【課題】搬送に必要な推力の低減を図り、且つ被搬送物のたわみを抑制することが可能な搬送装置、これを備える塗布システム及び検査システムを提供する。
【解決手段】搬送装置１２は、被搬送物２８の搬送方向Ｘに延びる主面１６ａを有するベース１６と、搬送方向Ｘに延びるガイド部材１８と、ガイド部材１８にガイドされて搬送方向Ｘに移動可能な移動部材２０と、移動部材２０に固定され主面１６ａから間隙を於いて被搬送物２８を保持する保持部材２４と、ベース１６上の搬送方向Ｘにおける一部領域において、搬送方向Ｘに搬送される被搬送物２８に対し気体の吐出及び吸引を行うための気体吐出吸引機構２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板搬送装置及び基板搬送方法において、基板を効率的に短時間で高精度に搬送及び検査すると共に基板搬送装置の設置面積を小さくする。
【解決手段】基板（２）を浮上させる浮上ステージ３と、基板（２）の搬送方向（矢印Ｄ）に一直線状に延びるガイドレール４と、このガイドレール４に沿って互いに独立して移動可能な複数の基板搬送部５，６とを備え、複数の基板搬送部５，６は、搬送方向（矢印Ｄ）の上流側に搬送された基板（２）を受け取ると共にこの受け取った基板（２）を搬送方向（矢印Ｄ）の下流側に搬送する第１基板搬送部５と、この第１基板搬送部５から基板（２）を受け取ると共にこの受け取った基板（２）を搬送方向（矢印Ｄ）の下流側に搬送する第２基板搬送部６とを含む構成とする。 （もっと読む）

【課題】様々な物品をずれることなく固定することができる装置を提供する。
【解決手段】吸着装置１００は、基板１１０を真空吸着する真空チャック１２０と、真空チャック１２０と対になって、基板１１０を挟む吸着補助具１３０とを備えている。吸着補助具１３０は、基板対向面１３１を備えており、基板対向面１３１が、基板１１０の貫通孔１１１を塞ぐ。これにより、吸着装置１００は、貫通孔１１１を有する基板１１０を真空吸着することができる。 （もっと読む）

【課題】 剛性の低下を抑えて吸着力を向上させることによって、半導体ウエハ等の基板を確実に吸着して搬送できる真空ピンセットおよびこれを用いた基板搬送装置ならびに基板処理装置を提供する。
【解決手段】 先端側が二股に分岐した板状体７と、板状体７の先端部および分岐部の各表面の少なくとも３カ所に設けられた、気体を吸引して基板８を吸着するための吸着部３と、分岐部の吸着部３と他の吸着部３とをつなぐ吸引路４と、分岐部の吸着部３と吸引路４を介してつながって気体を吸引するための吸引部５とを備えてなる真空ピンセットにおいて、分岐部の吸着部３と吸引部５とをつなぐ吸引路４の断面積が、分岐部の吸着部３側よりも吸引部５側の方で大きい真空ピンセット１である。吸引に掛かる抵抗が小さくなり、吸引路４の容積が大きくなることから、吸着力が向上し基板８を確実に吸着することができる。 （もっと読む）

【課題】 搬送中に板状物を落下させることのない板状物の搬送装置を提供することである。
【解決手段】 板状物を保持する保持機構と、該保持機構を第１位置と第２位置との間で移動可能な移動機構とを備えた板状物の搬送装置であって、前記保持機構は、固定プレートと、該固定プレートに取り付けられた板状物吸着部材と、該板状物吸着部材に吸引力を付与する真空吸引手段と、それぞれ板状物の下面を保持する保持位置と、該固定プレートの外周方向に退避する退避位置との間で該固定プレートに回動可能に取り付けられた複数の保持部材と、前記各保持部材を前記保持位置と前記退避位置との間で移動させる駆動手段と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】支持体に積層された基板の枚数が少なくなっても確実に基板を１枚ずつ搬出することができる分離装置及びこの分離装置を備え、基板の検査を容易に行うことが可能な基板の検査装置を提供する。
【解決手段】複数の基板Ｗが積層状態で支持された支持体２０から、基板Ｗを１枚ずつ分離して搬出する分離装置１０であって、支持体２０に対して基板Ｗの積層方向に相対移動可能とされるとともに、基板Ｗの表面に吸着して基板Ｗを保持する吸着ヘッド３０と、積層された基板Ｗの側面に向けてエアを噴出して積層された基板Ｗの一部を浮上させて分離するエア分離機構４０と、支持体２０に積層された基板Ｗの数量が一定量以下となったことを検知する数量検知部２７と、数量検知部２７の検知結果に応じてエア分離機構４０からのエア噴射状態を調整するエア分離機構制御部１３と、を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】温度センサを自己加熱によりヒータとしても動作させる超小型で高速応答の安価なヒータ兼温度センサ素子を提供する、この素子を用いた高速で高感度の気流センサを提供する、この気流センサを真空パッドに適用して高速応答にする。さらに、これらを用いた気流検知装置を提供する。
【解決手段】基板から熱分離したカンチレバ状の薄膜にヒータ兼温度センサを形成し２端子とする。そのチップ寸法を１ｍｍ角程度の超小型化する。気流センサとして気流の流入口近傍の微小空間にヒータ兼温度センサ素子を取り付ける。これを真空パッドに適用し、素子を吸着パッド付近に取り付ける。内側と外側に導電膜を形成した導電膜付チューブを提供して電源回路などを有する本体と気流センサとの間の煩雑なワイヤ線を不要にする。更にこの気流センサを用いて、少なくとも増幅回路、演算回路、制御回路を有するコンパクトな気流検知装置とする。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの研削後における研削面を平坦にすることのできる吸着部の調整方法を提供する。
【解決手段】ウェーハ（４０）を吸着する吸着部（２６）と、吸着部に吸引力を生じさせる真空手段（３６）と、吸着部に吸着されたウェーハを研削する研削手段（２８Ａ）とを備えた研削装置の吸着部を調整する調整方法において、真空手段を駆動し、吸着部に目詰まり材を供給し、それにより、目詰まり材によって吸着部を目詰まりさせ、研削手段により吸着部を研削する。目詰まり材を供給する代わりに、吸着部を予備研削することにより生じた研削屑を使用してもよい。 （もっと読む）

【課題】搬送アームに吸引保持パッドを支持するための支持手段を構成する複数の支柱が吸引保持パッドから離脱したことを検出する機能を供えたウエーハの搬送装置を提供する。
【解決手段】下面にウエーハを吸引保持する吸着面を有する吸引保持パッドと、吸引保持パッドを一端部に支持する搬送アームと、搬送アームの一端部に吸引保持パッドを懸垂状態で支持する支持手段とを具備し、支持手段は上端部に係止部を備え搬送アームの一端部に設けられた複数の挿通穴にそれぞれ挿通して配設され下端が吸引保持パッドの上面に接合される複数個の支柱と、複数個の支柱にそれぞれ遊嵌され該吸引保持パッドと搬送アームを離反する方向に附勢する複数個のコイルばねとからなっているウエーハの搬送装置であって、支持手段の複数個の支柱が吸引保持パッドから離脱したことを検出する支柱離脱検出手段を具備している。 （もっと読む）

【課題】接着シートとセパレータの少なくとも２層構造からなる原接着シートを基板に貼り付けた後、基板形状に原接着シートを切断する際に、余剰部分の原接着シートの切断縁部分と基板に貼り付けられた原接着シートの基板外周縁が再付着することを防止する。
【解決手段】貼付けテーブル２０を昇降可能に機台５８上に配設し、貼付けテーブル２０を基板載置テーブル４０と、基板載置テーブル４０の外周側に適宜な間隔を在して配置され、基板載置テーブル４０に対して上昇可能な外周テーブル４２とから構成するとともに外周テーブル４２の上面に吸引凹溝４１を形成し、基板Ｗに貼付けられた原接着シート４３の切断時に吸引凹溝４１内に作用させた吸引力によって切断途上の原接着シート４３の切断縁付近を吸着し、切断後、外周テーブル４２を基板載置テーブル４０から上昇させることにより原接着シート４３の切断縁部分を基板外周縁から分離するようにする。 （もっと読む）

【課題】製造コストを大幅に低減し、さらに多孔質体からなる載置部と支持部との接合強度を高めて、洗浄時の破損を防止する。また、載置部の多孔質体内に残留した研削屑や脱落砥粒等の汚染物質の十分な除去洗浄を可能とする。
【解決手段】凹部が設けられたセラミックス緻密質焼結体からなる支持部と、セラミックス粉末とガラスから構成された多孔質体の載置部とからなり、前記セラミックス粉末がガラスにより結合されて多孔質体が得られるとともに、前記多孔質体のガラスにより該多孔質体と前記支持部とが接合されて、前記凹部に多孔質体の載置部が形成されてなる真空吸着装置であって、前記載置部と前記支持部との接合界面が実質的に隙間なく一体的に焼成されてなることを特徴とする真空吸着装置。 （もっと読む）

弱衝撃性の薄い結晶板、特にガラス板（１１）を水平位置から所定の垂直位置に汚すことなく運搬するための方法及び装置が開示される。前記方法及び装置は、下記の特徴を有する：ａ）運搬フォークの横支柱（６）が、ガラス板（１１）を保持するためにガラス板の下に配置され、横支柱（６）は、それに垂直に取り付けられた吸引ヘッド支持支柱（７）が取り付けられ、その上面に分布してローラ間の空間の中を通る吸入ヘッド（８）を有し；ｂ）吸引ヘッド（８）は、ガラス板（１１）の底部側に近づいて、その吸引部（１５）は吸気によってガラス板（１１）に接触され；ｃ）ガラス板（１１）は、微調整の後、設置装置（１２）に入る。コンピュータプログラム及び関連のプログラムコードを含む、コンピュータ読取可能な媒体も開示される。 （もっと読む）

第１の平面（Ｆ）に沿って電子回路のプレート（１１）を供給する供給ベルト（１２）と、上記供給ベルト（１２）の少なくとも一方の側に沿って位置決めされ、上記供給ベルト（１２）によって供給された上記電子回路のプレート（１１）が品質等級にしたがって分類される収集ボックス（１６）と、上記電子回路のプレート（１１）をそれぞれの収集ボックス（１６）に位置決めするために、上記供給ベルト（１２）と協働して配置されている１つ以上の除去ステーション（１３）とを備える、上記電子回路のプレート（１１）を保管するための自動保管装置（１０）および方法。上記保管方法（１０）は、上記供給ベルト（１２）の少なくとも一方の側に沿って配置された少なくとも２列の収集ボックス（１６）と、充填された収集ボックス（１６）を排出し、充填される新たな収集ボックス（１６）を位置決めするための、上記収集ボックス（１６）と関連した移動ユニット（１７）とを備える。 （もっと読む）

【課題】ウェーハを、凹部が形成された裏面を露出した状態に全面載置型のスピンナテーブルに保持して洗浄した後に、該ウェーハを安全、かつ確実に取り上げて所定の搬送先に円滑に搬送する。
【解決手段】スピンナテーブル７１に保持して洗浄したウェーハ１の環状凸部５Ａをウェーハ取り上げ機構９０の吸着パッド９４で吸着して取り上げ、次いで、露出した表面側を搬送ロボット２３のロボットピック２３ｃで受け取って吸着、保持し、搬送ロボット２３を作動させてウェーハ１を回収カセット２２Ｂ内に移送して収容する。 （もっと読む）

【課題】無電力の場合でも真空状態を保ち続ける真空保持設備を提供する。
【解決手段】第１電磁弁１４の一端は、吸気ポート１１に接続し、他端は真空生成器１３のガス入口１３１に接続しており、電力により動作するとき、ガスが第１電磁弁１４を流れ、真空生成器１３のガス入口１３１に入り、真空出力を生成する。第２電磁弁１５の一端は、吸気ポート１１と真空生成器１３の真空出口１３３と並列的に接続し、他端は出力ポート１２に接続しており、それを操作して出力ポート１２をガス出力または真空出力とすることができる。また、切り替えスイッチ１６の一端は吸気ポート１１に接続し、他端は真空生成器１３に接続し、正常な操作のときには切り替えスイッチ１６を閉じ、突発的な電力のない状況が発生した場合に切り替えスイッチ１６を開き、ガス源がこの通路を介し真空生成器１３に供給され、真空を生成し続け、ウェハの吸着を継続する。 （もっと読む）

【課題】リング状補強部を有するウエーハを搬送する場合に、ウエーハの割れを防止可能なウエーハ搬送方法を提供する。
【解決手段】凹部を囲繞する外周余剰領域にリング状補強部を有するウエーハを、少なくとも上下移動及び旋回運動可能な作動アームと、作動アームの先端に弾性部材を介して取り付けられた吸着パッドとを有する搬送装置により、チャックテーブルから他のチャックテーブル若しくは他のウエーハ搬送装置に受け渡すウエーハ搬送方法において、ウエーハのリング状補強部の厚さと該ウエーハに貼付された保護テープの厚さを合わせた総厚を算出する工程と、チャックテーブルの高さに該総厚を加算して吸着パッド押し込み開始点を算出する工程と、吸着パッドでチャックテーブル上のウエーハを吸着する際、吸着パッドがウエーハのリング状補強部に接してから作動アームを所定距離押し込む押し込み工程と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】分断システムに対するガラス基板の供給をとぎれることなく能率よく供給する。
【解決手段】分断システムの板ガラス供給側に、実入りパレットＰを多段に搭載した移動ラックＥ、荷受けしたパレットを前後方向に走行させるコンベヤとからなる中間受け渡し装置Ｊ、昇降床上のコンベヤ１４から実入りパレットＰを乗り移らせる下段コンベヤ２５と空のパレットを乗り移らせる上段コンベヤ２４からなる上下二段コンベヤ、さらに空のパレットを送り込むリフト２６付コンベヤ２７及び吸引荷受け手段Ｌ付の移載機Ｍを並べて、逐次ガラス基板を連続供給する。 （もっと読む）

【課題】基板上に液状体を安定して塗布することが可能な塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】基板の浮上高さを制御するためのエア噴出機構及び吸引機構と、エア噴出孔から噴出されるエアの噴出圧が一定になるように、当該噴出圧を制御するＡＰＣとが設けられているので、基板の浮上量を一定に制御することができる。これにより、気体供給設備の気体供給量が不安定な場合であっても、基板の浮上量が変化することはなく、安定してレジストを基板上に塗布することができる。 （もっと読む）

【課題】常に一方の面を支持して搬送しながらも、その一方の面（被支持面）の検査作業を能率的に行える板状体検査設備を提供する。
【解決手段】搬送装置10による板状体Ｇａの搬送経路１中で、目視検査部Ｂに対向する部分に、昇降動手段41と反転動手段51を設けた。昇降動手段は、搬送面１Ａの下方に位置する昇降体42と、昇降装置46と、搬送面に対して出退動自在として昇降体に設けた板状体持ち上げ体47とにより構成した。反転動手段は、幅方向１Ｗに移動自在な移動体52と、移動体の下部に連動した横移動装置55と、移動体の上部に、横軸心63Ａの周りに回動自在に設けた回動体61と、回動体の回動装置65と、回動体が水平状姿勢のときに下面61Ａ側に位置する板状体保持装置71とにより構成した。回動装置は、板状体保持装置が搬送経路の搬送面に対向して位置する水平状姿勢と、板状体保持装置が搬送面に対して起立状に位置する傾斜状姿勢との間で回動体を回動すべく構成した。 （もっと読む）

【課題】処理装置の搬出部から薄板を引き出す際における薄板のたわみを十分に抑えつつ、浮上搬送装置の搬送効率を高めること。
【解決手段】装置本体９の前端側及び後端側に薄板Ｗを搬送方向へ搬送する複数の搬送ローラ１１が搬送方向に沿って間隔を置いてそれぞれ設けられ、装置本体９における前後方向の中央側に薄板を浮上させるセンタ浮上ユニット３９が設けられ、装置本体９におけるセンタ浮上ユニット３９の前側及び後側にのみ薄板Ｗを浮上させるサイド浮上ユニット４３が設けられ、サイド浮上ユニット４３は、通常の浮上力を発揮する通常浮上力状態と通常の浮上力よりも低い浮上力を発揮する低浮上力状態とにセンタ浮上ユニット３９と独立して切り替え可能に構成した。 （もっと読む）