【課題】第２電極開口部と絶縁層開口部を互いに位置を合わさせて、より精密に形成できる電子放出デバイスと、その製造方法及びこれを用いた電子放出ディスプレイを提供する。
【解決手段】第１基板２２上に順次形成される第１電極１２、絶縁層１４と、第１電極１２上に形成される電子放出部２０と、第１電極１２と対向し、電子放出部２０の開口部を有する第２電極１６と、を含む電子放出デバイスの製造方法において、第２電極１６上にマスク層を形成する段階と、第２電極１６を１次エッチングして第２電極開口部１６１を形成する段階と、絶縁層１４を湿式エッチングし、絶縁層１４上面に第２電極開口部１６１より大きい幅の絶縁層開口部１４１を形成する段階と、第２電極１６の中で露出した部位を２次エッチングして、第２電極開口部１６１を拡張する段階と、マスク層１８を除去する段階と、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 電子放出回数が増大しても電子放出量が低下し難い電子放出装置を提供すること。
【解決手段】 電子放出装置１０は、下部電極１２と、誘電体からなるエミッタ部１３と、微細貫通孔１４ａを有する上部電極１４と、を備え、下部電極と上部電極との間に駆動電圧が付与されることによりエミッタ部１３から上部電極１４の微細貫通孔１４ａを介して電子を放出する。エミッタ部１３の上面には酸化物（例えば、シリコンの酸化物）からなる保護膜１３ｂが形成されている。これにより、エミッタ部１３の上面は、残存するガス分子であって電子放出動作中にイオン化したガス分子の攻撃から保護される。この結果、エミッタ部の上面が金属化し難くなるので、電子放出作動回数が増大しても電子放出量が低下し難い電子放出装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】電子放出源の形成用組成物、これを利用して製造された電子放出源、該電子放出源を含む電子放出素子、及び前記電子放出源の製造方法を提供する。
【解決手段】２０℃ないし２５℃の温度及び０．０１ｌ／ｓないし１００ｌ／ｓの測定条件下での揺変性値が１０，０００Ｐａ／ｓないし５０，０００Ｐａ／ｓであるか、または２０℃ないし２５℃の温度、１Ｐａないし１０Ｐａ及び０．０５Ｈｚないし１００Ｈｚの測定条件下での粘弾性（ｔａｎδ、粘度係数／保存係数）値が２ないし５である電子放出源の形成用組成物、これを利用して製造された電子放出源、電子放出源を含む電子放出素子、及び電子放出源の製造方法。これにより、電子放出源の形成用組成物は、印刷特性及びレベリング特性が優秀であるので、工程安定性が確保されて電子放出素子内の電子放出源の形成に効果的に使われうる。 （もっと読む）

【課題】励起エネルギーが小さい場合においても高い電子放出効率を実現することが可能な電子放出装置を提供する。
【解決手段】ＳｉＣ基板１１上に形成され、ＳｉＣ基板１１表面に対して垂直方向に配向化された複数のカーボンナノチューブから構成されたカーボンナノチューブ層１２と、カーボンナノチューブ層１２上に形成され、カーボンナノチューブ層１２と接触するＭｇＯ層１３と、カーボンナノチューブ層１２と接続されたオーミック電極１７と、ＭｇＯ層１３との間に空隙１４を挟んでＭｇＯ層１３に対向するように配置された電極１５と、オーミック電極１７と電極１５との間に電圧を印加する電圧源１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】 簡易に作成でき、電子放出膜中の金属量を比較的容易に制御することができ、電子放出膜に接する電極等と電子放出膜との密着性が良好な電子放出素子の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 カソード電極と、該カソード電極上に位置する、金属を含む電子放出層と、を備える電子放出素子の製造方法であって、（Ａ）導電性の第１の層と、該第１の層上に位置する第２の層と、該第２の層に接触した、金属を含有する第３の層と、を用意する、第１工程と、（Ｂ）前記第２の層に、前記第３の層から前記金属を拡散させる、第２工程と、を備えることを特徴とする電子放出素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）を含むペーストと基材との濡れ性を改善することができ、このペーストを用いて形成された塗膜に塗布斑が生じる虞がなく、均質な塗膜を得ることができ、さらには、エミッタのエミッション特性に優れた電界電子放出素子を得ることができるＣＮＴ含有ペーストとＣＮＴ膜の製造方法及びＣＮＴ膜並びに電界電子放出素子を提供する。
【解決手段】本発明のＣＮＴ含有ペーストは、ＣＮＴと、有機溶媒と、二価アルコールおよび／または三価アルコール等の界面活性剤と、エチルセルロース等の有機高分子とを含有してなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電子放出素子の製造方法を提供する。
【解決手段】（ａ）基板上にカソード電極を形成する工程と、（ｂ）カソード電極上にエミッタをパターニングして形成する工程と、（ｃ）エミッタが形成された基板構造物の表面に感光性ガラスペーストを塗布して乾燥させ、エミッタを埋め込む感光性ガラスペースト層を形成する工程と、（ｄ）（ｃ）工程の結果物である感光性ガラスペースト層を露光、現像及び焼成工程を経てパターン化してゲート絶縁層を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】電子放出材料層の性能を低下させずに、電子放出材料層から保護層を容易に除去し得る電子放出源の製造方法を提供する。
【解決手段】緩衝層としての樹脂材料層４が電子放出材料層としてのＣＮＴ層３上に存在する状態で、保護層としてのアルミニウム層５が樹脂材料層４上に形成される。その後、樹脂材料層４が加熱処理によって焼失する。その結果、アルミニウム層５とＣＮＴ層３とが接触する。そのため、ＣＮＴ層３上に直接アルミニウム層５を形成した場合に比較して、アルミニウム層５とＣＮＴ層３との間の密着性が低い。したがって、アルミニウム層５を除去するときに、アルミニウム層５はＣＮＴ層３から容易に除去され得る。その結果、アルミニウム層５の除去工程においてＣＮＴ層３に及ぼされる悪影響が小さい。 （もっと読む）

本発明は、ナノサイズの金属粒子を添加した電界放出ディスプレー(Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ：以下、ＦＥＤ)用の高信頼性ＣＮＴペーストの製造方法及び前記方法により製造されたＣＮＴエミッタの製造方法に関する。本発明によるＣＮＴペーストの製造方法は、(Ｉ)カーボンナノチューブ(ＣＮＴ)パウダーを溶媒に分散させるステップ; (ＩＩ)前記ＣＮＴパウダーが混合された分散溶液に有機バインダーを添加するステップ; 及び(ＩＩＩ)前記有機バインダーが添加された分散溶液の粘度を調節するためにミーリング工程を実行するステップと、を含み、前記(Ｉ)ステップまたは前記(ＩＩＩ)ステップにナノサイズの金属粒子を添加することを特徴とする。これによって、ＣＮＴペーストの金属性充填剤をナノサイズの金属粒子で添加することにより、ＣＮＴの劣化が発生しない低い温度で金属を溶融させることができ、ＣＮＴペーストと陰電極との接着性を向上させることができ、また陰電極とＣＮＴまたはＣＮＴとＣＮＴとの間の抵抗を低めることができる。さらに、前記方法により製作されたＣＮＴペーストをＣＮＴエミッタ製造に利用することにより、ＣＮＴエミッタの電子放出を均一に得ることができ、電子放出サイトが増加できるので、ＣＮＴエミッタの信頼性を一層向上させることができる。
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【課題】輝度バラツキと劣化速度を減少させることのできる、均一な高さの電子放出素子と、この電子放出素子を用いて、電子放出効率が良く、高画質、高解像度で耐久性のある電界放出型ディスプレイを提供する。
【解決手段】好ましくは平均直径１〜１０ｎｍの微細孔を表面上に有し、その微細孔に触媒を担持した母微小体（Ａ）と、母微小体（Ａ）上の触媒から成長した繊維状炭素材料（Ｂ）とから構成されてなる電子放出素子用の微小体（Ｃ）。また、この微小体（Ｃ）の層を、好ましくは単層に、電子放出電極上に形成した電子放出素子。さらに、この微小体（Ｃ）を含有するインク組成物、並びにこの電子放出素子を具備した画像表示装置。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブの寿命および電極層上のカーボンナノチューブの接着性を高めることができる方法を提供する。
【解決手段】一度の電気泳動堆積処理の間に、カーボンナノチューブ表面上のシロキサン膜を形成する。それから、シロキサン膜は焼結処理されて、電子放出源の表面上に二酸化ケイ素膜が形成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、カーボンナノチューブ配列を利用する電界放出装置及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明にかかるカーボンナノチューブ配列を利用する電界放出装置の製造方法は、触媒層が形成された基板を提供する段階と、該基板に第二端部及び第一端部を有するカーボンナノチューブ配列を成長させる段階と、粘着層が形成された陰極ベースを提供する段階と、前記カーボンナノチューブ配列の前記第一端部を前記粘着層に埋める段階と、前記粘着層を固化して加工する段階と、前記基板を除去して前記カーボンナノチューブ配列の前記第二端部を露出させる段階と、を含む。本発明は前記製造方法により得られるカーボンナノチューブ配列を利用する電界放出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】均一な電界電子放出特性と高い耐久性とを有する、電子放出源。
【解決手段】酸化鉄ウィスカーからなる電界電子放出体であり、中でも鉄系基板を酸化雰囲気中で酸化させてその基板上に酸化鉄ウィスカーを直接成長させた構造であることを特徴とする。また、酸化鉄ウイスカーは、直径５ｎｍから２μｍ、長さ０．１μｍから１ｍｍ、アスペクト比５から１０万であり、ＦＥＤ用或いは照明用などの電極として幅広い応用が可能である。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブの電界放出に関する物性を改善した、カーボンナノチューブの製造方法を提供する。
【解決手段】本願発明に係るカーボンナノチューブの製造方法は、ＺｎＯの突起物を有するカーボンナノチューブの製造方法であって、基板を形成する工程、上記基板の表面にカーボンナノチューブを成長させる工程、上記カーボンナノチューブにＺｎＯを絶縁保護コーティングする工程、ＺｎＯでコーティングされた上記カーボンナノチューブをアニールする工程、上記アニールによって、カーボンナノチューブの表面にＺｎＯの突起物を形成する工程を含む製造方法である。
【効果】ＺｎＯの突起物がカーボンナノチューブ上に形成されることによって、カーボンナノチューブの電界増幅係数を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】 低電界における電子放出を可能とした、電子放出性薄膜の製造方法、電極基板及び電子放出装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明にかかる電子放出性薄膜の製造方法は、まず、エラストマーと、金属粒子と、カーボンナノファイバーと、を混合して複合エラストマーを得る。次に、複合エラストマーと溶剤とを混合し、塗布液を得る。さらに、塗布液を基材に塗布し、塗膜５を形成する。最後に、塗膜５を熱処理して塗膜に含まれるエラストマーを除去すると共に、金属溶湯を塗膜中に浸透させて薄膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】従来の電子放出源に比べ、微細炭素繊維が均一に分散されており、その製造も容易な電子放出源を提供することを主たる課題とする。
【解決手段】少なくとも、外径１５〜１００ｎｍの炭素繊維から構成される３次元ネットワーク状を呈しており、前記炭素繊維が複数延出する態様で、当該炭素繊維を互いに結合する粒状部を有しており、かつ、当該粒状部は前記炭素繊維の成長過程において形成されてなるものである炭素繊維構造体と、バインダー樹脂と、からなる炭素繊維構造体分散液を形成し、前記炭素繊維構造体分散溶液を基板上に塗布し、固化することにより電子放出源とする。 （もっと読む）

【課題】電子を均一に放出することができ、製造工程が簡単であり低コストで製造することの可能な電子放出素子と、この電子放出素子を備えて画素間の均一度を向上させることの可能なディスプレイ装置および電子放出素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１基板１１０と、第１基板１１０上に配置されたカソード電極１２０および電子放出源と、カソード電極１２０と電気的に絶縁されるように配置されたゲート電極１４０と、カソード電極１２０とゲート電極１４０との間に配置され、カソード電極１２０とゲート電極１４０とを絶縁する絶縁体層１３０と、カソード電極１２０に接するように配置され、半導体カーボンナノチューブを含む抵抗層１２５と、を備える電子放出素子１０１である。 （もっと読む）

【課題】 誘電体膜型の電子放出素子において、さらなる高出力化を達成する。
【解決手段】 誘電体からなるエミッタ層１１３の上側表面１１３ａ上には、上部電極１１４が形成されている。この上部電極１１４は、黒鉛粒子１１５と銀微粒子１１６とから構成されている。黒鉛粒子１１５には、微視的な溝である微細溝１１５ａや、微視的な突起である微小突起１１５ｂが形成されている。銀微粒子１１６は、黒鉛粒子１１５の表面に付着している。銀微粒子１１６は、小径微粒子１１６ａと大径微粒子１１６ｂとからなる。上部電極１１４は、合成樹脂のバインダーに黒鉛粒子及び銀微粒子を分散してなる電極ペーストをエミッタ層１１３上に塗布して熱処理することによって形成されている。このバインダーとしては、銀微粒子によって黒鉛粒子の一部が酸化される温度よりも低温の分解温度を有する材質が用いられている。 （もっと読む）

【課題】 輝度むらの発生が防止された電子放出源の製造方法を提供する。
【解決手段】 まず、粒径にばらつきがある多数のガラス粒子のうちから所定の範囲内の粒径を有する複数のガラス粒子のみが取り出される。この複数のガラス粒子がカーボンナノチューブペースト中に混入される。このカーボンナノチューブペーストに関しては、加熱処理においてガラス粒子同士が一体化しない程度に、複数のガラス粒子の割合、粒径、および分散度が設定されている。このカーボンナノチューブペーストがカソード層２上で加熱される。このとき、複数のガラス粒子のうちの最下層に位置するいくつかのガラス粒子のみがカソード層２に固着するような条件で加熱処理が実行される。その結果、前述のいくつかのガラス粒子がカソード層２上にほぼ均等に分散して配置されるため、複数のカーボンナノチューブ３の束３３も均等に分散して配置される。 （もっと読む）

【課題】露光光の回折、表面−マスク間反射、表面散乱を抑制することで、高精細なパターン形成方法を提供する。
【解決手段】基材上に感光性有機成分を含むパターン形成層と、該パターン形成層上に位置するコート層の少なくとも２つ以上の層を設け、コート層側から露光を行った後に現像処理を行うパターン形成方法であって、該コート層が光褪色性材料を含み、かつ該コート層の屈折率Ｎ１とパターン形成層の屈折率Ｎ２が下式（１）を満たすことを特徴とするパターン形成方法。
｜Ｎ２−Ｎ１｜＜０．１ （１） （もっと読む）