【課題】微動ステージの駆動に寄与する電機子コイル１つあたりの発熱を抑制する。
【解決手段】粗動ステージに設けられた４つの電機子コイル５６Ａ〜５６Ｄそれぞれと、これに対応する微動ステージＷＦＳ１に設けられた磁石ユニット５２Ａ〜５２Ｄとが協働して発生する各駆動力の合力を、微動ステージに作用させることができるので、電機子コイル１つあたりで消費される電流を抑制することができる。これにより、電機子コイル１つあたりの発熱を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】加減速移動時における板状部材の変形を抑止することができるステージ装置、それを用いた露光装置を提案する。
【解決手段】ステージ装置ＲＳＴは、保持面ＲＨに板状部材Ｒを保持しつつ保持面ＲＨに沿った所定方向Ｙに移動する移動体２２と、保持面ＲＨに保持された板状部材Ｒを所定方向Ｙに沿って付勢する付勢部１６，１７と、付勢部１６，１７による板状部材Ｒへの付勢力を制御して移動体２２の加減速移動に伴う板状部材Ｒの変形を抑止する付勢力制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】θテーブルの回動動作を安定的かつ精密に制御できることを課題とする。
【解決手段】ステージ装置１０Ａは、定盤２０の上を移動するステージ３０と、ステージ３０上に載置されたθテーブル４０とを有する。ステージ３０は、Ｙ方向に移動するＹステージ３６と、Ｙ方向と直交するＸ方向に移動するＸステージ３８とを有する。Ｘステージ３８の上面からはピボット軸８０が垂直に起立している。このピボット軸８０は、図示しないネジによってＸステージ３８にネジ止めされる。このピボット軸８０の上端には、軸受８２が取り付けられており、この軸受８２によって、θテーブル４０とピボット軸８０とが軸支され、θテーブル４０がθｚ方向に回動可能にされている。また、θテーブル４０の下面から垂下方向に延在する４本の支柱６０と、各支柱６０の下端に設けられるエアパッド７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】ベース部材に凹部が存在している場合でも、不測の挙動を示すことを抑制する。
【解決手段】第一部材の第一面１０Ａに形成された溝部１４の内側に設けられた第一流体吹出部１１と、溝部１４とは異なる第一面１０Ａ内の領域に設けられた第二流体吹出部２１Ａ、２１Ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】基板あるいはパターニングデバイスを支持する支持体のための改善された磁石アセンブリを提供すること。
【解決手段】第１方向に延在する強磁性部材、第１方向に相互に隣接して配置されかつ強磁性部材上に取り付けられた逆極性の磁極アレイを含み、磁極アレイの磁極が強磁性部材に向かって発散する磁場を作り出すように配置された複数の永久磁石を含む磁石アセンブリに関する。磁石アセンブリにおいては、磁極の各永久磁石は、第１方向にあるノンゼロ成分と第１方向に対して実質垂直な第２方向にあるノンゼロ成分とを有する磁気分極を備えている。 （もっと読む）

【課題】 大型化した板材を高品質な状態で搬送できる搬送装置がない。
【解決手段】 立てられた状態の板ガラス２の下端を支持して搬送するベルトコンベア２１と、この立てられた状態の板ガラス２の面の全体に流体圧を作用させて板ガラス２を構造物と非接触の状態で支持する流体ガイド８と、この流体圧を制御する制御装置４３とを具備させることにより、板ガラス２を縦向きの状態にし、その面は流体によって非接触で支持して、板ガラス２の表面の高品質を保ちながら、大型化した板ガラス２を安定して搬送できるようにする。 （もっと読む）

【課題】本発明はθテーブルの回動動作を安定的且つ精密に制御できることを課題とする。
【解決手段】ステージ装置１０Ａは、定盤２０と、定盤２０の平面上を移動するステージ３０と、ステージ３０上に載置されたθテーブル４０とを有する。ステージ３０は、Ｙ方向に移動するＹステージ３６と、Ｙ方向と直交するＸ方向に移動するＸステージ３８とを有する。Ｘステージ３８とθテーブル４０との間には、θテーブル４０をθｚ方向に回動可能に支持するピボット軸８０と、ピボット軸８０を回転可能に軸承する軸受８２とが設けられている。一対のθリニアモータ７４は、上方からみるとピボット軸８０を中心に対称となる位置に平行に設けられている。そのため、一対のθリニアモータ７４は、コイルユニット７８に通電することによりピボット軸８０を中心とする偶力を発生させてθテーブル４０を側面からθｚ方向に回動させる。 （もっと読む）

【課題】本発明はθテーブルの回動動作を安定的且つ精密に制御できることを課題とする。
【解決手段】ステージ装置１０Ａは、定盤２０と、定盤２０の平面上を移動するステージ３０と、ステージ３０上に載置されたθテーブル４０とを有する。Ｘステージ３８とθテーブル４０との間には、θテーブル４０をθｚ方向に回動可能に支持するピボット軸８０と、ピボット軸８０を回転可能に軸承する軸受８２とが設けられている。一対のθリニアモータ７４は、上方からみるとピボット軸８０を中心に対称となる位置に平行に設けられている。また、θリニアモータ７４は、マグネットヨーク７６がθテーブル４０の側面と同一高さとなるように支持部７９により支持されており、且つ支持部７９が定盤２０より側方に離間した床面上に起立されているため、θテーブル４０をθｚ方向に回動させる際の反力が支持部７９を介して床面に伝播される。 （もっと読む）

【課題】平面プレートに偏荷重が加わっても、揺れが生じることのないＸＹθ移動ステージを提供すること。
【解決手段】ワーク９を保持するプレート６を有し、プレート６がプレート面において直交するＸＹ方向および上記プレート面に対して直交する軸の周りのθ回転方向に移動可能なＸＹθ移動ステージにおいて、ステージベース１と、ステージベース１に固定され、移動磁界を発生する磁極を有する推力発生手段２と、ステージベース１に固定された３個の基準支持部材３と、ステージベース１に固定された１個以上の補助支持部材４とを備え、プレート６は、３個の基準支持部材３および１個以上の補助支持部材４によって支持されると共に、ワーク９を保持する面とは反対側の面に、碁盤目状の凸極が形成された平面状のプラテン８が設けられ、推力発生手段２により駆動されることを特徴とするＸＹθ移動ステージである。 （もっと読む）

【課題】多軸方向への広域移送および超精密位置の制御が可能な磁気浮上方式の広域ステージ装置を提供する。
【解決手段】磁気浮上方式のステージ装置は、水平面を形成する支えプレート（１１）を具備した下部移送台（１０）と、前記支えプレート（１１）の上面に設置されて電磁界を発生させるコイル・モジュールアレイ（２０）と、前記下部移送台（１０）の上側で浮上および移送されるステージ（３０）と、前記ステージ（３０）の下面に複数個の永久磁石（４１，４２）が配列設置されている永久磁石アレイ（４０）から構成される。前記コイル・モジュールアレイ（２０）が支えプレート（１１）上面のコイル・モジュール（２１）複数個で構成されるが、隣接したコイル・モジュール（２１）間のコイルの巻線方向が直角になるように前記コイル・モジュール（２１）が互いに直交して将棋盤のます目状の形態で配置される。 （もっと読む）

【課題】本発明はワークの大型化に対応すると共に、輸送時の可搬性を高めることを課題とする。
【解決手段】ステージ装置１０は、ワークを搬送する搬送機構２０と、搬送機構２０を支持する搬送架台３０と、搬送架台３０を下側から支持し、ワークに対する所定の処理を行なう処理部を搬送架台３０の上方に支持する支持架台４０とを有する。ステージ装置１０では、搬送架台３０と支持架台４０とを組み合わせることで架台が組立られ、搬送機構２０が搬送架台３０上に設けられる構成である。搬送機構２０は、搬送架台３０の両側に一対設けられており、平板状のワークの両側を把持する把持部２１を有するスライダ２２と、スライダ２２を搬送方向（Ｙ方向）にガイドするガイドレール２４と、スライダ２２をＹ方向に移動させるリニアモータ２６とを有する。 （もっと読む）

【課題】レチクルマスキングデバイスなどの可動部品に対して、改良型の案内機構を提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、レチクルマスキングデバイスのマスクブレードＭＢのような可動構造を案内する案内機構、可動構造に接続された可動部品ＭＯ、および可動部品を案内するほぼ静止した部品ＳＴを含む。可動部品は、可動部品と静止部品の間のギャップに気体を注入するノズルＮｘを含み、静止部品から可動部品への気体の非接触供給は、静止部品の気体供給出口ＧＳＯおよび可動部品の気体供給入口によって提供される。気体供給出口は、静止部品の気体供給出口に面する可動部品の表面に入口溝ＩＴを含み、溝は、可動部品の運動方向に平行に配向される。可動部品は、モータ駆動部品、および可動構造に面していないモータ駆動部品の端部に接続された釣り合い錘部分を含む。 （もっと読む）

【課題】被検査基板の反り、歪みに対応して吸着面を上下移動及び傾斜可能な基板吸着機構であって、簡易な構造で、かつ吸着面の初期高さ（上下のストローク量）を容易に調整することが可能な基板吸着機構を提供する。
【解決手段】基板吸着機構５０は、上端部５１ａに開口する収容凹部５１ｂを有するパッド支持部材５１と、上端部５２ａに被検査基板Ｗを吸着する吸着面５２ｂが設けられる吸着パッド５２と、吸着パッド５２の下端部５２ｃに設けられるコイルスプリング５３と、吸引孔５７に挿入されたストッパー６１とを備える。吸着パッド５２には、弾性変形可能なパッキン５９が外嵌されていて、隙間５６を気密に閉塞している。ストッパー６１は、吸引孔５７の縮径部５７ｂの内径よりも大に設定された径の頭部６１ａを有し、軸部６１ｂの先端には、ネジ部６１ｃが形成されているネジである。 （もっと読む）

【課題】スループット良く且つ高精度で試料の欠陥の検出が可能な基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置１は、真空状態のワーキングチャンバ３０と、Ｌ_aＢ_６電子源を備えた電子光学装置７０と、ワーキングチャンバへウェーハを搬出入するローダハウジング４０と、ワーキングチャンバに接続され、内部が雰囲気制御されているミニエンバイロメント装置２０と、を備える。ローダハウジング４０は、ミニエンバイロメント装置２０に接続する第１のローディングチャンバと、ワーキングチャンバに接続する第２のローディングチャンバと、第１及び第２のローディングチャンバの間の連通を選択的に阻止する第１のシャッタ装置２７と、第２のローディングチャンバとワーキングチャンバとの間の連通を選択的に阻止する第２のシャッタ装置４５と、を備え、第１及び第２のローディングチャンバには各々真空排気配管と不活性ガス用のベント配管とが接続される。 （もっと読む）

【課題】従来の静圧スライダでは、可動体の駆動中心と可動体を連結している支持体を含めた可動部の重心位置とが異なるため、位置決めの際に大きな振動を発生させやすく、高精度に位置決めすることができないという課題があった。また、可動体の傾きにより、固定体とのかじりが発生する課題があった。
【解決手段】略平行に配置された一対の固定体１と、各固定体１に囲繞して配置され、固定体１に沿って移動する一対の第１可動体２と、該一対の第１可動体２を連結する支持体３と、を備え、前記支持体３の少なくとも一端に、固定体１に対する第１可動体２の傾斜角度を検出する検出手段１２と、該検出手段１２により検出された傾斜角度に対応して第１可動体２の傾斜角度を調整する調整手段１１を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】より高精度な検査面の位置を保つ基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板１０１を検査する基板検査装置において、水平方向に移動するＸＹステージ１２１と、ＸＹステージ１２１上に配置され、上下方向に移動するＺステージ１０３と、Ｚステージ１０３を３箇所で上下方向に移動させる圧電素子を有する３つのアクチュエータ機構１０７ａ、１０７ｂ、１０７ｃ、およびＺステージ１０３を支持する弾性ヒンジ１０８を備えた。また、Ｚステージ１０３上には基板１０１の中心を仮想中心軸として回転方向に移動するθステージ１０６が配置され、直線方向に移動するロッド３０８と、ロッド３０８に接続され弾性変形しながらθステージ１０６を回転させる弾性部材１１３とを備える。 （もっと読む）

【目的】検査処理時間を短縮させる基板検査装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様の基板検査装置１００は、基板１０１を検査する基板検査装置１００において、水平方向に移動するＸＹステージ１２１と、前記ＸＹステージ１２１上に配置され、上下方向と回転方向に移動するＺ・θステージ１２２と、基板１０１の検査面の高さ位置が、Ｚ・θステージ１２２の重心高さ位置に配置されるように基板１０１を保持する保持具１０２と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可動部の温度を高精度に制御し得る駆動ステージ装置を提供する。
【解決手段】駆動ステージ装置１は、ベースプレート２と、ベースプレート２の上面を移動するステージ３と、ステージ３を駆動する駆動部４と、ベースプレート２及びステージ３の間で熱を移動させる伝熱手段５と、ステージ３を温度制御するための制御手段６とを備えている。制御手段６は、決定した使用温度範囲において熱輻射によって移動する熱を求めるための熱輻射関数に熱伝導関数が近似するように、実測に基づいて予め求めた熱伝導関数の比例係数を用いるため、この比例係数を含む熱伝導関数は熱輻射関数と近似されるものとなる。これにより、絶対温度の４乗に比例する熱輻射関数が温度に比例する熱伝導関数に置き換えられ、可動部の温度を高精度で制御することができる。 （もっと読む）

【課題】１つの装置として昇降動と水平方向の回動を可能としたステージ装置。
【解決手段】基板を載置するステージ７と、このステージ７を上下方向（Ｚ軸方向）に移動せしめるべくベース１に対し取り付けられたボールネジ機構２と、前記ベース１に対し水平方向（θ方向）に回転可能に支持された回転体３と、この回転体３に取り付けられるとともに前記ステージ７の軸の昇降動をガイドする第１のエアスライド５と、この第１のエアスライド５を囲むようにベース１に取り付けられた環状リニアモータコイル８と、この１つの環状リニアモータコイル８に沿って移動可能に係合し前記ボールネジ機構２のナット部を回転せしめるＺモータマグネット９と、前記環状リニアモータコイル８に沿って移動可能に係合し前記回転体３を回転せしめるθモータマグネット１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】位置決めを簡単な構成で行なえるステージ装置を提供する。
【解決手段】Ｙステージ１２の前端中央には、光検出器３２が取り付けられている。また、ガントリ部１４の中間位置にはレーザ光を光検出器３２に照射するレーザ発光器３４が取り付けられている。光検出器３２とレーザ発光器３４とは、Ｙ軸に対する位置ずれを計測する計測手段を構成しており、Ｙステージ１２が基準位置にあるときレーザ発光器３４から出射されるレーザ光の光軸がＹステージ１２の移動方向（Ｙ方向）と一致するように設けられている。光軸位置検出部は、第１乃至第４の受光部から出力された検出信号を比較して光強度分布から光軸の直交する方向への位置ずれ量を検出する。また、光軸位置検出部は、光検出器３２の中心とレーザ発光器３４のＹ方向光軸との相対位置が一致するとＹステージ１２が基準位置にあることを検出する。 （もっと読む）