【課題】 高級一眼レフカメラ等の力量感溢れるシャッター操作をデジタルカメラ等で再現できるようにする。
【解決手段】 第１の振動を発生する圧電アクチュエータ２５と、第１の振動と異なった第２の振動を発生する振動モータ４５と、圧電アクチュエータ２５及び振動モータ４５の入出力を制御するアクチュエータ駆動回路３７とを備え、アクチュエータ駆動回路３７は、予め設定された動作条件に基づいて圧電アクチュエータ２５又は及び振動モータ４５を選択し、当該動作条件に基づいて圧電アクチュエータ２５又は振動モータ４５を駆動するものである。この構成によって、素早い応答性が要求される触覚は、圧電アクチュエータ２５の振動で対処することができ、強い触覚が要求される場合は、振動モータ４５の振動で対処できるようになる。 （もっと読む）

【課題】 従来の超音波洗浄装置では、超音波と洗浄液又は流体ジェットによる洗浄であるので、微細な付着物の除去や汚物の除去が迅速に行われないという問題がある。
【解決手段】 被洗浄基板９に対してホーン１０が適宜傾斜されて装着され、ホーン１０の先端に柔軟性の材質からなる球面振動体１１が装着され、ホーン１０の先端と対向する背面に圧電体振動子１２が装着され、圧電体振動子１２には高周波発振器１３及び低周波発振器１４が接続され、ホーン１０の側部に注水ノズル１５が装着され、注水ノズル１５からの洗浄液は球面振動体１１に沿って流れるように噴射されている。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の表面を傷つけたり、破損させたりすることなく、表面に付着した粒子や有機性の汚染物等を効果的に除去することができる。
【解決手段】ガラス基板１４の表面１４Ａに付着する汚れを超音波を付与した洗浄液で超音波洗浄する超音波洗浄装置１０において、洗浄液１１を貯留する洗浄槽１２と、洗浄液１１中にガラス基板１４を支持する支持台１６と、周波数１〜１０ＭHzの第１の超音波と、該第１の超音波の２分の１以下の周波数の第２の超音波とをガラス基板１４に向けて交互に集束させる超音波発生手段２０と、集束させる集束位置Ｐからガラス基板１４の表面１４Ａまでの距離を調整する集束位置調整手段２２と、超音波発生手段２０による超音波の効力が被洗浄物の表面に万遍なくいきわたるように支持台１６を移動させる移動手段２４と、で構成される。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】基板（２０２）を洗浄するシステムおよび方法は、トランスデューサ（２１０）と基板（２０２）とを含むメガソニックチャンバ（２０６）を備える。トランスデューサ（２１０）は、基板（２０２）の方を向いている。トランスデューサ（２１０）と基板（２０２）とは、可変距離ｄによって隔てられる。システム（２００）は、また、トランスデューサに結合された出力部を有する動的に調整可能なＲＦ発生器（２１２）を備える。動的に調整可能なＲＦ発生器（２１２）は、発振器（３０６）の出力電圧の位相とＲＦ発生器の出力電圧の位相とを比較することによって制御することができる。動的に調整可能なＲＦ発生器（２１２）は、また、出力信号のピーク電圧をモニタし、そのピーク電圧を所定の電圧範囲内に維持するようにＲＦ発生器を制御することによって制御することもできる。動的に調整可能なＲＦ発生器（２１２）は、可変の直流電圧源を動的に制御することによって制御することもできる。
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【課題】超音波アクチュエータの共振点を正確に検出することができるとともに、効率が良い駆動が可能な超音波アクチュエータ駆動装置及び超音波アクチュエータ駆動方法を提供する。
【解決手段】本発明の超音波アクチュエータ駆動装置１は、制御部２、駆動部３、第１及び第２振動情報検出部４、６、超音波振動子５Ａを有する超音波アクチュエータ５とを備え、前記制御部２は、前記超音波振動子５Ａに縦振動と屈曲振動のうちいずれか一方の振動を発生させた状態における前記第１及び第２振動情報検出部４、６から振動情報から前記超音波振動子５Ａの共振周波数を検出し、この共振周波数に基づいて発振部７により発生する交流信号の周波数を設定すると共に、前記超音波振動子５Ａに縦振動と屈曲振動を同時に発生させるように、駆動部９により超音波振動子５Ａに印加される２相の駆動信号の位相差を設定する。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハーのような洗浄対象物に対し最も効果的な洗浄がおこなえる枚葉式洗浄方法及び洗浄装置の提供にある。
【解決手段】洗浄装置は、被洗浄物を支持する支持部材２２，２８と、支持部材に支持された被洗浄物の洗浄面に対向配置される超音波振動板３２と、該振動板と被洗浄物との間に洗浄液を供給する液供給ノズル３６と、支持部材を振動板面に対し平行移動させる駆動部材２６と、振動板を超音波振動させる超音波発振器３４とを備え、振動板の振動面を、被洗浄物の洗浄面に対し数ｍｍ以内でかつ洗浄面における平均音圧が最高点またはその近傍以内の位置に近接配備され、支持部材に支持された被洗浄物Ｗを移動させながら振動板を超音波振動させて、介在する洗浄液により被洗浄物面を洗浄するように構成している。 （もっと読む）

【課題】発熱体層における各パッド近傍部位の破壊を防止でき、長期間にわたって超音波域の圧力波を安定して発生可能な圧力波発生素子を提供する。
【解決手段】支持基板としてのシリコン基板からなる半導体基板１と、半導体基板１のの一表面側に形成された発熱体層３と、半導体基板１の上記一表面側で半導体基板１と発熱体層３との間に介在する多孔質シリコン層からなる熱絶縁層２と、発熱体層３の両端部それぞれに電気的に接続された一対のパッド４，４とを備え、一対のパッド４，４を介した発熱体層３への通電に伴う発熱体層３と媒体との熱交換により圧力波を発生する圧力波発生素子であって、発熱体層３と各パッド４，４それぞれとの間に介在し発熱体層３と各パッド４，４それぞれとの反応を防止する一対のバリア層５，５を設けてある。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動体の破損を十分に防止でき、しかも部品点数を増加させることがない圧電型振動素子を提供する。
【解決手段】 圧電振動体５の支持体３によって支持されていない振動部分５ｂの両面に変形抑制層１９を形成する。変形抑制層１９は、動作時における圧電振動体５の振動には実質的に影響を与えないが、圧電振動体５の一部が振れ幅規制手段９，１１と接触した状態になるほどに大きな衝撃が外部から加わった際に、圧電振動体５を破損させるような変形が圧電振動体５に生じるのを抑制するように構成する。 （もっと読む）

【課題】 汚れの落ちにくい箇所の汚れを良く落とし、且つ十分な抗菌力を与えることのできる超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】 超音波洗浄装置１は、筐体１１の中に超音波振動ホーン２１を有する。超音波振動ホーン２１のヘッド部２２は筐体１１の開口部１４から露出し、ここに被洗浄物が押し付けられる。ヘッド部２２には給水部２６より水を供給する。この水の中に、イオン溶出ユニット３０が金属イオンを溶出させる。イオン溶出ユニット３０は、銀、銅、亜鉛などの金属からなる電極３４、３５に電圧を印加して、抗菌作用を有する金属イオンを溶出させるものである。超音波洗浄装置１はベース１２により任意位置に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】可動部材の超精密な位置決め制御を可能にした駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置３０は、電圧が印加されると伸縮する圧電素子２と、圧電素子２の伸縮方向一端に固定された支持部材１６と、圧電素子２の伸縮方向他端に固定された駆動軸１８と、駆動軸１８に摩擦力で係合し、伸縮する圧電素子２によって振動する駆動軸１８に沿って駆動される可動部材２０と、圧電素子２に電圧を印加する駆動回路３とを備え、駆動回路３は、可動部材２０が高速駆動と低速駆動との間で切り替わるように、圧電素子２に印加する電圧の波形を変更する。 （もっと読む）

処理効率及び／又は有効性を増大させつつ、処理中に基板装置へのダメージを最小限にすることのできる、音響エネルギ源にパワーを供給する方法及び装置。本装置及び方法は、音響エネルギ源を駆動するために使用する電気信号の振幅を変動させ、及び／又は振動数を変化させるというコンセプトを利用するものである。これにより、基板に適用される音響エネルギの振幅及び振動数が、対応する形で変動し及び／又は変化する。音響エネルギで基板を処理する方法は、ａ）少なくとも一つの基板を処理チャンバ内に支持する、ｂ）ベースとなる電気信号を生成する、ｃ）該ベースとなる電気信号をアンプに伝達し、該アンプが該ベースとなる電気信号を最大振幅を有する出力電気信号に変換する、ｄ）該出力電気信号をトランスデューサに伝達して、該トランスデューサ該は出力電気信号を対応する音響エネルギに変換する、ｅ）該音響エネルギを、前記処理チャンバ内に支持された前記少なくとの一つの基板上に適用する、ｆ）該出力電気信号の最大振幅を変動させる、ことから構成される。
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【課題】 内部に超音波放射面を有するノズルから液体を流出させて被洗浄部位と接触させることで超音波の伝播路を形成し、前記被洗浄部位を超音波振動で洗浄するようにしたノズルシャワー式の超音波洗浄装置において、あらゆる汚れに対応できるようにする。
【解決手段】 超音波伝達体５および超音波振動子４の中心部に管路２３を形成し、該管路２３を経て超音波放射面５ａの中心部から液体を吐出するようにし、駆動回路６は、超音波洗浄モードよりも多くの流量によって前記被洗浄部位を洗浄する高圧洗浄モードでの洗浄を可能にする。したがって、超音波洗浄モードで歯垢や皮脂等の強固に付着している汚れを除去（剥離）し、高圧洗浄モードで、前記超音波洗浄モードで剥がし取られた汚れや、食物残渣等を流し飛ばし、１台であらゆる汚れに効果的な洗浄を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 被加工物を振動加工するにあたり、振動させる対象物に十分な変位量や応答速度を与えて効率よく振動加工が行えるようにする。
【解決手段】 ワークＷの外面を研削するにあたり、ワークＷの対向二箇所を支持する第１、第２支持部材２、３を設け、この第１、第２支持部材２、３のセンタ保持部材６の袋穴６ｈに複数個のピエゾ素子からなる第１、第２振動子１０、１１を配設するとともに、この第１、第２振動子１０、１１を、１８０度位相の異なる正弦波信号で駆動して各センタ保持部材６を前後方向に伸縮させ、変位量を増幅して加工する。また、第２支持部材３を第１支持部材２に対して移動自在にする。 （もっと読む）

産業用の篩い装置又は選別装置は、選別篩網（１０）上にロッド共振器（１４）を有している。ロッドは二つの相隔たる端部の間を延びており、一端に配置されたトランスデューサ（１６）を有し、その長さ全体にわたってロッドを励振させて、篩網（１０）の目詰まり解消を促進する。ロッドは螺旋形状とするか、または他の滑らかに連結されたＳ字形のような複合曲線を形成するようにしてもよい。篩網（１０）に固定された螺旋ロッド共振器は、篩い分けられる原料用の案内体として使用することができる。
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【課題】
極力騒音の発生を抑制しつつ、発熱体から発せられる熱を効果的に放熱することができる噴流発生装置及びこれを搭載した電子機器を提供すること。
【解決手段】
噴流発生装置１は、第１及び第２のノズル３ａ及び３ｂと、第１及び第２のノズル３ａ及び３ｂにそれぞれ通じる第１及び第２のチャンバ２ａ及び２ｂとを有し、内部に空気が含まれた筐体２と、第１のチャンバ２ａの容積を互いに増加させるように、かつ、第１のチャンバ２ａの容積を互いに減少させるように同期して振動し、第１のチャンバ２ａと第２のチャンバ２ｂとを形成するために筐体２の内部を仕切るように配置された第１及び第２の振動板１０ａ及び１０ｂを有し、当該第１及び第２の振動板１０ａ及び１０ｂの振動により第１及び第２のノズル３ａ及び３ｂを介して交互に空気を脈流として吐出させる振動機構とを具備する。 （もっと読む）

ショアＤ硬度８０ＨＳ以上の接着剤を用いて圧電素子（３）および基材（２）の間に接着層（４）を形成して両者を接着する。接着層（４）は、転写シートに二つのスペーサを配置し、これらのスペーサの間に接着剤を延ばすことで均一の厚みに成形する。そして、接着層（４）で接着された基材（２）および圧電素子（３）を加圧状態下で加熱して接着層（４）を硬化させる。硬化後の接着層（４）が高硬度なので、接着層（４）における振動損失を低減できる。また、接着層（４）の厚みが均一なので、圧電アクチュエータ（１）の振動特性のばらつきを低減できる。
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【課題】 複雑な高周波整流や高周波演算を行うことがなく、簡単な回路と低コストの手法によって超音波装置における負荷の変動を確実に判別できる方法を提供すること。
【解決手段】 超音波装置におけるパワーアンプへの供給直流電源８の印加電圧と印加電流を計測して超音波振動子９への負荷量を演算器28により算出し、算出された負荷量が設定した値を超えたときは、所定乃至定格の振動振幅を印加し、負荷量が設定値を下回ったときは、小さな振幅に戻すか、振動を停止させること。 （もっと読む）

【課題】 安価で、かつ、小型化が可能で、電気的な接続に対する信頼性が高く、電気機械変換素子とリード部とを接続する際に電気機械変換素子に受ける熱的ダメージを抑制する超音波振動子及びその超音波振動子の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 超音波振動子１は、電気機械変換素子２の音波放射側に音響整合部材３が形成され、その反対側にバッキング材４が接着固定され、電気機械変換素子２の上下面に電極層５及び切欠き部６が設けられ、接続部材７が電気機械変換素子２を、対向方向８から加圧することにより電気機械変換素子２を固定している。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で超音波モータの小型化を図ることのできる超音波振動子及びそれを用いた超音波モータを提供する。
【解決手段】本発明の超音波振動子１は、第１の振動モードと第２の振動モードを同時に励起して超音波楕円振動を発生させるもので、超音波振動子１の超音波楕円振動が発生している振動面に沿った方向に穿設された穴部２Ａを有し、この穴部２Ａ内の前記超音波楕円振動が発生している部位に摩擦接触部６を配設している。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの下方電極および上方電極を備えた少なくとも１つの圧電体と、前記下方電極へ接続される少なくとも１つの回路板を備えた結合層とを含む超音波変換器に関する。本発明の課題は、簡単に製造でき、寸法が維持され、小さい許容範囲を有する結合層の品質の改善された超音波変換器を提供することである。この課題は、回路板上で圧電体の下方、すなわち圧電体と下方電極とが接触している部分の下方の一定の導体路高さに導体路構造体が設けられており、回路板と圧電体とのあいだに導体路構造体と並んで存在する中空室が結合剤によって完全に充填されている構成により解決される。
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