【課題】多層配線間で形成される寄生容量を低減することを目的の一とする。
【解決手段】絶縁表面上に第１配線と、前記第１配線を覆う第１層間絶縁膜と、前記第１層間絶縁膜上の一部に接して第２層間絶縁膜と、前記第１層間絶縁膜及び前記第２層間絶縁膜上に第２配線とを有し、前記第１配線と前記第２配線とが重なっている領域には、前記第１層間絶縁膜と前記第２層間絶縁膜とが積層された半導体装置である。第１配線と第２配線間に層間絶縁膜が積層されていることで寄生容量の低減が可能となる。 （もっと読む）

【課題】トランジスタ基板に有機膜を設けて性能を高めた液晶表示装置を、より少ない製造工程数により製造することができ、生産性を向上させることができる液晶表示装置用トランジスタ基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】透明絶縁性基板２５の上に、ゲート電極２６、ゲート絶縁膜２７、半導体層１９、ソース電極２０及びドレイン電極２１、パッシベーション膜２８が、記載順に積層され、対向基板１２との間に液晶層３０を充填して対向配置された液晶表示装置用トランジスタ基板において、データ配線１８及びドレイン電極２１の下の半導体層１９と、ソース電極２０の下の半導体層１９を切り離した。 （もっと読む）

【課題】新たな構造の半導体装置を提供することを目的の一とする。
【解決手段】半導体材料を含む基板に設けられたチャネル形成領域と、チャネル形成領域を挟むように設けられた不純物領域と、チャネル形成領域上の第１のゲート絶縁層と、第１のゲート絶縁層上の第１のゲート電極と、不純物領域と電気的に接続する第１のソース電極および第１のドレイン電極と、を有する第１のトランジスタと、半導体材料を含む基板上の第２のゲート電極と、第２のゲート電極上の第２のゲート絶縁層と、第２のゲート絶縁層上の酸化物半導体層と、酸化物半導体層と電気的に接続する第２のソース電極および第２のドレイン電極と、を有する第２のトランジスタと、を有する半導体装置である。 （もっと読む）

【課題】無線通信機能を有する半導体装置の低消費電力化、通信距離の拡大を図る。
【解決手段】メモリ部と、論理部と、メモリ部及び論理部間を電気的に接続する複数の信号線と、を備え、半導体装置及び通信装置間の転送レートをα［ｂｐｓ］、論理部で生成される第１のクロック周波数をＫα［Ｈｚ］（Ｋは１以上の整数）、複数の信号線のうち読み出し用信号線をｎ本（ｎは２以上の整数）、論理部で生成される第２のクロック周波数をＬα／ｎ［Ｈｚ］（Ｌは、Ｌ／ｎ＜Ｋを満たす任意の整数）とした場合、メモリ部に格納されたデータを論理部へ読み出す場合は、第２のクロック周波数Ｌα／ｎ［Ｈｚ］を用いて、ｎ本の読み出し用信号線を介して行う。 （もっと読む）

【課題】高性能なフレキシブル半導体装置を提供すること。
【解決手段】金属箔から成る支持層、支持層の上に形成された半導体構造部、および半導体構造部の上に形成された樹脂フィルムを有して成るフレキシブル半導体装置。かかるフレキシブル半導体装置では、樹脂フィルムには開口部が形成されており、その開口部に半導体構造部の表面と接触する導電部材が形成されており、半導体構造部が半導体層および半導体層の表面に形成された絶縁層を有して成る。 （もっと読む）

【課題】本発明は、エッチングレジストを形成するためのフォトリソグラフィの工程を減らすことを目的とする。
【解決手段】ゲート電極３０、ドレイン電極５２及びソース電極５４を含む薄膜トランジスタを形成する。薄膜トランジスタを覆う第１絶縁膜４４を形成する。第１絶縁膜４４上に第２絶縁膜４６を形成する。第２絶縁膜４６上に透明導電膜１７０を形成する。透明導電膜１７０上にフォトリソグラフィによってパターニングされたエッチングレジスト５０を形成する。エッチングレジスト５０を介して、透明導電膜１７０を第１エッチングによってパターニングして第１透明電極７０を形成する。エッチングレジスト５０を介して、第２絶縁膜４６の第１透明電極７０から露出する表面に対して行う第２エッチングによって第２絶縁膜４６にドレイン電極５２及びソース電極５４の一方の上方に位置する貫通穴４０を形成する。 （もっと読む）

【課題】トランジスタを比較的低温で製造する。
【解決手段】下部ゲート絶縁膜４４をコントロールゲート４２を構成する金属（アルミニウム）の酸化物により形成された下部酸化物層４４ａと自己組織化単分子膜により形成された下部ＳＡＭ層４４ｂとにより構成し、上部ゲート絶縁膜４８をフローティングゲート４６を構成する金属（アルミニウム）の酸化物により形成された上部酸化物層４８ａと自己組織化単分子膜により形成された上部ＳＡＭ層４８ｂとにより構成した。これにより、メモリセル４０を比較的低温で製造することができる。 （もっと読む）

【課題】多層配線間で形成される寄生容量を低減することを目的の一とする。
【解決手段】画素、メモリ部、又はＣＭＯＳ回路等に配置されたトランジスタのチャネル形成領域２１３、２１４と重なる第１の配線（ゲート電極）の一部または全部と第２の配線（ソース線またはドレイン線）１５４、１５７とを重ねる。また、ゲート電極と第２配線１５４、１５７の間には第１の層間絶縁膜１４９及び第２の層間絶縁膜１５０ｃを設け、寄生容量を低減した半導体装置である。 （もっと読む）

【課題】寄生抵抗の低下を図る。
【解決手段】半導体装置は、半導体基板１０と、前記半導体基板上のソース／ドレイン領域に形成された第１半導体層１１と、前記第１半導体層上に形成された第１部分１２ａと、前記ソース／ドレイン領域の間に位置するチャネル領域に形成された第２部分１２ｂとを有する第２半導体層１２と、前記第２半導体層の前記第１部分上に形成された第３半導体層１３と、前記第２半導体層の前記第２部分の周囲に絶縁膜２１を介して形成されたゲート電極２２と、前記第１半導体層、前記第２半導体層の第１部分および前記第３半導体層内に形成されたコンタクトプラグ３１と、を具備し、前記第２半導体層内における前記コンタクトプラグの径は、前記第１半導体層及び前記第３半導体層内における前記コンタクトプラグの径より小さい。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の開口率を向上させる。
【解決手段】同一基板上に第１の薄膜トランジスタを有する駆動回路及び第２の薄膜トランジスタを有する画素を有し、前記第１の薄膜トランジスタは、第１のゲート電極層と、ゲート絶縁層と、第１の酸化物半導体層と、第１の酸化物導電層及び第２の酸化物導電層と、前記第１の酸化物半導体層の一部に接し、且つ前記第１の酸化物導電層及び前記第２の酸化物導電層の周縁及び側面に接する酸化物絶縁層と、第１のソース電極層と、第１のドレイン電極層と、を有し、前記第２の薄膜トランジスタは、第２のゲート電極層と、第２の酸化物半導体層と、透光性を有する材料により構成された第２のソース電極層及び第２のドレイン電極層と、を有する。 （もっと読む）

【課題】酸化物半導体層と多結晶シリコン半導体層を共に用い得る有機発光表示装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板本体と、基板本体上に形成された第１ゲート電極及び第２半導体層と、第１ゲート電極及び第２半導体層の上に形成されたゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜を介在して第１ゲート電極及び第２半導体層上にそれぞれ形成された第１半導体層及び第２ゲート電極と、第１半導体層と少なくとも一部が相接して重畳した複数のエッチングストッパ層と、複数のエッチングストッパ層をそれぞれ露出する複数のコンタクトホールを有し、第１半導体層及び第２ゲート電極上に形成された層間絶縁膜と、層間絶縁膜上に形成され、複数のエッチングストッパ層を通じて第１半導体層とそれぞれ直接的／間接的に接続された第１ソース電極及び第１ドレイン電極と、層間絶縁膜上に形成され、第２半導体層と接続された第２ソース電極及び第２ドレイン電極とを含む。 （もっと読む）

【課題】 本発明では剥離技術を用いることにより様々な基板上に薄膜素子を形成し、従
来の技術では不可能であると考えられていた部分に薄膜素子を形成することにより、省ス
ペース化を図ると共に耐衝撃性やフレキシビリティに優れた半導体装置を提供する。
【解決手段】 本発明では、剥離技術を用いて一旦基板から剥離させた膜厚５０μｍ以下
の素子形成層を基板上に固着することにより、様々な基板上に薄膜素子を形成することを
特徴とする。例えば、可撓性基板上に固着された薄膜素子をパネルの裏面に貼り付けたり
、直接パネルの裏面に固着したり、さらには、パネルに貼り付けられたＦＰＣ上に薄膜素
子を固着することにより、省スペース化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】ＬＤＤ層を有する薄膜トランジスタにおけるオフ電流を低減させることと光リーク電流を低減させることが可能な表示装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜トランジスタＴＦＴの半導体層ＰＳは第１、第２、第３の層とを有し、前記第１の層の一部は前記薄膜トランジスタのチャネル領域であり、前記第２の層は不純物層であり、前記第３の層は不純物濃度が低い低濃度不純物層ＬＤＤであり、前記第２の層は前記電極との接続箇所を有し、前記第３の層は前記第２の層を環状に囲んで形成され、平面的に見て、前記第３の層の端部のうち、前記チャネル領域側の端部は前記第１の層と接しており、前記チャネル領域側以外の端部は前記層間絶縁膜ＩＮと接しており、前記第２の層の夫々は、前記ゲート電極ＧＴと平面的に重畳する第１の領域と、前記ゲート電極ＧＴと平面的に重畳しない第２の領域とを有し、前記接続箇所は前記第２の領域に形成されている。 （もっと読む）

【課題】応力ライナによるコンタクト形成の問題が起きない、相補型金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板層上の二酸化シリコン層１０２と、凹んだソース／ドレイン・トレンチを有する相補型金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）デバイスを準備し、凹んだソース／ドレイン・トレンチ内に窒化物応力ライナ１０４を堆積し、その上に酸化物層１０６を堆積する。ＣＭＯＳデバイスをハンドリング・ウェハ上に置きシリコン基板層を除去し二酸化シリコン層１０２をエッチングしてソース／ドレイン領域１７０の一部に当接する開口部を形成しコンタクト１８０を形成する。 （もっと読む）

【課題】製造工程の簡略化を達成しつつ、基板表面の凹凸を低減させることが可能な液晶表示装置を提供することである。
【解決手段】
複数のゲート線と、前記ゲート線に交差する複数のドレイン線と、前記ゲート線と前記ドレイン線との交差部付近にそれぞれ形成された薄膜トランジスタと、隣接する一対の前記ゲート線と隣接する一対の前記ドレイン線とで囲まれた画素領域毎に形成された着色膜とを備え、隣接する画素の着色膜の端部を重ねてなる領域が前記ドレイン線に重畳して形成される液晶表示装置であって、前記ゲート線と前記ドレイン線とを電気的に分離する層間絶縁膜が前記薄膜トランジスタの上層に形成され、前記ドレイン線の形成領域に沿って前記層間絶縁膜に凹部が形成され、該凹部に前記ドレイン線が形成されてなる液晶表示装置である。 （もっと読む）

【課題】酸化物からなる半導体層における酸素含有率の変動や水分吸着に起因する特性変動を確実に防止可能な、薄膜トランジスタおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】基板１上に設けられた酸化物からなる酸化物半導体層７と、酸化物半導体層７上に酸化物半導体層７に対して連続成膜された上層絶縁膜９とを備えている。酸化物半導体層７および上層絶縁膜９の外周縁は、酸化物半導体層７に形成されるチャネル領域７ｃｈに対して１３μｍ以上の間隔ｄ１〜ｄ４を保持して配置されている。これにより、外周縁の外側からの酸素の出入りや水分吸着の影響が、チャネル領域７ｃｈに対して影響を及ぼすことを防止する。 （もっと読む）

【課題】アクティブマトリクス型の表示装置においては、回路を構成する薄膜トランジスタの電気特性が重要であり、この電気特性が表示装置の性能を左右する。従って、逆スタガ型の薄膜トランジスタに水素を徹底的に排除した酸化物半導体膜を用い、電気特性のバラツキを低減する。
【解決手段】課題を解決するため、大気に触れることなくゲート絶縁膜と、酸化物半導体層と、チャネル保護膜との三層をスパッタ法により連続成膜を行う。また、酸化物半導体層の成膜は、酸素が流量比で５０％以上１００％以下含まれる雰囲気中で行う。また、酸化物半導体層のチャネル形成領域の上層及び下層が、窒素含有量が３原子％以上３０原子％以下の酸化窒化珪素膜であることを特徴的な構造とする。 （もっと読む）

【課題】遮光領域を抑制することにより、開口率の低下を防止するとともに、製造工程を簡素化することができる多層配線基板及びそれを備えた半導体装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ＴＦＴ基板１は、第１コンタクトホール１１が形成された第１絶縁膜８と、第１絶縁膜８の表面及び第１コンタクトホール１１の表面に形成された第１配線層１４と、第２コンタクトホール１５が形成された第２絶縁膜９と、第２絶縁膜９上に積層されるとともに、第２絶縁膜９の表面及び第２コンタクトホール１５の表面に形成され、第１配線層１４と導通された第２配線層１６とを備えている。そして、第１及び第２コンタクトホール１１，１５が、ＴＦＴ基板１の上下方向Ｘにおいて重なった状態で直線的に配置され、第１コンタクトホール１１において、第１配線層１４上に絶縁性樹脂２５が充填されている。 （もっと読む）

【課題】絶縁層へのコンタクトホール形成時における、導電層の浸食や破損の抑制された電界効果型トランジスタの製造方法、電界効果型トランジスタ、表示装置、及び電磁波検出器を提供する。
【解決手段】導電層形成工程によって形成されたソース電極２０Ａ、ドレイン電極２０Ｂ、及び画素電極２０Ｃを含む導電層２０上に、該導電層２０及び酸化物半導体層１８を覆うように、無機材料を主成分とする無機絶縁層２３を形成する。そして、この無機絶縁層２３上にフォトレジスト膜３０を形成してパターン状に露光した後に、現像工程において、現像液を用いて現像することでレジストパターン３０Ｂ’を形成する。現像工程では、この現像液をエッチング液として用いて、無機絶縁層２３の内のレジストパターン３０Ｂ’から露出した領域を除去することによって導電層２０の一部を露出させて、無機絶縁層２２にコンタクトホール２７を形成する。 （もっと読む）

【課題】製造コストを上昇させることなくマイグレーション耐性の向上及び有機半導体の劣化の抑制を実現可能な画像表示パネル及び画像表示装置を提供する。
【解決手段】第一の基板上にゲート電極、ゲート絶縁膜が積層形成され、ゲート絶縁膜上に空隙を隔ててソース電極及びドレイン電極並びに第二の接着剤が形成され、ソース電極及びドレイン電極の空隙を含む領域に有機半導体層が形成され、ゲート絶縁膜、ソース電極、ドレイン電極の一部、及び有機半導体層を覆うように層間絶縁膜が形成され、層間絶縁膜及びドレイン電極と接合されている導電層上に第一の接着剤、第一の接着剤上に形成された画像表示媒体及び第二の接着剤上に無機膜および第二の基板を有する画像表示パネルであって、第二の接着剤は、画像表示媒体と導電層との間に配置された第一の接着層よりも外側に配置され、無機膜及び親水化処理されたゲート絶縁膜と接合形成する。 （もっと読む）