【課題】測長装置のウェハ搬送系からの発塵によるウェハパターン面の金属異物および有機物汚染を防止する。
【解決手段】ウェハ搬送機構に使用している駆動軸からの金属異物をトラップするため、搬送機構に使用している駆動軸を覆うように磁石を配置し金属異物を吸着させる構造を設ける。また、ウェハ搬送機構の駆動軸に用いられる真空グリース，オイルなど有機物ガス分子をトラップするため、駆動軸と磁石の間に電界をかけ、駆動軸周辺に浮遊するガス分子を吸着する。これにより、ウェハの汚染の低減を図る。 （もっと読む）

【課題】集束イオンビームなどによるナノピンセットのチャージアップを防ぐ。
【解決手段】ナノピンセットホルダ１１のナノピンセット１にシールドカバー３００を被せる。これにより、ＦＩＢ装置使用時における装置から放射される集束イオンビーム、試料から放射される反射電子や二次電子によるナノピンセット１のチャージアップを防止する。シールドカバー３００は、表カバー３１０と裏カバー３２０とからなる。表カバー３１０および裏カバー３２０は、りん青銅などの金属材料からなる。 （もっと読む）

【課題】 試料中の構成物を選択して効率的に試料検査を行うことができるとともに、当該試料検査を良好に行うことのできる試料保持体、試料検査方法及び試料検査装置並びに試料検査システムを提供する。
【解決手段】 電子線が透過する膜１１と該膜に対向するベース１２との間に設けられた試料保持空間５５と、該試料保持空間５５に試料を供給するための供給路５４とを有する試料保持体において、該供給路５４及び該試料保持空間５５のうちの少なくとも一方に試料中の構成物を分別するフィルター構造を備える。また、電子線が透過する対向配置された２つの膜の間に設けられた試料保持空間と、該試料保持空間に試料を供給するための供給路とを有する試料保持体において、該供給路及び該試料保持空間のうちの少なくとも一方に試料中の構成物を分別するフィルター構造を備える。 （もっと読む）

【目的】本発明は、低真空電子光学系画像生成装置および低真空電子光学系画像生成方法に関し、試料の近傍を低真空にして当該試料への電子線ビームの照射によるチャージを中和および汚染の発生を低減する共に、高真空側に配置した高検出効率の２次電子検出器で高Ｓ／Ｎ比で検出し良質な画像を生成し、測長対象の測長精度を大幅に向上させることを目的とする。
【構成】低真空に保持して試料を試料移動台上に配置すると共に試料を前記ビームを細く絞る対物レンズの磁界あるいは対物レンズから漏洩した磁界の中に配置した構造を持つ試料室と、ビームを試料に照射しつつ平面走査したときに放出された２次電子を磁界の軸中心の近傍を２次電子検出器の方向に向かって通過する部分に配置する、低真空側と高真空側との間に設けた小さな絞りと、絞りを通過した高真空側に配置した２次電子検出器とを備える。 （もっと読む）

【課題】絶縁材料製試料の種類等に応じて完全な中和が出来るようにした荷電粒子ビーム装置を提供する。
【解決手段】走査電子顕微鏡に備えられた除電機構は、ガスボンベに繋がったガス流量調整弁１８、開閉弁１７、コロナ放電器１９、ガス導入管１５及びメモリ２０を備える。ガス流量調整弁１８は、回転羽１８Ｄを取り付けた回転軸１８Ｅがその中心軸方向に設けられた円筒体１８Ａと、回転軸１８Ｅに対して円筒体１８Ａ壁の対向する位置に開けられた一方の孔に繋がった接続管１８Ｂと、他方の孔に繋がった接続管１８Ｃから成る。メモリ２０は、絶縁材料製試料の種類及び観察条件によって変わる試料表面の帯電状況に応じた導入ガス量に関するデータが格納されている （もっと読む）

【課題】 ステージ移動機構の動作異常を検出する。
【解決手段】 電子銃１からのビームが照射される試料４を載置したステージ６、ステージ６を移動させるステージ移動機構、高さ検出器２１、ステージ駆動装置１０によりステージ６を移動させた時に高さ検出器２１が検出した試料表面の異なった箇所の高さ間の差分を算出する差分算出回路３３、基準値設定器３４からの基準値と差分算出回路３３からの各差分を順次比較し、基準値を越えた時にステージ移動機構の動作異常信号を発生する比較回路３５を備えた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、試料室内を大気圧に戻すことなく差動排気絞りの対物レンズからの着脱が行える環境制御型電子線装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、差動排気絞り１７を上下方向に昇降させる昇降機構（１９，２０）と、降下後の前記差動排気絞りを水平方向に移動させる水平移動機構（１９，２０）とを設け、これら昇降機構と水平移動機構の操作部（２１）を試料室６外に設けたのである。
上記構成とすることで、試料室６内を真空に保ったまま差動排気絞り１７を対物レンズ９に対して着脱することができる。 （もっと読む）

【目的】本発明は、試料の画像を生成する超小型ＳＥＭに関し、中学生などの生徒さんが光学顕微鏡を使用して拡大画像を観察する場合と同様の手軽さで、試料の電子線ビームによる高倍率かつ高分解能の画像を観察することを目的とする。
【構成】筒状のカップの中に配置した電子光学系と、電子光学系によって生成して細く絞った電子線ビームを、筒状のカップの一方の部分に配置した試料上に照射しつつ平面走査し、そのときに放出あるいは反射された荷電粒子あるいは光を検出する検出器と、筒状のカップ内を真空排気する排気口とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＮＶＣ(Negative Voltage Contrast)モードまたはＰＶＣ(Positive Voltage Contrast)モードのいずれのモードでも、適切な条件下で検査を行える半導体ウェーハ検査装置および半導体ウェーハ検査方法を提供する。
【解決手段】一次電子２は、対象物ウェーハ６に照射され、その照射位置をＸＹ方向に走査される。対象物ウェーハ６からの二次電子（または反射電子）１０は、帯電制御電極５によって制御され、センサ１１によって検出される。画像処理回路は、センサ１１からの検出信号を検出画像に変換し所定の参照画像と比較して欠陥を判定し、全体制御部１４は、レシピ情報から対象物ウェーハ６ごとに検査条件を選択し、帯電制御電極５に印加する電圧を設定する。Ｚステージ８は、この電圧に応じて対象物ウェーハ６と帯電制御電極５との間隔を設定する。 （もっと読む）

【課題】既存のリターディング機能を備えた荷電粒子線装置の大幅な構造変更を極力抑えた経済的かつシンプルな構成及びシステムで、観察試料が試料室内の構造部に接触して観察試料又は試料室内の構造部が破損してしまうのを防止する。
【解決手段】リターディング機能のための直流電圧に対し、観察試料５０の試料室内の構成部に対する接触検知のためには交流電圧を用い、この観察試料５０の接触検知のための交流電圧をリターディング機能のための直流電圧に重畳して、試料室５内の試料台８に載置された観察試料５０に一緒に印加する一方、試料室内の構成部に対する観察試料５０の接触検知のためには、試料台８に印加されている印加電圧から直流電圧成分を取り除いた交流電圧成分を取り出して監視する。 （もっと読む）

小型の電子顕微鏡が、サンプルが存在する真空領域の一部を形成する壁を有する取外し可能なサンプルホルダを使用する。取外し可能なサンプルホルダを用いて真空を含むことによって、撮像の前に真空排気を必要とする空気の容積が著しく低減され、顕微鏡を迅速に真空排気することができる。好適な実施形態では、摺動真空シールが電子カラムの下にサンプルホルダを位置決めすることを可能にし、サンプルホルダは最初に真空バッファの下を通過されて、サンプルホルダ内の空気が除去される。
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【課題】ステージを高速移動しても低振動であり、ステージ停止時のドリフトが小さく、高精度の位置決めを行える電子顕微鏡装置およびブレーキ機構に関する。
【解決手段】ステージ１１０をブレーキングするブレーキ機構は、電子顕微鏡装置１に具備される。ブレーキレール１０２は、ステージ１１０が移動可能な方向に沿って敷設されている。２つのピエゾ素子１０４，１０４は、ブレーキレール１０２の両側に位置するようにステージ１１０に備えられている。ステージ駆動装置５０は、これらのピエゾ素子１０４，１０４への印加電圧を変化させ、ステージ１１０の停止時、これらのピエゾ素子１０４，１０４が伸長し、ブレーキレール１０２を押圧するようにする。 （もっと読む）

【課題】指定された座標に試料ステージを移動して試料を観察する観察装置において、迅速かつ確実に観察視野に試料が入るように座標補正する方法を提供する。
【解決手段】本発明による観察装置は、検査装置によって予め算出された座標に、試料ステージを移動して試料を観察する観察装置において、検査装置によって予め算出された座標値と観察装置が検出する真の試料位置とのズレを補正する座標補正テーブルを複数保持する機能を有し、複数の座標補正テーブルの補正精度を評価して、評価値が最大の座標補正テーブルを適用する。 （もっと読む）

【課題】ＴＥＭサンプルを基板から抽出する方法を提供すること。
【解決手段】方法は、サンプル上に穴をミリングすることと、プローブを穴に挿入することとを含む。サンプルはプローブに接着し、プローブの上にある間、移送時に処理することができる。他の実施形態では、サンプルは基板から切り出され、静電引力によってプローブに接着する。サンプルは、真空室においてＴＥＭサンプル・ホルダの上に配置される。 （もっと読む）

【課題】電子光学系の各部品及び差動排気用オリフィスの保守点検が容易に行え、またパイプの芯出しの容易な差動排気走査形電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】差動排気走査形電子顕微鏡は、電子線を発生する電子源を配置する電子銃室１と、試料を配置する試料室２とを、鏡筒部７で連絡し、この鏡筒部７には、内部を電子線が通過するインナーパイプ１４を設けると共に、少なくとも前記電子銃室１からの電子線の収束手段であるコンデンサレンズ８、１３と、試料室２内の試料に収束させる対物レンズ９とを備えている。そして、インナーパイプ１４は、電子銃室１側から試料室２上部までの一体の長さに形成すると共に、試料室２側に位置する先端部に差動排気用オリフィス兼用対物絞りユニット１６を取り付けている。インナーパイプ１４の電子銃室１側内には、コンデンサ絞りユニットとなるライナーチューブ１５を装着する。 （もっと読む）

【課題】 膜に保持された試料の試料交換を迅速に行うことができるとともに、分解能の低下を防ぐことができ、また真空室内の汚染を防止することができる試料検査装置及び試料検査方法並びに試料検査システムを提供する。
【解決手段】 試料検査装置は、第１の面３２ａに試料２０が保持される膜３２と、膜３２の第２の面に接する雰囲気を減圧する真空室１１と、真空室１１に接続され、膜３２を介して試料２０に一次線７を照射する一次線照射手段１と、一次線７の照射により試料２０から発生する二次的信号を検出する信号検出手段４と、真空室１１内において、３２膜と一次線照射手段１との間の空間を仕切るための開閉バルブ１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】観察試料上に蒸気を効率良く均一導入することのできる走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】電子銃室と対物レンズを含む電子光学系鏡体部を高真空に維持し、試料室を指定の真空圧力の低真空雰囲気にする低真空雰囲気型走査電子顕微鏡であって、蒸気を導入する蒸気導入ノズルを備え、前記蒸気導入ノズルは、下向きのノズル口と、前記ノズル口が照射電子ビームの経路上にある使用位置にあるときに照射電子ビームが通過する電子ビーム通過部とを有する。 （もっと読む）

【課題】単一の高分子材料を転写材として、厚さ制御性に優れたナノインプリント法及びこれを用いた電子顕微鏡調整用試料を提供することにある。
【解決手段】転写後の転写材の厚さに設計された壁とスタンパ保持面を有し、単一の高分子材料である転写材及びスタンパをとり囲む形状を持つスペーサをナノインプリント時に同時に挟み込む構造とする。 （もっと読む）

【目的】本発明は、電子線ビームを大型試料に照射しつつ走査して画像を生成する大型試料の画像生成装置に関し、円筒状あるいは楕円状あるいは矩形状の複数段の差動排気機構を大型平坦試料に近接して配置し、内部を真空に保持すると共にステージに固定した大型平坦試料を平面内で移動させ、大型平坦試料の一部分を真空にして電子線ビームによる画像を生成し検査などを行うことを目的とする。
【構成】大型平坦試料の任意の一部の表面に近接して複数段の円筒状あるいは楕円状あるいは矩形状であって差動排気し、中心部分を真空に保持する差動排気機構と、差動排気機構の中心の真空部分の大型平坦試料の表面に細く絞った電子線ビームを照射しつつ走査して放出された２次電子あるいは反射された反射電子を検出する手段と、検出した２次電子あるいは反射電子をもとに画像を生成する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】
低入射エネルギー、且つ広視野での帯電制御機能を用いた検査を可能にし、電子線照射による損傷を受けやすい半導体パターンの高感度検査を実現することである。
【解決手段】
ＳＥＭ式ウェハ検査装置において、帯電制御機能を用いた検査を行う際、加速電圧−減速電圧で決まる入射エネルギーと、減速電圧−制御電圧で決まるバイアス電圧が変わらない様、加速電圧・制御電圧・減速電圧を連動して変える。これにより、制御電極近傍で発生する静電レンズ作用を抑えつつウェハの帯電を制御することができる。その結果、低入射エネルギー、且つ広視野での帯電制御機能を用いた検査が可能になり、電子線照射による損傷を受けやすい半導体パターンの高感度検査が実現できる。
加速電圧−減速電圧で決まる入射エネルギーと、減速電圧−制御電圧で決まるバイアス電圧が変わらない様、加速電圧・制御電圧・減速電圧を連動して変える。 （もっと読む）