【課題】
本発明は、試料から放出された電子が、他部材に衝突した結果、生じる電子量を制御可能とすることを目的とした走査電子顕微鏡、及び電子量の制御による試料帯電制御方法の提供を目的とする。
【解決手段】
上記目的を達成するために、電子ビームが通過可能な開口を複数備え、前記電子ビームに対して前記複数の開口を切り替える機構を備えた走査電子顕微鏡、及び開口の切り替えによって、試料の帯電を制御する方法を提案する。前記複数の開口は、少なくとも２つの開口であって、当該少なくとも２つの開口の周囲部であって、前記試料に対向する側には、それぞれ異なる二次電子放出効率を持つ部分が設けられている。この開口の切り替えによって、試料から放出された電子の衝突によって生じる電子の量をコントロールすることが可能とする。 （もっと読む）

【課題】培養された細胞等からなる試料に散布される薬品の使用量を低減することのできる試料保持体等を提供する。
【解決手段】試料保持体４０は、開放された試料保持面３７ａの少なくとも一部が膜３２と膜３２の周囲のテーパ部３７ｂで構成され、膜３２の試料保持面３２ａにおいて試料３８を培養可能である。テーパ部３７ｂがあるので、使用する試薬の量を少なくすることができる。試料３８には、膜３２を介して、試料観察又は検査のための一次線が照射可能となっている。これにより、細胞等の試料３８を培養させた状態で生きたままでの観察又は検査を良好に行うことができる。特に、一次線として電子線を用いれば、生きた状態での試料のＳＥＭ観察・検査を良好に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ウェハの特質により欠陥部位のコントラストが十分に得られない場合であっても、フォーカス精度劣化をきたすことなく、高感度な欠陥検出性能を実現する優れた試料検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】試料を移動可能なステージ上にロード後、試料の高さ計測を行った後、試料に電子線ビームを走査させ、得られた画像から欠陥部を求めるＳＥＭ式外観検査方法及び装置において、高さ計測がステージ移動による補正処理機能を備えている。 （もっと読む）

イオン源、システムおよび方法が開示されている。幾つかの実施形態では、イオン源、システムおよび方法は不都合な振動を比較的わずかにしか示さず、および／または不都合な振動を十分に減衰することができる。これにより、性能を向上させることができる（例えば、確実性、安定性などを増大することができる）。幾つかの実施形態では、イオン源、システムおよび方法は、所望の物理的特性（例えば、先端部の頂部における原子数）を有する先端部を形成する能力を高めることができる。
（もっと読む）

【課題】試料表面の導体層の電位を一定にして精度よく試料を観察することのできる走査型電子顕微鏡及び試料観察方法を提供すること。
【解決手段】走査型電子顕微鏡は、電子ビーム９を放出する電子銃と、試料７と対物レンズ４の間に配置され、電子ビーム９の光軸を中心とした所定の範囲の開口を有し、試料７の表面７ａ上の全体を覆うガード電極１１と、ガード電極１１に電圧を供給するガード電極電源１２と、試料７の表面７ａの電位を測定する表面電位計１３と、試料７の表面７ａの電位と予め決定された基準電位との差分が所定の範囲を超えたときに差分を所定の範囲内にする電圧をガード電極１１に印加して試料７の表面７ａの電位調整をする制御部２０と、を有する。ガード電極１１の開口は、電子ビーム９及び電子ビーム９の照射により試料７から発生する二次電子が通過するために十分な面積を確保する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも高分解能でかつ高コントラストな像を取得可能な対物レンズを提供する。
【解決手段】電磁重畳型対物レンズを、コイルを囲む磁路と、該対物レンズに該電子ビームを囲む円筒または円錐状のブースタ磁路と、コイルと該試料の間に設けた制御磁路と、ブースタ電源による電子ビームの加速電界制御手段と、該ステージ電源による電子ビームの減速電界制御手段と、制御磁路電源による試料放電の抑制手段と構成する。これにより、幅広いランディングエネルギーにおいて、電磁重畳型対物レンズを試料に近づけて電子ビームを集束することができる。 （もっと読む）

【課題】液体試料の観察又は検査を効率良く行うことのできる検査方法等に関し、装置のメンテナンスの向上を可能にする検査方法及びそれに用いられる試液を提供する。
【解決手段】一部が膜３２から構成された試料保持体４０に液体試料２０として培地３９と細胞３８が入れてある。この液体試料に閉塞物質４１を混入させる。膜３２の下方から膜３２を介して一次線を細胞３８に照射可能で、その時に発生する二次的信号を検出することで細胞の像や情報を得ることができる。膜３２が一次線照射や、何らかの機械的刺激により破壊された場合であっても、閉塞物質４１が膜の破損個所を閉塞するので液漏れを最小限にすることができる。従来、膜の破壊毎に装置を洗浄する必要があったが、本発明により少なくとも１０回膜が破壊されても洗浄の必要性がなくなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は２次電子・反射電子検出装置及び２次電子・反射電子検出装置を有する走査電子顕微鏡に関し、２次電子信号と反射電子信号を選択的に検出することを目的としている。
【解決手段】電子顕微鏡の試料から発生する２次電子又は反射電子を検出する２次電子・反射電子検出装置であって、コロナリング３１と２次電子を受けるシンチレータ３２とライトパイプ３３よりなる２次電子検出部３０と、反射電子を受けるシンチレータと該シンチレータの発生光を案内する所定の長さのライトガイド２１よりなる反射電子検出部２０と、前記ライトガイド２１と前記ライトパイプ３３とを接合する接合部３４と、２次電子又は反射電子を受けた前記何れかのシンチレータからの光を受ける光電子増倍管３５と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】
荷電粒子線装置で荷電粒子照射により試料から生じる試料の飛散物質，汚染物質その他の試料から生じる試料の一部分による試料への堆積を抑制することができる。
【解決手段】
荷電粒子源と、荷電粒子源から発生した荷電粒子を試料上に照射させる光学機構と、荷電粒子の照射により試料の被照射領域から発生した荷電粒子を検出する検出機構を有し、前記被照射領域に対応した位置に配置可能に形成され、前記照射により試料から分離された試料の一部分を付着させる付着機構と、を備えることを特徴とする荷電粒子装置である。 （もっと読む）

【課題】
試料の欠陥を検査する装置において、装置が小型化できて省スペース，コストダウン，振動抑止と高速化，検査の信頼性が得られ、特に大口径化したウエハの場合に効果が大きい荷電ビーム検査装置を得る。
【解決手段】
少なくとも一つ以上の検査を荷電ビーム機構で行う複数の検査機構を具備し、各検査機構を概略一軸に配する共通の真空容器内に設けられた各検査機構間を一軸移動する一軸移動機構と、試料を載置し一軸移動機構上に回転軸を有した回転ステージと、試料を各検査機構間で一軸移動機構により移動させ、次に回転ステージで試料の検査位置を検査機構へ調整して合わせ、検査機構により試料の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】真空度の影響を受けずに効率的に試料を加熱し、安定した電子像を得る。
【解決手段】走査型電子顕微鏡１０は、鏡筒部１２と試料室２２から構成される。試料室２２には、検出器２６，試料フォルダ３０，ガス導入口５０，排気口５２が設けられる。試料フォルダ３０の加熱室３１は、電子銃１４から照射された電子線を通過させる開口部３２，試料台４２に設置された試料４０を加熱する赤外線光源３６，赤外線を試料４０に集光する反射板３８を備えている。前記試料台４２には、試料４０の近傍に微量ガスを導入するためのキャピラリーチューブ４４が接続されている。試料室２２内を低真空雰囲気下でガス置換することで、加熱した試料と各種ガスとの反応を観察する。また、キャピラリーチューブ４４で微量ガスを導入すると、一時的や局所的に試料４０周辺のガス濃度やガス雰囲気を変更して状態変化を確認できる。 （もっと読む）

【課題】 走査電子顕微鏡における一般的な対物レンズを用いて試料の走査透過電子像を取得する際に、像取得時での分解能を向上させることのできる試料ホルダ及び電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 試料ホルダ２１は、電子線照射による観察対象とされた試料９が保持される試料保持部２１ａと、試料保持部２１ａに取付けられた複数の板バネ２１ｂとを備え、電子線が通過する開口２０ｂが形成されたホルダ支持部材２０の該開口２０ｂに該板バネが係合する。これにより、電子顕微鏡の対物レンズ内で試料ホルダ２１を支持することができ、該開口２０ｂを通過した電子線が試料ホルダ２１内の試料９に到達し、これにより試料９から発生する走査透過電子の信号を検出できる。 （もっと読む）

【課題】
荷電粒子ビームを用いた計測装置ないし検査装置において、検査の高感度と高安定性とを両立する。
【解決手段】
帯電制御電極A４２０の被計測試料ないし検査試料側に帯電制御電極B４２１を設置し，試料の帯電状態に応じて、帯電制御電極Bの帯電制御電極制御部４２３から一定の電圧を与えることにより、検査前に形成した試料表面の帯電状態と電位障壁の変動を抑制する。帯電制御電極制御部６６によりリターディング電位が印加され、試料と同電位に調整される帯電制御電極A４２０の更に下部に帯電制御電極B４２１が設けられることにより、一次電子ビーム19が照射されるウェハ９などの試料から放出された二次電子４０９の試料への戻り量を調整することが可能になり，高感度な検査条件を検査中安定的に維持することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 ＳＥＭ又はＴＥＭにおいて、より高分解能の観察・検査を行う。
【解決手段】 枠状部材１５０ａの開口１５０ｂが膜１５０ｃにより覆われており、膜１５０ｃの第１の面に試料３１５を保持するための試料保持体１５０において、膜１５０ｃの厚みＤと、膜１５０ｃにおいて枠状部材１５０ａの開口１５０ｂを覆っている部分の周囲長Ｌとの関係が、Ｌ／Ｄ＜２０００００となっている。 （もっと読む）

【課題】
半導体ウエハの高速で高分解能な外観検査と、異物や欠陥の存在部位からＴＥＭ観察や各種分析のための試料を高い位置精度で一貫して作製することのできる検査装置を提供すること。
【解決手段】
同一検査装置内に、ウエハ検査用の走査型電子顕微鏡部（ＳＥＭ部）１と試料作製加工用のイオンビーム部１０１とを併設し、ＳＥＭ部１によるウエハ７の外観検査と、この検査結果に基づいての、ウエハ７上の欠陥（異物やパターン欠陥）の存在部位からのＴＥＭ観察や各種分析のための試料の摘出加工作業とを、同一ステージ８上で一貫して行なえるようにした。 （もっと読む）

【課題】装置毎、或いは日々の変動に合わせて設定する必要のあった画像取得対象個所を自動で設定することができる、試料の管理機能を提供する。
【解決手段】機差測定を行う為にウェハ上に当該ウェハ上で測定済みのパターンの箇所及び当該測定済みの箇所を測定した装置の情報をマーキングするための領域（レプリカ領域等）を設け、当該マーキングを参照することにより、試料を管理する。マーキングの方法としては、電子線照射によるコンタミネーション付着を挙げられる。この場合、コンタミが付き易いように電子線照射密度を上げる。このために、倍率を上げる、プローブ電流の増加、積算フレーム枚数の増加などを実施することができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、試料上の帯電によって生ずる荷電粒子線装置のフォーカスずれ，倍率変動，測長値誤差を低減するに好適な荷電粒子線照射方法、及び荷電粒子線装置の提供にある。
【解決手段】
上記目的を達成するために本発明では、荷電粒子線の搬入機構によって搬入される試料の通過中に、試料上の電位を測定する静電電位計によって試料上の電位分布を計測する手法を提案する。また、試料上の特定箇所の局所帯電を計測し、その帯電量から大域帯電量分を分離して計測する手法を提案する。更に、特定箇所の帯電量を、少なくとも２つの荷電粒子光学条件で計測し、特定箇所の帯電量変化に伴う荷電粒子線を用いた寸法測定値の変化を計測し、この変化に基づいて測長値、或いは倍率を補正する手法を提案する。 （もっと読む）

【課題】上方に開口した容器の上面にエアベアリングを有し、容器の上面をエアベアリング面に押し当てた状態で容器内部を真空状態にして真空チャンバとして使用する真空装置において、エアベアリングを備えた容器自体の構造を複雑にすることなく容器内部へ試料を搬送する搬送手段を真空装置に設ける。
【解決手段】上方に開口した容器１１４の上面にエアベアリング１１５を有し、容器１１４の上面をエアベアリング面１０６に押し当てた状態で容器１１４内部を真空状態にして真空チャンバ１１７として使用する真空装置１において、容器１１４を昇降させることにより容器１１４の上面をエアベアリング面１０６へ押圧し及び上面を該エアベアリング面１０６から離す昇降手段２０２と、エアベアリング面１０６から上面が離れることにより開放された凹部の開口部を通して、凹部の内部へ試料１０３を搬送する試料搬送手段２２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】フットプリントの大幅な増大を抑え、エッジ部分を含む高速・高分解能で、検査条件の確認を簡便に行える異物・欠陥検査・観察システムを提供する。
【解決手段】荷電粒子光学系による観察機能と、荷電粒子光学系および試料周辺を真空にするための排気機能と、稼動範囲が小さいｒθステージと、を設け、従来異物・欠陥検査装置に搭載されていた光学式の観察機能では判別できない観察対象物表面およびエッジ部の微細な異物・欠陥を、他の観察装置を介することなく、検出された欠陥の致命／非致命を判断するための高分解能観察機能を設けた。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの表面に絶縁膜があっても、ウェーハの電位を所望の電位に設定可能なウェーハ保持機を提供する。
【解決手段】ウェーハ１２が載せられるウェーハ台３３と、ウェーハ１２をウェーハ台３３上に係止する可動ピン２４と、鋭利な凸部を有する擦動面２９Ｓを有し、擦動面２９Ｓを介してウェーハ１２に電気的に接続する接触端子２９と、ウェーハ１２の係止中に、擦動面２９Ｓをウェーハ１２の外周側面に圧接させたまま擦動させる駆動部２５とを有する。 （もっと読む）