【課題】簡単な方法で試料のイオン化量を制御することのできる電界脱離イオン源を備えた質量分析装置を提供する。
【解決手段】（１）タングステン芯線の表面に炭素ウィスカーを生成させ、該炭素ウィスカーに試料を付着させたエミッタ、（２）前記エミッタの対向電極として、前記炭素ウィスカーの先端に高電界を発生させるための高電圧が印加可能なカソード電極、（３）前記炭素ウィスカーの先端に高電界を発生させ、その結果生成した試料イオンを収束させ、後段の質量分析部に該試料イオンを輸送するレンズ電極、を備え、前記カソード電極に印加される高電圧は、後段の質量分析部で検出されるイオンの信号強度に基づいて、イオンの信号強度が予め指定された値を超えたときには電圧を下げる方向に変更され、イオンの信号強度が予め指定された値を下回ったときには電圧を上げる方向に変更される。 （もっと読む）

試料（１０１）を収容する手段と、試料（１０１）の表面からイオンを抽出する手段と、第１の方向における第１の曲率および第１の曲率中心（１０５）と第１の方向と垂直な第２の方向における第２の曲率および第２の曲率中心とによって等電位線が規定されるトロイダル静電界を生成するリフレクトロン（１０３）とを含む、特に質量分析計または原子プローブ顕微鏡型の、広い角度受け入れを有する質量分析装置（１００）であって、第１の曲率中心（１０５）の近くに試料（１０１）が位置決めされていることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、断層アトムプローブの一般的な分野に関し、特に、分析されているサンプルの蒸発を実現するために、電極に印加される電気パルスを用いる断層アトムプローブに関する。
これらの電気パルスを生成するために、本発明による断層アトムプローブには、半導体材料のチップを含む電気接続部によって電極に接続された高電圧発生装置が含まれる。プローブにはまた、半導体チップに印加される光パルスを生成するように制御できる光源が含まれる。照射全体を通して、チップは導電性にされるが、これは、電位ステップが電極に印加されるように、高電圧発生装置および電極を電気的に接触させる。プローブにはまた、時間間隔Δｔ_０の終わりに、前のステップと反対振幅の電圧ステップを印加するための手段が含まれ、その結果、電極は、最終的に期間Δｔ_０の電圧パルスを受信する。 （もっと読む）

【課題】分析装置の精度を向上させる。
【解決手段】走査型アトムプローブ２００は、試料３の表面を走査する引出電極５と、試料３に電圧を供給する直流高圧電源２と、直流高圧電源２により供給された電圧により引出電極５と試料３の間に生じた電界によって、試料３の表面の原子又は原子団を試料３から脱離させたときに、脱離したイオン８を検出する位置感知型イオン検出器１１とを備える。位置感知型イオン検出器１１は、イオン８の入射により電子を放出する電子増倍板２５と、電子増倍板２５から放出された電子の一部が入射する螺旋状の遅延回路線４１と、電子増倍板２５から放出された電子のうち、遅延回路線４１の線間を通過した電子が入射する導電板４２とを含む。 （もっと読む）

本発明の実施形態は、質量分析を行うための装置および方法を特徴とする。装置の一実施形態は、低圧の領域と高圧の領域との間の第１の壁に取り付けるための流入ハウジングを備える。流入ハウジングは、試料のプルームに基づいて調整可能な、あるいは代替えの流入ハウジングと差し替えることによって変更可能な通路と絞りを有する。
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【課題】試料の構成成分の平面分布を容易に測定可能な質量分析方法を提供する。
【解決手段】平面配置された複数のエミッタを用いて電界脱離イオン化法により試料のイオン化を行い、生成したイオンを質量分析する質量分析方法であって、平面配置された複数のエミッタに試料の測定面を対応させ、各エミッタ上に当該試料の対応部分が配置されるように試料を設置する工程と、これらのエミッタを独立に駆動し、順次、電界を生じさせ、これに応じて試料の各エミッタに対応する部分をイオン化する工程と、イオン化により生成したイオンを、そのイオンの生成のために駆動したエミッタに対応させて質量分析する工程を有する質量分析方法。 （もっと読む）

【課題】高精度の均質な測定が可能であり、尚且つ、測定が容易な元素検出方法及び元素検出装置を提供する。
【解決手段】試料から離脱した元素を検出し、元素の位置及び飛行時間を測定する元素検出装置１であって、気圧調整が可能であり、内部に試料が配置されるチャンバー１０と、チャンバー内で試料と対向するように設置されており、試料から離脱した元素を検出する元素検出手段と、試料にエネルギービーム２４を照射する照射手段２３とを備え、元素検出手段が、エネルギービームが通過可能な孔１９を有するとともに、照射手段が元素検出手段を挟んで試料の反対側に設置され、孔を通過したエネルギービームが試料に照射される。 （もっと読む）

【課題】 ３次元微細領域元素分析方法に関し、電界蒸発のし易さが異なる元素が混在した試料を短時間で精度良く分析する。
【解決手段】 被分析試料１から電界蒸発強度が４０×１０¹⁰Ｖ／ｍ以上の元素２が検出された時点で、被分析試料１に飽和吸着し、且つ、エネルギービーム５の照射によってエッチングが進行するガス種４を被分析試料１に供給したのち、エネルギービーム５を照射して被分析試料１のガス種４の吸着した部分のみを脱離させ、脱離した被分析試料１由来の粒子６の質量分析を行なうとともに、電界蒸発強度が４０×１０¹⁰Ｖ／ｍ以上の元素２が検出されなくなった時点でガス種４の供給を停止して電界蒸発によって脱離した被分析試料１由来の粒子６の質量分析を行なう。 （もっと読む）

【課題】 荷電粒子を衝突セルに導入するための装置を提供する。
【解決手段】 本発明の装置は、イオンと荷電粒子とを混合するための装置であって、イオン出口端を有する多重極装置と、イオン出口端に接続されている質量分析器と、質量分析器に接続されている荷電粒子源とを備え、荷電粒子源によって生成される荷電粒子が質量分析器を通って、イオン出口端を介して、多重極装置内に入るように構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ナノレベル構造組成観察装置に関し、レーザ光の反射光による測定誤差の発生を防止する。
【解決手段】 針状試料４の表面より、少なくとも外部エネルギー３により原子１つ１つ或いは複数の元素からなるクラスター１集団１集団が外部空間に離脱することにより針状試料４のナノレベルの構造組成を観察するためのナノレベル構造組成観察装置を構成する観察室１の内部の少なくとも一部に黒色光吸収体５を設ける。 （もっと読む）

【課題】水中の重水の含有率を測定する。
【解決手段】重水含有の水に染ませた紙を、小穴のある平面コンデンサ−の負極板と絶縁膜の間に置き、コンデンサ−に端子電圧をかけ、分極によるＨ^＋，Ｄ^＋イオンを引き出し磁場型質量分析器に導く。このとき、コンデンサ−と質量分析器は真空容器の中に置き、回転ポンプで排気し、５Ｐａ〜１０^２Ｐａの圧力にする。 （もっと読む）

【課題】 試料が破壊されることなくスムーズな元素の離脱を可能とし、試料中の３次元的原子分布を容易且つ正確に再構成することができる。
【解決手段】 ３ＤＡＰにおいて、試料１１の元素の電界蒸発をアシストするための吸着ガスをチャンバー１内に導入する吸着ガス導入機構６が設けられる。吸着ガスとしては、試料１１の元素に吸着し易い（吸着率の高い）ガス種、例えば窒素ガスが選ばれる。 （もっと読む）

【課題】 半導体プロセスや半導体デバイス開発などで用いられる平板状・薄膜状の試料のＡＰＦＩＭ分析を高い再現性・信頼性で効率よく可能にするような針状体を提供する。
【解決手段】 本発明は、基板１１と、前記基板上に形成された被分析領域１７とを具備する試料１０の表面に導電材１６を接合して複合体１８を得る接合工程と、前記複合体１８を、前記被分析領域１７の少なくとも一部を備える尖状部と、前記導電材１６の少なくとも一部を備え、前記尖状部に接合した支柱部とを具備する針状体に加工する加工工程と、を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

衝突またはフラグメンテーションセル（５）の上流に配置されたイオン移動度分光計またはセパレータ（３）を含む質量分析計が開示される。イオンは、イオン移動度分光計またはセパレータ（３）内でそのイオン移動度にしたがって分離される。衝突またはフラグメンテーションセル（５）に入射する際のイオンのフラグメンテーションエネルギーを最適化するために、イオン移動度分光計またはセパレータ（３）に存在するイオンの運動エネルギーは時間とともに実質的に直線的に増加される。
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【課題】特殊電極の表面から放出される固体状、液体状、ガス状の分析物を分析するデバイスを提供する。
【解決手段】圧力、レーザ放射、および電界強度を適当に調整することにより、質量分析法および／または電子常磁性共鳴分光法により形成されたイオンまたはラジカル・イオンを検出し、イオン源を交換しないで、同じイオン容量で、ＥＳＩ、ＦＩ、ＦＤ、ＬＩＦＤＩまたはＭＡＬＤＩ、またはこれらのハイブリッドにより分析用物質をソフト・イオン化するための技術を提供する。 （もっと読む）

【課題】イオン源側真空領域内のイオン軌道部周辺の部品を大気中に取り出して、洗浄等の操作を行なっても、短時間で装置の再使用が可能となり、また、アイソレーション・バルブを設けても、安定した測定が可能となるようなＯＡ−ＴＯＦＭＳを提供する。
【解決手段】イオン源と、イオン源で発生したイオンを輸送させる空間とを配置した、真空度の低い第１の領域と、該領域から輸送されてきたイオンをパルス的に加速して取り出すためのイオン溜と、該イオン溜から取り出されたイオンを質量分離する飛行時間型分光部とを配置した、真空度の高い第２の領域とを備えた垂直加速型飛行時間型質量分析装置において、前記２つの領域を連通する孔部に隔離弁を設け、両領域を遮断できるようにした。 （もっと読む）