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【課題】金属酸化物層と銅層とが共存する被処理物の前記銅層を選択的にエッチングするエッチング方法を提供する。
【解決手段】Zn、Sn、Al、In及びGaから選ばれる1種以上の金属の酸化物を含む金属酸化物層と銅層とが共存する被処理物をエッチング剤により処理することで、前記銅層を選択的にエッチングするエッチング方法において、
前記エッチング剤は、第二銅イオン源を銅イオンとして0.1〜3.0重量%、炭素数が6以下の有機酸を0.1〜30.0重量%、並びに、環内に窒素原子を2つ以上有する複素環式化合物、及び炭素数が8以下のアミノ基含有化合物からなる群より選ばれる1種以上の窒素含有化合物を0.1〜30.0重量%含有する水溶液からなり、pHが5.0〜10.5であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】
本発明の課題は、銅層と銅酸化物層および/または銅合金層とを含む金属積層膜パターンを精度良くエッチング加工し、優れた断面形状を形成し、かつ実用性に優れた安定で液寿命の長いエッチング液組成物、およびかかるエッチング液組成物を用いたエッチング方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は銅層と銅酸化物層および/または銅合金層とを有する金属積層膜を、過硫酸塩および/または過硫酸溶液0.1〜80重量%と、りん酸0.1〜80重量%と、硝酸および/または硫酸0.1〜50重量%とを含有するエッチング液組成物であり、さらに塩化物イオンやアンモニウムイオンを加えることで、エッチングレートや断面形状を容易に制御することが可能となるエッチング液組成物またはエッチング方法に関する。 (もっと読む)


【課題】拡面処理される箔、とくに電解コンデンサ用電極に用いられる箔のピット形成位置を高密度に配列させ、単位体積当たりの拡面率の大きい、箔及びその製造方法を煩雑な装置を用いることなく安価に提供する。
【解決手段】所定の開口を有するマスクを作製し、この予め作製されたマスクを箔の少なくとも一面に設置して密着させ、該マスクの開口部で箔をエッチングし、箔にピットを形成することにより、箔に拡面処理を施すことを特徴とする、拡面処理された箔の製造方法、およびその方法により製造された箔。 (もっと読む)


【課題】不溶性金属電極を構成する電極基体と不溶性電極物質被覆とを、前記電極基体に損傷を与えることなく分離して回収する方法の提供。
【解決手段】チタニウム及び/チタニウム合金で形成されたなる電極基体と白金、パラジウムイリジウム等の金属及び/又は該金属の酸化物を含む不溶性電極物質被覆とからなる不溶性金属電極を、フッ化カリウム等のアルカリフッ化物と硫酸カリウム等の無機酸塩を含有する混合水溶液に接触させることからなる電極基体に損傷を与える事なく回収する方法。 (もっと読む)


【課題】ウェットエッチングで突起を備えた金属板を成形する場合に、設計値にほぼ等しい製品形状を得ることができる金属板の製造方法、金属電極の製造方法、金属電極、帯電部材、除電部材、画像形成装置を得る。
【解決手段】金属電極の突起122における先端部122Aのレジストオフセット量は、先端部122Aの曲率半径に基づき、直線部122Bのレジストオフセット量より大きくされている。このため、先端部122Aの製品形状が設計値に近づく。つまり、ウェットエッチングで突起を成形する場合に、突起122の製品形状を設計値に近づけることができる。 (もっと読む)


【課題】充放電サイクルを繰り返しても容量保持率の低下が起こらず高寿命で、負極集電体が変形しないリチウムイオン二次電池を作成可能なリチウムイオン二次電池負極用電解銅箔を供給することを目的とする。
【解決手段】本発明のリチウムイオン二次電池の負極集電体を構成する電解銅箔であって、該電解銅箔は200〜400℃で加熱処理後の0.2%耐力が250N/mm2以上、伸びが2.5%以上であり、該電解銅箔の活物質層を設ける表面は防錆処理が施され、或いは粗化処理され防錆処理が施されている。また本発明は前記電解銅箔を集電体とするリチウムイオン二次電池用電極、該電極を負極としたリチウムイオン二次電池である。 (もっと読む)


【課題】金属箔に破れやシワを生じにくくして安定的に有孔金属箔を生産することができる有孔金属箔の製造方法を提供する。
【解決手段】金属箔1の片面に孔部5を有するエッチングレジスト4が形成される。前記金属箔1の他の片面にキャリアフィルム3が形成される。前記金属箔1の前記孔部5から露出する部分にエッチング液が供給されることにより前記孔部5から露出する部分がエッチング液で溶解されて金属箔1に開口部6が形成される有孔金属箔の製造方法に関する。前記キャリアフィルム3が感光性ドライフィルム2により形成される。前記感光性ドライフィルム2が剥離液により除去される。キャリアフィルム3を剥離液により容易に剥離させて除去することができる。 (もっと読む)


【課題】コンパクトに構成でき膨大なエッチング酸の浪費を防止することができるエッチング酸廃液処理システム及びエッチング酸廃液処理方法及びこれに適用するエッチング酸廃液処理装置を提供する。
【解決手段】フィルタ2にて固形物を除去する固形物除去工程と、陽金属イオン交換樹脂塔3によって金属イオンとして陽金属イオンを除去する陽金属イオン除去工程とをエッチング酸廃液処理循環流路5によって連続して行い、陽金属イオン除去工程よりも上流側で固形物除去工程を行い、さらに陽金属イオン除去工程の後に、エッチング酸廃液処理循環流路5の下流側でキレート形成性繊維又はキレート形成性樹脂によって少なくともBを除去する陰金属イオン除去工程を行うことによってエッチング酸廃液をエッチング酸廃液処理循環流路5によって連続して循環再利用する。 (もっと読む)


【課題】より低い抵抗値を実現できる負極集電体用の金属箔を提供する。
【解決手段】箔表面から裏面に至る貫通孔を複数有し、当該貫通孔の密度が1000個/cm以上である領域を有し、貫通孔の平均内径が100μm以下で、開口率が30%以下であり、2.0>[箔厚み(μm)/開口率(%)]>0.25である負極集電体用金属箔に係る。又貫通孔の密度が1000個/cm未満である領域をさらに含み、貫通孔の密度が1000個/cm以上である領域の面積が100mm2以上である負極集電体用金属箔に係る。 (もっと読む)


【課題】二次電池用の集電体に好ましく用いられるような、長手方向に継ぎ目なく連続絵柄を有する金属箔シートを提供する。
【解決手段】所定形状の貫通孔が一定間隔で規則的に配列され、継ぎ目のない連続するエッチング絵柄と、長手方向に帯状に連続する未加工部分と、を有し、未加工部分に、位置決め用穴、搬送用穴、検知マークのいずれかが設けられ、二次電池用集電体として用いられるロール状の金属箔シートによって上記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】透明導電膜のエッチングにおいて、エッチング後、エッチング液の泡およびエッチング剤に由来するエッチング残渣を全く残さず、ジャストタイムでエッチングすることができるエッチング液およびエッチング方法を提供すること。
【解決手段】少なくとも蓚酸を含有する導電膜用エッチング剤(a)と、下記の一般式(1)で表される化合物(b)とを水中に含有する導電膜用エッチング液。
(Rf1SO2)(Rf2SO2)NX (1) (もっと読む)


【課題】制御された表面構造を有する金属基板と電気触媒被膜を含み、中間層のないガス発生用の電極の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明は電解及び電気冶金の工業的分野におけるガス発生用の電極に関する。この電極はマクロ‐粗さ及びミクロ‐粗さの組合せにより特徴づけられる表面構造を有する金属基板から形成され、これにより表面の触媒層の粘着性が向上し、臨界運転状態下においても前記触媒層の分離と基板の不動態化が防止される。 (もっと読む)


【課題】熱ナノインプリント法における熱可塑性高分子の剥がれや、ウェットエッチング液やめっき液の、レジスト内や金属層とレジストとの界面への浸入を抑制する基板を提供する。
【解決手段】基板層1、金属酸化物表面を有する金属層2、下記式に示す、紫外線照射により接着性を発現する感紫外線化合物層3、および熱可塑性高分子層4とをこの順で有する。


(R1〜R3:H、C1〜6の炭化水素基等、X:O、OCO、COO、NH、NHCO、m:1〜20、R4:C1〜3の炭化水素基、Y:C1〜3のアルコキシ基、ハロゲン原子、n:1〜3。) (もっと読む)


【課題】インジウム系金属膜、アルミニウム−ランタニウム系合金膜及びチタニウム系金属膜からなる三重膜用エッチング液組成物を提供すること。
【解決手段】本発明のエッチング液組成物は、組成物の総重量に対して、過酸化水素1重量%〜15重量%、無機酸0.1重量%〜10重量%、含フッ素化合物0.01重量%〜5重量%、及び水残部を含むことを特徴とする、 (もっと読む)


【課題】主として使用済みまたは使用過程品あるいは未使用の不溶性金属電極から電極物質とチタンまたはチタン合金基体を分離し基体金属はそのまま再使用可能な状態として回収し、また電極物質は十分な濃度で容易に回収出来る高濃度の沈殿物として回収する方法を提供する。
【解決手段】チタン基体表面に酸化イリジウム及び/又は酸化ルテニウムを含む電極物質を被覆してなる不溶性金属電極からの電極物質及びチタン基体の分離回収方法であって、(1)不溶性金属電極表面を清浄化する工程と、(2)塩化アルカリ水溶液を塗布する工程と、(3)前記塩化アルカリを塗布した不溶性金属電極を500℃から700℃で加熱処理する工程と、(4)更に該電極表面に、苛性アルカリ溶液を塗布する工程と、(5)加熱して該苛性アルカリの融点以上に保持して反応させる工程と、(6)酸に浸漬する工程とを有する不溶性金属電極の被覆と基体を分離して回収する回収方法。 (もっと読む)


【課題】従来の電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法における最終焼鈍前の酸水溶液による処理と焼鈍条件に関する問題点を解決し、より優れたエッチング特性を有する電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法等を提供する。
【解決手段】冷間圧延を施したアルミニウム材の表面を、酸水溶液に接触させ、その後の焼鈍を、450℃以上の一定の温度で保持する時間(x)と保持温度(y)との関係が、1.5時間≦x<8時間のとき450℃≦y≦580℃、8時間≦x<10時間のとき450℃≦y≦(660−10x)℃、10時間≦xのとき450℃≦y≦560℃を満たす条件で行う。 (もっと読む)


【課題】 エッチング液の安定性を確保しエッチング工程上のマージンを保障して費用を節減することができるエッチング液組成物及びこれを利用したアレイ基板の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明のエッチング液組成物は、過硫酸アンモニウム((NH4228;ammonium persulfate)0.1〜30質量%、無機酸0.1〜10質量%、酢酸塩0.1〜10質量%、フッ素含有化合物0.01〜5質量%、スルホン酸化合物0.01〜5質量%、アゾール系化合物0.01〜2質量%、及び総量が100質量%となる量の水を含む。 (もっと読む)


【課題】
本発明は、従来の問題点を解決し、酸化インジウム錫(ITO)膜または酸化インジウム亜鉛(IZO)膜よりなる透明導電膜のウエットエッチング装置内に析出したしゅう酸インジウムを化学的に溶解除去するしゅう酸インジウム溶解剤を提供することである。
【解決手段】
本発明は、エッチング装置系内に析出するしゅう酸インジウムを溶解除去するために用いる溶解剤組成物であって、アルカリ成分と、アミノポリカルボン酸およびその塩から選択される1種または2種以上とを含有する水溶液であることを特徴とする、前記溶解剤組成物、該溶解剤組成物を用いたエッチング装置系内の洗浄方法に関する。 (もっと読む)


【課題】 銀又は銀合金をエッチングする際に銀残渣を発生させず、しかもエッチング液を繰り返して使用してもエッチング速度が変化しないエッチング液及びそれを用いたエッチング方法を提供する。
【解決手段】 銀又は銀合金のエッチングにおいて、組成物全体に対し、銅イオンを0.01〜10重量%、硝酸を0.01〜10重量%、燐酸を10〜69重量%、カルボン酸を30〜50重量%含有し、残部は水である銀又は銀合金エッチング用組成物を用いる。 (もっと読む)


【課題】選択的にエッチングできるエッチング液を用いて、半透過半反射型電極基板の製造工程を簡略化し、煩雑な繰り返し作業を回避することによって時間的なロスを発生しない工程とし、半透過半反射型電極基板を効率的に提供することである。
【解決手段】少なくとも酸化インジウムからなる金属酸化物層12と、少なくともAlまたはAgからなる無機化合物層14と、をこの順で積層した半透過半反射型電極基板を製造する方法であって、前記無機化合物層14を燐酸、硝酸、酢酸からなるエッチング液λでエッチングする工程と、前記金属酸化物層12を蓚酸を含むエッチング液σでエッチングする工程によって半透過半反射型電極基板を製造する。 (もっと読む)


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