【課題】成分汚染が生じ難く、それと共に半導体製造装置におけるパーティクルの発生を十分に減少させることのできる半導体製造装置用部材を提供する。
【解決手段】搬送アーム１の載置部材１６にセラミックを溶射して溶射皮膜を形成し、この溶射皮膜にレーザービームを照射して、セラミック組成物を再溶融、再凝固させて変成させたセラミック再結晶物からなる高強度セラミック層５を形成し、半導体製造装置５０における外的要因により、載置部材１６から脱落する粒子を、半導体製造プロセスに影響を与えない程度に低減させる。 （もっと読む）

【課題】過大なクラックの発生を防止しつつ、十分な効果が得られる緻密化層を形成し、それ共にコストアップを招かない溶射皮膜における緻密化層の形成方法、及び溶射皮膜被覆部材を提供する。
【解決手段】Ａｌ_２Ｏ_３溶射皮膜５の表層６の皮膜組成物を再溶融、再凝固させる高エネルギービームを、Ａｌ_２Ｏ_３溶射皮膜５の表面５ａへ走査する際に、走査方向へ向けて先行して走査させる先行レーザービーム２０と、この先行レーザービーム２０と同一軌跡上で追従して走査させる追従レーザービーム２１とで構成し、先行レーザービーム２０をＡｌ_２Ｏ_３溶射皮膜５の表面５ａへ走査させながら照射すると共に、追従レーザービーム２１を当該先行レーザービーム２０で走査した被照射領域２２へ走査させながら重ねて照射し、当該被照射領域２２の表層６を緻密化する。 （もっと読む）

【課題】 下地層なしに容易にかつ安価に基材表面を改質できる鉛フリーはんだ用部材の新たな製造方法と、その方法により製造した、基材と表面層の密着力が大きく、耐鉛フリーはんだ性の高い、表面改質をした鉛フリーはんだ用部材を提供する。
【解決手段】 本発明は、表面にWC-Co系サーメット溶射皮膜を形成した鉛フリーはんだ用部材に関するものであり、前記鉛フリーはんだ用部材としては、はんだ溶解槽または、はんだ撹拌羽が挙げられる。また、本発明は、鉛フリーはんだ用部材の金属基材の表面をブラスト処理により粗面化し、該表面にWC-Co系サーメット材料を溶射し、前記金属基材の表面に溶射皮膜を形成することを特徴とする前記鉛フリーはんだ用部材の製造方法に関するものである。 （もっと読む）

【課題】鉄骨が露出した構造物においてケレンやオープンブラストの粉塵の飛散を防止し、オープンブラスト、溶射や塗装等の表面処理における環境汚染を回避し、作業員の安全な作業環境を確保する。
【解決手段】上記課題を解決するために、本発明にかかる鉄骨の表面処理用ブース１００の代表的な構成は、鉄骨１２に取り付けられ鉄骨１２の軸方向にほぼ直交する端面１１２、１３２を形成する複数の端面部材（上端面部材１１０、下端面部材１３０）と、端面部材に張り渡されて鉄骨１２の周囲に空間を形成するシート１５０と、端面部材の外周部近傍に配置されシート１５０を固定するクランプ１２８、１４８と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】耐剥離性の高い補修皮膜を形成する遮熱コーティングの部分補修方法を提供することを目的とする。
【解決手段】遮熱コーティングの部分補修方法は、耐熱合金基材１上に金属結合層２と、ジルコニアを主とするセラミックス層３とが順に形成された部材の前記セラミックス層３の損傷部に、ジルコニアを主とする溶射材を溶射して補修皮膜９を形成する補修皮膜形成工程と、補修皮膜９の周辺のレーザビームの通路となり得る前記セラミックス層３の表面を、レーザ反射能を有する反射材で被覆した後、補修皮膜９の表面にレーザビームを所定条件で照射し、補修皮膜９に縦割れ１１を形成する縦割れ形成工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】脱ガス量の低減を図りうる耐食性部材およびこれを製造する方法を提供する。
【解決手段】基材に対して原料粉末が溶射される際、セラミックス原料粉末の加速エネルギーｘ［ｇ／ｍｉｎ／ｍｍ^２］および熱エネルギーｙ［ｋＪ／ｋｇ］の組み合わせが、ｘ−ｙ平面において所定領域に収まるように調節される。これにより、同素材の焼結体に対するビッカース硬度の比が０．５２以上であり、相対密度が９０〜９７［％］であり、表面粗さＲａが３．０〜７．０［μｍ］であり、かつ、脱ガス量が１０００［ｐｐｂ／ｃｍ^３］以下であるセラミックス膜を有する耐食性部材が得られる。 （もっと読む）

【課題】基材に溶射皮膜を設けた真空装置用部品において、膜剥がれ、微小パーティクルの発生を低減した真空装置用部品を溶射皮膜溶射皮膜提供する。
【解決手段】基材１と前記基材の上に設けられた溶射皮膜３とを有する真空装置用部品において、前記溶射皮膜は、高融点金属粒子またはセラミック粒子の少なくとも一種と、アルミニウム粒子を用いて形成し、前記溶射皮膜が、金属溶融膜膜片５と、粒子６と、空隙７とを有し、空隙率が１２％以上４０％以下である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、海底トンネルや海岸沿い、又は、連接軌道踏切等に敷設する鉄道用レールに於て、耐腐食性と耐電食性を安定して改善した鉄道用レールを提供する。
【解決手段】底部４の上面４Ａ及び下面４Ｂに、亜鉛とアルミニウムとが４０：６０〜５０：５０の体積比で構成される溶射皮膜２を被覆形成している。 （もっと読む）

【課題】真空成膜装置で内部応力が大きい薄膜を成膜する際に、成膜工程中に付着する成膜材料の剥離を安定かつ有効に防止し、装置クリーニングや部品の交換などに伴う生産性の低下や成膜コストの増加を抑える。
【解決手段】Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｗ、Ｒｕ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｐｔ、Ａｇ、ＡｕおよびＩｎから選ばれる金属元素の単体、もしくは前記金属元素を含む合金または化合物の薄膜を成膜する真空成膜装置の構成部品の製造方法であって、部品本体の表面にＣｕの含有比率が６５〜９５質量％の範囲のＣｕ−Ａｌ合金からなるＣｕ−Ａｌ合金膜を形成する工程と、前記Ｃｕ−Ａｌ合金膜に１．３３×１０^−３Ｐａ以下の真空雰囲気中で３００〜８００℃の温度でアニール処理を行う工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＡＳ耐性を長期間に亘って安定して維持する。
【解決手段】耐熱合金製の母材２１と、多数の気孔２３ａが形成され、母材２１を被覆する多孔質セラミックス層２３と、を備える耐高温部材１０であって、多孔質セラミックス層２３のうち少なくとも表面側には、複合酸化物２６が含浸した複合酸化物含浸部２５を具備していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】平滑性および外観均一性が高い純Ａｌ表面を有し、かつ表層部の密着性が良好である比較的低コストな高強度複合金属材料を提供する。
【解決手段】鋼板を芯材に持ち、少なくとも片側表面がＡｌ溶射後に圧延により平滑化されたＡｌ溶射層で構成されるＡｌ被覆鋼板であって、曲げ半径５ｍｍの９０°曲げ試験にてＡｌ溶射層の剥離が生じない密着性を有し、Ｒａが０.５μｍ以下かつＲｙが１０μｍ以下の平滑表面を有し、前記平滑化されたＡｌ溶射層表層部のＡｌ純度が９９.０％以上である純Ａｌ被覆鋼板。Ａｌ溶射は、溶融Ａｌめっき鋼板のＡｌめっき層の表面上に行うことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】セラミックス層と耐熱合金製の母材の表面との間に形成されるボンドコート層の耐酸化性を高める。
【解決手段】セラミックス層３と耐熱合金製の母材１の表面との間に形成されるボンドコート層２は、ＣｏとＮｉの両方又は一方のＭと、Ｃｒと、Ａｌと、Ｙと、ＤｙとＣｅとの一方又は両方のＱと、を含み、Ｑが０．０５〜５ｗｔ％で、残量がＭとＣｒとＡｌとＹとである。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて効率的に短時間で減肉部の補修を行うことができ、補修コスト及び定検工期の削減を図ることのできるタービン系熱交換器の補修方法を提供する。
【解決手段】高圧タービンからの排気中の湿分を除去したのち低圧タービンに送るための湿分分離器、復水あるいは給水をタービンからの抽気蒸気で加熱し蒸気発生器に送るための給水加熱器、タービンからの排気蒸気を凝縮し、凝縮した水を復水としてタービンサイクルに戻すための復水器、のうちのいずれかのタービン系熱交換器の炭素鋼製構成部材に発生した水蒸気流による減肉部を補修するタービン系熱交換器の補修方法であって、前記減肉部に対して、耐食性合金の溶射皮膜を形成することによって補修する。 （もっと読む）

【課題】鋼板で形成された電気機器ケースにおいて、長期間塩害地域で使用しても所定の防錆性能を満たす電気機器ケースの溶射方法と電気機器ケースを提供する。
【解決手段】鋼板１で形成された電気機器ケース表面に下地処理をした後、アルミニウムを溶射によって付着させ、その後、亜鉛とアルミニウムの混合物を溶射によって付着させることで、電気機器ケース表面の鋼板の上にアルミニウム溶射皮膜層を形成させ、その上に亜鉛とアルミニウムの混合溶射皮膜層を形成させた電気機器ケースの溶射方法と電気機器ケース。 （もっと読む）

【課題】真空成膜装置で内部応力が大きい薄膜を成膜する際に、成膜工程中に付着する成膜材料の剥離を安定かつ有効に防止し、装置クリーニングや部品の交換などに伴う生産性の低下や成膜コストの増加を抑える。
【解決手段】Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｗ、Ｒｕ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｐｔ、Ａｇ、ＡｕおよびＩｎから選ばれる金属元素の単体、もしくは前記金属元素を含む合金または化合物の薄膜を成膜する真空成膜装置の構成部品１を製造する方法であって、部品本体２の表面に膜厚が300μm以上のＣｕ溶射膜３を形成する工程と、表面に前記Ｃｕ溶射膜３が形成された部品を、真空雰囲気中で加熱するアニーリング工程と、前記アニーリング工程後、水素雰囲気中にて前記加熱温度より低い温度で前記部品を還元する還元処理工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】ＴＢＣの熱耐久性を維持させながら部分的に補修する方法を提供する。
【解決手段】母材１上にアンダーコート層２と、トップコート層３とが順に形成された部材のトップコート層３の損傷部４を、加圧により水を噴射させてトップコート層３の損傷部４を除去する工程と、加圧により水を噴射させて前記トップコート層３が除去されたアンダーコート層２を除去する工程と、アンダーコート層２が除去された母材１上に、アンダーリコート層６を形成する工程と、形成されたアンダーリコート層６の上に、トップリコート層７を形成する工程と、によって補修する補修方法。 （もっと読む）

【課題】高い耐衝撃性、耐熱性、及び耐磨耗性を有する、焦げ付き防止コーティング材を提供する。
【解決手段】ニッケルアルミニウム（ＮｉＡｌ）を主成分とするニッケルアルミニウムモリブデン（ＮｉＡｌＭｏ）合金、及び／又は炭化クロム（Ｃｒ_３Ｃ_２）を主成分とするニッケル−クロム−炭化クロム（ＮｉＣｒ-Ｃｒ_３Ｃ_２）からなる金属性の焦げ付き防止コーティング材でコーティングされた調理具。また、金属性の焦げ付き防止コーティング材で調理具をコーティングする方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】被形成物に反りが発生しないようにしつつ、アンカー効果が十分得られるような凹凸を形成できるようにする。
【解決手段】粗面処理としてプレス加工を行い、プレス加工によって、ヒートシンク３の下面３ｂに凸部３ｃおよび凹部３ｄからなる凹凸を形成する。このように粗面処理をプレス加工によって行えば、ヒートシンク３の上面３ａおよび下面３ｂを挟み込むようにして力が加えられるため、ヒートシンク３が反らず、かつ、十分に力を加えられるため、アンカー効果を得るのに十分な大きさの凹凸を形成できる。また、プレス型によって決まった形状の凹凸を形成することになるため、粗面の面内バラツキやヒートシンク３間でのバラツキが発生しないようにできる。 （もっと読む）

本発明は溶射のダブルボトム鍋の製造方法を公開する。普通のダブルボトム鍋は複合層が脱落する可能性がある。溶射のダブルボトム鍋の製造方法を提供し、そのステップは以下：１）表面粗化：鍋の底でサンドブラストをして、その粗化の程度が５〜５０ミリメートルに達する。２）粗化の鍋の表面の底で溶射をし複合層を得る。３）ダブルボトム：金属板をステップ２）のところに位置し、予熱したあと、高圧の複合をへって、ダブルボトムの鍋になる。鍋の底と金属板の間が丈夫に結合することでダブルボトムの底が脱落の問題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、優れた耐高温性及び耐衝撃性を有する金属高温成型金型及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る金属高温成型金型は、キャビティーを有する金型基体と、前記金型基体のキャビティーの内表面に形成される、三酸化二クロム、二酸化ケイ素及び三酸化二アルミニウムからなるセラミック被覆層と、を備える。 （もっと読む）