【課題】 難削材の切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_{1-（X＋Ｙ）}Ａｌ_XＢ_Ｙ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．３０〜０．７０、Ｙは０．０１〜０．１０を示す）を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層からなる下部層、（ｂ）０．１〜１．５μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、（ｃ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつＶＯ_Ｍ（酸化バナジウム）の素地に、前記ＶＯ_Ｍとの合量に占める割合で、０．５〜７原子％の金属Ｖが分散分布した組織を有するＶ分散ＶＯ_Ｍ層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、超硬合金またはサーメットからなる基体の表面に、（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、Ａｌ最高含有点と最低含有点とが交互に繰り返し、かつＡｌ最高含有点から最低含有点及び逆方向へＡｌおよびＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化し、さらに、上記Ａｌ最高含有点及び最低含有点が、特定な組成式を満足し、かつ隣り合う上記Ａｌ最高含有点と最低含有点の間隔が、０．０１〜０．１μｍである（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層からなる下部層、（ｂ）０．１〜１．５μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、（ｃ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつＶＯ_Ｍ（酸化バナジウム）の素地に、金属Ｖが分散分布した組織をの上部層で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】表面被覆超硬合金製切削工具が、超硬合金またはサーメットからなる基体の表面に、（ａ）０．５〜２μｍの平均層厚を有し、かつ、特定な組成式を満足する（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層からなる基体密着層、（ｂ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_{1-（X＋Ｙ＋Ｚ）}Ａｌ_XＳｉ_ＹＢ_Ｚ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘ：０．４０〜０．６５、Ｙ：０．０１〜０．１５、Ｚ：０．０１〜０．１５、Ｙ＋Ｚ：０．２０以下、を示す）を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｂ）Ｎ層からなる下部層、（ｃ）０．１〜１．５μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、（ｄ）１〜５μｍの平均層厚を有する酸化バナジウム層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｄ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 合金鋼の高速歯切加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製歯切工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製歯切工具が、炭化タングステン基超硬合金製歯切工具基体の表面に、（ａ）いずれも（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、上部層は０．５〜１．５μｍ、下部層は２〜６μｍの平均層厚をそれぞれ有し、（ｂ）上部層は、いずれも一層平均層厚がそれぞれ５〜２０ｎｍ（ナノメ−タ−）の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、薄層Ａ及び薄層Ｂは、特定の組成式を満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層からなり、（ｃ）下部層は、単一相構造を有し、特定の組成式を満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】超硬基体の表面に、（ａ）１〜１５μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ最高含有点とＡｌ最低含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在し、かつ前記Ａｌ最高含有点からＡｌ最低含有点、前記Ａｌ最低含有点からＡｌ最高含有点へＡｌおよびＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、さらに、上記Ａｌ最高含有点およびＡｌ最低含有点が、特定の組成式を満足し、かつ、隣り合う上記Ａｌ最高含有点とＡｌ最低含有点の間隔が、０．０１〜０．１μｍである（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層、からなる下部層、（ｂ）０．１〜１．５μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、（ｃ）１〜５μｍの平均層厚を有する酸化バナジウム層からなる上部層で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 摺動性に優れたTiN系硬質被膜、及びそれを含む表面硬化材を提供する。
【解決手段】 B,Si,Vの群から選ばれる少なくとも１種を含むTiN結晶からなる被膜であって、被膜の表面に垂直な軸を基準としたとき、TiN結晶における(111)面の割合が(200)面の割合の５倍以上である。 （もっと読む）

【課題】難削材の切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、基体の表面に、（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ最高含有点と最低含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在し、かつ前記Ａｌ最高含有点から最低含有点、前記Ａｌ最低含有点から最高含有点へＡｌおよびＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、さらに、上記Ａｌ最高含有点及び最低含有点が、特定な組成式を満足し、かつ隣り合う上記Ａｌ最高含有点とＡｌ最低含有点の間隔が、０．０１〜０．１μｍである（Ｔｉ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層からなる下部層、（ｂ）０．１〜１．５μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、（ｃ）１〜５μｍの平均層厚を有する酸化バナジウム層からなる上部層で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 超硬基体の表面に、（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ最高含有点と最低含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在し、かつ前記Ａｌ最高含有点から最低含有点、前記Ａｌ最低含有点から最高含有点へＡｌ及びＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、さらに、Ａｌ最高含有点及び最低含有点が、特定の組成式を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層からなる下部層、（ｂ）０．１〜１．５μｍの平均層厚を有するＣｒＮ層からなる密着接合層、（ｃ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつＣｒ_２Ｏ_３の素地に、前記Ｃｒ_２Ｏ_３との合量に占める割合で０．１〜５原子％の金属Ｃｒが分散分布した組織を有するＣｒ分散Ｃｒ_２Ｏ_３層からなる上部層で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 非導電性のディスク基体を用いた磁気記録媒体を高い量産性で製造する。
【解決手段】 ハードディスクドライブに搭載される磁気記録媒体の製造方法であって、非導電性のディスク基体１２を準備する準備工程と、回転可能な台部２０２と、台部２０２に設けられた保持部２０４と、バイアス印加用端子２０６とを備える基板アダプタ１０２を用いて、バイアス印加用端子２０６をディスク基体１２に接触させない状態で、保持部２０４にディスク基体１２を保持させる保持工程と、ディスク基体１２上に導電性膜を成膜する第１成膜工程と、台部２０２を回転させることにより、ディスク基体１２にバイアス印加用端子２０６を接触させる接触工程と、バイアス印加用端子２０６を介してバイアス電圧を印加しつつ、次の層を成膜する第２成膜工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】合金鋼の高速歯切加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆高速度工具鋼製歯切工具を提供する。
【解決手段】表面被覆高速度工具鋼製歯切工具が、高速度工具鋼基体の表面に、（ａ）いずれも（Ｔｉ，Ａｌ，Ｂ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの平均層厚をそれぞれ有し、（ｂ）上記上部層は、いずれも一層平均層厚がそれぞれ５〜２０ｎｍの薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、上記薄層Ａは、組成式：［Ｔｉ_{1-（Ｅ＋Ｆ）}Ａｌ_ＥＢ_Ｆ］Ｎを満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層、上記薄層Ｂは、組成式：［Ｔｉ_{1-（Ｍ＋Ｎ）}Ａｌ_ＭＢ_Ｎ］Ｎを満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層、からなり、（ｃ）上記下部層は、単一相構造を有し、組成式：［Ｔｉ_{1-（Ｘ＋Ｙ）}Ａｌ_ＸＢ_Ｙ］Ｎを満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗皮膜と潤滑性皮膜を兼ね備え、両者の密着強度が極めて優れる耐摩耗皮膜を提供する。
【解決手段】物理蒸着法によって該基材にＡ層とＢ層とからなり耐摩耗皮膜が被覆され、該Ａ層は、金属元素としてＴｉ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｎｂのうちの少なくとも１種又は２種以上より選択された元素と、非金属元素としてＮを含みＣ、Ｏ、Ｂのうち１種又は２種以上より選択された元素から構成され、Ｎ、Ｃ、Ｏ、Ｂを原子％で１００とした時、Ｎを６０原子％以上含有するとともに結晶構造がｆｃｃ構造を有し、該Ｂ層は、該Ａ層の直上に接する潤滑性皮膜であり、該Ａ層と該Ｂ層との界面から該Ａ層の膜厚方向に５００ｎｍ未満の領域における結晶粒径の平均値が、１９ｎｍ以上、６２ｎｍ以下であることを特徴とする多層皮膜被覆切削工具である。 （もっと読む）

【課題】合金鋼の高速歯切加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆高速度工具鋼製歯切工具を提供する。
【解決手段】表面被覆高速度工具鋼製歯切工具が、高速度工具鋼基体の表面に、（ａ）いずれも（Ｔｉ，Ａｌ，Ｃｒ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの層厚をそれぞれ有し、（ｂ）上記上部層は、いずれも一層平均層厚がそれぞれ５〜２０ｎｍの薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、上記薄層Ａは、組成式：［Ｔｉ_{1-（Ａ＋Ｂ）}Ａｌ_ＡＣｒ_Ｂ］Ｎを満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層、上記薄層Ｂは、組成式：［Ｔｉ_{1-（Ｃ＋Ｄ）}Ａｌ_ＣＣｒ_Ｄ］Ｎを満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層、からなり、（ｃ）上記下部層は、単一相構造を有し、組成式：［Ｔｉ_{1-（Ｅ＋Ｆ）}Ａｌ_ＥＣｒ_Ｆ］Ｎを満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】配線と配線を接続する接続部のバリア膜の構造を最適化し、エレクトロマイグレーション特性を向上させる。
【解決手段】半導体基板上の第１層配線Ｍ１上に形成された層間絶縁膜ＴＨ２中に配線溝ＨＭ２およびコンタクトホールＣ２を形成した後、これらの内部にバリア膜ＰＭ２ａを、コンタクトホールＣ２の底部の全周に渡ってコンタクトホールＣ２の底部の中央部から側壁に向かってその膜厚が増加するよう形成し、このバリア膜ＰＭ２ａ上に銅膜（ＰＭ２ｂ、ＰＭ２ｃ）を形成した後、ＣＭＰ法により研磨することにより第２層配線Ｍ２と接続部（プラグ）Ｐ２を形成する。その結果、接続部（プラグ）Ｐ２を介して第２層配線Ｍ２から第１層配線Ｍ１へ流れる電流の幾何学的な最短経路と、電気的に抵抗が最小となるバリア膜ＰＭ２ａの薄い部分が一致せず、電流経路を分散することができ、電子の集中を起こりにくくできる。 （もっと読む）

【課題】高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆切削工具が、超硬基体の表面に、あるいは、高速度工具鋼基体の表面に、（ａ）いずれも（Ｃｒ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの平均層厚をそれぞれ有し、（ｂ）上記上部層は、いずれも一層平均層厚がそれぞれ５〜２０ｎｍ（ナノメ−タ−）の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、上記薄層Ａ、Ｂは、特定な組成式を満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層、からなり、（ｃ）上記下部層は、単一相構造を有し、組成式：［Ｃｒ_{1-（Ｘ＋Ｚ）}Ａｌ_ＸＺｒ_Ｚ］Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．５０〜０．６５、Ｚは０．０１〜０．１０を示す）を満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬基体の表面に、あるいは、高速度工具鋼基体の表面に、（ａ）いずれも（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、上部層は０．５〜１．５μｍ、下部層は２〜６μｍの平均層厚をそれぞれ有し、（ｂ）上部層は、いずれも一層平均層厚がそれぞれ５〜２０ｎｍの薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、薄層Ａ及び薄層Ｂは各々、特定の組成式を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層、からなり、（ｃ）下部層は、単一相構造を有し特定の組成式を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｚｒ）Ｎ層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】Ａｌ及びＣｒを必須成分とした硬質皮膜に、潤滑性に優れた皮膜を組み合わせることで特に潤滑特性の改善を行い、耐溶着性も併せ持った硬質皮膜被覆部材を提供することである。
【解決手段】基体表面から、最下層、中間積層部、最上層とからなる硬質皮膜被覆部材において、該中間積層部は、金属成分の組成が（Ａｌ_ＷＣｒ_ＸＴｉ_ＹＳｉ_Ｚ）、但し、組成は原子％で、Ｗ＋Ｘ＋Ｙ＋Ｚ＝１００、の窒化物、ホウ化物、炭化物及び酸化物の何れか又はそれらの固溶体又は混合物からなるＡ層とＢ層とが、Ａ層は７０＜Ｗ＋Ｘ＜１００、Ｂ層は３０＜Ｙ＜１００で、層厚方向に交互に積層され、該最上層は、Ｃｒ又はＣｒとＳｉの窒化物、炭化物、硫化物、硼化物の何れか又はそれらの固溶体又は混合物であることを特徴とする硬質皮膜被覆部材である。 （もっと読む）

【課題】基材と被膜を含む切削工具インサート、ソリッドエンドミル又はドリルを提供する。
【解決手段】被膜は、耐火化合物の１つ又は複数の層から構成され、該耐火化合物の少なくとも１つの層は立方晶の（Ｍｅ，Ｓｉ）Ｘ相を含み、式中、Ｍｅは元素Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｈｆ、Ｔａ及びＡｌのうちの１つ又は複数であり、Ｘは元素Ｎ、Ｃ、Ｏ又はＢのうちの１つ又は複数である。ｃ−ＭｅＳｉＸ相の比Ｒ（Ｘの割合／Ｍｅの割合）は０．５〜１．０であり、ＸはＯ＋Ｂを３０原子％よりも少ない量で含む。本発明は、切りくず厚さが小さく、被削材が硬質である金属機械加工用途、例えば、ソリッドエンドミルを用いた倣いフライス削り、インサートフライス又は硬化鋼のボーリングにおいて特に有用である。 （もっと読む）

【課題】被覆部材のＳｉを含有した粒子状付着物を制限し、基体と皮膜との密着性、潤滑特性を改善する。
【解決手段】物理蒸着により皮膜を被覆した被覆部材であって、該皮膜が金属元素としてＳｉを含有した化合物であり、該皮膜表面のＳｉを含有した粒子状付着物の面積率は、直径が０．１μｍ以上の該粒子状付着物につき、該皮膜表面の任意に選択される１０００μｍ^２の範囲内に５％以下であり、該皮膜表面の該粒子状付着物の数は、直径が０．１μｍ以上の該粒子状付着物につき、該皮膜表面の任意に選択される１０００μｍ^２の範囲内に１００個未満であることを特徴とする被覆部材である。 （もっと読む）

【課題】 膜の密着強度を確保すると共に、表面硬さを低下させることなく、耐摩耗性及び低摩擦特性などの摺動特性を向上することができる硬質炭素薄膜及びその薄膜の製造方法と提供する。
【解決手段】 表面硬さがＨｖ１５００以上であり、表面粗さが中心線平均粗さＲａ０．０１〜０．０２となるように、表面に複数の微小突起を形成させた硬質炭素薄膜であって、この微小突起は、硬質炭素薄膜の表層内部に空孔を有するように、表層の一部を屈曲させた突起であり、硬質炭素薄膜の前記表面を摺動させたときに、硬質炭素薄膜から脱落可能に形成されてなる。 （もっと読む）

【課題】 硬質被膜の耐熱性および耐摩耗性を更に向上させる。
【解決手段】 エンドミル１０の工具母材１２の表面を被覆している硬質積層被膜２０は、ＴｉＡｌＣｒＸ_1-a Ｎ_a （但し、Ｘは炭素または酸素で、混晶比ａは０．５≦ａ≦１）から成る第１被膜層２２と、ＴｉＡｌＣｒＸ_1-b Ｎ_b （但し、混晶比ｂは０．５≦ｂ≦１）およびＴｉＡｌ（ＳｉＣ）Ｘ_1-c Ｎ_c （但し、混晶比ｃは０．５≦ｃ≦１）の混合層から成る第２被膜層２４と、ＴｉＡｌ（ＳｉＣ）Ｘ_1-d Ｎ_d （但し、混晶比ｄは０．５≦ｄ≦１）から成る第３被膜層２６とから構成されている。 （もっと読む）