【課題】減圧雰囲気下のチャンバー内で作業を行う産業用ロボットにおいて、当該産業用ロボットのアームを駆動するためのアーム駆動用モータの冷却を確実にかつ効率的に行う。
【解決手段】産業用ロボット１において、アーム部３と、アーム部３近傍に配置され、アーム部３を動作させるための駆動源６が収納された収納室４と、を有し、アーム部３及び収納室４が減圧雰囲気下のチャンバー内に設置され、収納室４内には駆動源６を冷却する局所冷却機構が備えられている。そして、局所的な冷却は、例えば、圧縮空気が流通可能なアルミパイプをアーム駆動用モータの周囲に巻回し、このアルミパイプに圧縮空気を流通させることによって行う。 （もっと読む）

【課題】事前に張力、またはロードをかけたガスベアリングを小さな寸法で実現する。
【解決手段】ガスベアリングを備えたリソグラフィ装置において、ガスベアリングは、第１ベアリング表面を画定する第１ベアリング部分と、第２ベアリング表面を画定する第２ベアリング部分とを有する。第１ベアリング表面と第２ベアリング表面の間にはギャップがある。ガス供給デバイスがギャップにガスを供給する。第１ベアリング部分は少なくとも部分的に強磁性であり、第２ベアリング部分は、ガスベアリングに事前に張力をかける第１ベアリング部分と相互作用する少なくとも１つの永久磁石を有する。 （もっと読む）

【課題】塵埃や振動の影響を受けて損傷してしまうこと無く基板を基板収納容器から搬入出可能な基板搬入出装置及び基板の搬入出方法に提供する。
【解決手段】基板搬入出装置１は、間隔を有して設けられた複数の支持ワイヤ４で構成された棚５が上下方向に複数設けられた基板収納容器２と、搬入出方向Ｘに基板Ｗを進退させることが可能な搬送手段１０と、搬送手段１０を基板収納容器２に対して相対的に昇降させることが可能な昇降手段６と、基板収納容器２の棚５の支持ワイヤ４の間で、上下方向に進退可能に設けられ、搬送手段１０によって棚５の上方に搬送された基板Ｗを搬送手段１０から持ち上げることが可能な基板支持手段２０とを備えている。搬送手段１０は、基板Ｗを載置可能な搬送部材１１と、搬送部材１１を搬入出方向Ｘに進退可能に支持する支持部１２、１３と、搬送部材１１を搬入出方向Ｘに進退させる駆動部１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】微動ステージの駆動に寄与する電機子コイル１つあたりの発熱を抑制する。
【解決手段】粗動ステージに設けられた４つの電機子コイル５６Ａ〜５６Ｄそれぞれと、これに対応する微動ステージＷＦＳ１に設けられた磁石ユニット５２Ａ〜５２Ｄとが協働して発生する各駆動力の合力を、微動ステージに作用させることができるので、電機子コイル１つあたりで消費される電流を抑制することができる。これにより、電機子コイル１つあたりの発熱を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液晶表示パネル製造工場や、半導体製造工場等のクリーンルームで使用される無人搬送台車において、その上部からのパーティクルの発生を防止した開閉扉を備えた無人搬送台車を提供するものである。
【解決手段】クリーンルーム内に設置され、側面にスライド式扉装置４が設けてあり被搬送物を搭載して装置間に被搬送物を搬送する無人搬送台車１０において、
前記スライド式扉装置４を、無人搬送台車１０の下部に設けた駆動部によって開閉移動させられる扉５、６、７、８と、この扉５、６、７、８の上部を案内するレール体１２と、前記扉５、６、７、８の上部とレール体１２との間に同一極性を対抗させて磁性体３１、３２、３３、３４を配置した構成を有する保持装置３５とで構成としたことを特徴とする無人搬送台車。 （もっと読む）

【課題】 走査露光時のステージ走査により発生する構造体や鏡筒定盤の変位や振動を無くし、露光装置トータルのスループットや露光精度を向上させる。
【解決手段】 個別に移動可能な複数のステージと、前記複数のステージを駆動する電磁アクチュエータと、を有し、前記電磁アクチュエータは、固定子１つに対し複数のステージにそれぞれ接続された複数の可動子を有し、前記複数のステージの少なくとも１対の間は実装手段でつながれていることを特徴とするステージ装置。 （もっと読む）

【課題】多軸方向への広域移送および超精密位置の制御が可能な磁気浮上方式の広域ステージ装置を提供する。
【解決手段】磁気浮上方式のステージ装置は、水平面を形成する支えプレート（１１）を具備した下部移送台（１０）と、前記支えプレート（１１）の上面に設置されて電磁界を発生させるコイル・モジュールアレイ（２０）と、前記下部移送台（１０）の上側で浮上および移送されるステージ（３０）と、前記ステージ（３０）の下面に複数個の永久磁石（４１，４２）が配列設置されている永久磁石アレイ（４０）から構成される。前記コイル・モジュールアレイ（２０）が支えプレート（１１）上面のコイル・モジュール（２１）複数個で構成されるが、隣接したコイル・モジュール（２１）間のコイルの巻線方向が直角になるように前記コイル・モジュール（２１）が互いに直交して将棋盤のます目状の形態で配置される。 （もっと読む）

【課題】レチクルマスキングデバイスなどの可動部品に対して、改良型の案内機構を提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、レチクルマスキングデバイスのマスクブレードＭＢのような可動構造を案内する案内機構、可動構造に接続された可動部品ＭＯ、および可動部品を案内するほぼ静止した部品ＳＴを含む。可動部品は、可動部品と静止部品の間のギャップに気体を注入するノズルＮｘを含み、静止部品から可動部品への気体の非接触供給は、静止部品の気体供給出口ＧＳＯおよび可動部品の気体供給入口によって提供される。気体供給出口は、静止部品の気体供給出口に面する可動部品の表面に入口溝ＩＴを含み、溝は、可動部品の運動方向に平行に配向される。可動部品は、モータ駆動部品、および可動構造に面していないモータ駆動部品の端部に接続された釣り合い錘部分を含む。 （もっと読む）

【課題】高精度な浮上位置決めが可能であり、可動台が2次元平面で回転している状態からも迅速に浮上させることができるステージ装置を提供する。
【解決手段】本発明のステージ装置１は、可動台３が浮上用電磁石４で支持して固定部２に対して直交２軸方向に移動可能にするとともに、Ｙ軸リニアモータ５とＸ軸リニアモータ６a、６ｂで、可動台３を駆動して位置決めするものであり、非接触支持された可動台が非浮上時に２次元平面で回転していても、浮上後に可動台に装着された回転角度センサ信号に基づいて可動台を駆動するＸ軸リニアモータ６a、６ｂにて回転補正し、可動台の位置決め用リニアエンコーダを検出可能な状態にするものである。 （もっと読む）

【課題】 位置決め過程においてダスト等を発生させることなく、複数の半導体回路部材を高精度で位置決めできる位置決め方法とその装置、並びに当該位置決め方法と装置を用いた半導体装置の製造方法と製造装置を提供する。
【解決手段】 位置決め用基板２に設けられた複数の位置決めストッパー３それぞれに、気流発生装置４と傾斜手段５とセンサー７とが設けられた位置決め装置１を用いることにより、複数の半導体回路部材１０の位置を各々のセンサー７によって検知でき、制御手段８がその検知結果に応じて各気流発生装置４を個々に制御でき、位置決めされた半導体回路部材１０から位置決め用基板２に一時固定する。 （もっと読む）

【課題】回転伝動軸数の多数化に際し、変形が少なく而も保守作業等も容易で且つ電動モータの給電線とチャンバ蓋との相互影響が無いようにする。
【解決手段】真空チャンバ１０の底１１に立設されその上蓋１２に至る筒状体３３０＋５３０と、この筒状体の側壁３３０，５３０を内外から挟んで磁気結合する回転体の複数対３１＋３５，３６＋３９，５１＋５５，５６＋５９とを具備した真空チャンバ用回転伝動機構において、筒状体の上端部位を真空チャンバの上蓋１２に密着させる取着手段１２０を備え、筒状体３３０＋５３０は、複数の短い筒状体３３０，５３０が上下に連結されたものであって、回転体５５，５９を駆動する電動モータ５５ａ，５９ａへの給電線５１１，５６１が筒状体３３０＋５３０を介して真空チャンバ１０の下方へ引き出される。 （もっと読む）

【課題】
簡素な構成でありながら、被搬送物を精度良く２次元方向に搬送できる搬送装置を提供する。
【解決手段】
図１（ａ）に示すように、駆動部によりスライダＳ１、Ｓ２を近接する方向に駆動することによって、ツイーザＴをガイドレールＲから遠ざかる方向に移動させることができる。これとは逆に、駆動部によりスライダＳ１、Ｓ２を離隔する方向に駆動することによって、ツイーザＴをガイドレールＲに近接する方向に移動させることができる。更に、図１（ｂ）に示すように、駆動部によりスライダＳ１、Ｓ２を等速で同方向に駆動することによって、ツイーザＴをガイドレールＲに沿った方向に移動させることができる。即ち、スライダＳ１，Ｓ２の移動のみで、ツイーザＴが保持するウエハを２次元方向に任意の位置に搬送できることとなる。 （もっと読む）

【課題】 ウェハへの汚染が少なく加熱容器のシール性を向上する。
【解決手段】 円筒状の側壁１１０、上壁１２０、底壁１３０からなる気密構造の加熱容器１００と、加熱容器１００内に収納されるウェハＷを保持するサセプタ５００と、加熱容器１００の上壁１２０を透過して加熱容器１００内に収容されるウェハＷを加熱するランプユニット２００とを備える。また、加熱容器１００の外周に設けられ、加熱容器１００の鉛直軸を中心に回転する円筒状の外部ロータ３００と、加熱容器１００の内周に設けられ、サセプタ５００を外部ロータ３００と同心に回転させる円筒状の内部ロータ４００と、外部ロータ３００と内部ロータ４００とを加熱容器１００の側壁１１０を介して磁気的に結合して、外部ロータ３００の回転運動を内部ロータ４００に伝達してサセプタ５００を回転させる磁気結合手段６００とを備える。 （もっと読む）

【課題】 真空成膜装置に使用され、 搬送ローラの位置の移動にステンレス・ベローズを使用しない基板の搬送機構、基板の幅の変更に対処しうる搬送機構を提供すること。
【解決手段】 真空成膜装置の移載室２において、ガラス基板ＧをキャリアＣから取出トレイＴｏへ移し換えるに際してキャリアＣを上昇、下降させるが、その時にキャリアＣを支持して搬送する搬送ローラ２３が支障とならないように、移載室２の側壁２ｓを挿通される搬送ローラ２３の回転軸３１を大気側回転軸３１ａと真空側回転軸３１ｂがそれぞれに設けたマグネットにより、大気側回転軸３１ａに属している真空隔壁３８を介して、マグネットカップリングされたものとし、真空側回転軸３１ｂに取り付けられてキャリアＣの搬送位置にある搬送ローラ２３を、カップリングを解除し真空側回転軸３１ｂを大気側へ移動させることによって退避位置とする。 （もっと読む）

【課題】 ステージが移動した際に力の作用点が変動することにより生じるステージの変形を課題とするものである。
【解決手段】 移動体の移動によって力の作用点が変化するアクチュエータを用いて、前記移動体の自重を支持する位置決め装置であって、前記移動体は、前記力の作用点が変わる前記移動体の移動方向において曲げ剛性が強化される。もしくは、前記力の作用点の変化によって前記移動体にかかる曲げ力を低減するように前記アクチュエータへの指令を制御する制御部を有する。 （もっと読む）

【課題】エクスチェンジャと製造ライン間の枚葉搬送を、ガラス基板の受け渡しと受け取りを同時に行なうことができ、タクトタイムのロスがなく、製造ラインのサイクルタイムに応じて搬送形態を設定し得る搬送システムを提供すること。
【解決手段】ガラス基板等のワークを多段収容したカセットの貯留部と複数台並設したエクスチェンジャの間を搬送手段によりカセット単位で搬送し、エクスチェンジャと製造ライン間は前記ワークを枚葉搬送するガラス基板等の搬送システムにおいて、エクスチェンジャ内を上下昇降するカセットに対してコンベヤを配置し、製造ライン側にワークを受け渡す専用コンベヤと製造ライン側から排出されるワークを受け取る専用コンベヤを上下二段に区画し、且つ前記エクスチェンジャの並設方向に沿って複数台を並設配置し、更に、前記エクスチェンジャ内に配置したコンベヤは上記両専用コンベヤの高さに対応して上下昇降自在とした。 （もっと読む）

【課題】可動子の温度上昇を抑え、可動子の熱変形などの影響を低減でき、周囲温度の変化への影響を低減することにより、高精度な位置決めを可能とする。
【解決手段】磁石を有する可動子９ａ、１０ａと、当該磁石に対向配置されたコイルを有する固定子９ｂ、１０ｂとを備え、当該コイルに通電することで前記可動子を少なくとも２次元方向に駆動し、所定の位置に位置決めする位置決め装置において、前記可動子は、被移動物体を保持する保持機構が設けられた第１の構造体３ａと、前記磁石が設けられた第２の構造体３ｂとを備え、前記可動子の内部に、前記第２の構造体を冷却する冷媒を流通させるための流路５を形成した。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置における基板の露光時間を最大化し、且つ／又は、大きな基板が露光されるときにリソグラフィ装置の占有面積の増加を最小に抑えるための方法及び装置を提供する。
【解決手段】リソグラフィの方法及び装置は放射線のビームを供給する照明システム、ビームにパターン形成するパターン形成デバイス、及び、パターン形成されたビームを基板の目標部分上に投影する投影システムを含む。計測システムは投影システムとの基板の位置合わせのために投影システムに隣接して設けられている。２つ以上の可動チャック４，５は各々が、基板を支持し、且つ、ローディング・デバイス１９と投影システム１７の間で移動するように構成されている。チャックは独立に可動であり、そのため、１つの基板がローディング・システムと投影システムの間を移動される間に、もう１つの基板は計測システム及びパターン形成されたビームを通過することができる。 （もっと読む）

【課題】地表あるいは周辺からの振動及び外乱が粗動ステージや精密ステージに伝わることを防止し、ワークピースを精密に位置決めする。
【解決手段】ステージ装置２２０は、第１軸周りに及び第１軸に沿ってワークピース２００を移動させるもので、第１ステージ２３８と、ワークピースを保持する第２ステージ２４０と、第２移動装置２４４と、測定システムと、初期化システムとを備える。前記第２移動装置は、前記第１ステージと相対的に前記第２ステージを前記第１軸周りに移動させる。前記第２移動装置は、駆動機２５５と、前記第１ステージから前記第２ステージへの振動の伝達を低減する減衰器とを有する。ステージ装置は、前記第２ステージを位置決めしかつ前記第１ステージの振動を補償する出力を、前記駆動機に与える制御システムを備える。 （もっと読む）

【課題】 電磁石と磁性体部材との間隙に機差があった際も、磁性体部材を対向する電磁石の中心となる位置に配置する。
【解決手段】 磁性体部材を有する移動体と、該磁性体部材を挟んで対向するように配置され該移動体に駆動力を与える電磁石と、前記移動体と前記電磁石の相対位置を検出する位置検出手段と、前記電磁石のコイルに流れる電流値を検出する電流検出器とを有する位置決め装置であって、前記移動体と前記電磁石の相対位置をずらして、それぞれの相対位置において前記電磁石に所定の磁力を発生させた際に前記電流検出器によって得られた電流値を用いて、前記電磁石のそれぞれと前記磁性体部材との間隙の差が低減する位置を算出する算出手段を有する。 （もっと読む）