内壁面に適確容易かつ安価にて均等な膜厚にアルミニウムを真空蒸着させること。
【解決手段】管状体１の内壁面にアルミニウムを真空蒸着するアルミニウム真空蒸着方法において、前記管状体１の内部にアルミニウム蒸着源５を線状に配置する一方、前記管状体１の外周囲に巻回配置した誘導加熱コイル６に通電してアルミニウム蒸着源を加熱蒸発させて前記管状体の内壁面にアルミニウムを蒸着させる。 （もっと読む）

【課題】 鮮鋭性に優れる放射線画像変換パネルの製造。
【解決手段】 真空チャンバー内で、支持体（基板）上にハロゲン化アルカリを母体とする輝尽性蛍光体を蒸着法により蒸着する工程を有する放射線画像変換パネルの製造方法において、基板の中央部をゲル状の両面粘着性物質で基板ホルダーに密着させて、基板表面温度の変動幅を抑える。 （もっと読む）

【課題】膜厚均一性を±１％程度の範囲内に抑えるとともに、２００ｍｍ×２００ｍｍ以上の大サイズにも対応可能な、蛍光体シートの製造方法を提供すること。
【解決手段】複数の原料蒸発源を有し、前記複数の原料蒸発源のそれぞれに予め必要に応じた量の原料を充填し、前記蒸発源のそれぞれについて、前記原料が蒸発し切った時点で、当該原料蒸発源への加熱エネルギー供給を絶つことを特徴とする方法。前記複数の原料蒸発源のそれぞれが、母体構成材料を充填されるものと、これと対をなす付活剤材料を充填されるものとの互いに対をなす構成を有するものである二元蒸着の場合は、前記互いに対をなす構成を有する複数の原料蒸発源のそれぞれについて、前記母体構成材料が蒸発し切った原料蒸発源と、この母体構成材料の蒸発源と対をなす付活剤材料の蒸発源への加熱エネルギー供給を絶つことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】蒸発源において蒸発せしめられた蒸着材料が、遮蔽板および噴出板を通過する時に遮蔽板または噴出板に付着してしまうおそれを低減する。
【解決手段】蒸発源１５に対向する位置に基板（２２）を配置し、基板（２２）上に蒸着材料を蒸着させる蒸着装置において、複数の穴１４_１を有する遮蔽板１４と、複数の穴１３_１を有する噴出板１３とを蒸発源１５と基板（２２）との間に配置し、蒸発源１５を加熱するための加熱機構１７と、遮蔽板１４および噴出板１３を加熱するための加熱機構１６とを別個に設けた。 （もっと読む）

菅、薄板、箔、線、繊維あるいはバーの形態の金属基材を有する金属製品は、二つ以上の異なる層からなる装飾性被膜を有する。一つの層は金属あるいは合金に基づき、一つの層は透明な酸化物に基づく。この製品は、連続プロセス内でPVDにより製造され、家庭用の装置、携帯電話、あるいは衣服中のボタンおよびジッパーなどのいろいろな顧客関連の製品に使用される。
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本発明は、ある量の導電性材料を浮揚させるための、該材料を浮揚状態に維持するためのコイルを備えてなり、該コイル中に変動する電流を使用する、装置に関する。本発明により、該装置は、第一コイルおよび第二コイルの２個のコイルを備えてなり、両方のコイルが使用中に交流電磁場を発生させ、該第一および第二コイルの交流電界が互いに反作用し、該第一および第二コイルが、該第一コイルおよび第二コイルの間で浮揚状態に維持されている該導電性材料が蒸発するように配置される。本発明は、ある量の導電性材料を浮揚させる方法にも関する。
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