【課題】アルゴンガスによって炉内を高純度の不活性雰囲気を保つ構成とし、アルゴンガスを回収しながら再利用を可能とし、フラックスを使用することなく、ロー付け品質を向上させ、ランニングコストを低減させる。
【解決手段】ロー付け室４及び冷却室５にアルゴンガスを充填するとともに、そのアルゴンガスの一部を回収タンク１０に供給し、回収タンク１０内のアルゴンガスを、ロー付けするアルミニウム製品をロー付け室４に搬入する時及びロー付けしたアルミニウム製品を冷却室５から搬出する時に、搬入真空パージ室２及び搬出真空パージ室７の空気を排気しアルゴンガスで置換し、アルゴンガスの充填されたロー付け室４及び冷却室５における圧力は、アルゴンガスの充填された搬入真空パージ室２及び搬出真空パージ室７より高く設定する。 （もっと読む）

【課題】被熱処理物の進行方向に直交する方向で生じる温度差を緩和し、高品質な熱処理品を得ることが可能な連続熱処理炉を提供する。
【解決手段】連続熱処理炉１０は、入口部１２Ａ、加熱部１２Ｂ、出口部１２Ｄを含む炉本体１２と、加熱部１２Ｂに配設されるマッフル１４と、マッフル１４を介して被熱処理物を加熱するヒータ部１６と、駆動手段によりマッフル１４内を通過するベルト２４とを含み、被熱処理物を収容する匣Ｓがベルト２４上に配置され、匣Ｓを炉本体１２内に搬送させることによって、被熱処理物への熱処理を連続的に行う。加熱部１２Ｂは、昇温領域１２ｂ１および保温領域１２ｂ２を含み、ヒータ部１６は、金属ヒータ２０ａ，２０ｂを含み、昇温領域１２ｂ１において、ベルト２４の進行方向に直交する方向でみたときの金属ヒータ２０ａ，２０ｂの幅ｗ１は、匣Ｓの幅ｗ２と同等に形成される。 （もっと読む）

【課題】温度安定時に温度を均一に維持することができ、昇降温時に容易に制御することができる。
【解決手段】制御装置５１は個別に制御される制御ゾーンの数が多い多制御ゾーンモデル７２ａと、制御ゾーンの数が少ない少制御ゾーンモデル７２ｂをとることができる。昇降温時に少制御ゾーンモデル７２ｂをとって少ない数の制御ゾーンＣ_１、…Ｃ_５の温度センサ５０からの信号に基づいて、各制御ゾーンＣ_１、…Ｃ_５に設置されたヒータ１８Ａを個別に制御する。温度安定時に多制御ゾーンモデル７２ａをとって、多い数の制御ゾーンＣ_１、…Ｃ_１０の温度センサ５０からの信号に基づいて、各制御ゾーンＣ_１、…Ｃ_１０に設置されたヒータ１８Ａを個別に制御する。 （もっと読む）

【課題】 乾溜ガスに熱分解する被処理物を収納した容器を、従来よりも時間を掛けなくて加熱することで被処理物を乾溜できるようにし、上記加熱と同時に事前に容器そのものを予熱器でさらに時間を掛けて予熱することで、更に乾溜時間を短くし、バーナとして必要な重油量を少なくするだけでなく、個々の容器内の被処理物を乾溜に必要な時間を短縮して効率を向上させんとする。
【解決手段】
炉本体と容器４及び/又は予熱器と第２容器との間隙に、ラセン状熱風誘導路を配置することにより、バーナからの熱風を、前記容器もしくは第２容器の周囲に巻き上げて加熱するようにしたことを特徴とする乾溜熱分解器。 （もっと読む）

【課題】小粒子およびナノ粒子の清浄高温合成のための装置を提供する。高温粒子合成を行うことができる耐久性粒子生成装置が開示される。粒子生成装置は過酷な反応条件にともなうサセプタ劣化を最小限に抑えるように構成される。
【解決手段】粒子生成装置において、
（ａ）反応体材料の貫通路を収容するための内部空間、
（ｂ）エネルギーの作用を受けると熱を発生することができ、あらかじめ定められた範囲内の前記反応体材料を加熱するに十分な温度が前記内部空間に達成されるように配置された、少なくとも１つのサセプタ、および
（ｃ）前記サセプタを前記反応体材料から隔離するための、前記サセプタと前記内部空間の間に配置された、熱を伝達するバリア層、を有する少なくとも１つの容器を備える粒子生成装置。 （もっと読む）

【課題】焼成温度までの昇温を短時間で行い、かつ、セラミック脱脂体に生じる割れを防止できる焼成方法を提供する。
【解決手段】セラミック原料を成形、脱脂してセラミック脱脂体１０を作製する工程と、セラミック脱脂体１０を連続焼成炉２０内で焼成する焼成工程とを含み、連続焼成炉２０内に、セラミック脱脂体１０の底面に下板３０を、セラミック脱脂体１０の上面に上板３１を配置し、上板３１及び下板３０に通電用電極５０，５１をそれぞれ接触配置し、上板３１の上方及び下板３０の下方に抵抗加熱機構４０をそれぞれ配置し、焼成工程では、抵抗加熱機構４０を用いた抵抗加熱により１５００〜２０００℃の予備加熱工程を行い、抵抗加熱機構４０を用いた抵抗加熱と下板３０及び上板３１に電圧をかけるセラミック脱脂体に通電する直接通電加熱とを併用して、２０００〜２３００℃の温度に保持する高温焼成工程を行うセラミック焼成体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】炉体１内に、被処理物Ｗが収納される処理室３ａを構成するマッフル３と、ヒータ４とを配置し、昇降自在な可動体５によって処理室に被処理物を出し入れする熱処理炉において、炉体を開閉せずにマッフルを効率良く冷却できるようにする。
【解決手段】可動体５に、その上昇端位置で、マッフル３の下端の開口を閉塞すると共に、炉体１底部の開口１２周縁部に着座するマッフル３の下端の着座部３２を該開口１２周縁部から押し上げる押圧板５２が設けられる。更に、炉体１の内部空間に気体を流してマッフル３を冷却する冷却手段６を備える。冷却手段６は、可動体５の上昇端位置で炉体１底部の開口１２周縁部とマッフル３の下端の着座部３２との間に生ずる隙間と、炉体１の天井部１１に形成した開閉自在な通気孔１４との一方から炉体１内に気体を導入して、他方から気体を排気するように構成される。 （もっと読む）

【課題】被乾留物より発生した可燃性ガスを爆発燃焼させることなく乾留処理を連続的に行い、１バッチにかかる時間を短縮して処理能力を向上させるとともに、排出された被乾留物の温度を短時間にかつ一様に下げるようにする。
【解決手段】不活性ガス雰囲気の炉本体１内で被乾留物７を収容した乾留槽２を誘導加熱して被乾留物７を乾留処理し、処理後の被乾留物を炉本体１の下部から排出する誘導加熱式乾留炉において、炉本体１の下部に密閉構造の排出室１２及びコンベヤダクト１３を接続し、コンベヤダクト１３内にコンベヤ１７を設置するとともに、排出室２及びコンベヤダクト１３を不活性ガス置換する手段を設け、排出室１２を窒素置換した後、炉本体１の底蓋６を開いて乾留処理が終了した被乾留物７をコンベヤ１７上に排出するようにする。さらに、前記コンベヤダクト内のコンベヤ上の被乾留物に冷却水を噴霧する手段１９を設け、被乾留物７を冷却水により冷却する。 （もっと読む）

【課題】脱脂工程後の焼結工程時においても加熱室内の雰囲気の清浄性を確保することができ、また、加熱室自体の耐久性を向上させることができ、さらに、冷却工程時、材料を短時間で均一に冷却することができる一室型真空炉を提供する。
【解決手段】補助排気管４は炉体１と同軸上に加熱室２０内と連通して配置され、可動排気管４ａと固定排気管４ｂとからなる。固定配管４ｂの外径は可動排気管４ａの内径より小径で下部加熱室部２０ｂから加熱室２０内に挿通している。可動排気管４ａの外径は炉体１内に連通接続する主排気管５の内径より小径で固定排気管４ｂに外装され、上昇位置と下降位置との間を昇降自在に支持されている。主排気管５の内径は可動排気管４ａの外径より大径で可動排気管４ａに所定隙間をもって外装されている。可動排気管４ａの上昇位置において、可動排気管４ａの下端部が主排気管５内に、また、固定排気管４ｂの下端部が可動排気管４ａ内に遊嵌状態で位置する。 （もっと読む）

【課題】成形材に対する熱伝播効率をより一層向上させると共に省力運転を可能とするオートクレーブのガス循環方法および装置を提供する。
【解決手段】圧力容器２内に、マッフル炉３を設置し、前記マッフル炉３内を流通するガスへ熱量を補給し、以って、前記圧力容器２内で材料を加圧、加熱、冷却し、成形材を接着、成形するオートクレーブの熱風循環方法において、前記マッフル炉3内の長手軸に沿うガスの主たる流れに混・乱流を発生させる螺旋流を形成するオートクレーブの熱風循環方法とその装置。 （もっと読む）

【課題】低温域での昇温リカバリーにおける収束時間を短縮し、ＴＡＴの短縮及びスループットの向上を図る。
【解決手段】制御装置は、処理容器内を初期温度から該初期温度よりも高く且つ１００〜５００℃の範囲内の目標温度にする温度制御を行うため、１つの制御量によりヒータ及び送風機への給電を制御し、正方向の絶対値の増加によりヒータへの給電を増加させ、負方向への絶対値の増加により送風機への給電を増加させるように制御量を準備する工程と、制御量に従って送風機への給電を停止すると共に、ヒータに所定供給量で給電することにより目標温度下の所定温度まで処理容器内を加熱する工程と、所定温度になった時点から、制御量に従って、送風機に所定供給量で給電して冷却空気を送風すると共に、ヒータへの給電を停止することにより処理容器内を目標温度に収束させる工程と、次に制御量に従って、送風機への給電を停止すると共に、ヒータに所定供給量よりも小さい値で給電することにより処理容器内を目標温度に維持する工程とを実行する。 （もっと読む）

本発明は、巻鉄心（４）を焼鈍処理するための高温炉であって、該高温炉が、焼鈍台（２）と支持装置（３）とを備えており、該支持装置（３）が、巻鉄心（４）を焼鈍台（２）の上方に間隔を置いて同軸的に支持するための載置面（１７）を形成しており、前記高温炉が、焼鈍台（２）を支持装置（３）と共に同軸的に取り囲む保護フード（６）を備えており、該保護フード（６）が、保護ガス供給管路（１０）と保護ガス排出部とに接続されていて、円筒状の周壁（７）と、該周壁（７）を上方で閉鎖する丸天井（１６）とから成っており、前記高温炉が、焼鈍台（２）と保護フード（６）との間に設けられた全周にわたって延びるシール部材（９）と、保護フード（６）を間隔を置いて取り囲む加熱フード（１３）とを備えている形式のものに関する。均一な被焼鈍物加熱を可能にするために、本発明によれば、焼鈍台（２）からの支持装置（３）の載置面（１７）の高さ間隔（ｈ）によって規定された保護フード（６）の軸方向の周壁区分が、丸天井面の少なくとも３／４を成す面を有している。
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【課題】真空室内に配置された被加熱物の接触状態を検出して効率良く加熱する真空加熱装置および方法を提供する。
【解決手段】前記被加熱物に、ヒータ加熱面と温度検知部を接触させ、前記温度検知部から得られた情報に基づいて、加熱初期の被加熱物の温度上昇度を算出し、該温度上昇度が、所定規定値（Ｂ）以上のときは、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態が良好であると判別し、所定規定値（Ｂ）未満のときは、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態が不良であると、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態を判別し、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態が不良であると判別した場合には、前記ヒータ加熱面を前記被加熱物から離したのち、再度、前記ヒータ加熱面を前記被加熱物に接触させてから、前記温度検知部から得られた加熱初期の被加熱物の温度上昇度に基づいて、前記被加熱物とヒータ加熱面との接触状態を判別する。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波加熱の採用を前提とし、各種の被加熱物に対してさらに効率的な加熱処理を施し得るように改良する。
【解決手段】被加熱物Ｇに加熱処理を施すべく当該被加熱物Ｇを収容する内容器２０と、この内容器２０を収容する外容器３０と、内容器２０内に過熱水蒸気を供給する過熱水蒸気発生装置５０と、外容器３０，３０′内にマイクロ波を照射するマイクロ波発振装置４０とを備えて加熱装置１０が構成されている。そして、特に内容器２０は、内部の加熱空間を覆う容器本体がマイクロ波を透過し得る材料によって形成されている。マイクロ波を透過し得る材料としてセラミックスが採用されている。 （もっと読む）

【課題】ガラスハーメチックを行うハーメチックシール用連続式熱処理炉のマッフル内に水分が侵入することを阻止するようにしたハーメチックシール用連続式熱処理炉を提供する。
【解決手段】一体形状のマッフル２を外部から加熱する加熱部３と冷却する冷却部４及びマッフル２内を通って加熱部３から冷却部４へと所定速度で移動して被焼成体１０を搬送する搬送手段５を有し、被焼成体１０のガラスハーメチックシールを行うハーメチックシール用連続式熱処理炉１において、マッフル２の少なくとも入口側２ａにマッフル２内への水分の侵入を阻止する手段７を設けた。 （もっと読む）

半導体層と被覆基板、特には少なくとも１つの導体層、半導体層、および／または絶縁層を含む平坦基板を、セレン元素および／または硫黄元素処理によって製造する方法に関する。少なくとも１つの金属層および／または少なくとも１つの金属含有層を備える少なくとも１つの基板を、処理チャンバ内に導入し、所定の温度にまで加熱し、それをセレンまたは硫黄と目標通りに化学反応させるために、処理チャンバの内部および／または外部に配置されたソースからのセレン元素および／または硫黄元素の蒸気を、軽い真空状態または大気圧状態または加圧状態の下で、キャリアガス、特には不活性のキャリアガスによって、金属層および／または金属含有層の上を通過させ、基板を、少なくとも１つのガスを配合した強制対流によって加熱する。本発明はまたそのような方法を実行するプロセス装置にも関する。
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【課題】不純物の含有量が低減されたより高純度の炭化珪素粉体を製造できる焼成炉、及び炭化珪素粉体の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る焼成炉１００は、マッフル４によって区画された処理室３と、処理室３内に配設され、被焼成物８が収められる坩堝５と、外部から不活性ガスを供給する不活性ガス供給管６とを備え、マッフル４と坩堝５との間には空隙４５が形成され、不活性ガス供給管６の開口端部６２は、空隙４５に配設される。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも低コストでかつ簡易な構造で、チューブ内の２種類の流体の他方への混入を防ぐ流体混入防止装置を提供する。
【解決手段】 流体混入防止装置１４のチューブ１５ｂの壁面にはガスカーテンを形成するための不活性ガスを導入する第３成分流体導入口４が設けられ、第３成分流体導入口４の対面には不活性ガスを放出する第３成分流体放出口５が設けられている。
第３成分流体導入口４の周囲には流体遮断壁６が設けられ、流体遮断壁６には第３成分流体供給孔１３が形成されている。
このように、第３成分流体導入口４の周囲に流体遮断壁６を設ける構造とすることにより、流体遮断壁６も第１成分流体１６と第２成分流体１７の他方への流入を防止する。
そのため、不活性ガスの量を従来よりも減少させることができる。
また、流体遮断壁６は整流作用を有するため、極力乱流の発生を防止できる。 （もっと読む）

【課題】バインダー成分を含む炉内の雰囲気ガスを強制排気するエジェクターの内面にバインダー成分が凝着するのを防止できる連続焼成炉を提供する。
【解決手段】被処理品より発生したバインダー成分を含む炉内の雰囲気ガスを炉外に排気する雰囲気ガス排気路８ａにエジェクター９を取付けた連続焼成炉において、エジェクター９にエアーを給気するエアー給気路１０に、エアーをバインダー成分の凝縮温度より高い温度に加熱するエアー加熱手段１１を設けた構成とする。エアー加熱手段１１でバインダー成分の凝縮温度より高い温度に加熱したエアーをエジェクター９に給気することによって、炉外に強制排気する雰囲気ガス中のバインダー成分が冷やされてエジェクター９の内面に凝着するのを防止する。 （もっと読む）

【課題】加熱処理によって気化する気化材料を含む粉末材料を、加熱容器内で連続的に加熱処理でき、加熱容器内で気化された気化材料の加熱容器内での蒸気圧のムラが小さく、加熱容器内で気化された気化材料の利用効率を向上できる真空加熱炉を提供する。
【解決手段】加熱容器２と、加熱手段３と、加熱容器２に設けられた排気口から排気する排気手段４とを備え、加熱容器２は筒状であり、加熱容器２の一端部２ａには粉末材料５が連続的に供給される供給口が設けられ、加熱容器２の他端部には加熱処理された粉末材料５が連続的に排出される排出口が設けられ、粉末材料５が加熱処理によって気化する気化材料を含み、排気口が加熱領域２ｃよりも一端部２ａに近い位置に配置されている真空加熱炉１とする。 （もっと読む）