【課題】本発明は、測定点や検査点が多数存在する場合であっても、帯電の影響に基づく、測定，検査精度の低下を抑制し得る光学条件の設定を可能とする荷電粒子線装置の光学条件設定方法、及び荷電粒子線装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、電子線で試料表面を走査することによって試料から放出される電子の検出に基づいて、前記試料上のパターンを測定する走査電子顕微鏡、或いは光学条件設定方法であって、試料上の複数の測定点の測定値から、測定数に対する測定値の変化を求め、当該変化の傾斜がゼロ、或いはゼロに近くなるように、試料表面電界を制御する走査電子顕微鏡、或いは光学条件設定方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料室内を大気開放することなく容易な作業により短時間で差動排気絞りの着脱，位置調整，交換が行え、高分解能化が可能になる環境制御型電子線装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は上記の目的を達成するために、電子線を放出する電子銃と、電子銃から放出された一次電子線を試料上に集束する対物レンズと、前記対物レンズ下に配置される試料室と、前記試料室内に備えられた試料微動装置と、前記試料室内の真空度を制御する排気系とを備えた電子顕微鏡において、前記試料微動装置に、差動排気絞りを着脱する交換部材を設置し、前記試料微動装置による前記交換部材の駆動により差動排気絞りを前記対物レンズに対して着脱することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は３次元画像取得方法及び装置に関し、分解能を向上させることができるトモグラフィー法を用いた試料の３次元画像取得方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】走査透過型電子顕微鏡において、試料の３次元画像を得る３次元画像取得手段を設け、該３次元画像取得手段を用いて試料の第１の３次元画像を得、次に、試料を裏返して該３次元画像取得手段を用いて試料の第２の３次元画像を得、得られた試料の第１の３次元画像と第２の３次元画像とから試料の３次元画像を得る、ように構成する。 （もっと読む）

【課題】電位状態に伴う走査領域の歪曲や電位の深さを適切に補正し、電位分布をミクロンオーダーの高分解能で、短時間で測定する表面電荷分布の測定方法および表面電荷分布の測定装置を得る。
【解決手段】表面電荷分布を有する試料の裏面に既知である電極電位を与えて荷電粒子ビームを走査し、試料の表面電荷分布を測定する。既知である電極電位を、解析対象となる空間に導体および誘電体の構造体モデルによる幾何学的配置と試料上の未知なる電荷密度を境界条件として、見かけの電荷密度に変換させる処理を行い、変換された見かけの電荷密度を用いて空間電界を決定することで電子軌道シミュレーション計算データを算出し、この計算データを、計測された検出信号データと照合しながら試料上の電荷密度を決定して、表面電荷分布を計測する。 （もっと読む）

【課題】走査電子顕微鏡としての機能と真空紫外発光検出の機能を両立させた、簡便で小型化された一体型の高性能の電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】フィールドエミッション方式或いはフィラメント方式の電子線源を有する走査電子顕微鏡に加えて、真空紫外発光材料を低真空雰囲気に保持して電子を照射する低真空試料室、該発光材料から発光した真空紫外線を含む光を集光する集光ミラーを有する集光伝送部、並びに真空紫外線を検出するための回折格子などの分光器およびＣＣＤや光電子増倍管などの検出器からなる分光装置を具備し、該集光伝送部が集光ミラーにより集光された真空紫外線を含む光を窒素ガスなどの雰囲気下に直接分光装置に伝送する集光伝送部であることを特徴とする電子線励起真空紫外線を検出する機能を兼ね備えた走査電子顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、導入ガスを整流し効率よく排気する機構を備えた走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】本発明では、電子源と、前記電子源から放出する一次電子線を収束するための収束レンズと、前記一次電子線を観察試料上にフォーカスするための対物レンズと、前記一次電子線の照射によって試料から発生した二次電子を検出する検出器によって構成される走査電子顕微鏡において、前記試料にガスを噴射するガス導入部と、当該噴射されたガスを排気する排気管を備え、当該排気管は、前記試料に衝突したガスを排気管内で整流するガス整流機構を有することを特徴とする走査電子顕微鏡を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は試料観察装置に関し、薄膜が破損した時に真空室内に試料溶液が飛翔することを防止することができる試料観察装置を提供することを目的としている。
【解決手段】第１の面に試料が保持される薄膜４１と、該薄膜４１の第２の面に接する雰囲気を減圧する真空室と、該真空室に接続され、前記薄膜４１を介して試料２０に１次線を照射する１次線照射手段と、該１次線の照射により試料から発生する２次的信号を検出する信号検出手段４を具備する試料観察装置において、前記薄膜４１をその中央部に配置するシャーレ４０と、該シャーレ４０を支持する台座４２’よりなる試料保持手段を有し、該試料保持手段の台座４２’の真空室側に試料溶液が飛翔することを防止するための溶液飛翔防止壁４７を設けて構成される。 （もっと読む）

【課題】電子線鏡筒の先端部からの絞り部材の着脱動作を、単純な動作及び簡易な機構によって自動的に行うことのできる電子線装置を提供する。
【解決手段】基端側に位置する電子線源から放出された電子線５を先端側から放出する電子線鏡筒１と、電子線鏡筒１の先端側に接続された試料室２と、試料室２内において、電子線鏡筒１の先端部に着脱可能に配置される絞り部材とを備えた電子線装置において、電子線５の進行方向に沿う所定の平面に沿って絞り部材を回動動作させ、これにより電子線鏡筒１の先端部に対して絞り部材を着脱可能とするための回動機構２０を設ける。 （もっと読む）

【課題】被検査試料の外周部と中心部とで帯電特性が異なることから、被検査試料外周部と中心部とで同等の検査感度を得ることができない。
【解決手段】被検査試料を載置する試料ホルダの外周部に試料カバーを設け、被検査試料の帯電特性にあわせて試料カバーの帯電特性を変更する。これにより、試料外周部と中心部とで均質な帯電状態を形成でき、試料外周部の検査・観察が従来よりも高感度に実現可能となる。 （もっと読む）

【課題】観察試料又は欠陥部の帯電状態が最適になった時点で信号検出をできる荷電粒子顕微鏡装置及び荷電粒子ビーム制御方法を提供する。
【解決手段】観察試料１００に対しての始めの帯電促進用の電子ビーム２１の照射から次の試料観察用の電子ビーム２１の照射までのを帯電待ち時間Ｔを、観察試料１００又は観察試料１００に発生する欠陥部１１２の状態に応じて設定し、この帯電待ち時間Ｔに基づいて観察試料１００に対して帯電促進用の電子ビーム２１の照射と試料観察用の電子ビーム２１の照射とを行う。 （もっと読む）

【課題】透過光検出用の撮像素子を真空室内部に別途設置することなく、簡易な構成の装置によって、一次線透過部を探し出すことのできる試料検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】試料保持体の一次線透過部に保持された試料２１に対して、一次線透過部を介して一次線を照射し、これより試料２１から発生して一次線透過部を通過した二次線を二次線検出手段３により検出して試料像の取得が可能であり、また、試料２１に対して一次線透過部が位置する側とは反対の側から光（照射光）２４を照射し、これによる反射光を検出して試料２１の光学像の取得が可能である試料検査方法及び装置において、照射光２４を試料２１に照射したときに、試料２１を介して一次線透過部を通過する通過光２４ａを二次線検出手段３によって検出することにより、試料２１上への照射光２４の照射領域と一次線透過部との位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】安価で、使い易く、例えば教室のテーブル上に置くことのできる十分に小さな寸法とすることができる走査型電子顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 小型の電子顕微鏡が、サンプルが存在する真空領域の一部を形成する壁を有する取外し可能なサンプルホルダを使用する。取外し可能なサンプルホルダを用いて真空を含むことによって、撮像の前に真空排気を必要とする空気の容積が著しく低減され、顕微鏡を迅速に真空排気することができる。好適な実施形態では、摺動真空シールが電子カラムの下にサンプルホルダを位置決めすることを可能にし、サンプルホルダは最初に真空バッファの下を通過されて、サンプルホルダ内の空気が除去される。 （もっと読む）

【課題】微細なパターンを観察できる試料観察方法及び装置を提供する。
【解決手段】試料観察方法は、電子ビームを用いて試料のパターンを観察する。この方法は、試料に電子ビームを照射し、電子ビームの照射によって生じるミラー電子を検出し、検出されたミラー電子から試料の画像を生成する。電子ビームを照射するステップは、両側にエッジを有する凹パターンに電子ビームが照射されたときに照射電子が凹パターンにてＵターンしてミラー電子になるようにランディングエネルギーＬＥが調整された電子ビームを試料に照射する。好適な条件は、ＬＥＡ≦ＬＥ≦ＬＥＢ＋５[ｅＶ]である。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、アライメント調整が容易に行え、また観察視野の見失いを防止することで、視野探しを容易にすることに適した走査型電子顕微鏡を提供することにある。
【解決手段】本発明の課題を達成するために、本発明は、電子顕微鏡において、試料ステージ像を取得する撮像装置を備え、当該撮像装置で取得した試料ステージ像を用いて、試料ステージの位置及び移動距離及び／又は移動方向と、前記表示装置上での試料ステージの位置及び移動距離及び／又は移動方向との対応関係の情報を記憶する記憶装置と、当該対応関係の情報を用いて、走査電子顕微鏡で取得した試料像と、当該試料像を取得している試料ステージ上での位置情報を前記表示装置上に表示することを特徴とする走査電子顕微鏡を提供する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ検査において異物や欠陥を見つけた場合に、これら異物等の発生原因を探求するための電子顕微鏡を用いたウェハエッジ観察に関する好適な方法を提供する。
【解決手段】試料を保持する試料ステージと、前記試料に電子線を照射する電子光学系を有するカラムと、前記電子線の照射により前記試料から発生した信号に基づいて第一および第二の画像を取得する画像取得部と、前記第一の画像から予め指定された種類の欠陥の有無を判定する画像演算部とを有し、前記画像演算部によって当該欠陥があると判定された場合、前記電子光学系は、前記第一の画像を取得したときの電子線と試料面のなす角度とは異なる角度で前記試料に電子線を照射し、前記画像取得部は、前記試料から発生した信号に基づいて第二の画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】対物レンズと試料の接触を防止できる走査電子顕微鏡を提供することにある。
【解決手段】走査電子顕微鏡は、電子銃１から発生した電子ビーム２を対物レンズ４により試料台７の上に載置された試料５に照射して試料からの電子を検出する。複数の検出器１２Ａ，１２Ｂは、対物レンズ４の近傍に配置されている。演算制御手段２０は、複数の検出器１２Ａ，１２Ｂからそれぞれ検出された信号に基づく複数の画像データを用いて、対物レンズ４から試料台７に載置された試料５までの距離を算出する。複数の検出器１２Ａ，１２Ｂは、それぞれの検出器の中心から前記電子ビームの中心軸までの距離が等しくなるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】無限回転可能な試料ステージを有し、試料周辺の電界の乱れを抑制することで、試料全面を画像歪みなく観察可能な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】試料には回転ステージの回転中心にてホルダ受けと接触するリターディング電極を通じて電圧印加し、試料外周部には電界歪みを補正するための電界制御電極を備える。電界制御電極に電圧印加することで、電界制御電極上の等電位面を変化させ、それに伴い、試料端部における等電位面を補正し、試料端部まで観察可能とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高電圧ケーブルが不要で耐振動性能でも有利な荷電粒子線装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、荷電粒子ビームを発生する荷電粒子ビーム発生源と、荷電粒子ビームが照射される試料を載置する加工用の試料台と、荷電粒子ビーム発生源に加速電圧を印加する荷電粒子ビーム発生源用高電圧電源と、試料に照射する荷電粒子ビームの照射速度を減速する減速電圧を加工用の試料台に印加する減速手段とを備え、減速手段は、昇圧電源部と、低圧供給用外部電源部とを有し、昇圧電源部を加工用の試料台に設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電気的なコンタクトの取りにくい試料を荷電粒子で安定的に観察する。
【解決手段】被測定試料と電気的なコンタクトをとる試料保持パレットと電気的なコンタクトをとらない試料保持パレットとを設け、被測定試料に応じてパレットを選択する。また、真空内での試料の測定電位と、大気中で測定した試料の測定電位をもとにした予測電位との差を電位オフセットとして記憶し、後段の測定にフィードバックする。 （もっと読む）

【課題】観察試料へのダメージと帯電を抑制するために、電子ビームの照射時のランディングエネルギーを下げ、且つ連続可変が可能な電子線応用装置を得る。
【解決手段】ランディングエネルギーとビーム電流の所望の設定において分解能と検出効率を適切に保つために、制御部２０１は、試料上のビーム開き角と二次電子の軌道に関する制御式又は制御リストを保持し、電子銃と２つのコンデンサレンズ１０９、１１１と対物レンズ１０６とステージ１１４の設定を、ランディングエネルギーとビーム電流の所望の設定に連動して自動制御することにより、低加速で高分解能な観察が可能な電子線応用装置を提供する。 （もっと読む）