【課題】半導体ウエハの処理作業の効率化及び歩留りの向上が図れる、板材保持容器からの板材出し入れ方法を提供する。
【解決手段】板材保持容器を機械装置に載置する載置工程１０１と、上記機械装置のスライドアームで、上記板材保持容器の多段に積層された各載置トレイのうち処理対象の半導体ウエハの位置する載置トレイの把持部を把持する把持工程１０２と、上記機械装置の連結管を上記処理対象半導体ウエハの位置する載置トレイの吸気孔に取り付ける取付工程１０３と、上記連結管を介して上記載置トレイの載置面を吸引して上記半導体ウエハを当該載置面に吸着する吸着工程１０４と、当該半導体ウエハを吸着した載置トレイの位置で、多段に積層された各載置トレイを切り離す切離工程１０５と、切り離した載置トレイを上記機械装置のスライドアームで支持して分離し処理対象の半導体ウエハの出し入れのために開放する開放工程１０６とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検査基板の反り、歪みに対応して吸着面を上下移動及び傾斜可能な基板吸着機構であって、簡易な構造で、かつ吸着面の初期高さ（上下のストローク量）を容易に調整することが可能な基板吸着機構を提供する。
【解決手段】基板吸着機構５０は、上端部５１ａに開口する収容凹部５１ｂを有するパッド支持部材５１と、上端部５２ａに被検査基板Ｗを吸着する吸着面５２ｂが設けられる吸着パッド５２と、吸着パッド５２の下端部５２ｃに設けられるコイルスプリング５３と、吸引孔５７に挿入されたストッパー６１とを備える。吸着パッド５２には、弾性変形可能なパッキン５９が外嵌されていて、隙間５６を気密に閉塞している。ストッパー６１は、吸引孔５７の縮径部５７ｂの内径よりも大に設定された径の頭部６１ａを有し、軸部６１ｂの先端には、ネジ部６１ｃが形成されているネジである。 （もっと読む）

【課題】 例え基板が薄い場合でも簡単に破損したり、変形して取り出しに支障を来たすのを抑制できる基板収納カセットを提供する。
【解決手段】 カセットケース１の側壁２に支持される複数の棚板２０と、各棚板２０の表面に凹み形成される凹み穴３０と、凹み穴３０を被覆して薄片化された半導体ウェーハＷを着脱自在に密着保持する可撓性の保持層４０と、保持層４０に被覆された凹み穴３０内の空気を外部に排気する排気通路５０とを備える。保持層４０の密着力により半導体ウェーハＷを略平坦に密着支持することができるので、半導体ウェーハＷがバックグラインドにより薄片化されていても、簡単に破損してしまうことがない。 （もっと読む）

【課題】半導体基板や液晶基板（ガラス基板）などの基板と、この基板を水蒸気アニール処理する際に使用するシート状の治具を、自動的に交互に積み重ねることが可能な搬送ロボットを提供する。
【解決手段】基板と、基板の周縁部を覆うように形成されて内側に貫通開口を有するシート状部材（水蒸気アニール用治具）とをそれぞれ把持し、搬送するための搬送ロボット２０であり、基板を吸着把持する基板把持部２３とシート状部材を吸着把持するシート把持部２４とを有する把持ハンド２１と、把持ハンド２１を三次元的に移動させる移動機構２６と、を備える。移動機構２６は、水平軸心ａ２を中心に把持ハンド２１を回転させ把持ハンド２１の向きを変える方向変更機構３０を有する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの損傷を抑制し、パーティクルの発生を防ぐことのできる半導体ウェーハ用吸着パッドを提供する。
【解決手段】体積抵抗値が１Ｅ＋０〜１Ｅ＋１３（Ω・ｃｍ）の熱可塑性樹脂コンパウンドを用いて半導体ウェーハ用吸着パッドを射出成形する。半導体ウェーハ用吸着パッドを、板体１と、板体１上に突出形成される内側リブ１０と、板体１の周縁部に形成されて内側リブ１０を包囲する外側リブ２０と、板体１に穿孔され、内側リブ１０と外側リブ２０との間に連通する吸気孔２とから構成し、ロボットのバキューム装置に接続して半導体ウェーハＷの裏面を吸着保持させる。熱可塑性樹脂コンパウンドの射出により、半導体ウェーハ用吸着パッドにスキン層３０を形成し、このスキン層３０の被覆保護作用により、半導体ウェーハＷの損傷等を防止する。 （もっと読む）

【課題】 高速に基板の中心位置を算出することができる安価なアライメント装置および外観検査装置を提供する。
【解決手段】 投光部２２ａおよび２２ｂは基板の周縁部に光を照射する。受光部２３ａおよび２３ｂは、投光部２２ａおよび２２ｂのそれぞれから照射された光を検出する。記憶部４２は、受光部２３ａおよび２３ｂによる検出の結果と基板の位置とが対応付けられた対応情報を記憶する。アライメント制御部４１は、対応情報を用いて基板の中心位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】吸着板の反りによる面精度の低下をなくして空気漏れによる吸着保持力の低下を防止すると共に、吸着板の製造コストと張り合わせコストが掛からず、吸着補助板の分だけ薄形化及び軽量化し、内部洗浄の容易化と接着剤による汚染の防止を図った真空ピンセットの吸着ユニットを提供すること。
【解決手段】各吸引口８を開口させた吸着面で吸着対象物Ｗをハンドリングする真空ピンセットの吸着ユニット２であって、所望の平面形状で平板状に形成した吸着板本体５の吸着面とは反対の上面側には、上部側の嵌合用溝部７ａと下部側の連通用溝部７ｂで形成した溝穴７を各吸引口８に沿って延在する態様で設け、下部側の連通用溝部７ｂは各吸引口８にそれぞれ連通させると共に、真空圧源に接続する吸引流路１０に連通させ、上部側の嵌合用溝部７ａには弾性シール部材６を着脱可能に装着した。 （もっと読む）

【課題】ウェハの抗折強度の低下を抑制することの可能なウェハ搬送装置を提供する。
【解決手段】ウェハ搬送装置は，ウェハを吸着部により真空吸着して搬送する装置であり，吸着部は，アルミナを主成分とした材料から形成され，気孔率が３４〜４０％である。吸着部の表面における気孔以外の部分の表面粗さＲｙは，５μｍ以下であることを特徴とする。これにより，吸着部のウェハとの接触面における凹凸の高低差が小さくなるため，ウェハに与えるダメージを低減することができる。したがって，吸着部によりウェハを吸引保持する際に発生する，ウェハの抗折強度の低下を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】多孔質体の接合を好適に行わせ、しかも所望とする品質を確保する。
【解決手段】多孔質ユニット１０は、大別してベース体１１と多孔質板１２とを備えている。ベース体１１及び多孔質板１２は同じ熱可塑性樹脂により成形され、前者は緻密質、後者は多孔質となっている。ベース体１１には円形凹部１３と連通孔部１４が形成されている。ベース体１１の円形凹部１３には連通孔部１４を塞ぐようにして多孔質板１２が固着されている。ベース体１１と多孔質板１２とは超音波溶着により接合されている。 （もっと読む）

【課題】接着シートが繰出方向と直交する方向に位置ずれが生じても、そのずれ量を補正して板状部材と接着シートの外形を略一致させて貼付することができる貼付装置を提供する。
【解決手段】半導体ウエハＷを支持する貼付用テーブル２１と、接着シートＳ１を剥離シートＰＳから剥離して半導体ウエハＷに貼付する貼付ユニット２４とを備える。貼付ユニット２４は検出手段６０を含み、当該検出手段６０は、原反Ｌの繰出経路上に配置されて接着シートＳ１の繰出方向と直交する横方向のずれ量Ｓを検出する。ずれ量Ｓが検出されたときは、ずれ量補正装置が作動して貼付用テーブル２１がそのずれ量Ｓに対応した分だけ移動し、これにより、半導体ウエハＷの外形に一致させて接着シートＳ１の貼付を行うことができる。接着シートＳ１は、貼付ロール６１が剥離シートＰＳに接して押圧力を付与することで貼付される。 （もっと読む）

【課題】ウェハ処理工程で使用されるウェハを保持する真空吸着冶具において、ウェハ裏面の中央部にゴミ等の異物が付着せず、ウェハがメンブレン部を持つ場合でも、メンブレン部が破壊しない、又はウェハ処理不良を起こさないウェハの吸着冶具を提供する。
【解決手段】表面の外周部に、円周状に所定の幅で連続した区域に吸着部分２と、該吸着部分２の内側に、円状の中央空間部６とを備え、裏面に備えた減圧管排気口４０と、前記吸着部分２とを連結する吸着冶具内を貫通するウェハ吸着用減圧管４と、裏面に備えた大気開放口３と、前記中央空間部６とを連結する吸着冶具内を貫通する大気開放連通管３０とを備えた真空吸着冶具５であって、ウェハ裏側の外周部のみを真空吸着し、前記中央空間部６の内圧を大気開放する大気開放口３によりウェハ１の歪みを排除し、ウェハ裏面の中央部に触れずに保持する。 （もっと読む）

【課題】搬送アーム、及び装置全体を安価で製造する。
【解決手段】同一円弧上にそれぞれの少なくとも一部が配置されたレチクル搬入部２９からレチクルステージＲＳＴを経由して、レチクル搬入部２９に至るまでのレチクルの搬送を、搬入アーム８２ａ、８２ｂが円弧の中心軸を回転軸として回転軸周りの所定方向の回転運動をするのみで行うことができるので、搬送アーム８２ａ，８２ｂの簡素化を図ることができ、これにより、搬送アーム８２ａ，８２ｂひいては露光装置全体を安価で製造することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 半導体素子等の硬く脆い被搬送物を非接触状態で搬送するとき被搬送物の破損を防止する。
【解決手段】 椀状体１２の開口部１２ａ中央に邪魔板部材１５を設け、開口部１２ａを被搬送物２０に対面させて邪魔板部材１５の背部から気体ａを椀状体１２内に供給し、該気体が被搬送物２０の表面に沿って流れることで邪魔板部材１５と被搬送物２０との間の空間Ｘに発生する相対負圧を利用して被搬送物２０を椀状体１２に非接触で保持させる非接触型搬送装置において、邪魔板部材１５を椀状体１２内部に設けると共に開口部１２ａを被搬送物２０より大面積とし、椀状体１２の周壁部に前記表面に沿う気体流を排出する排気孔１２ｂを設ける。 （もっと読む）

【課題】ウェーハを吸着保持する吸引部を構成する物質の粒子の脱落によるウェーハの損傷を防止できるウェーハ搬送装置を提供する。
【解決手段】ウェーハ搬送装置１を構成する吸引部１００を、炭化珪素粒子の固相焼結によってポーラス状に形成する。結合剤を用いないため、吸引部１００を構成する粒子が不安定な状態で内包されることがなく、粒子がウェーハＷに落下してウェーハＷを損傷させることがない。 （もっと読む）

【課題】装置全体の小型化を図るのに好適な転写装置とその方法、剥離装置とその方法、貼付装置とその方法を提供する。
【解決手段】搬送テーブル８がガラス板Ｇ付きウエハＷを搬送する動作とこの動作に同期してサクションローラ２がその軸心回りに回動することにより、サクションローラ２がウエハＷを剥離し保持し、剥離の完了後に、剥離時とは逆方向に搬送テーブル８がリングフレームＦを搬送する。この動作に同期してサクションローラ２がその軸心回りに剥離時とは逆方向に回動することにより、サクションローラ２に保持されているウエハＷがダイシングテープＴ２を介してリングフレームＦに貼り付けられる。 （もっと読む）

【課題】基板が熱膨張・熱収縮しても、基板を吸着したまま確実に追従することができる基板吸着装置を提供する。
【解決手段】中央部に設けた凹部２１ａと凹部２１ａの底部中央から外部に通じる吸気通路２１ｂと凹部の周囲に設けたボール収納凹部２１ｃとを有するパッド座２１と、大口径円筒部２２ａと大口径円筒部２２ａに連接する小口径円筒部２２ｂから成る弾性体のパッド支持体２２と、つば２３ｂを有する円筒部２３ａから成る帽子状をした、上部周囲に周縁凸部２３ｃと中央に吸気孔２３ｄを設けた吸引パッド２３と、を有する基板吸着装置であって、ボール収納凹部２１ｃにボール２４を収納し、パッド座２１の吸気通路２１ｂ上にパッド支持体２２を立設し、大口径円筒部２２ａの上面に吸引パッド２３を載置し、吸引パッド２３の垂直方向および水平方向の移動を許容するパッド押さえ２５を設けた。 （もっと読む）

【課題】 基板の反りに起因する基板搬送の際の作業者の負担を軽減することができる基板検査装置を提供する。
【解決手段】 制御部４のレシピ５に測定・検査のプログラム（検査を行なう位置や検査内容）の他に、ウエハの反り情報を記憶させる。ウエハの反り情報は、反りの有無、反りの大小、反りが凸状か凹状であるか等である。制御部４はこのウエハの反り情報に基づいて、真空圧のしきい値の変更、内部リトライの追加、真空圧の変更等のウエハの搬送条件を変更する。 （もっと読む）

【課題】 ワークの着脱時間を短縮することが可能なワーク保持方法および保持装置を提供すること。
【解決手段】 チャック１０のエゼクタ部１３ノズル１４内には常時加圧空気が流通しており、吸着室１８内はワークをチャックする前から負圧状態となっている。また、ワークをチャックした後には圧力センサ１６の検出する圧力値に基づいてチャック完了を検出する。また、ワークをアンチャックするときには、開閉弁２３が排出口２２を閉じて排気室３１内の圧力を上昇させ、エゼクタ部１３から吸着室１８内に加圧空気を導入する。 （もっと読む）

【課題】大型化基板に応力を生じさせる撓みを低減するとともに、基板の撓み状態の変化を抑制し、確実に搬送保持して基板の破損を防止できる搬送保持装置および搬送保持方法を提供する。
【解決手段】矩形薄板状の基板１を保持して所定の位置に搬送する搬送保持手段３と、基板１を保持する基板保持手段２とを備え、搬送保持手段３が基板１を所定の撓んだ形状に変化させ、基板保持手段２は基板１の対角状に４箇所あるコーナ部をそれぞれ保持固定する内部角部２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄを有し、かつ、内部角部２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄの対角距離は基板１の対角長よりも短く形成された構成である。 （もっと読む）

【課題】吸引ハンドを用いてウェーハを吸引する際に、吸引開口部とウェーハとの間に形成される間隙から外気とともに塵を吸引してしまい、その塵がウェーハの表面に付着してしまうのを未然に防止できるウェーハ搬送用の吸着ハンド及びウェーハ搬送装置を提供する。
【解決手段】ウェーハ３を吸引ハンド８に形成した吸引開口部１８で吸引しながら搬送するウェーハ搬送装置において、前記吸引ハンド８は、ウェーハ吸引時に吸引開口部１８とウェーハ３との間に形成される間隙１９をウェーハ３に形成された切欠部２０の内側端部２１よりも内側に形成する。 （もっと読む）