【課題】同一の半導体基板上にゲート絶縁膜の膜厚の異なる半導体素子領域を容易に形成することが可能な半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板に素子分離絶縁膜を形成することにより、第１の半導体素子領域と第２の半導体素子領域とを画定する工程と、前記第２の半導体素子領域と前記第２の半導体素子領域を囲う前記素子分離絶縁膜を覆い、前記第１の半導体素子領域と前記第１の半導体素子領域を囲う前記素子分離絶縁膜を露出させるマスクを形成する工程と、前記マスクを用いて、前記第１の半導体素子領域を囲う前記素子分離絶縁膜をエッチングする工程と、前記素子分離絶縁膜をエッチングする工程の後、前記マスクを用いて前記第１の半導体素子領域に対して異方性エッチングを行う工程と、前記マスクを除去する工程と、前記マスクを除去した後に熱酸化により第１の半導体素子領域と第２の半導体素子領域とにゲート酸化膜を形成する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法により上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】製造工程増加を抑制しつつ、閾値電圧の異なる複数のトランジスタ（ＦＥＴ）を同一基板上に有する半導体装置を実現する。
【解決手段】半導体装置は同一導電型の第１及び第２ＦＥＴを有する。第１ＦＥＴは、基板１上の第１ゲート電極１３Ｌ、その側方の第１サイドウォール１５Ｌ、第１ゲート電極１３Ｌ両側の第１活性領域１Ｌの第１エクステンション領域１７Ｌを備える。第２ＦＥＴは、基板１上の第２ゲート電極１３Ｈ、その側方の第２サイドウォール１５Ｈ、第２ゲート電極１３Ｈ両側の第２活性領域１Ｈの第２エクステンション領域１７Ｈを備える。ゲート長方向に関し、第１エクステンション領域１７Ｌと第１ゲート電極１３Ｌとの重なりは、第２エクステンション領域１７Ｈと第２ゲート電極１３Ｈとの重なりよりも長い。第１ゲート電極１３Ｌと第１サイドウォール１５Ｌとの距離は、第２ゲート電極１３Ｈと第２サイドウォール１５Ｈとの距離より短い。 （もっと読む）

【課題】短チャネル効果の発生を抑制できる半導体装置及びその製造方法の提供。
【解決手段】本発明の半導体装置は、半導体基板１の活性領域上にゲート絶縁膜５ａを介して形成されたゲート電極１０５と、ゲート電極１０５側面を覆う第１絶縁膜サイドウォール５ｂと、ゲート電極１０５を挟んで形成されたソース領域１０８Ｓ及びドレイン領域１０８Ｄにおいて、側面が第１絶縁膜サイドウォール５ｂに接して半導体基板１上面に形成されたシリコン層１０９と、第１絶縁膜サイドウォール５ｂを介してゲート電極１０５側面と対向し、底面がシリコン層１０９上面に接して形成された第２絶縁膜サイドウォール５ｄと、シリコン層１０９内下層部に設けられたＬＤＤ不純物層１０９ａと、シリコン層１０９内上層部に設けられた高濃度不純物層１０９ｂと、ＬＤＤ不純物層１０９ａの下方、半導体基板１の表面側に形成されたポケット不純物層１０８ａとを具備する。 （もっと読む）

【課題】エンハンスメント型ＦＥＴとディプレッション型ＦＥＴとを集積する場合に製造工程数の削減を実現できる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】この製造方法は、アクティブ領域１１を横断しゲート電極１０Ａよりも長さが短いゲート電極１０Ｂを形成する工程と、ゲート電極１０Ａ，１０Ｂをマスクとして、アクティブ領域１１に不純物を斜めイオン注入することにより、ゲート電極１０Ａのゲート長方向両側の領域に互いに連続しない不純物拡散領域２０ａ，２０ｂを形成するとともに、ゲート電極１０Ｂのゲート長方向両側の一方の領域から他方の領域に亘って連続する不純物拡散領域２０ｇ，２０ｈを形成する斜めイオン注入工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】プロセスの複雑化を招くことなく、サイリスタとしての機能を実現することの出来る半導体装置を提供することを課題の一とする。
【解決手段】リセット動作及び初期化動作により所定の電位が記憶されたメモリ回路を有する半導体装置において、トリガー信号の供給に応じて、メモリ回路の書き換えが行われる回路を設ける構成とする。そして、メモリ回路の書き換えにより、半導体装置に流れる電流を負荷に流す構成とすることで、サイリスタとしての機能を実現しうる半導体装置とする。 （もっと読む）

【課題】マルチフィン高さを有するFinFETを提供する。
【解決手段】集積回路構造は、半導体基板と、半導体基板上のFinFETと、を含む。FinFETは、半導体フィンと、半導体フィンの頂面および側壁上のゲート誘電体と、ゲート誘電体上のゲート電極と、半導体フィン一端に位置するソース/ドレイン領域と、を備える。一対の第一STI領域は、ソース/ドレイン領域の一部分の真下に位置する部分を含み、一対の第一STI領域は、半導体ストリップにより分離され、且つ、半導体ストリップに隣接する。一対の第一STI領域は、更に、第一頂面を有する。一対の第二STI領域は、ゲート電極の真下に位置する部分を含み、一対の第二STI領域は、半導体ストリップにより互いに分離され、且つ、半導体ストリップに隣接する。第二STI領域は、第一頂面より高い第二頂面を有する。 （もっと読む）

【課題】メモリセル領域と高電圧トランジスタとの高濃度不純物拡散領域を同時にイオン注入で形成し、且つ高電圧トランジスタ側の方が浅くなるように形成する。
【解決手段】シリコン基板１にメモリセル領域にゲート電極ＭＧ、ＳＧを形成し（図３（ｂ））、周辺回路領域にゲート電極ＰＧ（図３（ｃ））を形成する。周辺回路領域のゲート電極ＰＧは、高電圧トランジスタについては厚い膜厚のゲート絶縁膜１１が形成されている。ゲート絶縁膜１１を残した状態でＴＥＯＳ酸化膜９を成膜し、スペーサ加工をする。この時、スペーサ９ａを形成すると共に、ゲート絶縁膜１１を半分程度エッチングして１１ａとする。ＴＥＯＳ酸化膜１０を形成後に高濃度不純物拡散領域１ｄ、１ｅをイオン注入で深さｄ１、ｄ２で形成する。高電圧トランジスタについてはゲート絶縁膜１１ａを介して行うので、浅く形成される。 （もっと読む）

【課題】多層配線間で形成される寄生容量を低減することを目的の一とする。
【解決手段】絶縁表面上に第１配線と、前記第１配線を覆う第１層間絶縁膜と、前記第１層間絶縁膜上の一部に接して第２層間絶縁膜と、前記第１層間絶縁膜及び前記第２層間絶縁膜上に第２配線とを有し、前記第１配線と前記第２配線とが重なっている領域には、前記第１層間絶縁膜と前記第２層間絶縁膜とが積層された半導体装置である。第１配線と第２配線間に層間絶縁膜が積層されていることで寄生容量の低減が可能となる。 （もっと読む）

【課題】新たな構造の半導体装置を提供することを目的の一とする。
【解決手段】酸化物半導体層を含むトランジスタと、酸化物半導体以外の半導体材料を用いて構成された論理回路と、を有し、前記トランジスタのソース電極またはドレイン電極の一方と、前記論理回路の少なくとも一の入力とは電気的に接続され、前記トランジスタを介して、前記論理回路に少なくとも一の入力信号が供給される半導体装置である。ここで、トランジスタのオフ電流は１×１０^−１３Ａ以下であるのが望ましい。 （もっと読む）

【課題】ＲＴＳノイズを低減することが可能な絶縁ゲート型半導体素子、絶縁ゲート型半導体集積回路を提供する。
【解決手段】チャネル領域として機能するｐ型の半導体層１１と、チャネル領域を少なくとも囲み、活性領域２１Ｂを定義する素子分離絶縁膜２１と、活性領域２１Ｂの一方に設けられたｎ型の第１主電極領域１２と、活性領域２１Ｂの他方に設けられたｎ型の第２主電極領域１３と、活性領域２１Ｂ上に設けられたゲート絶縁膜２２と、ゲート絶縁膜２２上において、第１主電極領域１２と第２主電極領域１３との間のチャネル領域を流れるキャリアの流路に直交する方向に伸延するゲート電極２４とを備え、チャネル領域への前記キャリアの注入口が素子分離絶縁膜２１から離間して設けられている。 （もっと読む）

【課題】異なるフィン高さを有するFinFETを提供する。
【解決手段】集積回路構造は、第１装置領域の第１部分と、第２装置領域の第２部分と、を有する半導体基板からなる。第１半導体フィンは半導体基板上にあり、第１フィン高さを有する。第２半導体フィンは半導体基板上にあり、第２フィン高さを有する。第１フィン高さは第２フィン高さより高い。 （もっと読む）

【課題】ゲート電極を形成してからチャネル形成用半導体部を形成する方法において、結晶品質の良い単結晶Ｓｉを用いて良質なゲート絶縁膜を形成した縦型半導体装置を提供する。
【解決手段】単結晶半導体基板に少なくとも第１絶縁層を有する積層体を形成する工程Ｓ１と、前記積層体に、前記単結晶半導体基板が露出する孔を形成する工程Ｓ２と、前記孔の底面に露出している前記単結晶半導体基板を種結晶領域とすることにより、前記第１絶縁層の上にゲート電極となる単結晶半導体部を形成する工程Ｓ３と、前記孔内に埋められた前記単結晶半導体部を除去することで、前記孔の底面に前記単結晶半導体基板を再び露出させる工程Ｓ４と、前記単結晶半導体部の前記孔の側面に露出している部分にゲート絶縁膜を形成する工程Ｓ５と、前記孔にチャネル形成用半導体部を形成する工程Ｓ６と、を有する半導体装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】低酸素処理を施したシリコン基板は基板表面層が応力に対して非常にもろくなってしまい、ハンド津愛想うちの製造プロセスの過程でクラックや反りが発生する原因ともなってしまう。
【解決手段】チャネル形成領域に形成された不純物領域に応力を集中させるため、チャネル形成領域に対して人為的かつ局部的に不純物領域を設ける。チャネル形成領域に局部的に添加された不純物元素（炭素、窒素、酸素から選ばれた一種または複数種類の元素）の領域は、低酸素処理を施したシリコン基板の応力を緩和する緩衝領域として機能する。 （もっと読む）

【課題】新たな構造の半導体装置を提供することを目的の一とする。
【解決手段】半導体材料を含む基板に設けられたチャネル形成領域と、チャネル形成領域を挟むように設けられた不純物領域と、チャネル形成領域上の第１のゲート絶縁層と、第１のゲート絶縁層上の第１のゲート電極と、不純物領域と電気的に接続する第１のソース電極および第１のドレイン電極と、を有する第１のトランジスタと、半導体材料を含む基板上の第２のゲート電極と、第２のゲート電極上の第２のゲート絶縁層と、第２のゲート絶縁層上の酸化物半導体層と、酸化物半導体層と電気的に接続する第２のソース電極および第２のドレイン電極と、を有する第２のトランジスタと、を有する半導体装置である。 （もっと読む）

歪み材料を有する半導体デバイスが開示される。特定の実施形態では、半導体デバイスは、第１ドレインと第１ソースとの間に第１ゲートを含む第１セルを含む。半導体デバイスはまた、第１セルに隣接する第２セルを含む。第２セルは、第２ドレインと第２ソースとの間に第２ゲートを含む。半導体デバイスはさらに、第１ソースと第２ソースとの間にシャロートレンチ分離領域を含む。第１ソースおよび第２ソース上の第１量の歪み材料は、第１ドレインおよび第２ドレイン上の第２量の歪み材料より多い。
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【課題】ｄｖ／ｄｔサージにより、寄生容量を充放電する変位電流の発生を抑制できる半導体装置の製造方法及び半導体装置を提供する。
【解決手段】低電位基準回路部ＬＶ、高電位基準回路部ＨＶ、レベルシフト回路部ＬＳを形成したＳＯＩ基板の半導体層の主面上にサポート部材を貼り付け、支持基板を除去する。次いで、回路部と対向するように絶縁部材を半導体層の裏面上に固定した後、サポート部材を剥がす工程と、チップ内にＬＶ，ＨＶ，ＬＳが含まれるように絶縁部材の固定された半導体層をダイシングする工程を経る。そして、サポート部材を剥がし、チップ化した半導体層を、絶縁部材を挟んで、第１のリードがＬＶと、第２のリードがＨＶと対向するように、第１リード及び第２リード上に固定するとともに、第１のリードとＬＶにおける第１の電位が印加される部位を電気的に接続し、第２のリードとＨＶにおける第２の電位が印加される部位を電気的に接続する。 （もっと読む）

幅広い電子デバイスのアレイ及びシステムにおける電力消費を低減する一式の新たな構造及び方法が提供される。これらの構造及び方法のうちの一部は、大部分が既存のバルクＣＭＯＳのプロセスフロー及び製造技術を再利用することで実現され、半導体産業及びより広いエレクトロニクス産業がコスト及びリスクを伴って代替技術へ切り替わることを回避可能にする。これらの構造及び方法のうちの一部は、深空乏化チャネル（ＤＤＣ）設計に関係し、ＣＭＯＳベースのデバイスが従来のバルクＣＭＯＳと比較して低減されたσＶＴを有することと、チャネル領域にドーパントを有するＦＥＴの閾値電圧ＶＴがより一層正確に設定されることとを可能にする。ＤＤＣ設計はまた、従来のバルクＣＭＯＳトランジスタと比較して強いボディ効果を有することができ、それにより、ＤＤＣトランジスタにおける電力消費の有意義な動的制御が可能になる。
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【課題】ＬＳＩやＣＰＵやメモリに用いるトランジスタのリーク電流及び寄生容量を低減することを課題の一とする。
【解決手段】酸化物半導体中で電子供与体（ドナー）となる不純物を除去することで、真性又は実質的に真性な半導体であって、シリコン半導体よりもエネルギーギャップが大きい酸化物半導体でチャネル領域が形成される薄膜トランジスタを用い、ＬＳＩやＣＰＵやメモリなどの半導体集積回路を作製する。水素濃度が十分に低減されて高純度化された酸化物半導体層を用いる薄膜トランジスタは、リーク電流による消費電力の少ない半導体装置を実現できる。 （もっと読む）

【課題】製造工程中にピラー径の変動が小さいピラー型ＭＯＳトランジスタを備えた半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の半導体装置は、基板対して垂直に立設する第１のピラー及び第２のピラーの側面にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、第１のピラーの先端部及び基端周囲領域に形成された上部拡散層及び下部拡散層と、を備え、第２のピラーのゲート電極と隣接する第１のピラーのゲート電極とは接続されており、第１のピラーのゲート電極には第２のピラーのゲート電極を介して電位が供給され、第１のピラーと、該第１のピラーに隣接する第２のピラーの少なくとも一部とは平面視して、第１のピラー及び第２のピラーの側面を構成する面のうち、熱酸化速度及び／又はエッチング速度が最大の面に対して４５°の方向に沿って配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ゲート電極とプラグとの接続信頼性を向上することができる技術を提供する。
【解決手段】本発明では、ＭＩＳＦＥＴのゲート電極Ｇ１を金属膜ＭＦ２とポリシリコン膜ＰＦ１の積層膜から構成するＭＩＰＳ電極を前提とする。そして、このＭＩＰＳ電極から構成されるゲート電極Ｇ１のゲート長に比べて、ゲートコンタクトホールＧＣＮＴ１の開口径を大きく形成する第１特徴点と、ゲート電極Ｇ１を構成する金属膜ＭＦ２の側面に凹部ＣＰ１を形成する第２特徴点により、さらなるゲート抵抗（寄生抵抗）の低減と、ゲート電極Ｇ１とゲートプラグＧＰＬＧ１との接続信頼性を向上することができる。 （もっと読む）