【課題】熱処理室内のシート幅方向における温度分布の均一化を図ると同時に、そのために要する費用の低廉化を実現する繊維シートの加熱処理炉を提供する。
【解決手段】水平空間に配された熱風循環流路内に連続繊維シートの熱処理室を備え、当該熱処理室の室外の熱風循環流路内には、熱風の流れ方向に沿って処理ガスの加熱装置１８と循環ファンとを順次配している。熱処理室内には、前記繊維シートが上下に一段以上平行で水平に走行する繊維走行路を有している。前記加熱装置１８は、処理ガス加熱面１８ａを構成するガス加熱領域と、そのガス加熱領域と前記ガス加熱面の枠体１８ｂとの間のガス非加熱領域とを有している。加熱装置１８の隣接位置に、少なくとも床面側のガス加熱領域端と前記枠体１８ｂとの間のガス非加熱領域を通過する処理ガスの流れを前記ガス加熱領域へと向ける風向制御部材２０を有している。 （もっと読む）

【課題】筐体内にてシートを移動させつつ、該シートにおける温度の面内均一性を高めることの可能な加熱処理装置、及び該加熱処理装置を備えるシート表面処理装置を提供する。
【解決手段】第１成膜装置１３、第２成膜装置１４、及び第３成膜装置１５は、筐体内を通過するシートＳを該筐体内にて加熱する加熱処理装置を備えている。加熱処理装置は、シートＳに対向する加熱面を有し、加熱面をシートＳに面接触させて加熱面にシートＳを追従させる往動と、加熱面をシートＳから離して追従の開始位置に加熱面を戻す復動とを筐体内で交互に繰り返すホットプレートＨ１，Ｈ２を備えている。また、加熱処理装置は、ホットプレートＨ１，Ｈ２に設けられ、往動にてシートＳを加熱面に吸着し、復動の前に該吸着を解除する吸着部を備えている。 （もっと読む）

【課題】長期間にわたって使用した場合にも発光管の破損が生じない長寿命のハロゲンヒータランプユニットおよび熱処理装置を提供することにある。
【解決手段】熱処理装置は、ワークを加熱する熱処理空間を取り囲む、断熱材からなる断熱筐体１１と、当該断熱筐体の上壁に形成された挿入孔１５に挿通されるよう配設された筒状体３０と、ワークを加熱する熱源として、水平部およびその両端から垂直方向に伸びる垂直部よりなるＵ字状の発光管を備え、発光管内における少なくとも水平部２１Ａにフィラメントが配設されたハロゲンヒータランプ２０とを備える熱処理装置であって、当該ハロゲンヒータランプが、当該ハロゲンヒータランプの発光管の各々の垂直部が前記筒状体内に当該垂直部の外周面と前記筒状体の内周面との間に間隙を介する状態で挿通されるよう配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被熱処理物の進行方向に直交する方向で生じる温度差を緩和し、高品質な熱処理品を得ることが可能な連続熱処理炉を提供する。
【解決手段】連続熱処理炉１０は、入口部１２Ａ、加熱部１２Ｂ、出口部１２Ｄを含む炉本体１２と、加熱部１２Ｂに配設されるマッフル１４と、マッフル１４を介して被熱処理物を加熱するヒータ部１６と、駆動手段によりマッフル１４内を通過するベルト２４とを含み、被熱処理物を収容する匣Ｓがベルト２４上に配置され、匣Ｓを炉本体１２内に搬送させることによって、被熱処理物への熱処理を連続的に行う。加熱部１２Ｂは、昇温領域１２ｂ１および保温領域１２ｂ２を含み、ヒータ部１６は、金属ヒータ２０ａ，２０ｂを含み、昇温領域１２ｂ１において、ベルト２４の進行方向に直交する方向でみたときの金属ヒータ２０ａ，２０ｂの幅ｗ１は、匣Ｓの幅ｗ２と同等に形成される。 （もっと読む）

【課題】直線状の連続式熱処理炉は、長手方向に広いスペースを必要とし、場所を確保する必要がある。また、断熱材の性能および構造に関して検討されたものはあるが、さらに熱効率の高い、省エネルギー炉を提供する。
【解決手段】ワークが炉内空間において搬送され連続的に処理される連続式熱処理炉１００であって、前記炉内空間には、前記ワークの搬送方向が略１８０度変わる折り返しが含まれている。また、前記折り返しより前の炉内空間１における側壁９と、前記折り返しより後の炉内空間２の側壁９が共有されているのがよい。 （もっと読む）

【課題】処理効率の向上と、ＣＯ_２の排出抑制、処理状態ないしメンテナンスといった運転管理の労力低減、及び長時間運転に耐えうる耐久性を持った連続炉を含む処理システムを提供する。
【解決手段】原料貝類を水洗する脱塩洗浄装置１と、洗浄貝類を粗砕する粗砕装置３と、粗砕片を加熱乾燥させる加熱乾燥装置と、平面視円形経路の炉室内の移動床式の基盤５２上を通過させて半焼成片を焼成する抵抗型電気炉５を具備して、連続処理によって酸化カルシウムを得る。 （もっと読む）

【課題】冷却室以外の他の処理室が冷却液で汚染されることを防止可能とする多室型熱処理装置を提供する。
【解決手段】熱処理室を含む複数の処理室を備える多室型熱処理装置Ｓ１であって、液体粒子の潜熱により被処理物の冷却を行う前記熱処理室である冷却室３と、前記冷却室３と異なる他の処理室１，２と、前記冷却室３の乾燥を行う乾燥手段１１，１９とを備えており、前記乾燥手段１１，１９は、前記冷却室３内に熱風を供給する熱風供給装置１９を備える。 （もっと読む）

【解決手段】導電性ペーストを塗布した基板を搬送するための搬送部材、該基板を加熱して該導電性ペーストを焼成するための加熱部、及び加熱した基板を冷却する冷却部を具備する焼成炉であって、上記搬送部材を加熱するための加熱手段を設けた太陽電池素子の電極焼成用焼成炉。
【効果】特にワイヤー式焼成炉を用いて電極ペーストの焼成を行う際、加熱部雰囲気温度やアルミニウムペースト層の温度に近づけるために、ワイヤーを加熱部雰囲気温度とほぼ等しい温度に焼成している。これにより、ワイヤー上の導電性ペーストの金属成分の堆積物に電極が傷つけられることによる歩留まり低下を抑え、ワイヤー式焼成炉の連続使用が可能となる。更に、ワイヤーの温度が低いことによる基板面内の焼成むらを小さくすることで、特性低下も抑えることができる。また、メッシュベルト式焼成炉などと比較してスループットを大きくすることができる。 （もっと読む）

【課題】ワークの投入状況に大きく影響されることなく安定した熱処理をワークに施すことができる熱処理装置又は熱処理方法を提供する。
【解決手段】この熱処理装置（方法）は、炉内の熱処理空間を通過させることによりワーク（ウェハ）に対して熱処理を施すものであって、熱処理空間内の互いに異なる位置で、かつ、ワークの有無によって検出温度が変化する位置に２つの温度センサを設け、制御装置１０によって、温度センサが検出した温度ｔ_１、ｔ_２に、係数総和が１となる重み係数ｍ_１、ｍ_２をそれぞれ乗じて総和の仮想温度を演算し、当該仮想温度に基づいて温度制御を行うものである。 （もっと読む）

【課題】ワークを加熱した後に冷却する連続炉において、加熱に用いるヒータの消費電力を低減する。
【解決手段】ヒータ１６によってワークＷを加熱する加熱ゾーン１１を有している加熱処理部１と、この加熱ゾーン１１で加熱したワークＷを冷却する冷却ゾーン２１を有している冷却処理部２とを備えている。さらに、冷却ゾーン２１のガスを排出する排出ダクト７と、この排出ダクト７と連通し当該排出ダクト７によって排出された排出ガスを加熱ゾーンへ給気する給気ダクト５と、加熱ゾーンでワークＷを加熱するために用いられたガスを排気すると共に前記排出ダクト７中に一部が露出している排気ダクト６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】マッフルの耐久性の低下を好適に抑制することができる連続加熱式マッフル炉を提供する。
【解決手段】本発明の連続加熱式マッフル炉は、マッフル８の外部に配置され、被処理物Ｗを加熱する複数のガスバーナ４ａ，５ａ，６ａと、マッフル８の外部に配置され、当該マッフル８を保温する電気ヒータ４ｂ，５ｂ，６ｂと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】加熱室内の雰囲気汚染や部材の損耗を防止して水冷媒による好適な焼入処理を可能とした焼入装置を提供する。
【解決手段】被処理材を加熱処理する加熱室２と加熱処理した被処理材を浸漬して焼入れ処理する水槽部４１を設けた焼入室４とを備え、加熱室２と焼入室４の間に冷媒遮断室３を設けるとともに、当該冷媒遮断室３を仕切扉５３および仕切扉５４によってそれぞれ加熱室２および焼入室４と遮断可能となし、かつ冷媒遮断室３を加熱するヒータ３１と、冷媒遮断室３を排気する排気用ポンプユニット６５を設ける。 （もっと読む）

【課題】移動操作の有無の監視機能を損なうことなく、消費電力の著しい低減を図ることができ、電源部として電池を使用した低電圧駆動の場合、電池寿命を延長化できるようにする。
【解決手段】マウス本体２の移動操作及び任意操作が設定時間以上に亘り停止されたとき、光学式のＸ軸及びＹ軸ロータリエンコーダ４，５のうちのいずれか一方と任意操作用の第三のロータリエンコーダ６を交互に間欠動作させて操作停止状態での移動及び任意操作の有無を監視させ、かつ、この監視状態でマウス本体２に対する移動操作または任意操作があったとき、Ｘ軸、Ｙ軸及び第三のロータリエンコーダ４，５，６を共に通常の動作状態に直ちに復帰させるように電源部８から各部への電力供給を制御する制御手段（マイコン）１１を設けている。 （もっと読む）

【課題】複数個のワークピース間の予熱工程で生じた温度差が、昇温工程で縮小出来ず、ろう付け工程でロウ溶融滞留時間の過長で発生するろう付け欠陥や、ろう付け工程に昇温工程の雰囲気ガスの混入によるろう付け欠陥の起きないアルミニウム、銅、鉄、ステンレス等の金属製ワークピースの対流熱兼輻射熱併用式ろう付け方法とろう付け炉を提供する。
【解決手段】複数個のワークピースが同じ受熱量になるように、対流熱と輻射熱の作用効果を有効利用し、昇温工程では、対流熱で作業空間を均熱化し、ワークピース間の温度差を短時間に縮小する操作を、ろう付け工程では輻射熱と対流熱で、更に温度差を縮め、過長なロウ溶融滞留時間で発生するロウの浸蝕欠陥を防止し、昇温工程室とろう付け工程室の間に、昇温工程室の雰囲気が、ろう付け工程室への流入を阻止する中間工程室を置く方法で、作業環境の劣化によるロウ接合不良と潰蝕の発生を防止する。 （もっと読む）

【解決手段】
処理対象であるワークピースまたは媒体を第１の処理温度まで加熱する第１の処理セクションと、ワークピースまたは媒体を均一温度とする温度適応化セクションと、ワークピースまたは媒体を第２の処理温度に遷移させる第２の処理セクションとを備える熱処理プラントであって、温度適応化セクションの少なくとも大部分が、ワークピースまたは媒体が、実質的に自身の熱輻射の再帰反射によって均一温度まで遷移して均一温度を維持するように、ワークピースまたは媒体の熱輻射を反射する反射性材料でライニングされている。 （もっと読む）

【課題】従来の浸窒焼入れ処理では、処理温度を高くすると、熱処理炉内におけるアンモニア濃度のばらつきが大きくなって、得られた浸窒焼入れ品毎の表面硬度や硬化深さのばらつきが大きくなり、一定品質の製品を得ることが困難であった。
【解決手段】複数のワークＷが載置され、アンモニアガスが供給されるとともにヒーター１３により内部雰囲気が加熱される熱処理炉１の加熱室１ｂにて前記ワークＷの熱処理を行う際に用いられる熱処理治具２であって、前記熱処理治具２の側面外周を覆う壁板２２・２２・・・を有する。 （もっと読む）

【課題】被処理物の窒化後の硬度を確保しつつ、被処理物の表面における、一窒化三鉄や一窒化四鉄等の脆化化合物の生成を低減することができることにより、より精密な制御が可能となる、ガス窒化処理方法、及び、ガス窒化処理装置を提案する。
【解決手段】加熱処理室１２内にアンモニアガスと窒素ガスとの混合ガスＧを流入させ、攪拌ファン４１によって被処理物Ｗ周辺に前記混合ガスＧを流通させることにより、該被処理物Ｗに窒化処理を行う窒化処理部２１を備えるガス窒化処理装置１０であって、前記窒化処理部２１は、前記被処理物Ｗの温度を上げる昇温部３１と、該被処理物Ｗの温度を略均一に保つ均熱部５１と、を備え、前記昇温部３１、及び、前記均熱部５１、のそれぞれにおいて、前記被処理物Ｗの窒化性の制御は、該被処理物Ｗの表面における、前記混合ガスＧの流速を制御することでなされる、ガス窒化処理装置１０。 （もっと読む）

【課題】適切な乾燥処理を高効率で実施できる熱処理装置を提供すること。
【解決手段】熱処理装置１００の炉体１３１に乾燥ゾーンＺ２と、焼成ゾーンＺ３とを設け、乾燥ゾーンＺ２内におけるセッタ１１０に対して下方となる位置に第１加熱手段１３３を設けている。このため、基板１の載置などを高速に実施するためのセッタ１１０としてリフトピン挿通孔１１１が設けられているものを適用しても、乾燥ゾーンＺ２においてセッタ１１０を下方のみから加熱するので、上方のみから加熱する構成と比べて、基板１におけるリフトピン挿通孔１１１に対向する孔部と、対向しない孔無部との孔有無温度差を小さくすることができ、孔部に形成された構造物形成層に乾燥むらが生じることを抑制することができる。乾燥処理と焼成処理と１個の炉体１３１で実施するので、適切な乾燥処理を高効率で実施できる。 （もっと読む）

【課題】被処理体の熱処理を簡単な制御で効率的に行えるようにする。
【解決手段】被処理体を浸炭室において浸炭処理し、その後、浸炭処理が行われた被処理体を、降温室に移動させ、降温室において拡散処理と降温処理を行うようにした。また、降温室の雰囲気温度を第一の処理温度にした状態で、拡散処理を行い、降温室の雰囲気温度を第一の処理温度よりも低い第二の処理温度に低下させて、降温処理を行うようにした。拡散処理が行われる際の降温室のカーボンポテンシャルは、浸炭室のカーボンポテンシャルよりも低くした。 （もっと読む）