【課題】スクライブ工程で生じる静電気を効率よく除去することができ、優れた収率で集積型薄膜太陽電池を製造することができる集積型薄膜太陽電池の製造方法及び製造装置を提供すること。
【解決手段】本発明の集積型薄膜太陽電池の製造方法は、基板上の薄膜に溝を形成するスクライブ工程が、静電気中和手段により行う静電気除去処理を少なくとも含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光電変換素子の構成膜等の成膜に好ましく適用でき、複数のライン状パターンを有するパターン膜を直接パターン成膜することが可能な成膜方法を提供する。
【解決手段】ライン状パターンの幅に合わせた間隔で配列された複数のワイヤを有するマスクＭを用いて、物理気相成長（ＰＶＤ）法によりパターン成膜を行う。若しくは、１本のワイヤが折り曲げられて形成され、ライン状パターンの幅に合わせた間隔で配列された複数のワイヤ部を有するマスクを用いて、ＰＶＤ法によりパターン成膜を行う。 （もっと読む）

【課題】レーザ光のパワーを最適化してスクライブ加工を行なえるようにする。
【解決手段】ソーラパネルにおいては、ガラス基板から析出するナトリウムにより金属膜が錆びてしまい、ソーラパネルの劣化を加速させるという問題があるので、ガラス基板と透明電極層との間に薄い二酸化珪素（ＳｉＯ₂ ）膜がコーティングしてある。このようなガラス基板にレーザ光を用いて透明電極層のスクライブ加工を行なうと、この二酸化珪素膜が削り取られ、ガラス基板からナトリウムが析出することがある。そこで、エネルギー分散型Ｘ線分析手段を用いてワークの加工箇所に電子線を照射し、発生する特性Ｘ線を検出してナトリウム成分値を測定する。このナトリウム成分値が所定値よりも大きい場合には、レーザ光のパワーが大きいことを意味するので、ナトリウム成分値が検出されないようにレーザ光のパワーを適宜調整する。 （もっと読む）

【課題】コストと時間を無駄にかけることなく未加工箇所を含む薄膜太陽電池用基板をリペアすること、および、薄膜ブロック間のピッチが狭い薄膜太陽電池用基板でもリペアすること。
【解決手段】レーザ加工装置は、基板６１と薄膜６２とを有する太陽電池に用いられる被加工基板６０を加工する。レーザ加工装置は、被加工基板６０を保持する保持部３０と、レーザ光Ｌを照射して薄膜６２を加工するレーザ発振器２０と、薄膜６２に対するレーザ光Ｌの照射位置を相対的に移動させて加工線６５を形成させる移動機構と、加工線６５の一側方に位置する第一薄膜ブロック６２ａ１と他側方に位置する第二薄膜ブロック６２ａ_２との間の電気的特性を測定する電気測定部１０と、を備えている。電気測定部１０は、加工線６５に沿った複数の箇所で第一薄膜ブロック６２ａ１と第二薄膜ブロック６２ａ_２との間の電気的特性を測定することで、薄膜６２の未加工箇所を検出する。 （もっと読む）

【課題】基板上の広い範囲において基板上の膜の除去がより確実に行なわれる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】主面Ｓ上に膜３０が形成された基板２が固定される。第１の焦点位置Ｆａを有する第１の光Ｌａが膜３０のうちの第１の部分ＴＡ１に照射され、かつ厚さ方向において第１の焦点位置Ｆａと異なる第２の焦点位置Ｆｂを有する第２の光Ｌｂが膜３０のうちの第２の部分ＴＢ１に照射される。第１および第２の部分ＴＡ１、ＴＢ１の各々は、互いに重複しない部分を有する。 （もっと読む）

【課題】 各スクライブ加工工程における基材の歪み量が、製造工程中の熱応力や機械的応力を原因として大きく異なるものであったとしても、２以上のスクライブ加工工程のそれぞれにおいて形成されるスクライブ線同士の位置的相関を設計通りの位置的相関に維持することを可能とする。
【解決手段】 １の成膜工程が完了した中間品シート乃至プレート上から、前記基材に直接に刻設されたパンチ孔やアライメントマーク等の位置合わせシンボルの位置を光学的に検出し、前記シンボルの検出された位置と、前記シンボルの位置とそれに対応するスクライブ線上の位置との設計上の位置関係とに基づいて、設計上のスクライブ加工位置を補正し、前記補正後のスクライブ加工位置に対してレーザ光を照射してスクライブ線を形成する。 （もっと読む）

【課題】刃先が摩耗または刃こぼれしたときに溝加工ツール自体を交換することなく、新しい刃先に簡単に据え替えることのでき、かつ、集積型薄膜太陽電池を歩留まりよく製造することのできる太陽電池の製造方法、溝加工ツールを提供する。
【解決手段】
溝加工ツール８が、スクライブ装置のホルダ９に回転並びに固定可能に取り付けた円盤状ボディ８１の外周部に、歯車状に連続した多数の凹、凸部８２、８３が円周方向に沿って形成され、この凸部８３の接線方向に向いた少なくともいずれか一方の角部を刃先８４として形成し、この刃先８４を進行方向に向けて配置して一回の移動により複数の刃先で同時に溝加工を行う。 （もっと読む）

【課題】刃先が摩耗したとき、溝加工ツール自体を交換することなく、新しい刃先に簡単に据え替えることができ、かつ、集積型薄膜太陽電池を歩留まりよく製造することのできる太陽電池の溝加工ツールを提供する。
【解決手段】
スクライブ装置のホルダ９に回転並びに固定可能に取り付けられる円盤状ボディ８１の外周部に、略接線方向に刃先を向けた刃領域が周方向に等しい間隔をあけて複数設けられており、この何れか一つの刃先を選択して溝加工を行う。 （もっと読む）

【課題】太陽電池のＦＦ特性の向上、歩留まりの低減に有効な裏面電極層を積層してなる太陽電池、及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ガラス基板上に、モリブデンからなる金属裏面電極層を積層した化合物系薄膜太陽電池であって、上記金属裏面電極層は、スパッタ法により、その表面の反射率が１０％以上３５％以下の範囲で上記ガラス基板上に製膜されていることを特徴とする化合物系薄膜太陽電池を提供する。 （もっと読む）

【課題】陽極酸化基板を用いた光電変換素子において、下部電極に形状精度良く開溝部を形成する。下部電極のスクライブ加工の際の陽極酸化基板への熱の影響を低減する。
【解決手段】光電変換素子１は、Ａｌを主成分とする金属基材の少なくとも一方の面側に陽極酸化膜を有する基板１０上に、下部電極２０と光吸収により電流を発生する光電変換半導体層３０と上部電極５０との積層構造を有し、かつこの積層構造が複数の開溝部６１〜６３によって複数のセルに分割されたものであり、下部電極２０は、Ｍｏよりも低沸点の金属を主成分とする少なくとも１層の低沸点金属層２１と、Ｍｏを主成分とする少なくとも１層のＭｏ層２２とを含み、かつ、最上層をＭｏ層とする積層電極である。 （もっと読む）

【課題】凹凸表面を有する支持体上に形成された半導体層の膜厚を高精度に測定することができる積層体およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】凹凸表面ｃ１を有する支持体Ｂ１と、支持体表面に積層された半導体層Ｔとを備え、半導体層Ｔを有する支持体Ｂ１はその一部に、半導体層Ｔの層厚ｔが光学的に測定されるように構成された層厚被測定部位Ｇ１を有する積層体。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を維持しながら、簡単な構造で製造が容易で、コストが低減できる太陽電池パネルを提供することを目的とする。
【解決手段】セル集積体２の両極に、設けられている一対のバスバー５と、その上に、金属膜及び開口部を有する絶縁膜が積層された防水シート６と、それらの上に設けられ、各開口部の上方に、開口部より大きい開口部３ａを有する充填層３と、充填層３上に設けられ、各開口部の上方に、開口部より大きい開口部４ａを有する保護層４と、一端が開口部に露出した金属膜に接続され、他端が開口部４ａから引き出される一対の電極８と、各電極８に接続された一対の出力ケーブルと、中途にバイパスダイオードを有し、一対の出力ケーブル間を接続するバイパスケーブルと、電極８を囲むように保護層４の上に設けられた端子箱９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】膜を複数の領域に分離するための加工不良を抑制して半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置の製造方法は、以下の工程を備えている。基板上に膜を形成する。そして、膜を複数の領域に分離するために、基板を介して膜に光ビームを照射する。膜を形成する工程と、光ビームを照射する工程との間に、形成した膜面を洗浄する。上記膜を形成する工程は、基板上に半導体層を形成する工程、および半導体層上に裏面電極膜を形成する工程の少なくともいずれかである。 （もっと読む）

【課題】集積型薄膜太陽電池を効率よく製造することのできる太陽電池の製造方法を提供する。
【解決手段】（１）絶縁基板上に、少なくとも下部電極層、光吸収層及び上部電極層が形成された太陽電池基板を提供し、（２）前記太陽電池基板の後工程で相互に分割されて個別の太陽電池の機能領域となる領域に、上部電極層側から下部電極層面に至る深さで、上部電極層面上に複数の溝を形成するパターニング工程、（３）前記複数の溝と平行に広がる領域であって、個別の太陽電池の機能領域となる領域の両側の上部電極側から下部電極層面に至る各層を除去して下部電極層を露出させるワイドパターニング工程、（４）脆性基板のスクライブ工程及び（５）ブレーク工程を含む。 （もっと読む）

【課題】基板面の付着物を抑制して製造可能な半導体装置の製造方法および半導体装置の製造装置を提供する。
【解決手段】半導体装置の製造方法は、以下の工程を備えている。基板の表面上に膜が形成される。基板の表面と反対側の裏面２ｂの上方から裏面２ｂに向けて気体を吹き付けることにより、裏面２ｂが洗浄される。洗浄する工程では、基板の下方に侵入した気体が基板の裏面２ｂに上昇しないように制御している。半導体装置の製造装置は、載置部１０２と、気体発生部１０３と、密閉容器１０１とを備えている。載置部１０２は、基板Ｓを載置する。気体発生部１０３は、載置部１０２の上方に配置され、かつ載置部１０２に載置された基板Ｓに向けて気体を吹き付ける。気体制御部は、載置部１０２の下方に位置し、かつ下方に侵入した気体が上昇しないように制御する。 （もっと読む）

【課題】耐久性を確保し易く、セルの設置スペースも大きく確保し易い色素増感型太陽電池を提供する。
【解決手段】光透過性を有する光極用導電層３の一側面に、受光に伴って電子を放出する色素が担持されたＮ型半導体からなる光極層４と、光極層４に対して間隔を隔てて対向する導電性を備えた対極層５と、光極層４と対極層５との間に封入された電解質層６とを積層してあるセル１の複数が、光極用導電層３の夫々を光透過性を有する共通の基板２の一側面に並設して、電気的に互いに並列に接続されている。 （もっと読む）

【課題】基板上にアライメントマークを設けることなく正確にアライメントを行なうことができるようにする。
【解決手段】レーザ光による最初の加工処理が終了した時点で、その加工処理によって形成された形状変化部分と基板の縁部の両方を含む箇所の画像を取得し、その画像を次回以降の加工処理前のアライメント処理に利用するようにした。画像の中に形状変化部分と基板縁部の両方の画像を含んでいるので、画像認識処理が容易となる。 （もっと読む）

【課題】レーザを利用して単位セル別に反射物質層をパターニングする工程による短絡不良問題を改善し、薄膜太陽電池の光変換効率を向上させる。
【解決手段】基板上に複数の単位セルを区分する段階と；複数の単位セルで区分される基板上に複数の第１分離ラインにより単位セル別に対応する複数の透明導電層を形成する段階と；複数の透明導電層の上部に複数の第２分離ラインにより単位セル別に分離された光吸収層を形成する段階と；複数の第２分離ラインと離隔された一側に単位セル別に光吸収層を切断する第３分離ラインを形成する段階と；第３分離ラインと対応する位置にシルクスクリーンを装着して、導電性ペーストを塗布して反射物質層を形成する段階と；反射物質層を焼結して単位セル別に複数の反射電極を形成する段階を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】隣接する太陽電池セル間に形成される分離溝で、隣接する太陽電池セルとの接続抵抗が大きくなったり、接続を確保できなくなったりすることを抑えることが可能な薄膜太陽電池を得ること。
【解決手段】透光性絶縁基板２上に、表面電極層１１と、バンドギャップの異なる半導体層を基板面に垂直な方向に複数含む光電変換層１２と、裏面電極層１３と、を含むユニットセル１０が複数配列して形成され、ユニットセル１０の光電変換層１２を隣接する一方のユニットセルの光電変換層と分離する分離溝２１で、ユニットセル１０の裏面電極層１３が隣接するユニットセルの表面電極層１１と接続され、ユニットセル１０が直列に接続されてなる薄膜太陽電池において、分離溝２１を構成する光電変換層１２の側面は、基板面に対して０°よりも大きく４５°以下の角度を有する。 （もっと読む）

【課題】バスバーの形状を工夫することで太陽電池モジュールのエネルギー変換効率を向上させるとともに、バスバーの接着強度の向上を図る。
【解決手段】透光性絶縁基板１１上に形成された透明導電膜１２、光電変換層１３及び裏面電極層１４からなる太陽電池素子１０の前記裏面電極層１４上に、導電性接着剤１８によりバスバー２１が接着された構成の太陽電池モジュールにおいて、前記バスバー２１は、透明導電膜１２または裏面電極層１４の長手方向と直交する方向に複数の導電性線材２１ａ，２１ａ，・・・が並べて配置された部分を有する構成としている。また、これら導電性線材２１ａ，２１ａ，・・・は、透明導電膜１２または裏面電極層１４の長手方向と直交する方向に隙間を存して配置されている。 （もっと読む）