【課題】ナノサイズの磁性粒子を所望の形状やサイズで製造する。
【解決手段】有機溶媒での溶解処理で溶解することができるレジスト５１２からなり、ナノサイズの凹凸を有する型５１０を作成し（ステップＳ１０１〜ステップＳ１０２）、ＭＢＥ法によりＣｏの膜とＰｄの膜とを型５１０上に交互に積層して磁性膜５３０を形成し（ステップＳ１０３）、型５１０の凹部内に堆積した磁性膜５３０を、有機溶媒での溶解処理によってレジスト５１２を除去することで取り出すことで磁性粒子２１１を得る。 （もっと読む）

【課題】磁気ディスク等の基板を搬送し、基板処理を施して大量に生産する基板処理システムのスループット及び生産性の向上のため、各処理チャンバにおける処理時間（タクトタイム）を短縮する。
【解決手段】基板搬送装置は、ゲートバルブを介して連結されたチャンバと、前記ゲートバルブを開状態にして前記チャンバ間でキャリアを搬送路に沿って搬送する搬送機構と、前記キャリアが前記チャンバの停止位置に到達する前に前記キャリアを検知するセンサと、前記センサからの検知信号に基づき前記ゲートバルブの閉動作を開始するよう制御する制御器とを有する。 （もっと読む）

【課題】 スパッタリング膜のバラツキを抑制すべく、均一な組織を有するＮｉ合金ターゲット材を製造する方法を提供する。
【解決手段】 （Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ）から選ばれる１種または２種以上を１０〜３０質量％含み、残部Ｎｉおよび不可避的不純物からなるＮｉ合金ターゲット材の製造方法において、前記Ｎｉ合金を溶解鋳造したインゴットを温度８００〜１３００℃、圧下率５０％以上で塑性加工を施した後、８００〜１３００℃で０．５〜３時間の再結晶化熱処理を行うＮｉ合金ターゲット材の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体の面積密度を高くするために、物理的間隔を犠牲にせずに有効磁気間隔を低減するための構成要素および方法を提供する。
【解決手段】磁気記録媒体のヘッド媒体間隔（１０７）またはヘッド・キーパ間隔（１０６）を低減することにより面積密度を高くするための構成要素および方法であって、現在用いられている中間層やオーバーコートなどのデバイスの非磁性構成要素を、常磁性または強磁性の材料を含む構成要素および合成物（１０１、１０２、１０４）で置換する。下地層の結晶組成の核を形成するために磁気媒体内に堆積させる磁気シード層を含む。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体及びその製造方法並びに記憶装置において、磁気記録層の磁性粒子の微細化と保磁力の向上を両立させることを目的とする。
【解決手段】基板の上方に軟磁性層、非磁性シード層、中間層及び磁気記録層が積層された磁気記録媒体において、非磁性シード層は、少なくともＷ又はＣｒの一方を含むＮｉ合金で形成されており、非磁性シード層の成膜時に使用し、且つ、非磁性シード層内に残留する反応ガスのイオンカウントは、成膜時に基板バイアス電圧を印加しないで形成された基準非磁性シード層のイオンカウントの１０倍以上であるように構成する。 （もっと読む）

【課題】磁性結晶粒子の粒径を微細化および粒径の分散を低減させて、良好なＳＮＲ特性を有し、高密度記録が可能な磁気記録媒体を得る。
【解決手段】基板上に下地層、磁気記録層および保護層を設けた磁気記録媒体の下地層として、Ｃｕ，Ｎｉ，Ｒｈ，Ｐｔから選択される少なくとも一種からなる金属層とこの金属層の表面に酸素または炭素を堆積させた堆積層とを設け、この下地層上に磁気記録層を形成することにより、磁気記録層の磁性結晶粒子の粒径を微細化するとともに粒径の分散を低減させ、良好なＳＮＲ特性を有し、高密度記録に適した磁気記録媒体を得る。 （もっと読む）

【課題】軽量化が図られた、作業性の良い枠体を用いた保持治具、該保持治具を用いた記録媒体用ガラス基板の製造方法及び記録媒体の製造方法を提供すること。
【解決手段】ガラス基板を保持する保持治具において、ガラス基板を支持する複数の支持部材と、該支持部材を取り付ける枠体とを有し、該枠体が網状であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】垂直磁性層の高い垂直配向性を維持することを可能とした磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも非磁性基板上に、軟磁性下地層と、直上の層の配向性を制御する配向制御層１１と、磁化容易軸が非磁性基板に対して主に垂直に配向した垂直磁性層とを積層してなる磁気記録媒体の製造方法であって、垂直磁性層を２層以上の磁性層１２〜１４から構成し、各磁性層１２〜１４を構成する結晶粒子が配向制御層１１を構成する結晶粒子と共に厚み方向に連続した柱状晶Ｓ１〜Ｓ３を形成するように各層を結晶成長させる際に、結晶成長させる層の下層に位置する層の表面粗さ(Ｒ_ｍａｘ)を２〜４．５ｎｍの範囲とする。 （もっと読む）

【課題】磁性粒を分離する酸化物の膜を積層して膜厚を増加しても、酸化物の径の増大を抑制でき、磁性粒の粒径分散を改善すること。
【解決手段】基体１０上に少なくとも磁性層の磁性結晶粒子の分離性の制御層として、グラニュラー構造を有する非磁性材料の分離制御層１５、グラニュラー構造を有する磁性材料の結晶配向制御層１６、磁性層１７を順に備え、磁性層１７は分離制御層１５から柱状に連続して成長した磁性粒の間に非磁性の粒界部を形成したグラニュラー構造を有し、結晶配向制御層１６の酸化物のモル分率が、分離制御層１５及び磁性層１７の酸化物のモル分率よりも少ない磁気記録媒体である。 （もっと読む）

【課題】合金の規則化にかかる熱処理温度を低減することを課題とする。
【解決手段】磁気記憶媒体は、高い磁気異方性を有する高磁気異方性材料であるＣｏＰｔまたはＦｅＰｔに、当該高磁気異方性材料よりも低温の熱処理で拡散を開始する低温拡散材料であるＢ元素が添加された第一磁性層膜を有し、当該第一磁性層膜ＣｏＰｔＢまたはＦｅＰｔＢのキャップ層であって、低温拡散材料であるＢ元素の移動を促進させる材料であるＴｉを有する第二磁性層膜を有する。 （もっと読む）

【課題】 補助記録層に起因すると考えられるノイズを低減させてＳＮＲを向上し、更なる高記録密度化を達成することが可能な垂直磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】 上記課題を解決するために本発明にかかる垂直磁気記録媒体１００の代表的な構成は、基体上に少なくとも、柱状に成長した結晶粒子の間に非磁性の粒界部を形成したグラニュラー構造の磁気記録層１２２と、磁気記録層１２２の上に設けられたＲｕと酸素を含む非磁性の分断層１２４と、分断層１２４の上に設けられ基体１１０の主表面の面内方向に磁気的にほぼ連続した補助記録層１２６とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】前下地層１１６の改善を図り、もって下地層１１８および磁気記録層１２２の結晶配向性を向上させることにより、さらなる高記録密度化を図ることが可能な垂直磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】 本発明に係る垂直磁気記録媒体１００の代表的な構成は、基体上に少なくとも、軟磁性を示す軟磁性層１１４と、軟磁性層１１４の上に形成された結晶性の前下地層１１６と、前下地層１１６の上に形成された下地層１１８と、信号を記録する磁気記録層１２２とをこの順に成膜する垂直磁気記録媒体において、前下地層１１６は、第１前下地層１１６ａと、第１前下地層１１６ａの上に形成され結晶粒子が第１前下地層１１６ａより小さい第２前下地層１１６ｂとからなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、このような課題に鑑み、保磁力ＨｃとＳＮＲを維持しつつＯＷ特性を向上させ、更なる高記録密度化を達成することが可能な垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の代表的な構成は、ディスク基体１１０上に、１２８少なくともＮｉ、Ｗ、Ｐｄを含む前下地層１１６と、前下地層１１６上に成膜されたＲｕを含む下地層１１８と、下地層１１８上に成膜されたＣｏ系合金からなり結晶粒子が柱状に成長したグラニュラー構造を有する非磁性グラニュラー層１２０と、をこの順に備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大きな保磁力を持ち、トラック幅の狭化を実現でき、しかもＳＮＲが良い垂直磁気記録媒体を製造する方法を提供すること。
【解決手段】本発明の垂直磁気記録媒体の製造方法は、非磁性基板上に、柱状の磁性粒子間に非磁性の粒界部を有するグラニュラ構造の磁気記録層と、前記磁気記録層の下に配設され、前記磁気記録層の磁性粒子の配向を制御する下地層と、を具備する垂直磁気記録媒体の製造方法であって、キャリアガスに反応性ガスを混合して行う反応性スパッタリングにより、前記下地層を成膜することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 グラニュラー層の皮膜の強度を高めることで信頼性を向上しつつ、高いＳＮＲを確保することが可能な垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明にかかる垂直磁気記録媒体の構成は、ディスク基体１１０上に少なくとも、Ｃｏ系合金からなり結晶粒子が柱状に成長したグラニュラー構造を有するグラニュラー層を備える垂直磁気記録媒体１００において、グラニュラー層（非磁性グラニュラー層１２０、第１磁気記録層１２２ａ、第２磁気記録層１２２ｂ）は、ディスク基体１１０に成膜速度を、低速度から高速度または高速度から低速度のいずれかで変化させて成膜したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】下地層の膜厚を薄くしても良好な磁気特性が得るようにし、磁気ヘッドと軟磁性層間の距離を小さくし、より急峻なヘッド磁界で記録すること。
【解決手段】非磁性基体１上に少なくとも、下地層２と磁気記録層３と及び保護膜４が順に形成された構造を有しており、さらにその上に液体潤滑材層５が形成されている。磁気記録層３は、強磁性を有する結晶粒とそれを取り巻く酸化物或いは窒化物の非磁性結晶粒界からなり、かつ下地層の形成時のガス圧を変化させ、表面層部分を初期層部分よりも高ガス圧で形成した。下地層２の形成方法としては、初期層部分は低ガス圧で成膜し、表面層は初期層部分よりも高ガス圧で成膜する。 （もっと読む）

【課題】 下地層の皮膜の強度を高めることで信頼性を向上しつつ、高いＳＮＲを確保することが可能な垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明にかかる垂直磁気記録媒体の構成は、ディスク基体１１０上に少なくとも、ルテニウムからなる下地層１１８と、Ｃｏ系合金からなり結晶粒子が柱状に成長したグラニュラー構造を有するグラニュラー層（非磁性グラニュラー層１２０、磁気記録層１２２）を備える垂直磁気記録媒体１００において、下地層は、ディスク基体に成膜速度を、低速度から高速度または高速度から低速度のいずれかで変化させて成膜したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マザースタンパの凹凸パターンのトラックピッチが狭くなり高密度化するにつれてレジスト層が薄くなっていき、製造される原盤上の凹凸高さの差が小くなる。この結果インプリント時の転写不足により媒体上のレジストマスクの凹凸パターンに欠損が生じることがある。これを解決するためにパターンの凹凸高さの差を大きくできるスタンパの製造方法を提供する。
【解決手段】マザースタンパ１８上の凹凸パターンの凹部底面１８ａ及び凸部上面に、導電性薄膜１９を、凸部上面の膜厚が凹部底面の膜圧より大きくなるように形成する。その後導電性薄膜表面に剥離層２０を形成し、続いてスルファミン酸ニッケル液に浸漬し、電鋳法を用いて電鋳層２１を形成する。その後、電鋳層をマザースタンパから剥離して第３のスタンパとしてのサンスタンパ２２を複製する。 （もっと読む）

【課題】微細な非磁性無機粉末を用いて下層非磁性層の表面平滑性を向上させ、上層磁性層の表面平滑性及び電磁変換特性に優れる磁気記録媒体、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】非磁性支持体と、非磁性支持体の一方の面上の下層非磁性層と、下層非磁性層上の上層磁性層とを有する磁気記録媒体であって、前記上層磁性層は、強磁性粉末、及び結合剤を含み、前記下層非磁性層は、カーボンブラック、カーボンブラック以外の非磁性無機粉末、及び結合剤を含み、前記下層非磁性層に含まれる結合剤として、スルホン酸金属塩基及び硫酸金属塩基から選ばれる極性基を２００〜２５０ｅｑ／ｔの範囲で有し、且つ、次の条件：測定溶媒：トルエン／ＭＥＫ／シクロヘキサノン＝４０／４０／２０（重量比）、測定溶液濃度：４ｇ／Ｌ、測定温度：３０℃で測定された還元粘度が０．４２〜０．５５であるポリウレタン樹脂が用いられている磁気記録媒体。 （もっと読む）

【課題】記録時の書き込み能力を維持し、垂直磁気記録層の垂直配向性向上と結晶粒径の均一化及び微細化を両立することができ、高密度の情報の記録再生が可能な磁気記録媒体、その製造方法、および磁気記録再生装置を提供する。
【解決手段】非磁性基板１上に少なくとも、軟磁性裏打ち層２と配向制御層３１と磁気記録層５と保護層６とが下から順に設けられた垂直磁気記録媒体１０において、配向制御層３１が、中間層４と、中間層４よりも非磁性基板１側に配置されたシード層３とを含む２層以上の積層構造を有するものであり、シード層３が、面心立方（ｆｃｃ）構造を有する２種類以上の元素を含み、基板面に対して垂直方向に面心立方（ｆｃｃ）（１１１）面結晶配向すると共に擬似六方晶構造を有する磁気記録媒体１０とする。 （もっと読む）