【課題】パーティクルの発生を抑制でき、コンパクトで寿命の長い基板位置合わせ装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗが基準点に一致するように基板の位置合わせを行う基板位置合わせ装置１００は、それぞれの軸方向に平行な回転軸を中心に回転する複数の支柱１０３と、複数の支柱を同一方向に同一角度だけ同期して回転させる駆動機構と、基板の前記基準点からのずれ量を検出する検出器と、複数の支柱の上面部にそれぞれの回転軸からずらして配置されていて、基板を支持する支持ピン１０１とを具備し、検出器で検出された位置ずれ量に基づき駆動機構により複数の支柱を同一方向に同一角度だけ同期して回転させることにより、基板の位置合わせを行うことを特徴とする基板位置合わせ装置。 （もっと読む）

ステージ４４を第１軸および第１軸に対して垂直な第２軸に沿って位置決めする平面モータ３２は導体アレイ５２と磁石アレイ３４とを含む。導体アレイ５２は、少なくとも１つの導体２５６を含む。磁石アレイ３４は導体アレイ５２の近くに位置し、第１軸および第２軸と垂直な第３軸に沿って導体アレイ５２から離間している。磁石アレイ３４は、第１軸、第２軸および第３軸に対し斜めを向く斜方磁化方向２６８をもつ第１斜方磁石Ｄ１を有する第１磁石ユニット２６４を含む。第１磁石ユニットは２６４、第１磁束方向における第３軸に概ね沿った第１結合磁束２７６をもたらすように協働する第２〜第４斜方磁石Ｄ２〜Ｄ４を含むことができる。
各斜方磁石Ｄ１〜Ｄ４は第１軸、第２軸および第３軸に対し斜めを向く斜方磁化方向２６８を有する。
各斜方磁石Ｄ１〜Ｄ４は概して三角形のくさび形にでき、斜方磁石Ｄ１〜Ｄ４は平行六面体状になるよう一緒に配置される。
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【課題】作業効率の低下を招くことなく、基板における露光領域の変形に関する情報を容易に計測する。
【解決手段】露光処理が施される複数の露光領域ＳＡと、複数の露光領域のそれぞれに設けられ各露光領域における変形に関する情報を計測する変形計測装置Ｇとを有する。変形計測装置は、露光領域に露光処理によりパターニング形成されてなる。 （もっと読む）

【課題】ケーブル類からのガスの発生の問題をなくし、また、真空室の真空状態を確保しつつ真空室外から真空室内の可動部の位置を検出することができる真空処理装置を提供する。
【解決手段】センサヘッド３２により支持台４等の位置情報を検出し、送信機９５により位置情報を光信号Ｌ１、Ｌ２及びＬ３に変換し透光部１１３ｂを介して真空室１外の受信機８１に出射し、受信機８１で光信号Ｌ１、Ｌ２及びＬ３を受信しドライバ／電源ユニット８で位置情報に変換することができる。つまり、真空室１外から支持台４等の位置情報を検出するために、真空室１の隔壁１１に貫通孔を形成して位置情報を送信するためのケーブルをこの貫通孔を介して真空室１外へ導出したり、真空室１内に敷設したりする必要がない。従って、ケーブル類からのガスの発生の問題をなくし、真空室１の真空状態を確保しつつ真空室１外から真空室１内の支持台４等の位置を検出できる。 （もっと読む）

【課題】ケーブル類からのガスの発生の問題をなくし、また、可動性のケーブルダクト等の複雑な構造を採用することなく、真空室内の駆動源に電力を供給することができる真空処理装置を提供すること。
【解決手段】電力供給機構２は、隔壁１１の側面１１４に配置されている。電力供給機構２は非接触型のものであり、隔壁１１の外側に配置された１次側電磁石２１と、隔壁１１内に配置された２次側電磁石２２とを有する。電力供給機構２は、１次側電磁石２１から電磁誘導により発生する磁場を用いて２次側電磁石２２に電力及び通信信号を供給する。コントローラボックス９内の制御器９３は、２次側電磁石２２が１次側電磁石２１から受けた磁場により得られる高周波電力を整流し、また、その高周波電力から通信信号を検出する。これにより、制御器９３は、この電力を用いて通信信号を搬送ロボット１０の駆動部へ送信することで搬送ロボット１０を駆動する。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成で、ステージの移動に対して配管を十分に追従させるとともに配管の変形を低減させることができるようにした、配管構造及びステージ装置を提供する。
【解決手段】面方向に移動可能な平面状のステージ１Ａと、ステージ１Ａ上に設置されるステージ設置部品３ＸＡ，３ＹＡ，７と有するものにおいて、ステージ設置部品３ＸＡ，３ＹＡ，７に接続される配管４，６，７，９の構造であって、ステージ設置部品３ＸＡ，３ＹＡ，７の移動に追従しうる余長を有する曲げ変形可能な部材によって形成される配管４，６，７，９と、断面の長手方向がステージと垂直な方向となるように配管に沿って設けられる可撓性を有する帯状の補強部材と、を有して構成する。 （もっと読む）

【課題】 リフトピンの垂直の向きを制御するために、リフトピンの角度を制限し、及び/又はサセプタが上がるにつれてリフトピンがサセプタに無意識に結合するのを防止し且つ基板の結果として生じる平坦でない支持体を防止する、基板支持方法及び装置の提供。
【解決手段】
基板を持ち上げる間、リフトピンの垂直の向きを維持する摩擦プレート及び/又は磁界と係合する軸受面を有する垂直に整列したリフトピンを含んでいる。ある実施態様においては、磁界及び/又は重量を、或いは又は更に、用いることができる。 （もっと読む）

本発明は、半導体チップの小型化及び大容量化の傾向による回路パターンの微細化により、高精度の露光装置が要求されるにつれて、従来の平面型ステージに代わって大面積の半導体基板やディスプレイパネルの基板上に多様な任意の形状の微細なパターンを生成するために円筒状の基板を用いる場合において、円筒状の基板と、上記円筒状の基板に結合した第１永久磁石の配列と第１コイルの配列の組合わせ、そして第２永久磁石の配列と第２コイルの配列の組合わせを含むように構成し、上記コイルの配列に電流を印加することによって発生した磁場が対応する上記永久磁石の配列の磁場との相互作用により発生する磁気力を制御し、微細に上記円筒状の基板の浮上と移送、そして回転を可能にする円筒状の磁気浮上ステージを提供する。
また、上記コイルの配列に熱が発生することを解消するために、上記コイルの配列が組み立てられた固定子に冷却フィンで接触し、上記固定子の内部に形成された冷却管路を含む冷媒循環ループを含む円筒状の磁気浮上ステージ用の冷却装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板製造設備に使用される基板搬送装置に関する。
【解決手段】本発明の基板搬送装置は、一群のシャフトと、前記一群のシャフトを回転させるための駆動部と、を含む。前記一群のシャフトは、第１長さを有する少なくとも一つの第１シャフトと、前記第１シャフトと同一平面上に位置し、前記第１長さより短い第２長さを有する第２シャフトと、前記第１シャフトと同一平面に位置し、前記第１長さより短い第３長さを有する第３シャフトと、を含む。前記第２シャフトは、前記第１シャフトの他端よりも一端に近く位置し、前記第３シャフトは、前記第１シャフトの一端よりも他端に近く位置する。 （もっと読む）

【課題】高精度且つ安定な移動テーブルの位置計測を実現する。
【解決手段】 液浸露光方式の露光装置において、投影光学系ＰＬとの間に供給される液体によってウエハＷ上面に液浸領域ＡＬｑが形成され、そのウエハＷを保持する移動テーブル上に、複数のエンコーダヘッド６０Ａ〜６０Ｄが配置されている。制御装置は、複数のエンコーダヘッドのうち、液浸領域外にあるエンコーダヘッド６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｄを用いて、ＸＹ平面内における移動テーブルの位置情報を計測する。これにより、高精度且つ安定な移動テーブルの位置情報の計測が可能となる。 （もっと読む）

【課題】大型化が抑制されるとともに基板の処理効率を向上させることが可能な基板処理装置および基板処理システムを提供する。
【解決手段】基板処理装置５００は、インデクサブロック９、洗浄加熱ブロック１０および基板搬送ブロック１１を含む。基板搬送ブロック１１に隣接するように露光装置１６が配置される。インデクサブロック９は、各処理ブロックの動作を制御するメインコントローラ３０、複数のキャリア載置台４０およびインデクサロボットＩＲを含む。洗浄加熱ブロック１０は、洗浄／乾燥処理ユニットＳＤ１，ＳＤ２、基板載置部ＰＡＳＳ１，ＰＡＳＳ２、第１および第２のセンターロボットＣＲ１，ＣＲ２および載置兼ベークユニットＰ−ＰＥＢを含む。 （もっと読む）

【課題】ウルトラクリーンルームにおいて、大きくて薄いガラス板の搬送を確実に行う。
【解決手段】本発明は、大きくて薄いガラス板をスパッタシステムに供給するため、ウルトラクリーンルームにおいて該ガラス板を固定する装置及び方法に関する。本発明に係る装置は、ａ）輸送フレーム（１９）を上記装置の水平方向中央に配置させるセンタリングユニットへ輸送フレーム（１９）を搬送し、更に、その輸送フレーム（１９）をセンタリングユニットからスパッタシステムへと搬送するよう設計されたローラドライブ（１２）と、ｂ）磁性レールマウント（２）中で輸送フレーム（１９）を持ち上げる及び下降させるフレームリフト装置（７）と、ｃ）輸送フレーム（１９）を固定及び解放する固定ユニット（５、８）、及びガラス板（１８）を受け入れるフレームクリップ（１７）を開閉する開放ヘッド（３）と、ｄ）ガラス板（１８）を持ち上げて旋回させ、垂直配置とし、そのガラス板（１８）を輸送フレーム（１９）に設置するリフトユニットと、を備える。 （もっと読む）

【課題】 溶射セラミックスで形成されたステージはセラミックス層の気孔やマイクロクラックによってエアがリークしてステージの剛性が確保できないため、ステージの制御性能が低下していた。
【解決手段】 ガイド面がセラミックス溶射されたガイドおよびステージを有し、前記ガイドと前記ステージとの間のギャップをエアによる圧力と予圧マグネットによる吸引力とによって制御しながら前記ガイド面に沿って前記ステージを移動させる位置決め装置であって、前記ガイド面は、封孔処理された後に研磨されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウエハキャリア駆動装置およびそれを動作させるための方法
【解決手段】駆動レールは、密封内部空洞と、駆動レールの長手方向に沿って伸びる外側駆動表面とを含む。内部空洞内に、外側駆動表面のちょうど反対側で内部空洞の表面に隣接して第１の磁気部材が配置される。内部空洞内に、第１の磁気部材に関連して駆動メカニズムが配置され、該駆動メカニズムは、第１の磁気部材が外側駆動表面のちょうど反対側にあり続けるように、第１の磁気部材を内部空洞内において駆動レールの長手方向に沿って移動させるように構成される。第１の磁気部材は、外側駆動表面に隣接して配置されたウエハキャリアに外側駆動表面を通じて磁気的に結合するように構成される。内部空洞内における駆動レールに沿った第１の磁気部材の移動は、外側駆動表面に沿ったウエハキャリアの対応する移動を生じさせる。 （もっと読む）

【課題】直接駆動方式を使用することによって、駆動メカニズムの構成を簡素化し、より安定的に基板を移送できる駆動磁力部材と、これを利用した基板移送ユニット及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を移送する基板移送ユニットは、互いに並んで配列される基板移送用のシャフトと、前記シャフトの一端に設置される第１磁力部材と、前記第１磁力部材とマグネチックカップリング（Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｃｏｕｐｌｉｎｇ）されるように対向して設置され、円周面に沿って複数の突出部の形成された第２磁力部材と、前記第２磁力部材のうち、隣接した何れか２つの前記第２磁力部材に形成された前記突出部との噛み合いにより、前記第２磁力部材間に回転力を伝達する動力伝達部材と、前記第２磁力部材のうちの何れか一つに回転力を提供する駆動部材と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 イメージングの正確さおよび／またはスループットが改善されたリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】 リソグラフィ装置は、基板上にパターニング済み放射ビームを投影するための投影システムと、投影システムの少なくとも一部の振動を弱めるための制振システムとを含み、制振システムは、インターフェイス制振マスと、インターフェイス制振マスの少なくとも一部の振動を弱めるためのアクティブ制振サブシステムを含み、インターフェイス制振マスは、投影システムに接続されており、アクティブ制振サブシステムは、インターフェイス制振マスに接続されており、アクティブ制振サブシステムは、インターフェイス制振マスの位置量を測定するためのセンサと、センサにより供給される信号に基づきインターフェイス制振マスに力を働かせるためのアクチュエータとを含む。 （もっと読む）

【課題】現在用いられているシステムに比べて、適正なコストで効率的に生産でき、スループットが向上した、ウエハを含む基板を搬送及び処理する装置及び方法を提供する。
【解決手段】主要な要素は、基板を、処理チャンバーの側方に沿ってロードロックを介して制御された大気に供給し、その後処理チャンバーに到達させる一手段としての搬送チャンバーに沿い、そして処理チャンバー内での処理に続いて、制御された大気の外部に放出する搬送チャンバーを用いることである。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板等の薄板状材料をエアテーブルによって搬送する際に、一部のエアテーブルのエア供給能力が低下した場合でも、薄板状材料の先端が下がって他のエアテーブルに衝突しないようにした薄板状材料搬送装置を提供する。
【解決手段】薄板状材料搬送装置１０は、第１〜第３のエアテーブルユニット列１４、１６、１８を、そのパスラインＰ１、Ｐ２、Ｐ３がＴ字形状に交差するように配置してなり、各エアテーブルユニット列は、複数のＬ字形状エアテーブルユニット２２を、同一方向に並べ、且つ、尾端に３角形状エアテーブルユニット２０を配置して構成され、各Ｌ字形状エアテーブルユニット２２は、平面視でＬ字形状であって、Ｌ字の一辺及び他辺が、直線状パスラインＰ１〜Ｐ３に対して各々４５°の角度で、且つＬ字角部を同一方向に向けて並べて配置されている。 （もっと読む）

【課題】非接触式シールを用いた構成において、非回転環と回転環との非接触状態を確実に維持することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】非接触式シール機構２９は、スピンベース１０に固定された回転環３４と、基部３０によって鉛直方向に移動可能に保持され、回転環３４に対向配置された非回転環３２とを備えている。非回転環３２は、基部３０に保持された複数のばね３１の付勢力によって上方に付勢されている。また、回転環３２および非回転環３４はそれぞれ互いに反発するように働く永久磁石によって構成されている。非回転環３２は、永久磁石の反発力によって前記付勢力に抗して数μｍ〜数十μｍ回転環３４から離間しており、これによって、非回転環３２と回転環３４とが互いに非接触になっている。 （もっと読む）

【課題】
超精密位置決めが可能な小型ステージ装置を提供する。
【解決手段】
少なくとも３個づつ可動台３に対向するように配置された浮上用電磁石４を具備した固定台２と、前記浮上用電磁石４により非接触磁気浮上方式により支持される可動台３と、前記可動台３に具備された浮上制御用のギャップセンサ１２と、前記可動台３の中央に配置された２次元リニアセンサ８と、前記可動台３を駆動するリニアモータ５とからなるステージ装置１において、前記可動台３の重心位置近傍の位置を検出する光学式計測手段５１、５２、５３を備えたものである。 （もっと読む）