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Fターム[5F053AA06]の内容

半導体装置を構成する物質の液相成長 (5,002) | 成長方法 (895) | スピン法 (188)

Fターム[5F053AA06]に分類される特許

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【課題】塗布プロセス(印刷やIJ)により製造が可能であって、電磁波照射による異常放電がなく、生産効率及び生産安定性が高く、かつキャリア移動度及びon/off比が向上した電子デバイス及びその製造方法を提供することにある。
【解決手段】基板上に、電極を有し、少なくとも1部に熱変換材料または熱変換材料を含むエリアと、前記熱変換材料または熱変換材料を含むエリアに隣接もしくは近接して電磁波吸収能を持つ物質または電磁波吸収能を持つ物質を含むエリアを配置し、電磁波を照射して、該電磁波吸収能を持つ物質が発生する熱により、熱変換材料を機能材料に変換する電子デバイスの製造方法において、前記電極の辺が形成する角が全て90°より大きく180°より小さい、または、曲面であることを特徴とする電子デバイスの製造方法。 (もっと読む)


【課題】形状精度の良好な半導体層を形成することが可能であり、これによって特性の良好な薄膜半導体装置を得ることが可能な薄膜半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】有機半導体溶液L1とポリマー溶液L2とを基板1上に個別に供給することにより、有機半導体溶液L1とポリマー溶液L2との混合液層5aを形成する。混合液層5aを乾燥させて半導体層5を形成する。有機半導体溶液L1およびポリマー溶液L2は、インクジェット法のような印刷法によって基板1上に供給する。 (もっと読む)


【課題】基体(基板)上にシリコン膜を、液状シリコンから、過大な装置コストを要せず、低温、短時間に形成する方法を提供する。
【解決手段】液状シリコン化合物を、基板上に塗布することで液状シリコン膜を形成し、該液状シリコン膜にプラズマ処理を施すことで、シリコン膜を形成することを特徴とするシリコン膜の形成方法。 (もっと読む)


【課題】 塗布技術や印刷技術を用いて形成した薄膜トランジスタを微細に形成し、さらに、ホトコンを低減することにより、高性能な薄膜トランジスタ、及びそれを用いた半導体装置を安価に提供すること。
【解決手段】 絶縁基板上に、ソース・ドレイン電極、ゲート絶縁膜、有機半導体層、ゲート電極の各部材が積層された薄膜トランジスタ、およびそのトランジスタを含む表示装置、ICタグ装置、センサー装置において、有機半導体層は塗布法もしくは印刷法で形成されており、ソース・ドレイン電極上の有機半導体層の概略パターン平面形状の少なくとも一部(少なくともチャネル長方向の端部)がソース・ドレイン電極上のパターン形状と自己整合的な形状である構成とした。 (もっと読む)


【課題】薄膜トランジスタの製造において有用な半導体インク配合物を提供する。
【解決手段】半導体インク配合物は、構造式(A)のチオフェン部分を含む半導体材料と、第1の溶媒と、第1の溶媒と混和性であり、第1の溶媒の表面張力に等しいかまたはそれより大きい表面張力を有する第2の溶媒とを含み、該半導体材料が室温にて0.1重量%未満の溶解度を有する。


(上記構造式(A)中、Rは、アルキルおよび置換アルキルから選択される。) (もっと読む)


【課題】基材上に設けられた銅ナノ粒子を含む印刷層を、低温かつ短時間で焼成処理して、平滑な半導体層を形成してなる半導体基板を効率よく製造する方法を提供する。
【解決手段】基材上に、銅ナノ粒子を含む塗布液をパターン状に印刷して印刷層を形成した後、この印刷層を焼成処理してパターン状の半導体層を形成する半導体基板の製造方法であって、酸素を含む雰囲気下、マイクロ波エネルギーの印加により発生する表面波プラズマに前記印刷層を晒すことにより、該印刷層の焼成処理を行うことを特徴とする半導体基板の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】無機化合物の表面を溶液プロセスによって効率的に特定の有機化合物で修飾し、有機薄膜を形成する方法を提供する。
【解決手段】無機化合物の最表層に、下記一般式(1)で表される官能基を2つ以上有する化合物の単分子膜を形成し、次いで前記化合物において前記無機化合物に結合していない下記一般式(1)で表される官能基の一部もしくは全部を水素原子に変換する、無機化合物の表面修飾方法および有機薄膜の製造方法。


(式中、Rは置換基を表し、nは1又は2の整数を表す。) (もっと読む)


【課題】無機半導体微粒子を出発物質とし、所望の特性を有する半導体薄膜の形成方法を適用した電子デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】制御電極14、第1電極及び第2電極16、並びに、第1電極と第2電極16との間であって、絶縁層15を介して制御電極14と対向して設けられた、半導体薄膜から成る能動層17を備えた電子デバイスの製造方法において、半導体薄膜を、(a)無機半導体微粒子分散溶液を基体上に塗布、乾燥して、半導体微粒子層を形成した後、(b)半導体微粒子層を溶液に浸漬する各工程にて得る。 (もっと読む)


【課題】湿式塗布法により形成可能で、有機溶媒に対して耐性を有する有機半導体層を提供する。
【解決手段】有機顔料分散液は、有機溶媒と、この有機溶媒中に分散した有機顔料と、を含有し、有機トランジスタにおける有機半導体層を湿式塗布法によって形成する際の塗布液として用いられる。湿式塗布には、スピンコート法や、有機顔料分散液を微小液滴として吐出してドットまたは層を作製する液滴吐出法を採用できる。 (もっと読む)


【課題】1回のインクジェット吐出により基板上に、分離された複数の薄膜を成膜可能な有機薄膜トランジスタの製造方法を提供し、該製造方法によりOff電流が低く、且つ、平均移動度が良好な有機薄膜トランジスタを提供し、且つ、該トランジスタを具備する表示装置を提供する。
【解決手段】基板上に、導電層、絶縁層、有機半導体層の少なくとも一層をインクジェットプロセスで成膜する工程を有する有機薄膜トランジスタの製造方法において、
該導電層、該絶縁層及び該有機半導体層の少なくとも一層を成膜する際、1回のインクジェット吐出によって、該基板上に、分離された複数の薄膜を成膜する工程を有することを特徴とする有機薄膜トランジスタの製造方法。 (もっと読む)


【課題】製造コストの低い溶液法を使用でき、さらに、有機半導体層への影響が少なく機械的強度や熱的安定性に優れた電極を備える有機トランジスタを提供する。
【解決手段】有機半導体層14と、有機半導体層14にゲート絶縁層13を介して形成されたゲート電極12と、有機半導体層14に接して対向する位置に形成されている炭素材料からなるソース電極15及びドレイン電極16とを備える有機トランジスタを構成する。 (もっと読む)


【課題】転写印刷による有機半導体薄膜の形成において有機半導体材料の選択の自由度が高く、これにより印刷法を適用して特性の良好な薄膜半導体装置を得ることが可能な有機半導体薄膜の形成方法および薄膜半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】溶剤に溶解させたインクの状態において印刷版から基板への転写が不可能な有機半導体材料と共に転写が可能な有機材料を混合した混合インク層3を、印刷版1の一主面側に形成する。印刷版1側の混合インク層3を基板10上に転写することにより、基板10上に混合インク層3を転写してなる有機半導体薄膜19を形成する。 (もっと読む)


【課題】漏洩電流を最小化することができ、高い電界効果移動度と低いターンオン電圧を有する有機薄膜トランジスタを提供する。
【解決手段】前記有機薄膜トランジスタの製造方法は、(a)基板の上部にゲート電極を形成した後、上部面の全体にゲート絶縁層を形成するステップと、(b)前記ゲート絶縁層の表面エネルギーを制御した後、前記ゲート絶縁層の上部に有機半導体物質を用いて半導体チャネル層を形成するステップと、(c)前記半導体チャネル層の上部にソース電極及びドレイン電極を形成するステップとを含む。 (もっと読む)


【課題】インクジェット法に代表される塗布法で成膜可能であって、高い電荷移動度および高いオンオフ比を有する有機FETを提供することができるカーボンナノチューブ分散溶液および有機半導体コンポジット溶液を提供すること。
【解決手段】表面の少なくとも一部に共役系重合体が付着したカーボンナノチューブおよび一種類以上の溶媒を含有するカーボンナノチューブ分散溶液であって、該カーボンナノチューブ分散溶液に含まれる各溶媒の双極子モーメントが3.5Debye以下であり、かつ、沸点が150℃以上である溶媒を全溶媒中50体積%以上含有するカーボンナノチューブ分散溶液。 (もっと読む)


【課題】低分子化合物を用いて高効率な有機薄膜光電変換素子を提供する。
【解決手段】π共役系低分子化合物を塗布成膜した後に、該π共役系低分子化合物から置換基の一部または全部を脱離させることにより有機半導体薄膜へと変換し、該膜上に別の半導体材料を成膜することにより光電変換層を作製した有機薄膜光電変換素子。 (もっと読む)


【課題】溶液プロセスでの素子作製に適した溶解性を有しながら、成膜後に化学的安定性および半導体動作安定性が高く良好な半導体特性を示す、特定の化合物を用いて得られる結晶性有機薄膜、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】(i)基板上に、溶媒可溶性化合物を溶媒に溶かした溶液を塗布する工程、(ii)前記溶媒可溶性化合物を脱離反応させて溶媒不溶化し有機薄膜を形成する工程、及び(iii)前記有機薄膜上に、溶媒可溶性化合物を溶媒に溶かした溶液を塗布し、脱離反応させて結晶性有機薄膜を積層する工程を含む、結晶性有機薄膜の製造方法。 (もっと読む)


溶媒混合物に溶解した有機半導体を含む組成物が記述される。より具体的には、この溶媒混合物は、9〜16個の炭素原子を有するアルカンを1〜20重量パーセント量、及び芳香族化合物を80〜99重量パーセント量、含む。この半導体材料は、組成物の合計重量に対し、少なくとも0.1重量パーセント、この溶媒混合物に溶解している。この組成物を使用して半導体層を形成する、半導体デバイスの製造方法も記述される。
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【課題】シリコン膜の成膜性を向上させることができる前駆体液およびそれを用いた半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る半導体装置の製造方法は、基板の上部にシリコンの前駆体液を配置する工程と、前記シリコンの前駆体液に熱処理を施すことによりシリコン膜を形成する工程と、を有し、前記シリコンの前駆体液は、高次シランを含む環状飽和炭化水素化合物の溶液である。このように、環状飽和炭化水素化合物を溶媒として用いることにより高次シラン(例えば、平均分子量が2600を超えるポリシラン化合物)を溶解させることができ、前駆体液の均一性を向上させることができる。よって、形成されるシリコン膜の成膜性を向上させることができる。また、高次シランを用いることで、膜材料の揮発を低減でき、装置の生産性を向上させることができる。 (もっと読む)


【課題】高温で熱処理を施すことなく、結晶性の高い良好なシリコン膜を形成することが可能なシリコン膜の形成方法を提供する。
【解決手段】ポリシラン修飾シリコン細線を含む液体を調製(S101)したのち、基体の上にポリシラン修飾シリコン細線を含む液体を用いて塗布膜を形成(S102)し、この塗布膜を加熱する(S103)ことにより、シリコン膜を形成する。これにより、高温で加熱せずに、塗布膜中においてシリコンの結晶化が促進される。 (もっと読む)


【課題】Si−H結合を確保することが可能なシリコン膜の形成方法を提供する。
【解決手段】加熱により脱離可能な水素を含む基体を用意(S101)すると共に、シリコン化合物を含む溶液を調製(S102)したのち、この基体の上にシリコン化合物を含む溶液を用いて塗布膜を形成(S103)し、この塗布膜を加熱(S104)することにより、シリコン膜を形成する。この場合、加熱された基体から脱離する水素によって、シリコン膜中でSi−H結合が形成される。 (もっと読む)


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