【課題】
超精密位置決めが可能な小型ステージ装置を提供する。
【解決手段】
少なくとも３個づつ可動台３に対向するように配置された浮上用電磁石４を具備した固定台２と、前記浮上用電磁石４により非接触磁気浮上方式により支持される可動台３と、前記可動台３に具備された浮上制御用のギャップセンサ１２と、前記可動台３の中央に配置された２次元リニアセンサ８と、前記可動台３を駆動するリニアモータ５とを備えたステージ装置１において、前記可動台３の重心位置近傍の位置を検出する光学式計測手段５１、５２、５３を備えたものである。 （もっと読む）

コントローラと、可動部と搬送経路とを有し前記コントローラと連通するワークピース搬送機と、前記可動部に固着した少なくとも１つの界生成プラテンと、搬送経路に沿って配置されコントローラと連通する少なくとも１つのセンサ群とを含み、前記界生成プラテンが位置計測とともに可動部を推進させるように構成される多次元測位装置とを備える装置であって、前記の少なくとも１つのセンサ群の各センサは、少なくとも１つの界生成プラテンで発生させる検知界内の単軸に沿ったばらつきに対応する１つのみの出力信号を提供するように構成され、前記コントローラは、前記の少なくとも１つのセンサ群の各センサに隣接した前記可動部の多次元位置を、前記の少なくとも１つのセンサ群内の少なくとも１つのセンサの前記１つのみの出力信号に基づいて、多次元位置には、少なくとも平面位置と、ワークピース搬送機と少なくとも１つの前記センサ群との間のギャップとを含めて算出するよう構成されている装置。
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【課題】浮上回転によりパーティクルフリーを実現し、その構造や制御の簡略化を図ることができる処理装置を提供すること。
【解決手段】浮上用電磁石アッセンブリＦの磁気吸引力により、被処理体Ｗを支持する回転浮上体３０を浮上し、回転浮上体３０の水平方向位置を位置用電磁石アッセンブリＨの磁気吸引力により制御しつつ、回転浮上体３０を回転電磁石アッセンブリＲの磁気吸引力により回転している。浮上用電磁石アッセンブリＦは、磁気吸引力を垂直方向下方に向けて作用して、処理容器２の内壁に非接触で吊持するように、回転浮上体３０を浮上する。 （もっと読む）

【課題】動体を筐体の内部に収納可能な機構を有するゲートバルブを提供すること。
【解決手段】ゲートバルブは、スライドプレートと、スライドプレートの径方向及び軸方向の位置を変化させる移動機構を備えている。シャフトは、軸方向駆動機構により軸方向の移動量が制御され、径方向駆動機構により回転角が制御される回転軸であり、磁気軸受、及び円錐コイルばねからなる軸支持ばねにより筐体内に回動可能に支持されている。電磁石におけるバランスウェイトの吸引力を制御することにより、シャフトを径方向に移動させることができる。また、電磁石における電磁石ターゲットの吸引力を制御することにより、シャフトを軸方向に移動させることができる。気体の流路を閉じる場合には、スライドプレートを、流出孔を完全に覆う位置に移動させた後、軸方向駆動機構を作動させてスライドプレートをＯリングと密着させる。 （もっと読む）

第１軸に沿って及び第２軸周りにステージ（２３８）を移動させる移動体（３４４）は、磁性部品（４５４）と導体部品（４５６）とを含む。磁性部品（４５４）は、磁界に囲まれた１以上のマグネット（４５４Ｄ）を含む。導体部品（４５６）は、磁界内で磁性部品（４５４）の近くに配置される。また、導体部品（４５６）は、電流が導体部品（４５６）に導かれるときに磁性部品（４５４）と相互作用して第１軸に沿った制御された力と第２軸周りの制御されたモーメントを発生させる。さらに、導体部品（４５６）は、電流が導体部品（４５６）に導かれたときに磁性部品（４５４）と相互作用して第１軸及び第２軸に垂直な第３軸に沿った制御された力を発生させる。
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【課題】層状基板を搬送する為に搬送ローラを備えた真空コーティング設備において、少なくとも一方向で、チャンバ内部の対象物を自動的に移動させる装置を提供する。
【解決手段】キャリア１１は、板状に形成され、駆動システムによりローラ１２上の狭側下縁部で支持されている。間接駆動装置は電磁継手を利用するが、電磁継手は一部が真空チャンバ内、一部が真空チャンバ外に配置されている。垂直方向に作用する力を用いて、電磁継手の２つの構成部品は、互いにずらすことが可能である。さらに、キャリアを水平方向にずらすことも可能である。 （もっと読む）

【解決手段】 基板処理方法および装置が開示される。該装置は、表面にガス流を供給するように構成される、一つあるいはそれ以上のガス流開口を備えた表面を有するチャックを含む。前記表面は、表面に亘って分散された一つあるいはそれ以上の真空チャンネルを含む。真空チャンネルは、それを通って真空を引くことを可能にする。本方法では、基板は、基板の裏面でチャック表面の近傍に、チャック表面に充分に接近して支持されるので、ガス流と真空が基板の裏面とチャック表面とを隔置された関係に維持することができる。ガス流は、ガス流開口を通して供給され、真空は、一つあるいはそれ以上の真空チャンネルを通して引かれる。基板は、基板表面に実質的に垂直な方向に沿って移動される。 （もっと読む）

【課題】移動部の浮上移動を問題なく行うと共に、容易に製造が可能な平面モータ装置、ステージ装置、露光装置及びデバイスの製造方法を提供すること
【解決手段】移動部１７が２個以上のコア部材２２の頭部２２ａによって支持されることになるので、当該移動部１７は案内面２４に沿って問題なく移動することとなる。加えて、案内面２４のほぼ全面に亘って大面積且つ薄い板部材を設ける必要はないので、容易に製造が可能な平面モータ得ることができる。コア部材２２の頭部２２ａに空気を吹き付けるエアパッド２７が多孔質材料からなることとしたので、コア部材２２同士の間に隙間が形成されていても、エアパッド２７からの空気がコア部材２２の頭部２２ａに確実に吹き付けられることとなる。 （もっと読む）

分割軸ステージアーキテクチャが、高速度かつ高加速度で素材の振動的・熱的に安定な搬送を可能とする多ステージ位置決めシステム(10)として実現される。分割軸デザインでは、ステージ動作が、平行な別々の平面内にある直交する２つの軸に沿って、分離される。花崗岩又は他の石の厚板の形態、またはセラミック材又は鋳鉄の形態の寸法安定な基体(12)が、下部及び上部ステージの土台として使用される。硬い支持構造体は、レーザ加工システムに於ける、軸方向に調整可能な光学構成要素のより早くより正確な位置決めを可能とする。光学アセンブリ(30)が硬い空気軸受スリーブ(214)に収容され、その空気軸受スリーブが多ステージ位置決めシステムの試料ステージ(26)の上方にある支持構造体(236,240)に取り付けられる場合、振動及び熱安定性が向上する。 （もっと読む）

【課題】ステージの駆動時に生じる発熱を抑えること。
【解決手段】ステージ装置は、ステージ４と、ステージ４に設けられた第１磁石９と、ステージ４の移動ストロークの端部において第１磁石９と対向するように設けられた第２磁石１２a、１２ｂとを有する磁石反発力発生手段と、ステージ４の移動ストローク内でステージ４を駆動する駆動手段と、を有する。また、ステージ装置は、第１磁石と対向可能に配置され、ステージ４の移動に伴い渦電流を発生する渦電流発生部材１８a、１８ｂを含む渦電流ブレーキ手段を備える。 （もっと読む）

【課題】第１ステージとその上に搭載される第２ステージとを含むステージ装置において、駆動用のアクチュエータの発熱を低減する。
【解決手段】第２ステージは第１ステージの上に搭載される。第１アクチュエータは第１ステージを第１方向に駆動する。第２アクチュエータは、第１ステージに対して第２ステージが相対的に移動するように第２ステージを駆動する。第１ユニットは、第１ステージの第１方向の端部に配置された第１可動磁石と、第１ステージが第１方向の移動ストロークの一端に位置するときに及び第１可動磁石に対面するように配置されて第１可動磁石に対して斥力を発生する第１固定磁石と、を含む。第２ユニットは、第２ステージの第１方向の両端部に配置された第２可動磁石と、第１ステージが第１方向の移動ストロークの一端に位置するときに第２可動磁石に対面するように配置されて第２可動磁石に対して斥力を発生する第２固定磁石と、を含む。 （もっと読む）

【課題】露光装置全体の軽量化及び小型化を図る。
【解決手段】レチクルステージＲＳＴのＹ軸方向の移動に伴う反力を受ける固定子２２Ａと、ウエハステージＷＳＴのＹ軸方向の移動に伴う反力を受けるＹ固定子２５Ｙ１とが連結棒２７Ａによって機械的に連結され、レチクルステージＲＳＴのＹ軸方向の移動に伴う反力を受ける固定子２２Ｂと、ウエハステージＷＳＴのＹ軸方向の移動に伴う反力を受けるＹ固定子２５Ｙ２とが連結棒２７Ｂによって機械的に連結されているので、固定子２２Ａに作用する反力をＹ固定子２５Ｙ１に作用する反力で相殺し、固定子２２Ｂに作用する反力をＹ固定子２５Ｙ２に作用する反力で相殺することができる。これにより、従来のように、反力をキャンセルするための構造物（カウンタマス）の重量を大きくしたり、ストロークを大きく設定したりする必要がなくなる。 （もっと読む）

【課題】被移送物を衝撃や振動を起こすことなく円滑にかつ安定して定位置に迅速に移送することができ、しかも移送中の被移送物の落下や位置ずれを防止するようにしたマグネット式移送装置を提供する。
【解決手段】パイプ（１）内外にそれぞれ内部スライダー軸（２）と外部スライダー体（３）を有し、これらの内部スライダー軸（２）と外部スライダー体（３）間をマグネット（４）で連結して移送可能としたマグネット式移送装置であり、上記マグネットは、内部スライダー軸（２）の軸方向に直交する方向に配列した直状配列マグネット（５）と、内部スライダー軸（２）の軸方向に対向して斜状に交叉するようにずらした一対の斜状配列マグネット（６）を備え、内部スライダー軸（２）及び外部スライダー体（３）を衝撃なく円滑に、かつ安定して定位置に移送することができる。 （もっと読む）

基板プロセス方法および装置が開示される。一部の実施形態において、基板プロセス装置は、支持構造と、第１および第２のステージを含む可動式ステージを備えてもよい。可動式ステージは、第１のステージおよび／または第１のステージの端部に隣接する第２のステージに取り付けられた１つ以上のマグレブユニットを有する。第１のステージは１つ以上の基板を保持し、第２のステージに対して略固定された第１の軸に対して移動する。第２のステージは、支持構造に対して第２の軸に沿って平行移動する。他の実施形態において、第１のモータは、ある角速度で回転ステージを維持してもよく、および／または第１の角速度から第２の角速度へ、ステージを加速または減速してもよい。第２のモータは静止状態から第１の角速度へステージを加速してもよく、および／またはゼロではない角速度からステージを減速してもよい。 （もっと読む）

【課題】第一および第二可動オブジェクトを実質的に共通の動作区域内で位置決めする位置決めデバイスを提供する。
【解決手段】位置決めデバイスは、前記動作区域の隣に配置された第一コイルアセンブリと、前記動作区域の反対側に配置された第二コイルアセンブリと、第一可動オブジェクト上に配置され、第一コイルアセンブリと協働する１つまたは複数の第一磁石と、第二可動オブジェクト上に配置され、第二コイルアセンブリと協働する１つまたは複数の第二磁石とを含む。 （もっと読む）

【課題】 永久磁石を用いて対象物に力を発生させる装置において、力を発生させたい方向以外に力が発生してしまうことがある。このような力は対象物を位置決めする際には外乱力となってしまうため、好ましくない。
【解決手段】 対象物に磁気反発力を付与する力発生装置であって、前記対象物に固定された第１永久磁石と、前記第１永久磁石を非接触で挟み込むように配置され、前記第１永久磁石と同極が対面するように配置された第２および第３永久磁石とを備え、前記第２および第３永久磁石は、前記対面方向に対して互いに反対方向に傾きをもって着磁されている。 （もっと読む）

【課題】例えば露光装置における、軸受により支持される可動体の姿勢を安定化させ、位置精度の悪化を防止する。
【解決手段】可動体を軸受で支持する支持装置に、可動体のうち軸受によって支持されている部分と異なる部分に力を作用させるモーメント低減部を設ける。モーメント低減部は、可動体の移動によって可動体が前記軸受によって支持されている部分が変化することに起因して可動体に作用するモーメントを低減し、可動体の姿勢を安定化させる。 （もっと読む）

【課題】被加工物を支持する回転板の回転・停止が容易で、被加工物の両面処理できる装置を提供する。
【解決手段】円環状の回転板１と、該回転板１の下方に配置され、該回転板を磁気浮上させるための環状に配置された超伝導体６を有し、前記回転板１の下面には前記超伝導体６に対応して配置された浮上用永久磁石１ｃと、更に、前記回転板１に設けた浮上用永久磁石１ｃの外周側に回転用の永久磁石あるいは強磁性鋼板１ａ，１ｂと、該永久磁石に対応して回転磁界コイル４Ａを配置し、前記回転板１の永久磁石あるいは強磁性鋼板１ａ，１ｂと、前記回転磁界コイル４Ａとによって前記回転板１を非接触状態で回転駆動するように構成した磁気浮上回転処理装置。 （もっと読む）

【課題】製作が容易で高精度な回転位置決めテーブル装置を提供すること。
【解決手段】回転テーブル１４と、回転テーブル１４を回転自在に支持するエアベアリング１６と磁気吸引部１８、２０、２２と、回転テーブル１４端部に回転力を付与するローラフォロア３２と、ローラフォロア３２を回転駆動するリニアアクチュエータ３０とを備え、エアベアリング１６により回転テーブル１４の一部の領域を浮上させ、回転テーブル１４の他の領域を磁気吸引部１８、２０、２２で垂直方向に吸引し、回転テーブル１４の片持ちによるアンバランス成分と搭載物の重力方向の負荷のバランスをとる。 （もっと読む）

【課題】 位置決めが簡易にでき、且つ真空中においても非接触の位置決めができる構造を提供する。
【解決手段】 本発明の位置決め構造は、ワーク３およびステージ４の双方に、ピン１またはピンを挿入する挿入孔２のいずれかをそれぞれ設けて、ワークをステージに位置決めするもので、ピンは、軸方向に着磁された磁石ピン１ａと磁性体ピン１ｂを挿入孔に近い側から磁性体ピン、磁石ピンの順となる構成とし、挿入孔は軸方向に着磁されたリング状の磁石孔部材２０ａとリング状の磁性体孔部材２０ｂをピンに近い側から磁性体孔部材、磁石孔部材の順となる構成にしたものである。 （もっと読む）