【課題】高いコントラストで、アモルファスと結晶との差異を画像化して観察可能なＳＥＭ装置を提供する。
【解決手段】試料に対して電子顕微鏡を走査しながら観察を行う構成を有し、紫外光、Ｘ線の、少なくともいずれかを照射可能な、照射系１５を具備している二次電子像観察装置１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】 観察箇所の帯電量を所望の帯電量に安定して制御することができる試料観察方法、及びそれを実現する電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 試料の状態にあわせてプリチャージを行う一次電子線１０８の照射条件を制御し、エネルギーフィルタ１０１ｂと２つの電子検出器１０２ａ，１０２ｂを用いて検出される二次電子信号量から観察箇所が所望の帯電量になったことを確認し、観察箇所の帯電量を制御する。 （もっと読む）

【課題】 本発明が解決しようとする課題は、特別な検出手段を要せず顕微鏡観察しながらマニピュレータを操作するだけで微小な試料へプローブが確実に且つソフトに接触するようにアプローチ出来る手法を提示すると共に、それを実行する装置を提供することにある。
【解決手段】 プローブ１をチルトさせてその先端部を試料５の目標位置に接近させながら、プローブ１先端部と前記目標位置の距離を荷電粒子ビーム顕微鏡で観察しつつ、観察画面上で前記目標位置にてプローブ１とプローブ１の影との先端部が一致する方向へ、プローブ１を移動させる。 （もっと読む）

【課題】大気と異なる環境内において、試料にビームを照射して発生した電子を検出することによって該試料に関する表面の微細形状を、精度良く取得する装置の提供。
【解決手段】センサー３２は、ＥＢ−ＴＤＩセンサーであり、真空中にて電子を直接センサー面に入射できる。該センサー３２は、パッケージに設置され、このパッケージがフィードスルー２２を構成する。従って、従来の検出系のような、光変換損失、光伝達時の収差・歪み、及びそれによる画像分解能劣化、検出不良、高コスト、大型になるといった欠点を解決する。 （もっと読む）

【課題】 試料全領域の観察を行うような場合でも、特定試料部を光軸位置に正確に合わせることができる、複合観察装置を実現する。
【解決手段】 比較的倍率が低い像を観察する第１の観察装置で、被検査試料の広い範囲を観察して詳細に観察したい特定点を見いだし、その特定点の試料上の位置を示すデータと共に被検査試料を比較的高い倍率の像を観察する第２の観察装置のステージ上にセットし、試料の特定点を比較的高い倍率の像により詳細に観察するようにした複合観察装置において、第１の観察装置の試料移動ステージは、ステージのＸ、Ｙの直線状の移動により、試料表面のほぼ全領域を観察できる大型のステージを有しており、第２の観察装置は、Ｘ、Ｙ方向の２次元移動と回転動とが可能な試料ステージを有しており、回転動とＸ、Ｙ２方向の直線移動を組み合わせることにより、試料表面のほぼ全領域を観察できるように構成した。 （もっと読む）

【課題】従来の電子顕微鏡は、あまりにも大きい為、試料を電子顕微鏡で観察する必要が生じた場合、これを、電子顕微鏡がある研究所などに持って行って観察しなければならず時間的、空間的に不便であった。本発明は、このような問題点を解決するために、マイクロカラムを使用して携帯または移動可能な電子顕微鏡を提供することをその目的とする。また、本発明は、時間的および空間的制限なしに、移動しながら試料を観察することが可能な顕微鏡を提供することを目的とする。
【解決手段】マイクロカラムを利用したポータブル電子顕微鏡を提供する。このポータブル電子顕微鏡は、マイクロカラム；低真空用ポンプ；高真空用ポンプ；超高真空用イオンポンプ；マイクロカラムおよび測定対象試料が収容固定され、前記ポンプによって真空が形成される第１チェンバー；コントローラー；および前記ポンプ、前記チェンバー、および前記コントローラーを収容するケース；を含む。 （もっと読む）

【課題】複数の重要領域を含むウエハやレチクルを、複数のビームを使用して走査して検査するための効果的なシステム及び方法の提供。
【解決手段】検査システム１０は、（ｉ）ビームアレイ軸により特徴付けられるビームアレイ２０２を生成するように適合されたビームアレイ発生装置２０と；（ｉｉ）ウエハ１００の少なくとも２つの選択された領域を、ビームアレイ軸に沿って位置決めされる少なくとも２本のビームが実質的に同時に走査するようにビームアレイ２０２の下のウエハ１００を位置決めするように適合されたＸステージ３０，Ｙステージ３１およびθステージ３２と；を含んで構成する。 （もっと読む）

【課題】
絶縁物試料を荷電粒子線にて観察する際に発生する帯電によって、試料表面電位が荷電粒子線照射領域面内で不均一となることで生じる電位勾配により該荷電粒子線の軌道が偏向されるビームドリフトを低減する。
【解決手段】
試料に照射する荷電粒子線のエネルギーを試料から発生する二次電子の発生効率が1以上となるように設定する。装置の構成としては、独立に電圧を印加することができ、一次荷電粒子線が通過することができる孔を具備した平板電極を試料に対向して配置し、試料を積載する試料台は独立に電圧を印加することができ、試料に対向する面は平坦化されて凹凸の無い構造とする。また、該平板電極に設けられた孔の直径Ｄと該平板電極と該試料との距離ＬはＤ/Ｌ≦１．５の関係を満たすように設定する。 （もっと読む）

【課題】磁気レンズよりも真空条件が厳しい静電レンズでも差動排気が可能な電子線装置を提供する。また、差動排気装置を組み込んでも対物レンズと検査対象との距離を短くできて、対物レンズの色収差を小さくできるようにする。
【解決手段】電子銃２及び前記電子銃から放出された一次電子線を検査対象に照射する静電レンズより成る対物レンズ７を有する電子光学系と、前記対物レンズの外側に配置された差動排気系の排気ヘッド１２と、を備えた電子線装置１に関する。その電子線装置において、前記対物レンズ７の検査対象Ｗに最も近い電極と前記検査対象との間の間隔は、前記差動排気系の排気コンダクタンスを制限する前記排気ヘッドの部材と前記検査対象Ｗとの間の距離ｄ１〜ｄ３と同程度、或いはそれより小さくした。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、試料の内部Ｘ線画像を取得するとともに、電子顕微鏡の機能も実現できるようにする。
【解決手段】
電子鏡筒１の電子線を可動式のターゲット９により遮蔽し、Ｘ線を発生させることで、Ｘ線発生器を電子線発生器と共用させる。これにより試料への照射Ｘ線と照射電子線が同軸上に落射されるため、同一視野で試料内部情報、表面情報の両方を観察することができる。また、試料全体の内部形態情報を示すＸ線画像に目的部位１５の元素分布像を重ねがきして表示することも可能となる。機械的切断手段１０を備えているため、試料内部の電子線画像などを表示することも可能である。 （もっと読む）

【課題】試料観察再開時での作業効率の向上が充分に図れるようにした電子顕微鏡を提供すること。
【解決手段】電子銃制御装置１１、照射レンズ制御装置１２、対物レンズ制御装置１３、拡大レンズ系制御装置１４、それに試料ステージ制御装置１５からなる観察条件設定装置を制御する制御装置１８を設け、或る試料の画像データが指定されたとき、当該試料の観察条件データを呼出し、それに基づいて当該試料の画像データを保存したときと同じ観察条件が自動的に電子顕微鏡上に再現され、記憶された画像と同じ画像が忠実に再現されるようにしたもの。 （もっと読む）

【課題】 試料室圧力が高い状態において、５ｋＶ以下の低加速電圧で高分解能観察を実現する。
【解決手段】 １試料室を二重構造とし、高真空の外側試料室１０ｂ内に低真空を保持するための内側試料室１０ａを設ける。外側試料室１０ｂと内側試料室１０ａ間には、試料直前で電子を減速するための比較的高い負電圧、例えば−１〜−９ｋＶ、を印加し、入射電子線７が対物レンズ９を通過する際に高いエネルギーを保持して収差の小さい細い電子線を形成し、その電子線を試料１１の直前で減速させることにより低加速電圧で高い分解能を得る。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、サンプルを真空排気するための装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、サンプルを真空排気するための装置に関する。サンプル４は、滑らかな表面２を備えるシート１の空洞３に位置する。単独プレート５は当該滑らかな表面２上に位置し、それによって、滑らかな表面２とそこに位置する単独プレート５は共に真空の密封を形成する。真空カラム６が設置される単独プレート５は、滑らかな表面２上にわたって摺動できる。単独プレート５を空洞４上で摺動することによって、空洞４は幾つかのステップで真空排気される。本発明の実施態様において、真空カラム６はＥＳＥＭ（環境制御走査型電子顕微鏡）の形態となる。この手法において、ＥＳＥＭで真空排気されたサンプル４を検査することが可能である。 （もっと読む）

【課題】 同一寸法校正パターンへの位置決めを可能にする。
【解決手段】 不連続な格子状の寸法校正パターン26とその近傍に特定の位置決め用アライメントパターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】 収差の小さい対物レンズを用いて、高スループットで試料の評価を行うことが可能な電子線装置を提供すること。
【解決手段】 複数の一次電子線を対物レンズで収束して試料を走査し、該試料から放出される二次電子線を検出して前記試料の評価を行う電子線装置は、電子銃ＥＧからの電子線で照射される複数の開口６と、ＮＡ開口７と、縮小レンズ８と、磁極間隙１４を試料１０の側に有する電磁レンズを有する対物レンズ９と、電子線走査用の偏向器１２と、二次電子線を一次電子線から分離する分離器１３と、二次電子線を検出する複数の二次電子検出器２０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 試料の傾斜角や高さに依存することなく、精度のよい試料の画像計測が行なえる電子線装置と電子線装置用基準試料を提供する。
【解決手段】 上記目的を達成する本発明の電子線システムは、例えば図１に示すように、電子線を射出する電子線源１と、電子線源１から射出された電子線７を収束し、試料９に照射する電子光学系２と、電子線７が照射された試料９からの電子７ｄを受け取る検出部４と、試料９を支持する試料支持部３と、試料支持部３で支持された試料９に照射される電子線７と試料３とを相対的に傾斜させる試料傾斜部５（５ａ，５ｂ）と、前記相対的な傾斜が自在であるように試料支持部３で支持された少なくとも傾斜した２面を有する基準試料９ａから電子を受け取った検出部４からの検出信号を、傾斜毎に受け取り、前記傾斜した２面の画像と基準試料９ａの基準寸法とから、基準試料９ａの傾斜角度を求めるデータ処理部２０等とを備える。 （もっと読む）

荷電粒子により試料を調査及び／又は改変する装置、特には走査電子顕微鏡が提供される。この装置は、荷電粒子のビーム（１，２）と、該荷電粒子のビームが通過する開口（３０）を持つ遮蔽エレメント（１０）とを有し、該開口（３０）は充分に小さく、上記遮蔽エレメント（１０）は上記試料の表面（２０）に対して十分に接近して配置されて、上記荷電粒子のビームに対する該表面における電荷蓄積効果の影響を減少させる。 （もっと読む）

第１横断区分と第２横断区分との間に置かれた中間区分により画成されるサブミクロン断面を有する被測定構造素子の断面特徴を決定するためのシステム及び方法。この方法は、基準構造素子の第１部分と、上記被測定構造素子の少なくとも第１横断区分とを第１の傾斜状態で走査して、上記基準構造素子と上記第１横断区分との間の第１関係を決定する第１ステップで開始する。この第１ステップの後に、基準構造素子の第２部分と、上記被測定構造素子の少なくとも第２横断区分とを第２の傾斜状態で走査して、上記基準構造素子と上記第２横断区分との間の第２関係を決定する第２ステップが続く。この方法は、上記第１関係及び第２関係に応答して上記被測定構造素子の断面特徴を決定する第３ステップで終了となる。 （もっと読む）

【課題】 チャージアップした試料の除電を新たな設備を付加することなく簡単かつ短時間で行う。
【解決手段】 チャージアップした試料に対し、電子銃に加速電圧を印加し一次電子を前記電子銃から前記試料に照射して除電する電子顕微鏡のチャージアップ防止方法は、過去に照射した一次電子の加速電圧の最大値を除電開始の加速電圧とし、試料面における電子線の着地加速電圧を、試料の二次電子放出効率が１を超える領域にすることで試料に帯電した電子を放出させるように、除電開始電圧から加速電圧を徐々に降下させ、負に帯電した試料が帯電なしもしくは正に帯電されるまで加速電圧を連続的に印加する。加速電圧の降下を終了する除電終了電圧は、予め複数の試料で二次電子放出効率が１となる加速電圧を比較し、最小加速電圧以下とする。 （もっと読む）