【課題】 従来の超音波基板洗浄装置では、被洗浄基板が超音波によってダメージを受けるという問題がある。
【解決手段】 棒状ホーン７の一端は斜めに切断されて、傾斜面７ａが形成され、棒状ホーン７の他端に膨大部７ｂが構成されて、この膨大部７ｂに圧電体振動子８が装着され、この圧電体振動子８を覆うように振動子ケース９が棒状ホーン１の膨大部９ｂにパッキン１０を介してネジ１１で固定され、振動子ケース９の端部をケーブル１２が貫通し、ケーブル１２のコード１２ａが圧電体振動子８に接続されている。 （もっと読む）

１つ以上の実施形態において、振動システムは、振動基板、振動基板を囲む支持部材および支持部材を囲む振動誘発部材を備え、ここで前記振動誘発部材は、振動基板の軸振動を発生させるため、支持部材に対して放射状に拡張収縮するように構成される。１つの実施形態において、前記振動基板は外周を有し、管状部材は前記基板の外周に同心的に設置され、環状の振動誘発部材は前記管状部材の外周に同心的に設置される。前記振動誘発部材は、前記基板が軸方向に振動するように、前記管状部材の壁に対し放射状に拡張縮小可能な圧電性の環であることが好ましい。
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【課題】 複数の圧電振動体のそれぞれの圧電素子の電気的接続及び振動板の電気的接続を容易に行える圧電型振動素子を提供する。
【解決手段】 第１のクリップ部材７により、第１及び第２の圧電振動体５Ａ，５Ｂに含まれる４枚の表面電極層２７ａ，２９ａを電気的に相互に接続して電源の一方の出力端子に接続される第１の電気的接続手段を構成する。第２のクリップ部材９により、第１及び第２の圧電振動体５Ａ，５Ｂに含まれる２枚の振動板２５を電気的に相互に接続して電源の他方の出力端子に接続される第２の電気的接続手段を構成する。 （もっと読む）

【課題】ピエゾ素子の駆動波を効果的に発生する。
【解決手段】基本波形発生回路１０からの２つの基本波を方向セレクタ２２で切り替えて出力ゲート２０を介し出力する。方向制御信号Ｍ／Ｉによって方向セレクタ２２の切換を制御する。基本波形の２００周期を２００周期カウンタ１２でカウントし、２００周期毎にドライブカウンタ１４をダウンカウントし、ドライブパルスＤＲＩＶＥのパルス数に応じてドライブカウンタ１４をアップカウントする。そして、ドライブカウンタ１４のカウント値が０になったことで出力ゲート２０の出力を停止する。 （もっと読む）

【課題】構成が簡単であってしかも超音波エネルギーを利用した液体処理を効率よく行うことができる超音波処理装置を提供する。
【解決手段】超音波反応装置１０は、超音波を発生させるための超音波振動子１３を底部１９の外側に設置してなる反応槽１２を備える。反応槽１２内は仕切り板１５で上下に区画されている。仕切り板１５の下側の領域は二次処理室１６として用いられ、上側の領域は一次処理室１７として用いられる。一次処理室１７内には、超音波照射によって処理される被処理液体Ｗ１が最初に供給される。二次処理室１６内には、一次処理室１７を通過した被処理液体Ｗ１が通路２６を介して供給される。二次処理室１６内の被処理液体Ｗ１は、超音波を一次処理室１７内の被処理液体Ｗ１に伝播させる媒体として作用する。 （もっと読む）

【課題】 振動型アクチュエータを用いて入力信号に応じた振動を発生させることのできる振動発生装置を提供する。
【解決手段】 ベルト部材（６）と、ベルト部材を支持する第１および第２のプーリ（２、３）と、第１のプーリに連結された振動型アクチュエータ（１）と、ベルト部材を介して振動型アクチュエータの駆動力を受けることによって振動する振動部材（１０ａ、１０ｂ）とを有する。 （もっと読む）

【課題】製造するのが容易で、かつ高い変形率を有するマイクロエレクトロメカニカルシステムを提案する。
【解決手段】マイクロエレクトロメカニカルシステムは梁１と、静電相互作用によって梁に結合された電極１０とを有する。梁は、弾性曲げ変形を受けるように構成され、概ね一定の断面を有している。梁１は、梁の全長Ｌにわたり延び、各々が断面の外側寸法ｗ、ｔよりも小さい厚さを有する４つの平坦な面Ｐ₁〜Ｐ₄からなっている。これによって、梁１の曲げ振動周波数が、同じ外側寸法のソリッドな梁と比較して大きくなる。このようなマイクロエレクトロメカニカルシステムは、非常に短い遷移時間を必要とする用途、すなわち高周波発振器および共振器を製造するのに適している。 （もっと読む）

【課題】 トランスや送波回路を大型化することなくＳＮの改善を図る。
【解決手段】 超音波振動子に対して、トランスＴＡと接続する一方の接続端子から正相の交流電圧を印加し、トランスＴＢと接続する他方の接続端子から逆相の交流電圧を印加する。また、超音波振動子が反射波を受波した場合、超音波振動子の両接続端子に電圧が発生する特徴を活かし、当該超音波振動子の二つの接続端子の各々に発生した電圧の差分を増幅する。これにより、送波と受波の両面でＳＮの改善が図れる。 （もっと読む）

本発明は、変位および／または力を生じるデバイス（アクチュエータと定義される）に関するものである。マグネトメカニカル適応（Magneto-Mechanical Adaptive；ＭＭＡ）材料でできている能動素子に対して、適切な強度および配向の磁場が生成されるように磁場源が配置される。これにより、ＭＭＡ素子を所望どおりに変位させることができる。または、本発明は、振動エネルギーをＭＭＡ素子に吸収し、および／または、振動エネルギーを装置の電力に変換することによって機械的な振動を減衰する装置、および／または、変位、速度、または加速を感知する装置に関する。電気的エネルギーは、熱として消散できるか、装置から導出できる。後者の場合は、装置は、電力生成器として作動する。この装置をセンサーとして使用する原理についても、記載されている。ＭＭＡ材料は、ここでは、磁場または応力がかけられたときに、双晶境界、またはオーステナイト−マルテンサイト界面運動、または磁気歪みに基づいて、寸法の変化する材料として定義されている。 （もっと読む）

【課題】 許容負荷荷重をより大きくできるとともに、装置のコンパクト化も図ることが可能であり、回転モーメントに対する剛性の向上を図ることが可能な超音波浮上装置を提供すること。
【解決手段】 固定部と、上記固定部に対して移動可能に設置された可動部と、上記固定部又は可動部に設けられ超音波振動を発生する振動発生装置と、を具備し、上記振動発生装置が超音波振動することにより上記可動部が浮上面を介して浮上するように構成された超音波浮上装置において、上記振動発生装置が設けられている上記固定部又は可動部の横断面形状が主振動方向に直交する方向に対して対称又は略対称になっていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

圧電微小加工超音波振動子は、基板及び該基板上に形成された第一誘電体薄膜を備える。側壁を有する開口部は、基板及び第一誘電体薄膜で形成される。底部電極は、開口部に亘っている第一誘電体薄膜上に形成される。圧電素子は、底部電極上に形成される。第二誘電体薄膜は、圧電素子を囲んでいる。共形絶縁膜は、開口部の側壁上に形成される。共形導電膜は、底部電極と接触して、そして、開口部の側壁に形成され、開口キャビティは開口部中に維持される。頂部電極は、圧電素子に接触するように形成されている。
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【課題】本発明は製造が容易且つ自己発振及び回転方向が調整可能であって、環境的要因に関係なく常に高効率、高出力動作が可能な圧電超音波モータ駆動装置に関する。
【解決手段】所定形状の金属体と上記金属体の表面に付着する複数の圧電板とを含み、上記複数の圧電板の収縮、膨張によって金属体を回転させる圧電超音波モータにおいて、上記複数の圧電板中所定の圧電板に印加される電気信号を自己発振部を利用して圧電板の電気―機械的共振周波数で発振させることにより電気信号の周波数変動を抑制し、さらに上記自己発振部から所定の圧電板に印加される電気信号をディレイ部を通して＋９０または−９０度で選択的に位相遅延させることによって圧電超音波モータの回転方向の調整を容易にする。 （もっと読む）

【課題】超音波処理プラントを提供する。
【解決手段】超音波処理プラントにおいて使用するダクト（１０）は、耐食性金属層（１４）で内孔がメッキされた円筒形スチールパイプからできている。これは、確実に円形にするために内孔をホーニングすることによって好適に行われ、耐食性の金属でパイプ（１２）の内孔をメッキし、再びパイプの内孔をホーニングして確実に円形にし、耐食性の金属の厚みを軽減し、超音波トランスデューサ（１６）をパイプの外側に結合する。フランジ（２２）がパイプ（１２）の終端部に取り付けられているところでは、パイプの各終端部上で合致して終端部が同一平面になり、パイプ（１２）の外側に溶接される。 （もっと読む）

本発明は、圧電変換器に熱について有利な方法で結合された伝熱要素を有する棒形状の超音波共振器に関する。棒形状の共振器が浴に沈められるとき、伝熱要素は、周囲の空気、または筐体に関する、従って浴に関する熱抵抗を減少する。
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【課題】 本発明は、高精度で、且つ経時的に特性が変わることなく信頼性に優れた振動体を提供することが目的であり、さらには、小型化に適した振動体の製造方法を提供することが目的である。
【解決手段】 基部とこの基部から突出して形成される振動脚とを有する振動体上に電極が形成された振動体の製造方法であって、電極上にフォトリソグラフィー法によってパターニングされた保護膜を形成する工程と、振動体の特に振動脚の一部を除去し、振動脚の重量バランスを釣り合わせることで振動脚の振動モードを調整する工程と、保護膜を溶解して除去することで、同時に振動モードの調整工程で付着した粉塵も除去する工程とを有している。 （もっと読む）

【課題】器具の使用者の関節又は関節領域に振動を与える器具及び方法を提供すること。
【解決手段】本器具は、柔軟な又は硬質の部分又は部材であって、それらの間で結合され、かつ関節の隣接領域に略適合する形状を有する部分又は部材と、硬質の部分又は部材を関節の隣接領域に取り付ける柔軟性部材と、関節に振動を与える振動機構とを備える。本器具は、関節自体に比して関節の周囲領域をより安定に保持することができ、これにより、多数のベクトルに従って振動を起こし、関節及び関節領域の多数の要素に作用し、関節及び関節領域を治療する。 （もっと読む）

基材と圧電ウエハとを含み、該基材は２層構造であり、層間に空気層が形成され、少なくとも４の圧電ウエハが基材の内壁の集束面上に接着され、圧電ウエハの表面が保護層で被覆されている、半自動焦点式高強度ハイパワー超音波トランスデューサ。
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【課題】従来よりも高周波の圧力波を発生可能で、発生する圧力波の周波数をより広い範囲にわたって変化させることが可能な圧力波発生装置を提供する。
【解決手段】支持基板１１の一表面側に多孔質シリコン層からなる熱絶縁層１２が形成され、熱絶縁層１２上に金属薄膜からなる発熱体層１３が形成された圧力波発生素子１と、圧力波発生素子１の一対のパッド１４，１４を介して発熱体層１３へ与える駆動電圧波形を生成する駆動入力波形生成部たる駆動電圧波形生成部２とを備える。駆動電圧波形生成部２は、駆動電圧波形の立ち上がり開始時から立ち下り終了時までの期間と当該期間の駆動電圧波形に応じて発生する圧力波の発生期間とが一致するように、駆動電圧波形における立ち上がり開始時からピーク値到達時までの前半期間を駆動電圧波形におけるピーク値到達時から立ち下り終了時までの後半期間に比べて短くした駆動電圧波形を生成する。 （もっと読む）

【課題】 大型の被洗浄物に対しても全面にわたって充分な強度の超音波振動を印加した洗浄液を供給することができる超音波洗浄装置用振動板を提供する。
【解決手段】 超音波を発振する超音波振動子２１と、超音波振動子２１によって発振される超音波振動が伝播される振動板２２とを含む超音波洗浄装置用振動板２０において、超音波振動子２１の熱膨張係数と振動板２２の熱膨張係数との差が、±１．７×１０^−６／℃以下になるように構成する。 （もっと読む）

本発明は、監視コンピュータによって電気的に制御され、直流電圧源によって供給される、少なくとも、一の超音波型圧電アクチュエータ用の電気制御装置に関する。上記装置は、上記直流電圧を増幅し、充電電流を発生するためのステージに、超音波型圧電アクチュエータの高い励磁周波数で、高い交流電圧信号を配送するステージを含む。上記充電電流（ｉｒ）を発生させるステージは、逆並列配置でフライホイールダイオード（Ｄ）を持つ制御可能なチョッピングスイッチ（Ｐ）に、高い負電圧（Ｖｐ）で充電されたコンデンサ（Ｃｐ）を通して接続された誘導器（Ｌｒ）を有する。上記コンデンサ（Ｃｐ）は、上記アクチュエータ（Ａｉ）の上記充電電流（ｉｒ）と逆に配置されたダイオード（Ｄｐ）と直列に接続される。更に、上記コンデンサ（Ｃｐ）は、上記電極に印加される高い負電圧（Ｖｐ）を一定に保持するダイオード（Ｚｐ）と接続される。
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